WO2005031971A1 - 弾性表面波フィルタ及び通信機 - Google Patents

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WO2005031971A1
WO2005031971A1 PCT/JP2004/011908 JP2004011908W WO2005031971A1 WO 2005031971 A1 WO2005031971 A1 WO 2005031971A1 JP 2004011908 W JP2004011908 W JP 2004011908W WO 2005031971 A1 WO2005031971 A1 WO 2005031971A1
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comb
acoustic wave
surface acoustic
electrode
shaped electrode
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PCT/JP2004/011908
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Inventor
Yuichi Takamine
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Murata Manufacturing Co., Ltd.
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    • H03H9/14588—Horizontally-split transducers

Definitions

  • the present invention relates to a surface acoustic wave filter having a balanced-unbalanced conversion function and having at least one of an amplitude balance characteristic and a phase balance characteristic, and a communication device including the same.
  • FIG. 37 shows that the impedance at the unbalanced signal terminal side disclosed in Patent Document 1 is 50%.
  • FIG. 37 This shows a surface acoustic wave filter with a balanced-unbalanced conversion function of 200 ⁇ and the impedance of the balanced signal terminal is 200 ⁇ .
  • the configuration of FIG. 37 is different from that of the IDT 403 located at the center in the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter 401 having three inter-digital electrodes (hereinafter referred to as IDTs).
  • the toothed electrode is divided into two substantially symmetrically in the direction of propagation of the surface acoustic wave, each is connected to balanced signal terminals 408 and 409, and the left and right IDTs 402 and 404 with inverted polarity are connected to unbalanced signal terminals 407. Connected.
  • the surface acoustic wave filter can be provided with a balance-unbalance conversion function, and the impedance of the balanced signal terminal side is set to be about four times the impedance of the unbalanced signal terminal side. it can.
  • a float balance type is a virtual center which is a central portion in the direction of propagation of surface acoustic waves in the IDT and is perpendicular to the direction of propagation of surface acoustic waves. It is disclosed that the IDT is asymmetric about the axis.
  • Patent document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-097966 (published on April 9, 1999)
  • Patent Document 2 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-46369 (Published date: February 14, 2003)
  • amplitude characteristics are equal in transmission characteristics in a pass band between an unbalanced signal terminal and a balanced signal terminal.
  • the phase is inverted by 180 degrees, and they are called amplitude balance and phase balance, respectively.
  • the amplitude balance and the phase balance are defined as a three-port filter device having the above-mentioned balanced-unbalanced conversion function.
  • the unbalanced input terminal is port 1 and the balanced output terminal is port 2 respectively.
  • amplitude balance IAI
  • A I 201og (S2 1)
  • phase balance I B-180
  • B
  • such a balance Od B in amplitude and 0 degree in phase within the pass band of the filter.
  • FIG. 37 has a problem that the degree of balance is poor.
  • the reason is different between the polarities SIDT402 and IDT404 of the electrode fingers adjacent to the IDT403 (410 and 411 in FIG. 37), whereby the signals enter the balanced signal terminal 408 and the balanced signal terminal 409, respectively ( This is because parasitic capacitances, bridging capacitances, etc. which are different from each other. Excitation of surface acoustic waves due to interaction with electrode fingers of adjacent IDTs is also different.
  • An object of the present invention is to solve the above-mentioned problem, to provide a balanced-unbalanced conversion function with an improved balance, and to have a difference between the impedance of the balanced signal terminal and the impedance of the unbalanced signal terminal.
  • an object is to provide a surface acoustic wave filter in which one is about four times as large as the other and a communication device using the same.
  • a surface acoustic wave filter according to the present invention is a surface acoustic wave filter comprising a piezoelectric substrate and a longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter section formed on the piezoelectric substrate.
  • the combined resonator type surface acoustic wave filter unit is composed of a plurality of comb-shaped electrodes having a plurality of electrode fingers so as to face each other, and at least three odd numbers arranged along the surface acoustic wave propagation direction.
  • a comb-shaped electrode portion, and first and second reflectors arranged along the propagation direction of the surface acoustic wave so as to sandwich the comb-shaped electrode portion, and the at least three odd-numbered comb-shaped electrode portions are provided.
  • the first and second divided comb-shaped electrodes are divided into two along the propagation direction, and the first and second divided comb-shaped electrodes are respectively divided into first and second comb-shaped electrodes.
  • the first and second comb-shaped electrode portions which are arranged on the side closer to the mold electrode portion and are respectively connected to the first and second balanced signal terminals, and are adjacent to the center comb-shaped electrode portion, Comb-shaped electrodes connected to an unbalanced signal terminal and disposed on both sides of the virtual central axis when assuming a virtual central axis orthogonal to the propagation direction of the surface acoustic wave in the central comb-shaped electrode section. It is characterized in that the design parameters of the part and / or the reflector are different on both sides of the virtual central axis.
  • comb-shaped electrode portions and / or reflectors arranged on both sides of the virtual central axis are formed asymmetrically on both sides of the virtual central axis.
  • the polarities of the two outermost electrode fingers of the central comb-shaped electrode portion are ground electrodes or floating electrodes, and
  • the electrode finger pitch force of at least a part of the comb electrode portion is larger than the electrode finger pitch of the second comb electrode portion.
  • the polarities of the two outermost electrode fingers of the central comb-shaped electrode portion are both signal electrodes, and the number of the second comb-shaped electrode portions is small. At least a part of the electrode finger pitch is set to be larger than the electrode finger pitch of the first comb-shaped electrode portion.
  • the first and second splitters are provided.
  • the interdigital electrodes at least a part of the electrode finger pitch of the first divided interdigital electrode close to the first interdigital electrode portion is larger than the electrode finger pitch of the second divided interdigital electrode. It has been increased.
  • the distance between the electrode finger centers adjacent to the first comb-shaped electrode portion and the center comb-shaped electrode portion is the second comb-shaped electrode portion.
  • the distance between the center of the electrode fingers adjacent to each other between the comb-shaped electrode portion and the center comb-shaped electrode portion is set larger.
  • the polarities of the two outermost electrode fingers of the central comb-shaped electrode portion are both ground electrodes or floating electrodes
  • the first comb-shaped electrode is The distance between the center of the electrode finger and the first reflector adjacent to the first comb-shaped electrode portion is the second comb-shaped electrode portion and the second reflector adjacent to the second comb-shaped electrode portion. Is larger than the center distance between the electrode fingers.
  • the polarities of the two outermost electrode fingers of the central comb-shaped electrode portion are both signal electrodes, and the second comb-shaped electrode portion and the second comb-shaped electrode portion have the same polarity.
  • the distance between the center of the electrode finger and the second reflector adjacent to the comb-shaped electrode portion is equal to the electrode finger between the first comb-shaped electrode portion and the first reflector adjacent to the first comb-shaped electrode portion. It is larger than the center-to-center distance.
  • the duty force of at least a part of the electrode fingers of the first comb-shaped electrode portion is the duty of the electrode fingers of the second comb-shaped electrode portion. Has been larger than.
  • the polarities of two outermost electrode fingers of the central comb-shaped electrode portion are both ground electrodes or floating electrodes, and the first divided comb is formed.
  • the duty of the electrode finger of the tooth electrode is set to be larger than the duty of the electrode finger of the second divided comb tooth electrode.
  • the two outermost electrode fingers of the central comb-shaped electrode portion are both signal electrodes, and the electric potential of the second divided comb-shaped electrode is changed.
  • the duty of the pole finger is set to be larger than the duty of the electrode finger of the first divided comb-shaped electrode.
  • the at least three odd-numbered comb-shaped electrode portions are arranged such that, at a portion where two comb-shaped electrode portions are adjacent to each other, a peripheral electrode finger portion is provided.
  • a narrow pitch electrode finger portion having a relatively small electrode finger pitch with respect to the first pitch comb electrode portion, and a narrow pitch electrode finger portion at a portion where the first divided comb tooth-shaped electrodes are adjacent to each other.
  • the electrode finger pitch is set larger than the electrode finger pitch of the narrow pitch electrode finger portion in a portion where the second comb-shaped electrode portion and the second divided comb-shaped electrode are adjacent to each other.
  • a surface acoustic wave filter including a piezoelectric substrate and a longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter section disposed on the piezoelectric substrate, wherein the vertical
  • the coupled resonator type surface acoustic wave filter section is composed of a plurality of comb-shaped electrodes having a plurality of electrode fingers so as to face each other, and at least three odd numbers arranged along the propagation direction of the surface acoustic wave.
  • a comb-shaped electrode portion, and first and second reflectors arranged along the propagation direction of the surface acoustic wave so as to sandwich the comb-shaped electrode portion, and the at least three odd-numbered comb-shaped electrode portions are provided.
  • the electrode finger adjacent to the mold electrode part is a ground electrode
  • the electrode finger adjacent to the central comb-shaped electrode portion of the second comb-shaped electrode portion is a signal electrode
  • the comb-shaped electrode on one of the opposing sides of the central comb-shaped electrode portion has a surface acoustic wave.
  • the first and second divided comb-shaped electrodes are divided into two along the propagation direction, and the first and second divided comb-shaped electrodes are respectively divided into first and second divided comb-shaped electrodes.
  • the first and second comb-shaped electrode portions which are arranged on the side closer to the comb-shaped electrode portion and are connected to the first and second balanced signal terminals, respectively, are adjacent to the center comb-shaped electrode portion.
  • first and second surface acoustic wave resonators connected to the unbalanced signal terminal and connected between the first and second comb-shaped electrode portions and the unbalanced signal terminal, respectively.
  • the first and second surface acoustic wave resonators are respectively provided with a comb-shaped electrode portion and both sides of the comb-shaped electrode portion in a surface wave propagation direction.
  • a deployed reflector the first surface acoustic wave filter, wherein the design parameters of the second surface acoustic wave resonator are different is provided.
  • the electrode finger pitch of at least a part of the first surface acoustic wave resonator is changed to the electrode finger pitch of the second surface acoustic wave resonator. Is larger than Ji.
  • the electrode finger pitch of the comb-shaped electrode portion of the first surface acoustic wave resonator and the electrode finger pitch of the reflector of the first surface acoustic wave resonator is set to be larger than the ratio between the electrode finger pitch of the comb-shaped electrode portion and the electrode finger pitch of the reflector in the second surface acoustic wave resonator.
  • the distance between the electrode finger centers of the comb-shaped electrode portion and the reflector in the first surface acoustic wave resonator is determined by the second surface acoustic wave resonator. In this case, the distance between the center of the electrode fingers of the comb-shaped electrode portion and the reflector is made larger.
  • the duty of the electrode finger of the second surface acoustic wave resonator is larger than the duty of the electrode finger of the first surface acoustic wave resonator. Have been.
  • a surface acoustic wave filter including a piezoelectric substrate and a longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter portion disposed on the piezoelectric substrate.
  • a longitudinally-coupled resonator-type surface acoustic wave filter unit wherein a plurality of comb-shaped electrodes having a plurality of electrode fingers are combined so as to face each other, and are arranged in the propagation direction of the surface acoustic wave.
  • At least three odd-numbered comb-shaped electrode portions arranged along the first and second reflectors arranged along the propagation direction of the surface acoustic wave so as to sandwich the comb-shaped electrode portion, At least three odd-numbered comb-shaped electrode portions having a center comb-shaped electrode portion located at the center, and first and second comb-shaped electrode portions disposed on both sides of the center comb-shaped electrode portion;
  • An electrode adjacent to the central comb-shaped electrode portion of the comb-shaped electrode portion A finger is a ground electrode
  • an electrode finger adjacent to the center comb-shaped electrode portion of the second comb-shaped electrode portion is a signal electrode, and one of the opposing sides of the center comb-shaped electrode portion
  • the comb-shaped electrode is composed of first and second divided comb-shaped electrodes divided into two along the propagation direction of the surface acoustic wave, and the first and second divided comb-shaped electrodes are formed.
  • first and second comb-shaped electrode portions are connected to the first and second balanced signal terminals, respectively, and are adjacent to the central comb-shaped electrode portion.
  • the first and second comb-shaped electrode portions are connected to an unbalanced signal terminal, and the first and second divided comb-shaped electrodes are connected to the first and second comb-shaped electrodes.
  • First and second surface acoustic wave resonators respectively connected between a balanced signal terminal and the first and second surface acoustic wave resonators; And reflectors disposed on both sides of the portion in the direction of propagation of the surface acoustic waves, and wherein the design parameters of the first and second surface acoustic wave resonators are different.
  • At least a part of the electrode finger pitch of the first surface acoustic wave resonator has an electrode finger pitch of the second surface acoustic wave resonator. Has been larger than.
  • the specific force between the electrode finger pitch of the comb-shaped electrode portion and the electrode finger pitch of the reflector in the first surface acoustic wave resonator is set to be larger.
  • the distance between the electrode finger centers of the comb-shaped electrode portion and the reflector in the first surface acoustic wave resonator is determined by the second surface acoustic wave resonance.
  • the distance between the center of the electrode fingers of the comb-shaped electrode part and the reflector of the child is made larger.
  • the duty of the electrode finger of the second surface acoustic wave resonator is set larger than the duty of the first surface acoustic wave resonator.
  • a second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit cascade-connected to the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit. Is further provided.
  • the second longitudinally coupled resonator-type surface acoustic wave filter section includes a center comb-shaped electrode section and two sides of the center comb-shaped electrode section. It has first and second comb-shaped electrode portions arranged, and the number of electrode fingers of the center comb-shaped electrode portion is an even number.
  • the first comb-shaped electrode unit of the second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit; Type ⁇ A first signal line electrically connecting the first or second comb-shaped electrode section of the surface acoustic wave filter section; and a second signal line of the second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter section.
  • the phase of the signal transmitted through the signal line differs by about 180 degrees.
  • a communication device includes a surface acoustic wave filter configured according to the present invention.
  • the surface acoustic wave filter of the present invention has at least three odd IDTs and at least three IDTs arranged on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave.
  • a first reflector and a second reflector sandwiching the portion where the surface acoustic wave propagates at one of the IDTs located at the center of at least three odd numbers of IDTs.
  • a surface acoustic wave device exhibiting a balanced-unbalanced conversion function having first and second divided comb-shaped electrodes divided into two substantially symmetrically along the axis, and at least one of the IDT and the reflector
  • the design parameters are different between the first and second divided interdigital electrodes in one region and the other region with a virtual center axis assumed in the direction orthogonal to the surface wave propagation direction interposed between the first and second divided comb-shaped electrodes. is there.
  • At least one of the design parameters of the IDT and the reflector is different between one region and the other region sandwiching the virtual center axis.
  • the balance such as the amplitude balance and the phase balance can be improved.
  • another surface acoustic wave filter of the present invention includes at least three odd number IDTs arranged on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave.
  • One-to-one comb-shaped electrode of the central IDT performs a balanced-unbalanced conversion function with the first and second divided comb-shaped electrodes that are roughly symmetrically divided into two along the surface acoustic wave propagation direction.
  • the first and second IDTs different from the central IDT and an unbalanced signal terminal.
  • First and second surface acoustic wave resonators respectively connected between the first and second surface acoustic wave resonators, and the design parameters of the first and second surface acoustic wave resonators are different.
  • the first and second IDTs different from the central IDT and the first and second IDTs respectively connected between the unbalanced signal terminals.
  • the first and second surface acoustic waves connected between the first and second divided comb-shaped electrodes and the first and second balanced signal terminals, respectively.
  • a wave resonator is provided, and the first and second surface acoustic wave resonators have different design parameters.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an electrode configuration according to a first embodiment of the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 2 is a main part configuration diagram for explaining an electrode finger pitch in the above electrode configuration.
  • FIG. 3 is a plan view showing a back surface terminal of the package according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic sectional view showing a device structure according to the first embodiment.
  • FIG. 5 is a graph showing the results of the phase balance of the first embodiment and the first conventional example, respectively.
  • FIG. 6 is a graph showing the results of the phase balance of the first conventional example and the first comparative example, respectively.
  • FIG. 7 is a schematic configuration diagram showing an electrode configuration according to a second embodiment of the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 8 is a graph showing the results of the amplitude balance of the second embodiment and the second conventional example, respectively.
  • FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing an electrode configuration of a conventional surface acoustic wave filter.
  • FIG. 10 is a plan view showing a back surface terminal of another package in each of the first and second embodiments of the above embodiment.
  • FIG. 11 shows another device structure in each of the first and second embodiments.
  • FIG. 12 is a schematic sectional view showing still another device structure in each of the first and second embodiments.
  • FIG. 13 is a schematic configuration diagram of a modified example in each of the first and second embodiments.
  • FIG. 14 is a graph showing the results of the phase balance between the third embodiment and the first conventional example according to the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 15 is a graph showing a result of amplitude balance between a modification of the third embodiment and the first conventional example, respectively.
  • FIG. 16 is a schematic configuration diagram for explaining a distance between electrode finger centers of outermost electrode fingers between two IDTs in the surface acoustic wave filter.
  • FIG. 17 is a graph showing the results of the phase balance between the fourth embodiment and the first conventional example according to the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 18 is a graph showing the results of the amplitude balance between a modification of the fourth embodiment and the second conventional example, respectively.
  • FIG. 19 is a main part configuration diagram for explaining a distance between the center of the electrode finger of the IDT and the outermost electrode finger of the reflector in the surface acoustic wave filter.
  • FIG. 20 is a graph showing the results of the phase balance of the fifth embodiment of the surface acoustic wave filter of the present invention and the first conventional example, respectively.
  • FIG. 21 is a graph showing a result of amplitude balance between a modification of the fifth embodiment and a second conventional example.
  • FIG. 22 is a main part configuration diagram for explaining duty in the surface acoustic wave filter.
  • FIG. 23 is a graph showing the results of the phase balance of the sixth embodiment of the surface acoustic wave filter of the present invention and the first conventional example, respectively.
  • FIG. 24 is a graph showing the results of amplitude balance between a modification of the sixth embodiment and a second conventional example.
  • FIG. 25 shows a seventh embodiment and a first conventional example of a surface acoustic wave filter according to the present invention.
  • 7 is a graph showing the results of the phase balance degree of FIG.
  • FIG. 26 is a graph showing a result of amplitude balance between a modification of the seventh embodiment and a second conventional example.
  • FIG. 27 is a graph showing the results of the phase balance between the eighth embodiment and the first conventional example according to the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 28 is a graph showing a result of amplitude balance between a modification of the eighth embodiment and a second conventional example, respectively.
  • FIG. 29 is a schematic configuration diagram showing an electrode configuration according to a ninth embodiment of the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 30 is a graph showing the results of the phase balance of the ninth embodiment and the third conventional example, respectively.
  • FIG. 31 is a schematic configuration diagram showing another electrode configuration in the ninth embodiment.
  • FIG. 32 is a schematic configuration diagram showing still another electrode configuration in the ninth embodiment.
  • FIG. 33 is graphs respectively showing the results of the phase balance of the tenth embodiment and the third conventional example relating to the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 34 is a graph showing the results of the phase balance between the eleventh embodiment of the surface acoustic wave filter according to the present invention and the third conventional example, respectively.
  • FIG. 35 is a graph showing the results of the phase balance between the twelfth embodiment and the third conventional example according to the surface acoustic wave filter of the present invention.
  • FIG. 36 shows a surface acoustic wave filter of the present invention, in which a second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter section is cascaded to the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter shown in FIG.
  • FIG. 2 is a schematic plan view showing an electrode structure of a surface acoustic wave filter according to the first embodiment.
  • FIG. 37 is a schematic configuration diagram showing an electrode configuration of a conventional surface acoustic wave filter. Explanation of symbols
  • A Virtual center axis
  • the configuration of the first embodiment of the surface acoustic wave filter according to the present invention will be described with reference to FIGS. In each of the following embodiments, a description will be given of a DCS reception filter as an example. First, an electrode configuration according to the first embodiment will be described with reference to FIG.
  • a piezoelectric substrate made of 40 ⁇ 5 ° YcutX-propagated LiTaO (not shown)
  • a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501 and a surface acoustic wave resonator 502 connected in series to the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501 are formed of aluminum (A1) electrodes. .
  • the configuration of the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter section 501 is such that the first and second IDs (central IDT) 504 are sandwiched from both sides in the direction along the surface acoustic wave propagation direction.
  • DT503 and 505 are formed.
  • reflectors 506 and 507 are formed on both sides of the area where the IDTs 503 to 505 are arranged.
  • the IDT has a comb-shaped electrode including a band-shaped base end (bus bar) and a plurality of mutually parallel band-shaped electrode fingers extending in a direction perpendicular to one side of the base end. And the above-mentioned comb-shaped electrodes are provided in such a state that the side portions of the electrode fingers of each of the above-mentioned comb-shaped electrodes face each other and are interdigitated between the electrode fingers.
  • a piezoelectric surface wave is propagated by a surface acoustic wave.
  • the potential difference generated on the surface of the substrate can be detected by each electrode finger, converted into an output electric signal, and output.
  • each electrode finger the length and width of each electrode finger, the distance between adjacent electrode fingers, and the cross width indicating the length of facing each other in an intricate state between the electrode fingers are set.
  • the signal conversion characteristics and the pass band can be set.
  • Each of the reflectors includes a pair of band-shaped base ends (bus bars) arranged substantially parallel to each other, and a plurality of reflectors extending in a direction perpendicular to the sides of the base ends and connected to each other. , And strip-shaped electrode fingers parallel to each other.
  • Each reflector reflects these surface acoustic waves toward the propagation direction by arranging those electrode fingers substantially parallel to the electrode fingers of each IDT and along the propagation direction of the surface acoustic wave. You can do it.
  • the pitch force of several electrode fingers in the adjacent portions of IDT503 and IDT504 and the adjacent portion of IDT504 and IDT505 are It is set to be smaller than the other parts (the locations indicated by reference numerals 514 and 515 in FIG. 1).
  • the IDT 504 includes first and second divided comb-shaped electrodes 516 and 517, each of which is substantially equally divided into two in the direction along the surface acoustic wave propagation direction. Have adjacent to each other.
  • the first split comb electrode 516 is connected to the first balanced signal terminal 512.
  • the second divided comb-shaped electrode 517 is connected to the second balanced signal terminal 513.
  • the reflectors 509 and 510 are formed in the surface acoustic wave resonator 502 so as to sandwich the IDT 508 from both sides (both sides along the surface acoustic wave propagation direction).
  • the IDT 508 has one comb-shaped electrode connected to the unbalanced signal terminal 511, and the other IDT 508 has the other comb-shaped electrode connected to each IDT 503, 505.
  • FIG. 3 shows a back terminal of the nocage according to the first embodiment (shown in a perspective view as viewed from above the device).
  • An unbalanced signal terminal in which the back terminal 601 is connected to the surface acoustic wave resonator 502, and the back terminals 602 and 603 are connected to the split comb-shaped electrodes 516 and 517, respectively.
  • the balanced signal terminals and the back terminals 604 and 605 are ground terminals.
  • the surface acoustic wave filter according to the first embodiment employs a face-down method in which a bump 706 conducts between an electrode surface of a piezoelectric substrate 705 and a die attach surface 703 of a package as shown in FIG. Have been made.
  • the package has a bottom plate 701, a side wall 702, and a cap 704.
  • a feature of the first embodiment is that in FIG. 1, the electrode finger pitches of IDT 503 and IDT 505 (distance indicated by B in FIG. 2) are different from each other. At this time, the electrode finger pitch of IDT503 is set to be 0.001 zm greater than the electrode finger pitch of IDT505.
  • the electrode finger adjacent to each IDT 503 and 505 in the IDT 504 is a neutral point electrode (either a floating electrode or a ground electrode), and the IDT 503 adjacent to the IDT 504 may be a neutral electrode.
  • the electrode finger is a ground electrode, and the electrode finger of the IDT 505 adjacent to the IDT 504 is a signal electrode.
  • the first divided comb-shaped electrode 516 and the second divided electrode 516 of the IDT 504 divided into two shown in FIG.
  • the layout on the piezoelectric substrate (with the virtual center axis A virtually provided so as to extend in the direction perpendicular to the propagation direction of the surface acoustic wave, with the center between the split tooth electrodes 517 as the center)
  • the layout of each electrode and the entire package (for example, the layout of each backside terminal, see Fig. 3) are axially symmetric with each other.
  • the extreme tenacity of the electrode finger adjacent to the IDT 504 is such that the SIDT 503 and the IDT 505 are different from each other, and the post-complaint component other than the point where the component does not enter (is not generated). Te, ru.
  • the detailed design of the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501 is as follows, assuming that the pitch is reduced and the wavelength determined by the pitch of the electrode fingers is ⁇ I.
  • the detailed design of the surface acoustic wave resonator 502 is as follows.
  • Electrode thickness 0.097 ⁇ ⁇
  • FIG. 5 shows the result of the phase balance of the configuration of the first embodiment by a solid line.
  • the results of the phase balance of the first conventional example in which the electrode finger pitches of the IDT 503 and the IDT 505 are the same are shown by broken lines in FIG.
  • the first conventional example is the same as the configuration of the first embodiment, the design of the surface acoustic wave filter, the layout on the piezoelectric substrate, the package mounting method, etc., except that the electrode finger pitches of the IDT503 and IDT505 are the same. It is.
  • the pass band of the DCS receiving filter is 1880 MHz, which is 1805 MHz.
  • the phase balance in this range is up to about 9 degrees in the first conventional example, whereas it is up to about 8 degrees in the first embodiment, which is about 1 degree. Has been improved. This is the effect of correcting the phase shift between the balanced signal terminal 512 and the balanced signal terminal 513 by making the electrode finger pitches of the first IDT 503 and the second IDT 505 different.
  • the electrode finger pitch of IDT503 is set to be larger than that of IDT505.
  • first comparative example the result of the phase balance degree when the electrode finger pitch of the IDT505 was made larger than that of the IDT503 (first comparative example) was investigated.
  • Fig. 6 shows the result of the phase balance in that case by a dash-dot line.
  • the results of the phase balance of the first conventional example are also shown by broken lines in FIG. In this case, the first comparative example has a worse phase balance degree than the first conventional example.
  • Which of the balanced signal terminals has the larger ground capacity is determined by the arrangement of the adjacent electrode fingers of each IDT 503 and 505.
  • the electrode finger (outermost electrode finger) adjacent to each IDT 503, 505 of the IDT 504 is a neutral point electrode (earth electrode), and is adjacent to the IDT 504.
  • the electrode finger of the IDT503 is a ground electrode.
  • Fig. 7 shows the electrode fingers (outermost electrode fingers) that are adjacent to the first and second ID fingers 803 and 805 of the ID finger 804, which is a central comb-shaped electrode, are signal electrodes.
  • Fig. 8 shows the configuration of Fig. 7 in which the electrode fingers adjacent to the IDT 804 are the signal electrodes, and the electrode finger pitch adjacent to the IDT 804 is the ground.
  • the solid line shows the result of the amplitude balance of the second embodiment, which is 0.001 ⁇ m larger than the first electrode IDT803, and for comparison, the electrode finger pitches of IDT803 and IDT805 are the same.
  • the result of the amplitude balance of the second conventional example is shown by a broken line in Fig. 8.
  • the second conventional example is the same as the first embodiment except that the electrode finger pitches of the IDT803 and the IDT805 are the same.
  • the amplitude balance degree is improved by about 0.2 dB compared to the second conventional example, and the power is higher.
  • the electrode finger of IDT 804, which is adjacent to IDT 803, 805, is the signal electrode
  • the electrode finger adjacent to IDT 804 is the signal electrode
  • the electrode finger pitch of IDT 805, which is the signal electrode is adjacent to IDT 804. It can be said that the degree of balance between the balanced signal terminals is improved by making the electrode fingers larger than the IDT 803, which is the ground electrode.
  • the force of improving the equilibrium result by making the design parameters different from each other with respect to the virtual center axis A is shown in Fig. 9.
  • the left and right design parameters are different from each other with respect to the virtual center axis 222.
  • the power is described in JP-A-2003-046369.
  • the configuration of the invention described in the above publication is consistent with the present invention in that the left and right surface acoustic wave filters having a balance-unbalance conversion function have different design parameters, as shown in FIG.
  • the balanced signal does not have a neutral point as shown in FIG. 1 and a balanced signal is extracted from both ends (from both of the comb-shaped electrodes) of one IDT.
  • the asymmetric surface acoustic wave propagating from IDT 204 to IDT 205 and from IDT 206 to IDT 205 caused by different design parameters on the left and right have no effect on the degree of balance. do not do.
  • the design parameters are made different between the left and right sides, so that the capacitance becomes asymmetrical at the place where the IDT 204 and the IDT 205 and between the IDT 205 and the IDT 206 are adjacent to each other. Only the change in the parasitic capacitance affects the balance.
  • the IDT 504 is divided into two in the propagation direction of the surface acoustic wave, and the electrode finger not connected to the balanced signal terminal is dropped to the ground.
  • the electrode finger connected to the balanced signal terminal 512 and the electrode finger connected to the balanced signal terminal 513 can be considered as another IDT. Therefore, by performing asymmetric design, the capacitance is not asymmetrical at the place where the IDT 503 and IDT 504 and the IDT 504 and IDT 505 are adjacent to each other. Also affects the degree of equilibrium.
  • the present invention relates to a surface acoustic wave filter having an IDT504 divided into two parts in the propagation direction of the surface acoustic wave and having a balanced-unbalanced conversion function.
  • the effect of the degree of equilibrium is improved by using the action and effect different from the invention.
  • each of the first and second embodiments at least three odd-numbered comb-shaped electrode portions formed on the piezoelectric substrate along the propagation direction of the surface acoustic wave. That is, it has a longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter with an IDT, and one of the IDTs located at the center of the odd number of IDTs is divided into two in the direction of surface acoustic wave propagation, By reversing the polarity of the IDT adjacent to the left and right of the located IDT, a surface acoustic wave filter with a balance-unbalance conversion function can be used.By changing the electrode finger pitch of the left and right IDTs, the elasticity can be improved. The result of the degree of balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter can be improved.
  • the layout on the piezoelectric substrate, the package, and the like are the same except that the electrode finger pitches of the left and right IDTs are different in order to eliminate unnecessary unbalanced components. did. Therefore, the present invention is not limited to such a package in which the number of back terminals of the package is five. The present invention is not limited to such a package. Any package may be used as long as it can be pulled vertically about the propagation direction of the surface acoustic wave around the center and can be axisymmetric with respect to the virtual center axis A.
  • terminal 901 is an unbalanced signal terminal
  • terminals 902 and 903 are balanced signal terminals
  • terminals 904 to 906 are ground terminals.
  • a surface acoustic wave filter was manufactured by a method of establishing electrical continuity between the package and the piezoelectric substrate by a face-down method. No problem.
  • the structure manufactured by the face-down method is not limited to the structure shown in FIG. 4.
  • a piezoelectric substrate 1002 is bonded on a collective substrate 1001 by a flip-chip method, and a resin 1003 is formed thereon. , And cut into one package unit by dicing.
  • a piezoelectric substrate 1102 is bonded on a collective substrate 1101 by a flip-chip method, and a sheet-like substrate is formed thereon.
  • the surface acoustic wave filter is manufactured by sealing and covering the grease material 1103 and cutting it into one package unit by dicing.
  • a second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 551 is cascaded to the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501 shown in FIG. May be.
  • the second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 551 is cascaded before the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501.
  • the second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 551 includes three IDT 552 554 and reflectors 555 provided on both sides of the region where the IDT 552 554 force S is provided in the surface wave propagation direction. 556.
  • the central IDT 553 is electrically connected to the unbalanced terminal 511. IDT552, 554 force on both sides of IDT553 IDT503, IDT503 of longitudinally coupled resonator surface acoustic wave filter 551 Connected to 505.
  • the IDT 553 located at the center of the second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 551 has an even total number of electrode fingers.
  • the phases of the signals transmitted through each signal line connecting the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501 and the second longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit are different from each other by about 180 degrees.
  • the pitches of IDT 503 (803) and IDT 505 (805) are all different, but only some of the pitches may be different.
  • a 40 ⁇ 5 ° YcutX propagating LiTaO substrate was used.
  • the present invention is not limited to this substrate.
  • each of the IDT 504 divided comb-shaped electrodes 516 and 517 is formed.
  • the electrode fingers adjacent to the IDT 504 are located on the side closer to the IDT 503, which is the ground electrode.
  • the electrode finger pitch of the split comb electrode 516 is located closer to the IDT 505, the electrode fingers adjacent to the IDT 504 are the signal electrodes. It is 0.001 / im larger than the divided comb-shaped electrode 517.
  • the results of the phase balance of the third embodiment are shown by solid lines in FIG.
  • the results of the phase balance of the first conventional example in which the electrode finger pitches of the divided comb-shaped electrodes 516 and 517 are made equal to each other are shown by broken lines in FIG.
  • the degree of phase balance is improved as compared with the first conventional example.
  • FIG. 15 shows the result of the amplitude equilibrium when the value of 0.001 ⁇ is larger than that of the pole 817 (a modified example).
  • FIG. 15 shows the results of the amplitude balance of the second conventional example in which the electrode finger pitches of the first and second divided comb-shaped electrodes 816 and 817 are made equal to each other by broken lines.
  • the modification of the third embodiment has an improved amplitude balance compared to the second conventional example.
  • the pitch of the two-piece comb-shaped electrode is made different as in the third embodiment, the two-piece divided comb-shaped electrode is divided into two regardless of the polarity of the electrode fingers adjacent to the left and right IDTs.
  • Improve the degree of balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter by increasing the electrode finger pitch of the IDT whose electrode finger adjacent to the split comb electrode is closer to the IDT that serves as the ground electrode. Can be.
  • the force in which the pitch of the first divided interdigital electrode 516 (816) and the pitch of the second divided interdigital electrode 517 (817) is different in all the portions.
  • the pitch may be different only in a part.
  • the IDT 504 and the electrode fingers adjacent to the IDT 504 are ground electrodes.
  • the distance between the electrode finger centers (the distance shown by C in FIG. 16) of the outermost electrode finger of the first IDT503 is the outermost electrode of the second IDT505 in which the IDT504 and the electrode finger adjacent to the IDT504 are signal electrodes.
  • 0.002 ⁇ ⁇ ( ⁇ I: wavelength determined by the electrode finger pitch of the IDT) is larger than the distance between the centers of the finger electrodes.
  • FIG. 17 shows the result of the phase balance of the configuration of the fourth embodiment by a solid line.
  • the result of the phase balance degree of the first conventional example in which the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of IDT504 and IDT503 and the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of IDT504 and IDT505 are the same, is indicated by a broken line.
  • Fig. 17 is also shown.
  • the degree of phase balance is improved compared to the first conventional example.
  • IDT804 and the electrode finger adjacent to IDT804 are the ground electrodes
  • the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of the first IDT803 is determined by the IDT804 and the electrode adjacent to IDT804.
  • Fig. 18 shows the result of the amplitude balance when the distance was increased by 0.002 ⁇ I from the separation (a modification).
  • the modification of the fourth embodiment has an improved amplitude balance compared to the second conventional example. That is, when the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of the two divided IDTs and the left and right IDTs is made different as in the fourth embodiment, the two divided IDTs are used. Regardless of the polarity of the electrode fingers adjacent to the left and right IDTs, the IDT whose electrode finger adjacent to the two divided electrode fingers is closer to the IDT, which is the ground electrode, is divided into two parts. By increasing the distance between the electrode finger centers of the outer electrode fingers, the balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter can be improved.
  • the IDT 504 and the electrode fingers adjacent to the IDT 504 are ground electrodes in FIG.
  • the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of the first IDT 503 and the first reflector 506 is determined by the IDT 504 and the electrode finger force S signal electrode adjacent to the IDT 504.
  • the distance between the center of the outermost electrode finger of a certain second IDT 505 and the outermost electrode finger of the second reflector 507 is set to 0.01 ⁇ larger than the toe separation.
  • the result of the phase balance of the configuration of the fifth embodiment is shown by a solid line in Fig. 20.
  • the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of the IDT 503 and the reflector 506 and the center distance between the electrode fingers of the outermost electrode finger of the IDT 505 and the reflector 507 were the same.
  • the results are shown by broken lines in FIG. In the fifth embodiment, it can be seen that the degree of phase balance is improved as compared with the first conventional example.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 804 is a signal electrode
  • the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of the second reflector 807 is the first IDT.
  • the result of the amplitude balance when the distance between the center of the outermost electrode finger of the 803 and the first reflector 806 is larger than the distance between the center of the electrode finger by 0.01 ⁇ ((a modified example) is shown by a two-dot chain line in FIG. .
  • the modification of the fifth embodiment has an improved amplitude balance compared to the second conventional example.
  • the electrode fingers adjacent to the left and right IDTs of the two divided comb-shaped electrodes are neutral.
  • the electrode finger adjacent to the divided comb tooth electrode divided into two is the ground electrode, and the distance between the IDT and the reflector is set.
  • the electrode finger adjacent to the left and right IDT of the divided comb tooth electrode is divided into the signal electrode.
  • the distance between the IDT, which is the signal electrode, and the reflector of the electrode finger adjacent to the two divided comb-teeth electrodes is larger than that on the opposite side, so that the balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter is Degree can be improved.
  • the configuration of the sixth embodiment according to the present invention is the same as the first embodiment in the basic configuration.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is a ground electrode.
  • the duty (F / E in FIG. 22) of the electrode finger of a certain first IDT 503 is set to be 0.04 larger than the duty of the electrode finger of the second IDT 505 in which the electrode finger adjacent to the IDT 504 is a signal electrode.
  • Fig. 24 shows the results of amplitude balance when the duty of the electrode finger is set to be larger than the duty of the electrode finger by 0.04 (a modification).
  • the results of the amplitude balance of the second conventional example in which the duty of the electrode finger of IDT803 and the duty of the electrode finger of IDT805 are the same are shown in FIG. I will show you.
  • the modification of the sixth embodiment has an improved degree of amplitude balance as compared with the second conventional example. That is, when the duty of the left and right electrode fingers is made different as in the sixth embodiment, the divided comb teeth are divided into two regardless of the polarity of the electrode fingers adjacent to the left and right IDTs of the divided comb tooth electrode. By increasing the duty of the electrode finger of the IDT in which the electrode finger adjacent to the shape electrode is closer to the IDT serving as the ground electrode, it is possible to improve the balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter. it can. In the sixth embodiment, the duty of the IDT 503 (803) and the duty of the IDT 505 (805) are all different.
  • the configuration of the seventh embodiment of the present invention is the same as that of the first embodiment in the basic configuration.
  • the electrode fingers adjacent to the IDT 504 are located on the side closer to the first IDT 503, which is the ground electrode.
  • the duty of the second divided comb-shaped electrode 517 located closer to the second IDT 505, which is the signal electrode, is 0.04 larger than the duty of the electrode finger.
  • the results of the phase balance of the configuration of the seventh embodiment are shown by solid lines in Fig. 25.
  • the results of the phase balance of the first conventional example in which the duty of the electrode finger of the divided comb-shaped electrode 516 and the duty of the electrode finger of the divided comb-shaped electrode 517 are the same are shown by the broken line in FIG. Shown.
  • the degree of phase balance is improved as compared with the first conventional example.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 804 is located on the side closer to the second IDT 805 as the signal electrode.
  • the duty of the electrode finger of the divided comb-shaped electrode 817 is determined by the duty of the electrode finger of the first divided comb-shaped electrode 816 in which the electrode finger adjacent to the IDT 804 is located closer to the first IDT 803, which is the ground electrode.
  • Fig. 26 shows the result of the amplitude balance when the value is also increased by 0.04 (a modified example) by the two-dot chain line.
  • the modification of the seventh embodiment has an improved amplitude balance compared to the second conventional example. That is, when the duty of each of the two divided comb-shaped electrodes is different from each other as in the seventh embodiment, the electrode fingers adjacent to the left and right IDTs of the two divided comb-shaped electrodes are neutral point electrodes. In the case of, the electrode finger adjacent to the divided comb-shaped electrode divided into two is located on the side closer to the ground electrode IDT, and the electrode adjacent to the left and right IDT of the divided comb-shaped electrode divided into two If the finger is a signal electrode, the electrode finger adjacent to the comb electrode divided into two is placed on the side closer to the IDT, which is the signal electrode.
  • the degree of balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter can be improved. Further, in the seventh embodiment, the duty of the divided interdigital electrode 516 (816) and the duty of the divided interdigital electrode 517 (817) are all different. Good.
  • the configuration of the eighth embodiment according to the present invention has the same basic structure as that of the first embodiment.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is a ground electrode.
  • the pitch of the narrow-pitch electrode finger where the first IDT 503 and the IDT 504 are adjacent to each other is the pitch of the narrow pitch electrode finger where the second IDT 505 and the IDT 504 where the electrode finger adjacent to the IDT 504 is a signal electrode is adjacent. 0.004 ⁇ ⁇ larger than the pitch.
  • FIG. 27 shows the results of the phase balance of the configuration of the eighth embodiment as a solid line as the operation and effect of the eighth embodiment.
  • the dashed line shows the result of the phase balance degree of the first conventional example in which the pitch of the narrow pitch electrode fingers between IDT503 and IDT504 and the pitch of the narrow pitch electrode fingers between IDT505 and IDT504 were the same.
  • the degree of phase balance is improved as compared with the first conventional example.
  • the pitch of the narrow-pitch electrode finger at the position where the first IDT 803 and the IDT 804 where the electrode finger adjacent to the IDT 804 is a ground electrode is the same as the electrode finger adjacent to the IDT 804
  • Fig. 28 shows the amplitude balance results when 0.004 ⁇ I is larger than the pitch of the narrow-pitch electrode fingers at the location where the second IDT805 and IDT804, which are signal electrodes, are adjacent to each other (a modified example). Shown by a two-dot chain line.
  • the modification of the eighth embodiment has an improved amplitude balance compared to the second conventional example.
  • the pitch of the narrow-pitch electrode fingers is made different on the left and right as in the eighth embodiment, the two divisions are made regardless of the polarity of the electrode fingers adjacent to the left and right IDTs of the interdigital electrode.
  • the degree of balance between the balanced signal terminals of the surface acoustic wave filter can be improved.
  • FIG. 29 shows the configuration of the ninth embodiment according to the present invention.
  • the configuration of the longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter unit 501 is the same as that of the first embodiment.
  • two surface acoustic wave resonators are provided, and each of the IDTs 503 and 505 is respectively provided. Connected.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the first IDT 503, which is a ground electrode, and the IDT of the surface acoustic wave resonator 502A and the electrode finger pitch of the reflector are signaled by the electrode finger adjacent to the IDT 504.
  • the surface acoustic wave resonator 502B connected to the second IDT 505, which is an electrode, is larger than the surface acoustic wave resonator 502B by 0.004 (the wavelength determined by the electrode finger pitch of the surface acoustic wave resonator).
  • the designs of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B are all the same except that the electrode finger pitches are different.
  • the results of the phase balance of the configuration of the ninth embodiment are shown by solid lines in Fig. 30.
  • the results of the phase balance of the third conventional example, in which the electrode finger pitches of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B are the same are also shown by broken lines in FIG.
  • the degree of phase balance is improved as compared with the third conventional example.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 divided into two becomes a ground electrode.
  • the electrode finger pitch of the first surface acoustic wave resonator connected to the first IDT 503 is connected to the second IDT 505 whose electrode finger adjacent to the IDT 504 is a signal electrode.
  • the force at which the electrode finger pitch of each of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B and the reflector is changed is a part of the electrode finger pitch and the electrode finger pitch. May be different.
  • a surface acoustic wave resonator is connected to each of the first and second comb-shaped electrodes 516 and 517, and the electrode finger pitch of each of the surface acoustic wave resonators 1201 and 1202 is set. May be different from each other.
  • the electrode fingers of the surface acoustic wave resonator 1201 connected to the first split comb-shaped electrode 516 located on the side closer to the first IDT 503 serving as the ground electrode are the electrode fingers adjacent to the IDT 504.
  • the pitch of the electrode fingers adjacent to the IDT 504 is larger than the electrode finger pitch of the surface acoustic wave resonator 1202 connected to the second divided interdigital electrode 517 located on the side closer to the second IDT 505 serving as the signal electrode.
  • a two-terminal pair surface acoustic wave resonator 1301 is used instead of the surface acoustic wave resonator.
  • the electrode finger pitch with IDT1303 may be different from each other.
  • the electrode finger pitch of the IDT1302 connected to the first divided interdigital electrode 516 located on the side closer to the IDT503 serving as the ground electrode is set to the electrode finger adjacent to the IDT504.
  • the configuration of the tenth embodiment according to the present invention is basically the same as that of the ninth embodiment.
  • the electrode fingers adjacent to the force IDT 504 are connected to the first IDT 503 as the ground electrode.
  • the pitch ratio between the IDT of the surface acoustic wave resonator 502A and the electrode finger pitch of the reflector is set to the second IDT505 in which the electrode finger adjacent to the IDT 504 is the signal electrode. 0.01 smaller than the connected second surface acoustic wave resonator 502B I'm frustrated.
  • the designs of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B are all the same except that the pitch ratio between the IDT and the reflector is different.
  • the results of the phase balance of the configuration of the tenth embodiment are shown by solid lines in Fig. 33.
  • the results of the phase balance of the third conventional example in which the pitch ratio between the IDT and the reflector of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B is the same are shown by broken lines in FIG.
  • the phase balance degree is improved, and the power of the phase is increased S).
  • the first and second comb-shaped electrodes are provided.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the IDT 503 serving as the ground electrode.
  • the pitch ratio between the IDT and the reflector of the surface acoustic wave resonator is connected.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the IDT 505 serving as the signal electrode.
  • first and second surface acoustic wave resonators are connected to the first and second divided comb-shaped electrodes, respectively, and the first and second surface acoustic wave
  • the pitch ratio between the IDT of the resonators 1201 and 1202 and the reflector may be different from each other.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is smaller than the pitch ratio between the IDT and the reflector of the surface acoustic wave resonator 1202 connected to the split comb electrode 517 located on the side closer to the IDT 505 serving as the signal electrode.
  • the configuration of the eleventh embodiment according to the present invention is basically the same as that of the ninth embodiment, except that the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the first IDT 503 which is a ground electrode.
  • the distance between the IDT of the surface acoustic wave resonator 502A and the electrode finger center of the outermost electrode finger of the reflector is connected to the second IDT 505, which is the signal electrode adjacent to the IDT 504. 0.06 larger than that of the second surface acoustic wave resonator 502B.
  • the design of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B is the same except that the center distance between the electrode fingers of the IDT and the outermost electrode finger of the reflector is different.
  • the results of the phase balance of the configuration of the eleventh embodiment are shown by solid lines in Fig. 34.
  • the results of the phase balance of the third conventional example where the IDTs of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B and the center of the outermost electrode finger of the reflector are the same, are shown in broken lines in Fig. 34. Shown. In the eleventh embodiment, it can be seen that the degree of phase balance is improved as compared with the third conventional example.
  • the comb tooth is divided into two.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 having the shape of the electrode and the electrode finger adjacent to the IDT 504 determine the distance between the center of the electrode finger of the surface acoustic wave resonator connected to the IDT 503 and the outermost electrode finger of the reflector.
  • the degree of balance between the balanced signal terminals can be improved.
  • the electrodes that are adjacent to the IDTs 503 and 505 can be used for a very long time.
  • first and second elastic surface acoustic wave resonators are connected to the first and second comb-shaped electrodes 516 and 517, respectively, and the first and second elastic
  • the IDTs of the surface acoustic wave resonators 1201 and 1202 and the distance between the electrode finger centers of the outermost electrode fingers of the reflector may be different from each other.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the first divided comb-shaped electrode 516 located on the side near the first IDT 503 serving as the ground electrode, and the first surface acoustic wave resonator 1201
  • the distance between the center of the IDT and the electrode finger center of the outermost electrode finger of the reflector is in contact with the second divided comb-shaped electrode 517 located on the side closer to the second IDT 505 where the electrode finger adjacent to the IDT 504 is a signal electrode. Improving the balance between the balanced signal terminals by making the IDT of the second surface acoustic wave resonator 1202 and the outermost electrode finger of the reflector smaller than the distance between the finger centers. it can.
  • the configuration of the twelfth embodiment according to the present invention is basically the same as that of the ninth embodiment.
  • the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the first IDT 503, which is a ground electrode.
  • the duty of the IDT of the first surface acoustic wave resonator 502A and the electrode finger of the reflector is determined by the electrode finger adjacent to the IDT 504.
  • From the second surface acoustic wave resonator 502B connected to the second IDT 505 serving as a signal electrode, 0.04 / J is retrieved.
  • the designs of the bow singlet surface acoustic wave resonators 502A and 502B are all the same except that the duty of the electrode fingers of the IDT and the reflector is made different.
  • the results of the phase balance of the configuration of the twelfth embodiment are shown by solid lines in FIG.
  • the results of the phase balance of the third conventional example with the same duty of the electrode fingers of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B are shown by broken lines in FIG. It can be seen that in the twelfth embodiment, the degree of phase balance is improved as compared with the third conventional example.
  • each of the IDTs 503 and 505 having the divided comb-shaped electrodes 516 and 517 has The duty of the electrode finger of the surface acoustic wave resonator in which the adjacent electrode finger is connected to the IDT 503 serving as the ground electrode is the same as that of the surface acoustic wave resonator in which the electrode finger adjacent to the IDT 504 is connected to the IDT 505 serving as the signal electrode.
  • the duty of the electrode finger adjacent to each IDT 503 and 505 in the IDT 504 does not depend at all.
  • the IDTs of the surface acoustic wave resonators 502A and 502B and the forces that make the duty of all the electrode fingers of the reflector different are part of the electrode fingers and only the electrode fingers You can make the duty different.
  • a surface acoustic wave resonator is connected to each of the first and second divided comb-shaped electrodes, and the duty of the electrode fingers of each of the surface acoustic wave resonators 1201 and 1202 is changed. They may be different from each other.
  • the electrode finger adjacent to IDT 504 is connected to first divided comb-shaped electrode 516 located on the side closer to first IDT 503 serving as a ground electrode, and the electrode finger of surface acoustic wave resonator 1201 is connected to the electrode finger.
  • the duty of the electrode finger of the surface acoustic wave resonator 1202 connected to the second split comb-shaped electrode 517 located on the side closer to the second IDT 505 where the electrode finger adjacent to the IDT 504 becomes the signal electrode By making it smaller, the balance between the balanced signal terminals Can be improved.
  • the surface acoustic wave resonator may be a two-port surface acoustic wave resonator 1301, and the duty of the electrodes of the IDTs 1302 and 1303 may be different.
  • the electrode fingers adjacent to the second IDT 505, which is the signal electrode, are smaller than the duty of the electrode fingers of the IDT 1303 connected to the second divided interdigital electrode 517 located on the side close to the second IDT 505, which serves as the signal electrode. Balance The degree of balance between signal terminals can be improved.
  • the IDT 504 has an undivided comb-like electrode force. Unlike the other embodiments in which the IDT 504 is a ground electrode, a force that is a floating electrode. The effect is obtained.
  • the inventions described in the first to twelfth embodiments of the above-described embodiments are described in the case where the outermost electrode finger of the central IDT is a ground electrode or a floating electrode, and the case where They can be combined in any way, except where they cannot be parallel to each other. Combining them can further enhance the effect.
  • the surface acoustic wave filter of the present invention has a balance-unbalance conversion function by making the impedance on the balanced side and the impedance on the unbalanced side, and can improve the degree of balance. Therefore, if a filter for a small communication device such as a mobile phone is used, the communication characteristics of the communication device can be improved, and the filter can be suitably used for the communication device.

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Abstract

　平衡−不平衡変換機能を有し、平衡度を改善することができる弾性表面波フィルタおよび それを有する通信機を提供する。 　第１くし型電極部５０３、中央くし型電極部５０４及び第２くし型電極部５０５と、それらを挟む第１，第２リフレクタ５０６、５０７とを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部５０１、中央くし型電極部５０４の一方のくし歯状電極に、弾性表面波の伝搬方向に沿って互いに略対称に２分割してなる第１，第２の分割くし歯状電極５１６、５１７が設けられている。第１，第２分割くし歯状電極５１６、５１７の間には、表面波伝搬方向と直交する方向に想定した仮想中心軸Ａを間に挟んだ一方側と他方側において、各くし型電極部５０３、５０４、５０５および各リフレクタ５０６、５０７の内の少なくとも１つの設計パラメータが異ならされている。

Description

明 細 書
弾性表面波フィルタ及び通信機
技術分野
[0001] 本発明は、平衡 -不平衡変換機能を有し、振幅平衡特性および位相平衡特性の 少なくとも一方が優れた、弾性表面波フィルタ、およびそれを備えた通信機に関する ものである。
^景技術
[0002] 近年の携帯電話機といった通信機の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚 しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はも とより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。このような状況を背景に、通 信機の RF段に使用する弾性表面波フィルタに対し、平衡ー不平衡変換機能、いわゆ るバランの機能を持たせたものも近年盛んに研究され、 GSM (Global System for Mobile communications)などを中心に使用されるようになってきた。このような平衡一 不平衡変換機能を持たせた弾性表面波フィルタに関する特許も、いくつか出願され ている。
[0003] 図 37に、特許文献 1に開示されている、不平衡信号端子側のインピーダンスが 50
Ω、平衡信号端子側のインピーダンスが 200 Ωの平衡ー不平衡変換機能を持たせた 弾性表面波フィルタを示す。図 37の構成は、 3つの各くし型電極部（Inter-Digital Transducer,以下、 IDTと記す）を有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 401に おいて、中央に位置する IDT403の一方のくし歯状電極を弾性表面波の伝搬方向 に略対称に 2分割して、それぞれを平衡信号端子 408、 409に接続し、極性を反転さ せた左右の各 IDT402、 404を不平衡信号端子 407に接続している。
[0004] これにより、上記弾性表面波フィルタでは、平衡ー不平衡変換機能を備えることがで き、さらに平衡信号端子側のインピーダンスは、不平衡信号端子側のインピーダンス の約 4倍とすることができる。
[0005] また、特許文献 2において、フロートバランスタイプで、 IDTにおける弾性表面波の 伝搬方向の中央部であって、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直となる仮想中心 軸を挟んで IDTが非対称であることが開示されている。
[0006] 具体的には、 1)互いに隣り合うくし型電極部同士の距離、 2)IDTのピッチに対する 電極指幅の比（デューティー、以下、 dutyと記す）、 3)IDTのピッチ、 4)狭ピッチ電極 指部のピッチを非対称にすることが記載されている。
特許文献 1：特開平 11一 097966号公報 (公開日： 1999年 4月 9日 )
特許文献 2：特開 2003—46369号公報 (公開日： 2003年 2月 14日）
発明の開示
[0007] 平衡ー不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタに関しては、不平衡信号端子 と平衡信号端子のそれぞれの端子との間の通過帯域内での伝送特性において、振 幅特性が等しぐかつ位相が 180度反転していることが要求され、それぞれ振幅平衡 度および位相平衡度と呼んでレ、る。
[0008] 振幅平衡度および位相平衡度とは、前記平衡 -不平衡変換機能を有するフィルタ 装置を 3ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子をポート 1、平衡出力端子 のそれぞれをポート 2、ポート 3としたときの、振幅平衡度 = I A I 、A= I 201og (S2 1) I - I 201og (S31) I、位相平衡度 = I B-180 | 、 B= | Z S21-Z S31 |で定 義する。このような平衡度は、理想的にはフィルタの通過帯域内で振幅平衡度が Od B、位相平衡度は 0度とされる。
[0009] し力 ながら、図 37の構成においては、平衡度が悪いという問題があった。その理 由は、 IDT403と隣り合う電極指の極性力 SIDT402と IDT404とで異なっており（図 3 7の 410と 411)、これにより、平衡信号端子 408と平衡信号端子 409とにそれぞれに 入る（生じる）寄生容量、橋絡容量等が互いに異なるためである。また、隣接する IDT の電極指との相互作用による弾性表面波の励振も異なる。
[0010] 本発明の目的は、上記の問題を解決し、平衡度が改善された平衡 -不平衡変換機 能を有し、かつ平衡信号端子のインピーダンスと不平衡信号端子のインピーダンスが 相違する、例えば一方が他方の約 4倍である弾性表面波フィルタおよびそれを用い た通信機を提供することにある。
[0011] 本発明の弾性表面波フィルタは、圧電基板と、前記圧電基板に構成された縦結合 共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性表面波フィルタであって、前記縦結 合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極が 対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された 少なくとも 3つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むように弾性表面 波の伝搬方向に沿って配置された第 1 ,第 2のリフレクタとを備え、前記少なくとも 3つ の奇数のくし型電極部が、中央に位置する中央くし型電極部と、中央くし型電極部の 両側に配置された第 1，第 2のくし型電極部とを有し、前記第 1くし型電極部の前記中 央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第 2のくし型電極部の前 記中央くし型電極部と隣り合つている電極指がシグナル電極であり、中央くし型電極 部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿って 2 分割された第 1 ,第 2の分割くし歯状電極で構成されており、前記第 1 ,第 2の分割く し歯状電極は、それぞれ、第 1 ,第 2のくし型電極部に近い側に配置されており、かつ 第 1 ,第 2の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記中央くし型電極部に隣 接する第 1，第 2のくし型電極部は、不平衡信号端子に接続されており、前記中央く し型電極部において、弾性表面波の伝搬方向に対して直交する仮想中心軸を想定 したときに、仮想中心軸の両側に配置されたくし型電極部および/又はリフレクタの 設計パラメータが仮想中心軸の両側で異ならされていることを特徴としている。
[0012] 本発明に係る弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記仮想中心軸の両側 に配置されたくし型電極部および/又はリフレクタが仮想中心軸の両側で非対称に 形成されている。
[0013] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記中央くし型電極部 の 2つの最外電極指の極性がアース電極または浮き電極とされており、前記第 1のく し型電極部の少なくとも一部の電極指ピッチ力 前記第 2のくし型電極部の電極指ピ ツチよりも大きくされてレヽる。
[0014] 本発明の弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記中央くし型電極部の 2 つの最外電極指の極性が共にシグナル電極であり、前記第 2のくし型電極部の少な くとも一部の電極指ピッチが、前記第 1のくし型電極部の電極指ピッチよりも大きくさ れている。
[0015] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 1 ,第 2の分割く し歯状電極のうち、前記第 1のくし型電極部に近い第 1の分割くし歯状電極の少なく とも一部の電極指ピッチが、第 2の分割くし歯状電極の電極指ピッチよりも大きくされ ている。
[0016] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 1のくし型電極 部と前記中央くし型電極部との隣り合つている電極指中心間距離が、前記第 2くし型 電極部と前記中央くし型電極部との隣り合つている電極指中心間距離よりも大きくさ れている。
[0017] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記中央くし型電極部 の 2つの最外電極指の極性が共にアース電極または浮き電極であり、前記第 1くし型 電極部と、該第 1くし型電極部に隣り合う第 1のリフレクタとの電極指中心間距離が、 前記第 2のくし型電極部と、第 2のくし型電極部に隣り合う第 2のリフレクタとの電極指 中心間距離よりも大きくされている。
[0018] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記中央くし型電極部 の 2つの最外電極指の極性が共にシグナル電極であり、前記第 2くし型電極部と第 2 くし型電極部に隣り合う第 2のリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第 1くし型電 極部と前記第 1くし型電極部に隣り合つている第 1のリフレクタとの電極指中心間距離 よりも大きくされている。
[0019] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 1くし型電極部 の少なくとも一部の電極指のデューティー力 前記第 2くし型電極部の電極指のデュ 一ティーよりも大きくされている。
[0020] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記中央くし型電極部 の 2つの最外電極指の極性が共にアース電極または浮き電極であり、前記第 1分割く し歯状電極の電極指のデューティーが、前記第 2分割くし歯状電極の電極指のデュ 一ティーよりも大きくされている。
[0021] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記中央くし型電極部 の 2つの最外電極指が共にシグナル電極であり、前記第 2の分割くし歯状電極の電 極指のデューティーが、前記第 1の分割くし歯状電極の電極指のデューティーよりも 大きくされている。 [0022] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記少なくとも 3つの奇 数のくし型電極部が、 2つのくし型電極部が隣り合う部分において、周囲の電極指部 分に対して相対的に電極指ピッチが小さい狭ピッチ電極指部を有し、前記第 1くし型 電極部と、第 1分割くし歯状電極とが隣り合つている部分における狭ピッチ電極指部 の電極指ピッチが、前記第 2くし型電極部と、第 2分割くし歯状電極とが隣り合つてい る部分における狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも大きくされている。
[0023] 本発明の別の広い局面によれば、圧電基板と、前記圧電基板上に配置された縦結 合共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性表面波フィルタであって、前記縦 結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし歯状電極 が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って配置され た少なくとも 3つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むように弾性表 面波の伝搬方向に沿って配置された第 1 ,第 2のリフレクタとを備え、前記少なくとも 3 つの奇数のくし型電極部が、中央に位置する中央くし型電極部と、中央くし型電極部 の両側に配置された第 1 ,第 2のくし型電極部とを有し、前記第 1くし型電極部の前記 中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第 2のくし型電極部の 前記中央くし型電極部と隣り合つている電極指がシグナル電極であり、中央くし型電 極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿つ て 2分割された第 1 ,第 2の分割くし歯状電極で構成されており、前記第 1 ,第 2の分 割くし歯状電極は、それぞれ、第 1 ,第 2のくし型電極部に近い側に配置されており、 かつ第 1 ,第 2の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、前記中央くし型電極部に 隣接する第 1，第 2のくし型電極部は、不平衡信号端子に接続されており、前記第 1， 第 2のくし型電極部と、前記不平衡信号端子との間にそれぞれ接続された第 1，第 2 弾性表面波共振子をさらに備え、前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子が、それぞれ、く し型電極部と、くし型電極部の表面波伝搬方向両側に配置されたリフレクタとを有し、 前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっていることを特徴とする 弾性表面波フィルタが提供される。
[0024] 本発明に係る弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記第 1弾性表面波共 振子の少なくとも一部の電極指ピッチが、前記第 2弾性表面波共振子の電極指ピッ チよりも大きくされている。
[0025] 本発明に係る弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記第 1弾性表面波共 振子のくし型電極部の電極指ピッチと第 1弾性表面波共振子のリフレクタの電極指ピ ツチとの比が、前記第 2弾性表面波共振子におけるくし型電極部の電極指ピッチとリ フレクタの電極指ピッチとの比よりも大きくされている。
[0026] 本発明に係る弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記第 1弾性表面波共 振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第 2弾性表面 波共振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされて いる。
[0027] 本発明に係る弾性表面波フィルタのある特定の局面では、前記第 2弾性表面波共 振子の電極指のデューティーが、前記第 1弾性表面波共振子の電極指のデューティ 一よりも大きくされている。
[0028] 本発明に係る弾性表面波フィルタのさらに他の広い局面によれば、圧電基板と、前 記圧電基板上に配置された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部とを備える弾性 表面波フィルタであって、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電 極指を有する複数のくし歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表 面波の伝搬方向に沿って配置された少なくとも 3つの奇数のくし型電極部と、前記く し型電極部を挟み込むように弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第 1 ,第 2 のリフレクタとを備え、前記少なくとも 3つの奇数のくし型電極部力 中央に位置する 中央くし型電極部と、中央くし型電極部の両側に配置された第 1,第 2のくし型電極 部とを有し、前記第 1くし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がァー ス電極であり、前記第 2のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合つている電 極指がシグナル電極であり、中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯 状電極は、弾性表面波の伝搬方向に沿って 2分割された第 1，第 2の分割くし歯状電 極で構成されており、前記第 1 ,第 2の分割くし歯状電極は、それぞれ、第 1 ,第 2のく し型電極部に近い側に配置されており、かつ第 1，第 2の平衡信号端子にそれぞれ 接続されており、前記中央くし型電極部に隣接する第 1 ,第 2のくし型電極部は、不 平衡信号端子に接続されており、前記第 1，第 2分割くし歯状電極と前記第 1 ,第 2の 平衡信号端子との間にそれぞれ接続された第 1，第 2弾性表面波共振子をさらに備 え、前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子が、それぞれ、くし型電極部と、くし型電極部の 表面波伝搬方向両側に配置されたリフレクタとを有し、前記第 1 ,第 2弾性表面波共 振子の設計パラメータが異なっていることを特徴とする弾性表面波フィルタが提供さ れる。
[0029] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 1弾性表面波共 振子の少なくとも一部の電極指ピッチが、前記第 2弾性表面波共振子の電極指ピッ チよりも大きくされている。
[0030] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 1弾性表面波共 振子におけるくし型電極部の電極指ピッチとリフレクタの電極指ピッチとの比力 前記 第 2弾性表面波共振子におけるくし型電極部の電極指ピッチとリフレクタの電極指ピ ツチとの比よりも大きくされている。
[0031] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 1弾性表面波共 振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心間距離が、前記第 2弾性表面 波共振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされて いる。
[0032] 本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第 2弾性表面波共 振子の電極指のデューティーが、前記第 1弾性表面波共振子のデューティーよりも 大きくされている。
[0033] 本発明に係る弾性表面波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記縦結合共振 子型弾性表面波フィルタ部に対しカスケード接続された第 2の縦結合共振子型弾性 表面波フィルタ部がさらに備えられている。
[0034] 本発明に係る弾性表面波フィルタのより限定的な局面では、前記第 2の縦結合共 振子型弾性表面波フィルタ部が、中央くし型電極部と、中央くし型電極部の両側に 配置された第 1 ,第 2のくし型電極部とを有し、中央くし型電極部の電極指の本数が 偶数本である。
[0035] 本発明に係る弾性表面波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記第 2の縦結 合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 1のくし型電極部と、前記縦結合共振子型弹 性表面波フィルタ部の第 1または第 2のくし型電極部とを電気的に接続している第 1 のシグナルラインと、前記第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 2のくし 型電極部と、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 2または第 1のくし型電 極部とを接続している第 2のシグナルラインとを備え、前記第 1，第 2のシグナルライン を伝送する信号の位相が約 180度異なってレ、る。
[0036] 本発明に係る通信機は、本発明に従って構成された弾性表面波フィルタを備えるこ とを特徴とする。
[0037] 本発明の弾性表面波フィルタは、以上のように、圧電基板に、弾性表面波の伝搬 方向に沿って配置された、少なくとも 3つの奇数個の IDTと、少なくとも 3つの IDTが 配置されている部分を挟む第 1 ,第 2のリフレクタとを備え、少なくとも 3つの奇数個の I DTのうち、中央に位置する中央 IDTの一方のくし歯状電極にて、弾性表面波の伝 搬方向に沿って互いに略対称に 2分割してなる第 1，第 2分割くし歯状電極を有して いる、平衡 -不平衡変換機能を発揮する弾性表面波装置において、前記 IDTおよび リフレクタの少なくとも一方の設計パラメータを、前記第 1 ,第 2分割くし歯状電極の間 に表面波伝搬方向と直交する方向に想定した仮想中心軸を間に挟む、一方領域と 他方領域とで異ならせた構成である。
[0038] 上記構成においては、 2分割してなる第 1，第 2分割くし歯状電極を設けたことによ つて、平衡ー不平衡変換機能を有し、かつ平衡信号端子のインピーダンスが、不平 衡信号端子のインピーダンスと相違する、例えば不平衡信号端子のインピーダンス の約 4倍である弾性表面波フィルタが得られる。
[0039] また、上記構成によれば、前記 IDTおよびリフレクタの少なくとも一方の設計パラメ ータを、前記仮想中心軸を間に挟む一方の領域と他方の領域との間で異ならせたこ とにより、振幅平衡度や位相平衡度といった平衡度を改善できる。
[0040] 本発明の他の弾性表面波フィルタでは、以上のように、圧電基板上に弾性表面波 の伝搬方向に沿って配置された、少なくとも 3つの奇数個の IDTを備え、該各 IDTの 中央 IDTの一方のくし歯状電極にて、弾性表面波の伝搬方向に沿って互いに略対 称に 2分割してなる第 1 ,第 2分割くし歯状電極により平衡ー不平衡変換機能を発揮 する構造において、前記中央 IDTと異なる第 1 ,第 2の IDTと、不平衡信号端子との 間にそれぞれ接続された第 1 ,第 2の弾性表面波共振子とを備え、前記第 1，第 2の 弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっている。
[0041] 本発明のさらに他の弾性表面波フィルタでは、以上のように、前記中央 IDTと異な る第 1，第 2の IDTと、不平衡信号端子との間にそれぞれ接続された第 1，第 2の弾性 表面波共振子に代えて、前記第 1，第 2の分割くし歯状電極と第 1，第 2の平衡信号 端子との間にそれぞれ接続された第 1，第 2の弾性表面波共振子を備え、前記第 1 , 第 2の弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっている。
[0042] 上記構成によれば、前記第 1 ,第 2の弾性表面波共振子の設計パラメータを異なら せたことにより、振幅平衡度や位相平衡度といった平衡度を改善できる。
図面の簡単な説明
[0043] [図 1]図 1は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第一形態の電極構成を示す 概略構成図である。
[図 2]図 2は上記電極構成における電極指ピッチを説明する要部構成図である。
[図 3]図 3は上記実施の第一形態におけるパッケージの裏面端子を示す平面図であ る。
[図 4]図 4は上記実施の第一形態のデバイス構造を示す概略断面図である。
[図 5]図 5は上記実施の第一形態と第一従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ示 すグラフである。
[図 6]図 6は上記第一従来例と第一比較例との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグ ラフである。
[図 7]図 7は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第二形態の電極構成を示す 概略構成図である。
[図 8]図 8は上記実施の第二形態と第二従来例との振幅平衡度の結果をそれぞれ示 すグラフである。
[図 9]図 9は従来例の弾性表面波フィルタに係る電極構成を示す概略構成図である。
[図 10]図 10は上記の実施の第一および第二の各形態における、別のパッケージの 裏面端子を示す平面図である。
[図 11]図 11は上記実施の第一および第二の各形態における、別のデバイス構造を 示す概略断面図である。
[図 12]図 12は上記実施の第一および第二の各形態における、さらに別のデバイス構 造を示す概略断面図である。
[図 13]図 13は上記実施の第一および第二の各形態における、一変形例の概略構成 図である。
[図 14]図 14は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第三形態と第一従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 15]図 15は上記実施の第三形態の一変形例と第一従来例との振幅平衡度の結 果をそれぞれ示すグラフである。
[図 16]図 16は上記弾性表面波フィルタにおける、 2つの IDT間の最外電極指の電極 指中心間距離を説明するための概略構成図である。
[図 17]図 17は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第四形態と第一従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 18]図 18は上記実施の第四形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結 果をそれぞれ示すグラフである。
[図 19]図 19は上記弾性表面波フィルタにおける、 IDTとリフレクタの最外電極指の電 極指中心間距離を説明するための要部構成図である。
[図 20]図 20は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第五形態と第一従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 21]図 21は上記実施の第五形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結 果をそれぞれ示すグラフである。
[図 22]図 22は上記弾性表面波フィルタにおける、 dutyを説明するための要部構成 図である。
[図 23]図 23は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第六形態と第一従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 24]図 24は上記実施の第六形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結 果をそれぞれ示すグラフである。
[図 25]図 25は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第七形態と第一従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 26]図 26は上記実施の第七形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結 果をそれぞれ示すグラフである。
[図 27]図 27は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第八形態と第一従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 28]図 28は上記実施の第八形態の一変形例と第二従来例との振幅平衡度の結 果をそれぞれ示すグラフである。
[図 29]図 29は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第九形態の電極構成を示 す概略構成図である。
[図 30]図 30は上記実施の第九形態と第三従来例との位相平衡度の結果をそれぞれ 示すグラフである。
[図 31]図 31は上記実施の第九形態における、別の電極構成を示す概略構成図であ る。
[図 32]図 32は上記実施の第九形態における、さらに別の電極構成を示す概略構成 図である。
[図 33]図 33は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第十形態と第三従来例と の位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 34]図 34は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第十一形態と第三従来例 との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 35]図 35は本発明の弾性表面波フィルタに係る実施の第十二形態と第三従来例 との位相平衡度の結果をそれぞれ示すグラフである。
[図 36]図 36は本発明の弾性表面波フィルタであって、図 1に示した縦結合共振子型 弾性表面波フィルタに第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部がカスケード接 続されている弾性表面波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
[図 37]図 37は従来例の弾性表面波フィルタの電極構成を示す概略構成図である。 符号の説明
501：縦結合共振子型弾性表面波フィルタ（縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 部） 503、 504、 505 : IDT (くし型電極部）
516、 517 :分割くし歯状電極
A：仮想中心軸
発明を実施するための最良の形態
[0045] 本発明の実施の各形態について図 1ないし図 35に基づいて説明すれば、以下の 通りである。
[0046] (実施の第一形態）
図 1ないし図 4を用いて、本発明に係る弾性表面波フィルタの実施の第一形態の構 成を説明する。なお、以後の実施の各形態では、 DCS受信用フィルタを例にとって 説明を行っていく。まず、図 1を用いて、実施の第一形態の電極構成について説明 する。
[0047] 実施の第一形態では、 40 ± 5° YcutX伝搬 LiTaOからなる圧電基板（図示せず）
3
上に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501、および縦結合共振子型弾性表面 波フィルタ部 501に直列に接続された弾性表面波共振子 502が、アルミニウム (A1) 電極により形成されている。
[0048] 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501の構成は、 IDT (中央 IDT) 504を弾性 表面波の伝搬方向に沿った方向の両側からそれぞれ挟み込むように、第 1 ,第 2の I DT503、 505が形成されている。また、 IDT503— 505の配置されている領域の両 側に各リフレクタ 506、 507がそれぞれ形成されている。
[0049] IDTは、帯状の基端部（バスバー）と、その基端部の一方の側部から直交する方向 に延びる複数の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた、くし歯状電極を 2つ備えて おり、上記各くし歯状電極の電極指の側部を互いに対面するように互いの電極指間 に入り組んだ状態にて上記各くし歯状電極を有するものである。
[0050] よって、 IDTでは、 2つのくし歯状電極に対し各基端部（バスバー）を介して入力電 気信号に基づく電位差が生じると、その部分の圧電基板の表面上に弾性表面波が 発生し、その弾性表面波は各電極指の幅方向（各電極指の長手方向に対し直交す る方向）の双方向に圧電基板の表面上を伝搬する。
[0051] 一方、電気信号が入力されていない IDTでは、伝搬してきた弾性表面波により圧電 基板の表面上に発生した電位差を各電極指によって検出し、出力電気信号に変換 して出力できる。
[0052] このような IDTでは、各電極指の長さや幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極 指間での入り組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定することにより 信号変換特性や、通過帯域の設定が可能となっている。
[0053] 前記各リフレクタは、互いに略平行に配置された一対の帯状の各基端部（バスバー )と、それら各基端部の側部から直交する方向に延びて互いにつながっている、複数 の、互いに平行な帯状の電極指とを備えている。各リフレクタは、それらの電極指を 各 IDTの各電極指と略平行に、かつ、弾性表面波の伝搬方向に沿って配置すること により、伝搬してきた弾性表面波をその伝搬方向に向かって反射することができるも のである。
[0054] 図 1を見るとわ力るように、 IDT503と IDT504の隣り合ってレ、る部分、および IDT5 04と IDT505との隣り合ってレヽる部分では、数本の電極指のピッチ力 IDTの他の部 分よりも小さく設定されている（図 1の参照番号 514、 515で示す箇所)。
[0055] IDT504は、その一方のくし歯状電極が弾性表面波の伝搬方向に沿った方向にて 、互いにほぼ等しく 2分割された第 1,第 2の分割くし歯状電極 516、 517をそれぞれ 互いに隣り合って有している。第 1の分割くし歯状電極 516は第 1の平衡信号端子 5 12に接続されている。第 2の分割くし歯状電極 517は第 2の平衡信号端子 513に接 続されている。
[0056] 前記弾性表面波共振子 502には、 IDT508を両側（弾性表面波の伝搬方向に沿 つた両側）から挟み込むように各リフレクタ 509、 510がそれぞれ形成されている。 ID T508の一方のくし歯状電極が不平衡信号端子 511に接続されている一方、 IDT50 8の他方のくし歯状電極が各 IDT503、 505に接続されていることにより、弾性表面 波共振子 502は、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501に直列に接続さ れていることになる。
[0057] 図 3に実施の第一形態の、ノ ノケージの裏面端子を示す（デバイスの上面から見た 透視図で示している）。裏面端子 601が弾性表面波共振子 502に接続される不平衡 信号端子、各裏面端子 602、 603がそれぞれ分割くし歯状電極 516、 517に接続さ れる平衡信号端子、各裏面端子 604、 605がアース端子である。
[0058] 実施の第一形態の弾性表面波フィルタは、図 4に示すように圧電基板 705の電極 面とパッケージのダイアタッチ面 703の間をバンプ 706で導通を取るフェイスダウンェ 法を用いて作製されている。パッケージは、底板 701と側壁部 702とキャップ 704とを 有している。
[0059] 実施の第一形態の特徴は図 1において、 IDT503と IDT505との各電極指ピッチ（ 図 2において Bで示した距離）が互いに異ならされていることである。このとき、 IDT50 3の電極指ピッチの方力 IDT505の電極指ピッチより 0. 001 z m大きくなるように設 定されている。
[0060] また、このとき、 IDT504における、各 IDT503、 505と隣り合つている電極指は中 性点電極（浮き電極でもアース電極でもよレ、）であり、 IDT504と隣り合つている IDT5 03の電極指はアース電極であり、 IDT504と隣り合つている IDT505の電極指はシ グナル電極となっている。
[0061] さらに実施の第一形態では、 IDT503と IDT505とでピッチを互いに異ならせた点 以外は、図 1に示した 2分割した IDT504の第 1の分割くし歯状電極 516と第 2の分 割くし歯状電極 517との間の中間を中心に、弾性表面波の伝搬方向に対して垂直方 向に延びるように仮想的に設けた仮想中心軸 Aに対して、圧電基板上のレイアウト（ 各電極のレイアウト）、パッケージの全て（例えば各裏面端子のレイアウト、図 3参照） が互いに軸対称になるようにしている。
[0062] これにより、 IDT504と隣り合う電極指の極十生力 SIDT503と IDT505とで互レヽに異な つてレ、る点以外の不平後 Ϊ成分が入らなレヽ（発生しなレ、）ようにしてレ、る。
[0063] 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501の詳細な設計は、ピッチを小さくしてレ、 ない電極指のピッチで決まる波長を λ Iとすると、以下のとおりである。
交叉幅： 69. 7 λ Ι
IDT本数（503、 504、 505の順） 17 (3) / (3) 26 (3) / (3) 17本（カツコ内はピッ チを小さくした電極指の本数、カツコ外はそれ以外の電極指の本数）
リフレクタ本数：200本
duty : 0. 72 (IDT,リフレクタ共） 電極膜厚：0. 095 λ ΐ
弾性表面波共振子 502の詳細な設計は、以下のとおりである。
交叉幅： 42. 7 λ Ι
IDT本数： 145本
リフレクタ本数：100本
duty: 0. 72
電極膜厚： 0. 097 λ Ι
次に、本実施の第一形態の作用'効果について説明する。図 5に、実施の第一形 態の構成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、 IDT503と IDT505と の電極指ピッチを同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図 5に合 わせて示す。第一従来例は、 IDT503と IDT505との電極指ピッチを同じにした以外 は、実施の第一形態の構成と弾性表面波フィルタの設計、圧電基板上のレイアウト、 パッケージの実装方法等、すべて同じである。 DCS受信用フィルタの通過帯域は、 1 805MHzなレヽし 1880MHzである。
[0064] この範囲における位相平衡度は図 5によると、第一従来例では、最大約 9度である のに対し、実施の第一形態では最大約 8度と、約 1度位相平衡度が改善されている。 これは、平衡信号端子 512と平衡信号端子 513との間の位相のずれを、第 1IDT50 3と第 2IDT505の電極指ピッチを異ならせることで補正した効果である。
[0065] 実施の第一形態では、 IDT505に対して IDT503の電極指ピッチが大きくなるよう に設定した。次に、これとは逆に、 IDT503に対して IDT505の電極指ピッチが大きく なるようにした場合（第一比較例）の位相平衡度の結果を調査した。図 6に、その場合 の位相平衡度の結果を一点鎖線にて示す。比較として、第一従来例の位相平衡度 の結果も、破線にて図 6に合わせて示す。この場合、第一比較例は、第一従来例より も位相平衡度が悪化している。どちらの平衡信号端子の対地容量を大きくするかは、 各 IDT503なレ、し 505の、隣り合う電極指の並び方で決まる。
[0066] 実施の第一形態の場合は、 IDT504の各 IDT503、 505と隣り合ってレ、る電極指（ 最外電極指）は中性点電極（アース電極）であり、 IDT504と隣り合つている IDT503 の電極指はアース電極である。このような電極指の並びの場合、実施の第一形態の ように IDT503の電極指ピッチを IDT505より大きく設定することで、平衡信号端子間 の平衡度の結果を改善することができる。
[0067] (実施の第二形態）
次 ίこ、図 7のよう (こ、中央くし型電極 である ID丁 804の第 1 ,第 2の ID丁 803、 805 と隣り合つている電極指 (最外電極指）がシグナル電極である場合を実施の第二形態 として調査した。図 8に、図 7の構成において、 IDT804と隣り合う電極指がシグナル 電極である第 2の IDT805の電極指ピッチを、 IDT804と隣り合う電極指がアース電 極である第 1の IDT803より 0. 001 μ m大きくした実施の第二形態の振幅平衡度の 結果を実線にて示す。また比較として、 IDT803と IDT805との各電極指ピッチを同 じとした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図 8に合わせて示す。第二従 来例は、 IDT803と IDT805との各電極指ピッチを互いに同じにした以外は、実施の 第二形態の構成と弾性表面波フィルタの設計、圧電基板上のレイアウト、パッケージ の実装方法等、すべて同じである。
[0068] 図 8を見ると、実施の第二形態の方が第二従来例よりも振幅平衡度が約 0. 2dB改 善されてレヽること力 Sわ力る。つまり IDT804における、各 IDT803、 805と |$り合って レ、る電極指がシグナル電極である場合は、 IDT804と隣り合う電極指がシグナル電 極である IDT805の電極指ピッチを、 IDT804と隣り合う電極指がアース電極である I DT803より大きくすることで、平衡信号端子間の平衡度が改善されると言える。
[0069] 本発明は仮想中心軸 Aに対して左右 (仮想中心軸 Aを挟んで分けられる各領域） の設計パラメータを互いに異ならせることで平衡度の結果を改善している力 図 9で 示すように、中央に位置する IDT205の両端から信号を取り出すことで平衡 -不平衡 変換機能を備えるようにした弾性表面波フィルタにおいて、仮想中心軸 222に対して 左右の設計パラメータを互いに異ならせるという構成力 特開 2003—046369号公 報に記載されている。
[0070] 上記公報に記載の発明の構成は、平衡ー不平衡変換機能を有する弾性表面波フ ィルタにおいて左右で設計パラメータを異ならせるという点で本発明と一致している が、図 9に示すように、図 1に示すような中性点を有さず、かつ 1つの IDTの両端 (各く し歯状電極の双方から）から平衡信号をそれぞれ取り出す構成としてレ、る。 [0071] このため、上記公報の構成では、左右で設計パラメータを異ならせることで起こる I DT204力ら IDT205へ、 IDT206から IDT205へ伝搬する弾性表面波が非対称と なることは平衡度にはまったく影響しない。
[0072] 上記公報の構成においては、左右で設計パラメータを異ならせることで IDT204と I DT205、 IDT205と IDT206とが隣り合う箇所で容量が非対称となり、これにより、各 平衡信号端子 210、 211への寄生容量が変わることのみ、平衡度に影響する。
[0073] これに対し、本発明の構成は、図 1において IDT504を弾性表面波の伝搬方向に 2 分割し、かつ平衡信号端子を接続していない側の電極指をアースに落としているた め、平衡信号端子 512に接続されてレ、る電極指と平衡信号端子 513に接続されてレ、 る電極指は、別の IDTと考えることができる。このため、左右非対称設計を行うことで I DT503と IDT504、 IDT504と IDT505が隣り合う箇所で容量が非対称となる以外 に、 IDT503力 IDT504へ、 IDT505から IDT504へ伝搬する弾性表面波が非対 称となることも平衡度に影響することになる。
[0074] 以上のように、本発明は、 IDT504を弾性表面波の伝搬方向に 2分割して、平衡一 不平衡変換機能を持たせた弾性表面波フィルタにおいて、特開 2003-046369号 公報の発明とは別の作用 ·効果を利用して、平衡度の結果を改善するものである。
[0075] 以上説明したように、実施の第一および第二の各形態では、圧電基板上に弾性表 面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも 3つの奇数個のくし型電極部すなわ ち IDTを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを有し、奇数個の IDTのうち中 央に位置する IDTの一方のくし歯状電極を弾性表面波の伝搬方向に 2分割し、中央 に位置する IDTの左右に隣接する IDTの極性を反転させることで平衡-不平衡変換 機能を持たせた弾性表面波フィルタにおレ、て、左右の IDTの電極指ピッチを異なら せることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度の結果を改善すること ができる。
[0076] また、実施の第一形態では、余計な不平衡成分をなくすために、左右の IDTの電 極指ピッチを異ならせる以外は、圧電基板上のレイアウト、パッケージ等は同じになる ようにした。そのため、パッケージの裏面端子の数が 5つの場合の例を示した力 本 発明はこのようなパッケージに限らず、中央 IDTの第 1 ,第 2の分割くし歯状電極の間 を中心に弾性表面波の伝搬方向に垂直に引レ、た仮想中心軸 Aに対して軸対称にで きるパッケージであれば、どのようなパッケージを用いてもよい。
[0077] 例えば、図 10のように 6つの端子を有するパッケージの場合、端子 901を不平衡信 号端子、各端子 902、 903を平衡信号端子とし、各端子 904ないし 906をアース端 子とすることで、仮想中心軸 Aに対して軸対称とすることができる。また実施の第一お よび第二の各形態では図 4のように、フェイスダウン工法でパッケージと圧電基板の 導通を取る方法で弾性表面波フィルタを作製したが、これはワイヤボンド工法であつ ても問題はない。
[0078] またフェイスダウン工法で作製する構成としては図 4の構成に限らず、例えば、図 1 1のように集合基板 1001上に圧電基板 1002をフリップチップ工法で接合し、その上 に樹脂 1003を覆って封止して、ダイシングにより 1パッケージ単位に切断してなる構 成、図 12のように同じく集合基板 1101上に圧電基板 1102をフリップチップ工法で 接合し、その上にシート状の榭脂材 1103を覆って封止して、ダイシングにより 1パッ ケージ単位に切断してなる構成で、弾性表面波フィルタが作製されてレ、てもよレ、。
[0079] 実施の第一および第二の各形態では、 3つの IDTを有する縦結合共振子型弾性 表面波フィルタ部に弾性表面波共振子を直列接続した構成を示したが、弾性表面波 共振子が接続されていない構成や、さらには弾性表面波共振子が並列接続された 構成においても、同様な効果が得られる。また、図 13のように、 5つの IDTを設けた 構成であってもよい。
[0080] また、図 36に示すように、図 1に示す縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501に 、第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 551をカスケード接続した構成であつ てもよい。
第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 551は、縦結合共振子型弾性表面 波フィルタ部 501の前段にカスケード接続されている。ここで、第 2の縦結合共振子 型弾性表面波フィルタ部 551は、 3個の IDT552 554と、 IDT552 554力 S設けら れている領域の表面波伝搬方向両側に設けられた反射器 555, 556とを有する。中 央の IDT553が不平衡端子 511に電気的に接続されている。 IDT553の両側の ID T552, 554力 それぞれ、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 551の IDT503, 505に接続されている。この場合、第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 551 の中央部に位置する IDT553は、総電極指本数が偶数本であることが望ましい。ま た、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501と第 2の縦結合共振子型弾性表面 波フィルタ部を接続している各シグナルラインを伝送する各信号の位相が互いに約 1 80度異なるように、各 IDTの向きを調整しておくことが望ましい。上記の構成にするこ とで、さらに平衡度の優れた弾性表面波フィルタが得られる。
[0081] また、実施の第一および第二の各形態では、 IDT503 (803)と IDT505 (805)の ピッチをすベて異ならせたが、一部のピッチのみを異ならせてもよい。実施の第一お よび第二の各形態では、 40± 5° YcutX伝搬 LiTaO基板を用いたが、効果が得ら
3
れる原理からもわかるとおり、本発明はこの基板に限らず、 64° 72° YcutX伝搬
LiNbO、 41° YcutX伝搬 LiNbOなどの基板でも同様な効果が得られる。上記効
3 3
果は、以下の他の形態でも同様である。
[0082] (実施の第三形態）
実施の第三形態の構成は、基本的な構成は実施の第一形態と同じであるが、実施 の第三形態では図 1において、 IDT504の 2分割した各分割くし歯状電極 516、 517 のうち、 IDT504に隣り合う電極指がアース電極である IDT503に近い側に位置する 分割くし歯状電極 516の電極指ピッチを、 IDT504に隣り合う電極指がシグナル電極 である IDT505に近い側に位置する分割くし歯状電極 517よりも 0. 001 /i m大きくし ている。
[0083] 続いて、本実施の第三形態の構成における作用'効果として、図 14に実施の第三 形態の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、各分割くし歯状電極 516、 5 17の電極指ピッチを互いに同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線に て図 14に合わせて示す。実施の第三形態では、第一従来例に対して、位相平衡度 が改善していることがわかる。
[0084] 次に、図 7の構成において、 IDT804の 2分割した第 1 ,第 2分割くし歯状電極 816 、 817のうち、 IDT804に隣り合う電極旨力 Sアース電極である第 1の IDT803に近レヽ 側に位置する第 1分割くし歯状電極 816の電極指ピッチを、 IDT804に隣り合う電極 指がシグナル電極である第 2の IDT805に近い側に位置する第 2の分割くし歯状電 極 817よりも 0. 001 μ ΐη大きくした場合 (一変形例）の振幅平衡度の結果を図 15に 二点鎖線にて示す。比較として、第 1 ,第 2の分割くし歯状電極 816、 817の電極指 ピッチを互いに同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図 15に合 わせて示す。
[0085] 実施の第三形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善している ことがわかる。すなわち、実施の第三形態のように 2分割したくし歯状電極のピッチを 異ならせる場合は、 2分割した分割くし歯状電極の左右 IDTに隣り合う電極指の極性 を問わず、 2分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となる IDTに 近い側に位置する IDTの電極指ピッチを大きくすることで、弾性表面波フィルタの平 衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
[0086] また、実施の第三形態では、第 1の分割くし歯状電極 516 (816)と第 2の分割くし 歯状電極 517 (817)のピッチをすベての部分で異ならせた力 一部においてのみピ ツチを異ならせてもよい。
[0087] (実施の第四形態）
本発明に係る実施の第四形態の構成は、基本的な構成は実施の第一形態と同じ であるが、実施の第四形態では図 1において、 IDT504と IDT504に隣り合う電極指 がアース電極である第 1の IDT503の最外電極指の電極指中心間距離（図 16の Cで 示す距離）を、 IDT504と IDT504に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の ID T505の最外電極指の電極指中心間距離より 0. 002 λ Ι ( λ I : IDTの電極指ピッチ で決まる波長）大きくしている。
[0088] 次に、本実施の第四形態の作用 ·効果として、図 17に、実施の第四形態の構成の 位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、 IDT504と IDT503の最外電極指 の電極指中心間距離と IDT504と IDT505の最外電極指の電極指中心間距離を同 じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図 17に合わせて示す。実施 の第四形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
[0089] 次に、図 7の構成において、 IDT804と IDT804に隣り合う電極指がアース電極で ある第 1の IDT803の最外電極指の電極指中心間距離を、 IDT804と IDT804に隣 り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT805の最外電極指の電極指中心間距 離より 0. 002 λ I大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果を図 18に二点鎖 線にて示す。比較として、 IDT804と IDT803の最外電極指の電極指中心間距離と I DT804と IDT805の最外電極指の電極指中心間距離を同じにした、第二従来例の 振幅平衡度の結果を破線にて図 18に合わせて示す。
[0090] 実施の第四形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善している ことがわかる。すなわち、実施の第四形態のように 2分割した分割くし歯状電極と左右 の IDTとの最外電極指の電極指中心間距離を異ならせる場合は、 2分割した分割く し歯状電極の左右 IDTに隣り合う電極指の極性を問わず、 2分割した分割くし歯状 電極に隣り合う電極指がアース電極となる IDTに近い側に位置する IDTと 2分割した 分割くし歯状電極の最外電極指の電極指中心間距離を大きくすることで、弾性表面 波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
[0091] (実施の第五形態）
本発明に係る実施の第五形態の構成は、基本的な構成は実施の第一形態と同じ であるが、実施の第五形態では図 1において、 IDT504と IDT504に隣り合う電極指 がアース電極である第 1の IDT503と第 1のリフレクタ 506の最外電極指の電極指中 心間距離（図 19の Dで示した距離）を、 IDT504と IDT504に隣り合う電極指力 Sシグ ナル電極である第 2の IDT505と第 2のリフレクタ 507の最外電極指の電極指中心間 足巨離より 0. 01 λ ΐ大きくしてレヽる。
[0092] 以下に、本実施の第五形態の作用'効果として、図 20に、実施の第五形態の構成 の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、 IDT503とリフレクタ 506の最外 電極指の電極指中心間距離と、 IDT505とリフレクタ 507の最外電極指の電極指中 心問距離を同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図 20に合わせ て示す。実施の第五形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改善しているこ とがわかる。
[0093] 次に、図 7の構成において、 IDT804に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2 の IDT805と第 2のリフレクタ 807の最外電極指の電極指中心間距離を、第 1の IDT 803と第 1のリフレクタ 806の最外電極指の電極指中心問距離より 0. 01 λ ΐ大きくし た場合 (一変形例）の振幅平衡度の結果を、図 21に二点鎖線にて示す。比較として 、 IDT803とリフレクタ 806の最外電極指の電極指中心間距離と、 IDT805とリフレタ タ 807の最外電極指の電極指中心間距離を同じにした、第二従来例の振幅平衡度 の結果を破線にて図 21に合わせて示す。
[0094] 実施の第五形態の変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善しているこ とがわかる。すなわち、実施の第五形態のように左右 IDTとリフレクタの最外電極指 の電極指中心間距離を異ならせる場合は、 2分割した分割くし歯状電極の左右 IDT に隣り合う電極指が中性点電極である場合は 2分割した分割くし歯状電極に隣り合う 電極指がアース電極である IDTとリフレクタの間隔を、 2分割した分割くし歯状電極の 左右 IDTに隣り合う電極指がシグナル電極である場合は 2分割した分割くし歯状電 極に隣り合う電極指がシグナル電極である IDTとリフレクタの間隔を反対側に対して 大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することが できる。
[0095] (実施の第六形態）
本発明に係る実施の第六形態の構成は、基本的な構成については実施の第一形 態と同じである力 実施の第六形態では図 1において、 IDT504に隣り合う電極指が アース電極である第 1の IDT503の電極指の duty (図 22の F/E)を、 IDT504に隣 り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT505の電極指の dutyより 0. 04大きく している。
[0096] 以下に、本実施の第六形態の作用'効果として、図 23に、実施の第六形態の構成 の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、 IDT503の電極指の dutyと IDT 505の電極指の dutyを同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図 23に合わせて示す。実施の第六形態では、第一従来例に対して、位相平衡度が改 善していることがわかる。
[0097] 次に、図 7の構成において、 IDT804に隣り合う電極指がアース電極である第 1の I DT803の電極指の dutyを、 IDT804に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT805の電極指の dutyより 0. 04大きくした場合（一変形例）の振幅平衡度の結果 を図 24に二点鎖線にて示す。比較として、 IDT803の電極指の dutyと IDT805の電 極指の dutyを同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図 24に合わ せて示す。
[0098] 実施の第六形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善している ことがわかる。すなわち、実施の第六形態のように左右の電極指の dutyを異ならせる 場合は、 2分割した分割くし歯状電極の左右 IDTに隣り合う電極指の極性を問わず、 2分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となる IDTに近い側に位 置する IDTの電極指の dutyを大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端 子間の平衡度を改善することができる。また、実施の第六形態では IDT503 (803)と IDT505 (805)の dutyをすベて異ならせた力 一部の dutyのみを異ならせてもよレヽ
[0099] (実施の第七形態）
本発明に係る実施の第七形態の構成は、基本的な構成については実施の第一形 態と同じである力 実施の第七形態では図 1において、 IDT504の 2分割した各分割 くし歯状電極 516、 517のうち、 IDT504に隣り合う電極指がアース電極である第 1の IDT503に近い側に位置する第 1の分割くし歯状電極 516の電極指の dutyを、 IDT 504に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT505に近い側に位置する第 2 の分割くし歯状電極 517の電極指の dutyよりも 0. 04大きくしてレヽる。
[0100] 以下に、本実施の第七形態の作用'効果として、図 25に、実施の第七形態の構成 の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、分割くし歯状電極 516の電極指 の dutyと、分割くし歯状電極 517の電極指の dutyを同じにした、第一従来例の位相 平衡度の結果を破線にて図 25に合わせて示す。実施の第七形態では第一従来例 に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
[0101] 次に、図 7の構成において、 IDT804の 2分割した分割くし歯状電極のうち、 IDT8 04に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT805に近い側に位置する第 2 の分割くし歯状電極 817の電極指の dutyを、 IDT804に隣り合う電極指がアース電 極である第 1の IDT803に近い側に位置する第 1の分割くし歯状電極 816の電極指 の dutyよりも 0. 04大きくした場合 (一変形例）の振幅平衡度の結果を図 26に二点鎖 線にて示す。比較として、分割くし歯状電極 816の電極指の dutyと、分割くし歯状電 極 817の電極指の dutyを同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて 図 26に合わせて示す。
[0102] 実施の第七形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善している ことがわかる。すなわち、実施の第七形態のように 2分割した各分割くし歯状電極の d utyを互いに異ならせる場合は、 2分割した分割くし歯状電極の左右 IDTに隣り合う 電極指が中性点電極である場合は 2分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指が アース電極である IDTに近い側に位置するくし歯状電極を、 2分割した分割くし歯状 電極の左右 IDTに隣り合う電極指がシグナル電極である場合は 2分割したくし歯状 電極に隣り合う電極指がシグナル電極である IDTに近い側に位置する分割くし歯状 電極の dutyを反対側の分割くし歯状電極に対して大きくすることで、弾性表面波フィ ルタの平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。また、実施の第七形態で は分割くし歯状電極 516 (816)と分割くし歯状電極 517 (817)の dutyをすベて異な らせたが、一部の dutyのみを異ならせてもよい。
[0103] (実施の第八形態）
本発明に係る実施の第八形態の構成は、基本的な構成については実施の第一形 態と同じである力 実施の第八形態では図 1において、 IDT504に隣り合う電極指が アース電極である第 1の IDT503と IDT504とが隣り合う箇所の狭ピッチ電極指のピ ツチを、 IDT504に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT505と IDT504と が隣り合う箇所の狭ピッチ電極指のピッチよりも 0. 004 λ ΐ大きくしている。
[0104] 以下に、本実施の第八形態の作用'効果として、図 27に、実施の第八形態の構成 の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、 IDT503と IDT504との間の狭 ピッチ電極指部のピッチと、 IDT505と IDT504の問の狭ピッチ電極指部のピッチを 同じにした、第一従来例の位相平衡度の結果を破線にて図 27に合わせて示す。実 施の第八形態では第一従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
[0105] 次に図 7の構成において、 IDT804に隣り合う電極指がアース電極である第 1の ID T803と IDT804とが隣り合う箇所における狭ピッチ電極指のピッチを、 IDT804に隣 り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT805と IDT804とが隣り合う箇所にお ける狭ピッチ電極指部のピッチより 0. 004 λ I大きくした場合 (一変形例）の振幅平衡 度の結果を図 28に二点鎖線にて示す。比較として、 IDT803と IDT804との間の狭 ピッチ電極指部のピッチと、 IDT805と IDT804の間の狭ピッチ電極指部のピッチを 同じにした、第二従来例の振幅平衡度の結果を破線にて図 28に合わせて示す。
[0106] 実施の第八形態の一変形例の方が第二従来例よりも、振幅平衡度が改善している ことがわかる。すなわち、実施の第八形態のように狭ピッチ電極指のピッチを左右で 異ならせる場合は、 2分割した分割くし歯状電極の左右 IDTに隣り合う電極指の極性 を問わず、 2分割した分割くし歯状電極に隣り合う電極指がアース電極となる IDTに 近い側に位置する分割くし歯状電極と、 2分割した分割くし歯状電極が隣り合う箇所 の狭ピッチ電極指のピッチを大きくすることで、弾性表面波フィルタの平衡信号端子 間の平衡度を改善することができる。
[0107] (実施の第九形態）
本発明に係る、実施の第九形態の構成を図 29に示す。実施の第九形態の構成は 、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 501の構成は実施の第一形態と同じである 、さらに弾性表面波共振子を 2つ設け、各 IDT503、 505にそれぞれ接続している 。その際、 IDT504に隣り合う電極指がアース電極である第 1の IDT503に接続して レ、る弾性表面波共振子 502Aの IDT、およびリフレクタの電極指ピッチを、 IDT504 に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT505に接続している弾性表面波 共振子 502Bより 0. 004え（え：弾性表面波共振子の電極指ピッチで決まる波長）大 きくしている。弾性表面波共振子 502Aと 502Bの設計は、電極指ピッチを互いに異 ならせてレ、る以外はすべて同じである。
[0108] 以下に本実施の第九形態の作用 ·効果として、図 30に、実施の第九形態の構成の 位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、各弾性表面波共振子 502A、 502 Bの電極指ピッチを互いに同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破線にて 図 30に合わせて示す。実施の第九形態では第三従来例に対して、位相平衡度が改 善していることがわかる。
[0109] このように、各 IDT503、 505それぞれに弾性表面波共振子を接続して、それらの 電極指ピッチを互いに異ならせる場合、 2分割した IDT504と隣り合う電極指がァー ス電極となる第 1の IDT503に接続されている第 1の弾性表面波共振子の電極指ピ ツチを、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極となる第 2の IDT505に接続されて いる第 2の弾性表面波共振子の電極指ピッチより大きくすることで、平衡信号端子間 の平衡度を改善することができる。その際、 IDT504の IDT503、 505に隣り合う電極 指の極性にはよらない。
[0110] また、実施の第九形態では、各弾性表面波共振子 502A、 502Bの IDTおよびリフ レクタすベての電極指ピッチを異ならせた力 一部分の電極指にっレ、て電極指ピッ チを異ならせてもよい。また、図 31のように、第 1 ,第 2の分割くし歯状電極 516、 517 のそれぞれに弾性表面波共振子をそれぞれ接続し、各弾性表面波共振子 1201、 1 202の各電極指ピッチを互いに異ならせてもよい。
[0111] その際、 IDT504と隣り合う電極指がアース電極となる第 1の IDT503に近い側に 位置する第 1の分割くし歯状電極 516に接続されている弾性表面波共振子 1201の 電極指ピッチを、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極となる第 2の IDT505に 近い側に位置する第 2の分割くし歯状電極 517に接続されている弾性表面波共振子 1202の電極指ピッチより大きくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改 善すること力 Sできる。
[0112] また、図 32のように、上記弾性表面波共振子に代えて、 2端子対弾性表面波共振 子 1301を用レ、、 2端子対弓単十生表面波共振子 1301の IDT1302と IDT1303との各 電極指ピッチを互レ、に異ならせてもよレ、。
[0113] その際、 IDT504と隣り合う電極指がアース電極となる IDT503に近い側に位置す る第 1の分割くし歯状電極 516に接続されている IDT1302の電極指ピッチを、 IDT5 04と隣り合う電極指がシグナル電極となる IDT505に近い側に位置する第 2の分割く し歯状電極 517に接続されている IDT1303の電極指ピッチより大きくなるようにする ことで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。
[0114] (実施の第十形態）
本発明に係る、実施の第十形態の構成は基本的には実施の第九形態と同じである 力 IDT504に隣り合う電極指がアース電極である第 1の IDT503に接続している第 1の弾性表面波共振子 502Aの IDTとリフレクタの電極指ピッチのピッチ比（IDTの電 極指ピッチ/リフレクタの電極指ピッチ）を、 IDT504に隣り合う電極指がシグナル電 極である第 2の IDT505に接続している第 2の弾性表面波共振子 502Bより 0. 01小 さくしている。弾性表面波共振子 502Aと 502Bの設計は、 IDTとリフレクタのピッチ比 を異ならせている以外はすべて同じである。
[0115] 以下に、本実施の第十形態の作用'効果として、図 33に、実施の第十形態の構成 の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、弾性表面波共振子 502A、 502 Bの IDTとリフレクタのピッチ比を同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破 線にて図 33に合わせて示す。実施の第十形態では第三従来例に対して、位相平衡 度が改善してレ、ること力 Sわ力^)。
[0116] このように、各 IDT503、 505のそれぞれに弾性表面波共振子を接続して、それら の IDTとリフレクタのピッチ比を異ならせる場合、第 1 ,第 2の分割くし歯状電極を有す る IDT504と隣り合う電極指がアース電極となる IDT503に接続されている弾性表面 波共振子の IDTとリフレクタのピッチ比を、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極 となる IDT505に接続されている弾性表面波共振子の IDTとリフレクタのピッチ比より 小さくすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善することができる。その際、 IDT5 04における、各 IDT503、 505に隣り合う電極旨の極十生にはよらなレ、。
[0117] また、図 31のように、第 1 ,第 2の分割くし歯状電極のそれぞれに第 1 ,第 2の弾性 表面波共振子をそれぞれ接続し、第 1 ,第 2の弾性表面波共振子 1201、 1202の ID Tとリフレクタのピッチ比を互いに異ならせてもよい。
[0118] その際、 IDT504と隣り合う電極指がアース電極となる IDT503に近い側に位置す る分割くし歯状電極 516に接続されている弾性表面波共振子 1201の IDTとリフレタ タのピッチ比を、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極となる IDT505に近い側 に位置する分割くし歯状電極 517に接続されている弾性表面波共振子 1202の IDT とリフレクタのピッチ比より小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改 善すること力 Sできる。
[0119] (実施の第十一形態）
本発明に係る、実施の第十一形態の構成は基本的には実施の第九形態と同じで あるが、 IDT504に隣り合う電極指がアース電極である第 1の IDT503に接続してい る第 1の弾性表面波共振子 502Aの IDTとリフレクタの最外電極指の電極指中心間 距離を、 IDT504に隣り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT505に接続して いる第 2の弾性表面波共振子 502Bより 0. 06大きくしている。弾性表面波共振子 50 2Aと 502Bの設計は、 IDTとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を異なら せてレ、る以外はすべて同じである。
[0120] 以下に本実施の第十一形態の作用 ·効果として、図 34に、実施の第十一形態の構 成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、弾性表面波共振子 502A、 50 2Bの IDTとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を同じとした、第三従来例 の位相平衡度の結果を破線にて図 34に合わせて示す。実施の第十一形態では第 三従来例に対して、位相平衡度が改善していることがわかる。
[0121] このように、各 IDT503、 505のそれぞれに弾性表面波共振子を接続して、それら の IDTとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を異ならせる場合、 2分割した くし歯状電極を有する IDT504と隣り合う電極指がアース電極となる IDT503に接続 されている弾性表面波共振子の IDTとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離 を、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極となる IDT505に接続されている弾性 表面波共振子の IDTとリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離より小さくするこ とで、平衡信号端子問の平衡度を改善することができる。その際、 IDT504における 、各 IDT503、 505に隣り合う電極旨の極十生に ίまよらなレ、。
[0122] また、図 31のように、第 1 ,第 2の分割くし歯状電極 516、 517に第 1 ,第 2の弾性表 面波共振子をそれぞれ接続し、第 1 ,第 2の弾性表面波共振子 1201、 1202の IDT とリフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を互いに異ならせてもよい。その際、 I DT504と隣り合う電極指がアース電極となる第 1の IDT503に近い側に位置する第 1の分割くし歯状電極 516に接続されてレ、る第 1の弾性表面波共振子 1201の IDTと リフレクタの最外電極指の電極指中心間距離を、 IDT504と隣り合う電極指がシグナ ル電極となる第 2の IDT505に近い側に位置する第 2の分割くし歯状電極 517に接 続されている第 2の弾性表面波共振子 1202の IDTとリフレクタの最外電極指の電極 指中心間距離より小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を改善する こと力 Sできる。
[0123] (実施の第十二形態）
本発明に係る実施の第十二形態の構成は基本的には実施の第九形態と同じであ る力 IDT504に隣り合う電極指がアース電極である第 1の IDT503に接続している 第 1の弾性表面波共振子 502Aの IDTとリフレクタの電極指の dutyを、 IDT504に隣 り合う電極指がシグナル電極である第 2の IDT505に接続している第 2の弾性表面波 共振子 502Bより 0. 04/J、さくしてレヽる。弓単十生表面波共振子 502Aと 502Bの設計は、 I DTとリフレクタの電極指の dutyを異ならせている以外はすべて同じである。
[0124] 以下に本実施の第十二形態の作用 ·効果として、図 35に、実施の第十二形態の構 成の位相平衡度の結果を実線にて示す。比較として、弾性表面波共振子 502A、 50 2Bの電極指の dutyを同じとした、第三従来例の位相平衡度の結果を破線にて図 35 に合わせて示す。実施の第十二形態では第三従来例に対して、位相平衡度が改善 していることがわかる。
[0125] このように、 IDT503, 505それぞれに弾性表面波共振子を接続して、その電極指 の dutyを異ならせる場合、 2分割した各分割くし歯状電極 516、 517を有する 丁5 04と隣り合う電極指がアース電極となる IDT503に接続されている弾性表面波共振 子の電極指の dutyを、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極となる IDT505に 接続されている弾性表面波共振子の電極指の dutyより小さくすることで、平衡信号 端子間の平衡度を改善することができる。その際、 IDT504における、各 IDT503、 5 05に隣り合う電極指の極性には何ら依存しない。
[0126] また、実施の第十二形態では弾性表面波共振子 502Aと 502Bの IDTおよびリフレ クタのすべての電極指の dutyを異ならせた力 一部分の電極指にっレ、てのみ電極 指の dutyを異ならせてもよレ、。
[0127] さらに、図 31のように、第 1 ,第 2の分割くし歯状電極のそれぞれに弾性表面波共 振子をそれぞれ接続し、各弾性表面波共振子 1201、 1202の電極指の dutyを互い に異ならせてもよい。
[0128] その際、 IDT504と隣り合う電極指がアース電極となる第 1の IDT503に近い側に 位置する第 1の分割くし歯状電極 516に接続されている弾性表面波共振子 1201の 電極指の dutyを、 IDT504と隣り合う電極指がシグナル電極となる第 2の IDT505に 近い側に位置する第 2の分割くし歯状電極 517に接続されている弾性表面波共振子 1202の電極指の dutyより小さくなるようにすることで、平衡信号端子間の平衡度を 改善することができる。
[0129] また、図 32のように、弾性表面波共振子を 2端子対弾性表面波共振子 1301とし、 各 IDT1302、 1303の電極旨の dutyを異ならせてもよレヽ。その際、 IDT504と |$り合 う電極指がアース電極となる第 1の IDT503に近い側に位置する第 1の分割くし歯状 電極 516に接続されている IDT1302の電極指の dutyを、 IDT504と隣り合う電極指 がシグナル電極となる第 2の IDT505に近い側に位置する第 2の分割くし歯状電極 5 17に接続されている IDT1303の電極指の dutyより小さくなるようにすることで、平衡 信号端子間の平衡度を改善することができる。
[0130] 図 32では、 IDT504の分割されていないくし歯状電極力 他の実施の形態がァー ス電極となっているのと異なり、浮き電極となっている力 このような構成でも同様の効 果が得られる。
[0131] また、上記の実施の第一ないし第十二の各形態では、効果を示す特性図として、 振幅平衡度および位相平衡度の結果において、改善が見られた方を示したが、改善 がみられない方の平衡度については、それぞれあまり変わらないか、若干悪化する 程度であり、他の電気的特性にはほとんど影響ないことを確認した。
[0132] さらに、上記の実施の第一ないし第十二の各形態に記載の各発明は、中央 IDTの 最外電極指が、アース電極または浮き電極の場合と、シグナル電極の場合のように 互いに並立できない場合を除いて、どのようにも組み合わせることができる。それらを 組み合わせることが効果をより一層高めることが可能となる。
産業上の利用可能性
[0133] 本発明の弾性表面波フィルタは、平衡側のインピーダンスと不平衡側のインピーダ ンスとを相違させて平衡ー不平衡変換機能を有し、かつ、平衡度を改善できるものと なっているので、携帯電話等といった小型の通信機のフィルタ用いると、上記通信機 の通信特性を向上できて、上記通信機に好適に利用できる。

Claims

請求の範囲
[1] 圧電基板と、前記圧電基板に構成された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部と を備える弾性表面波フィルタであって、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし 歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って 配置された少なくとも 3つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むよう に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第 1 ,第 2のリフレクタとを備え、 前記少なくとも 3つの奇数のくし型電極部力 中央に位置する中央くし型電極部と、 中央くし型電極部の両側に配置された第 1 ,第 2のくし型電極部とを有し、前記第 1く し型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第 2 のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合つている電極指がシグナル電極で あり、
中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝 搬方向に沿って 2分割された第 1，第 2の分割くし歯状電極で構成されており、 前記第 1 ,第 2の分割くし歯状電極は、それぞれ、第 1 ,第 2のくし型電極部に近い 側に配置されており、かつ第 1 ,第 2の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、 前記中央くし型電極部に隣接する第 1 ,第 2のくし型電極部は、不平衡信号端子に 接続されており、
前記中央くし型電極部において、弾性表面波の伝搬方向に対して直交する仮想中 心軸を想定したときに、仮想中心軸の両側に配置されたくし型電極部および Z又は リフレクタの設計パラメータが仮想中心軸の両側で異ならされていることを特徴とする 、弾性表面波フィルタ。
[2] 前記仮想中心軸の両側に配置されたくし型電極部および Z又はリフレクタが仮想 中心軸の両側で非対称に形成されてレ、る、請求項 1に記載の弾性表面波フィルタ。
[3] 前記中央くし型電極部の 2つの最外電極指の極性がアース電極または浮き電極と されており、
前記第 1のくし型電極部の少なくとも一部の電極指ピッチ力 前記第 2のくし型電極 部の電極指ピッチよりも大きくされている、請求項 1または 2に記載の弾性表面波フィ ノレタ。
[4] 前記中央くし型電極部の 2つの最外電極指の極性が共にシグナル電極であり、前 記第 2のくし型電極部の少なくとも一部の電極指ピッチ力 前記第 1のくし型電極部 の電極指ピッチよりも大きくされている、請求項 1または 2に記載の弾性表面波フィノレ タ。
[5] 前記第 1 ,第 2の分割くし歯状電極のうち、前記第 1のくし型電極部に近い第 1の分 割くし歯状電極の少なくとも一部の電極指ピッチ力 第 2の分割くし歯状電極の電極 指ピッチよりも大きくされている、請求項 1一 4のいずれ力 4項に記載の弾性表面波フ イノレタ。
[6] 前記第 1のくし型電極部と前記中央くし型電極部との隣り合ってレ、る電極指中心間 距離が、前記第 2くし型電極部と前記中央くし型電極部との隣り合つている電極指中 心間距離よりも大きくされている、請求項 1一 5のいずれ力 4項に記載の弾性表面波 フイノレタ。
[7] 前記中央くし型電極部の 2つの最外電極指の極性が共にアース電極または浮き電 極であり、前記第 1くし型電極部と、該第 1くし型電極部に隣り合う第 1のリフレクタとの 電極指中心間距離が、前記第 2のくし型電極部と、第 2のくし型電極部に隣り合う第 2 のリフレクタとの電極指中心間距離よりも大きくされている、請求項 1一 3、 5及び 6の いずれか 1項に記載の弾性表面波フィルタ。
[8] 前記中央くし型電極部の 2つの最外電極指の極性が共にシグナル電極であり、前 記第 2くし型電極部と第 2くし型電極部に隣り合う第 2のリフレクタとの電極指中心間 距離が、前記第 1くし型電極部と前記第 1くし型電極部に隣り合つている第 1のリフレ クタとの電極指中心間距離よりも大きくされている、請求項 1、 4一 6のいずれ力、 1項に 記載の弾性表面波フィルタ。
[9] 前記第 1くし型電極部の少なくとも一部の電極指のデューティー力 前記第 2くし型 電極部の電極指のデューティーよりも大きくされている、請求項 1一 8のいずれ力 4項 に記載の弾性表面波フィルタ。
[10] 前記中央くし型電極部の 2つの最外電極指の極性が共にアース電極または浮き電 極であり、前記第 1分割くし歯状電極の電極指のデューティーが、前記第 2分割くし 歯状電極の電極指のデューティーよりも大きくされている、請求項 1、 3— 7及び 9の いずれか 1項に記載の弾性表面波フィルタ。
[11] 前記中央くし型電極部の 2つの最外電極指が共にシグナル電極であり、前記第 2の 分割くし歯状電極の電極指のデューティーが、前記第 1の分割くし歯状電極の電極 指のデューティーよりも大きくされている、請求項 1、 4一 6、 8及び 9のいずれか 1項に 記載の弾性表面波フィルタ。
[12] 前記少なくとも 3つの奇数のくし型電極部力 S、 2つのくし型電極部が隣り合う部分に ぉレ、て、周囲の電極指部分に対して相対的に電極指ピッチが小さレ、狭ピッチ電極指 部を有し、
前記第 1くし型電極部と、第 1分割くし歯状電極とが隣り合つている部分における狭 ピッチ電極指部の電極指ピッチが、前記第 2くし型電極部と、第 2分割くし歯状電極と が隣り合つている部分における狭ピッチ電極指部の電極指ピッチよりも大きくされて いる、請求項 1一 11のいずれ力 1項に記載の弾性表面波フィルタ。
[13] 圧電基板と、前記圧電基板上に配置された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 とを備える弾性表面波フィルタであって、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし 歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って 配置された少なくとも 3つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むよう に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第 1 ,第 2のリフレクタとを備え、 前記少なくとも 3つの奇数のくし型電極部力 中央に位置する中央くし型電極部と、 中央くし型電極部の両側に配置された第 1 ,第 2のくし型電極部とを有し、前記第 1く し型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第 2 のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合つている電極指がシグナル電極で あり、
中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝 搬方向に沿って 2分割された第 1，第 2の分割くし歯状電極で構成されており、 前記第 1 ,第 2の分割くし歯状電極は、それぞれ、第 1 ,第 2のくし型電極部に近い 側に配置されており、かつ第 1 ,第 2の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、 前記中央くし型電極部に隣接する第 1 ,第 2のくし型電極部は、不平衡信号端子に 接続されており、
前記第 1 ,第 2のくし型電極部と、前記不平衡信号端子との間にそれぞれ接続され た第 1 ,第 2弾性表面波共振子をさらに備え、
前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子が、それぞれ、くし型電極部と、くし型電極部の表 面波伝搬方向両側に配置されたリフレクタとを有し、
前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっていることを特徴とする 、弾性表面波フィルタ。
[14] 前記第 1弾性表面波共振子の少なくとも一部の電極指ピッチが、前記第 2弾性表 面波共振子の電極指ピッチよりも大きくされている、請求項 13に記載の弾性表面波 フイノレタ。
[15] 前記第 1弾性表面波共振子のくし型電極部の電極指ピッチと第 1弾性表面波共振 子のリフレクタの電極指ピッチとの比が、前記第 2弾性表面波共振子におけるくし型 電極部の電極指ピッチとリフレクタの電極指ピッチとの比よりも大きくされている、請求 項 13または 14に記載の弾性表面波フィルタ。
[16] 前記第 1弾性表面波共振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心間距 離が、前記第 2弾性表面波共振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心 間距離よりも大きくされている、請求項 13— 15のいずれ力 1項に記載の弾性表面波 フイノレタ。
[17] 前記第 2弾性表面波共振子の電極指のデューティーが、前記第 1弾性表面波共振 子の電極指のデューティーよりも大きくされている、請求項 13— 16のいずれか 1項に 記載の弾性表面波フィルタ。
[18] 圧電基板と、前記圧電基板上に配置された縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部 とを備える弾性表面波フィルタであって、
前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部は、複数の電極指を有する複数のくし 歯状電極が対向するように組合わせられておりかつ弾性表面波の伝搬方向に沿って 配置された少なくとも 3つの奇数のくし型電極部と、前記くし型電極部を挟み込むよう に弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された第 1 ,第 2のリフレクタとを備え、 前記少なくとも 3つの奇数のくし型電極部力 中央に位置する中央くし型電極部と、 中央くし型電極部の両側に配置された第 1 ,第 2のくし型電極部とを有し、前記第 1く し型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合う電極指がアース電極であり、前記第 2 のくし型電極部の前記中央くし型電極部と隣り合つている電極指がシグナル電極で あり、
中央くし型電極部の対向するいずれか一方側のくし歯状電極は、弾性表面波の伝 搬方向に沿って 2分割された第 1，第 2の分割くし歯状電極で構成されており、 前記第 1 ,第 2の分割くし歯状電極は、それぞれ、第 1 ,第 2のくし型電極部に近い 側に配置されており、かつ第 1 ,第 2の平衡信号端子にそれぞれ接続されており、 前記中央くし型電極部に隣接する第 1 ,第 2のくし型電極部は、不平衡信号端子に 接続されており、
前記第 1 ,第 2分割くし歯状電極と前記第 1，第 2の平衡信号端子との間にそれぞ れ接続された第 1，第 2弾性表面波共振子をさらに備え、
前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子が、それぞれ、くし型電極部と、くし型電極部の表 面波伝搬方向両側に配置されたリフレクタとを有し、
前記第 1 ,第 2弾性表面波共振子の設計パラメータが異なっていることを特徴とする 、弾性表面波フィルタ。
[19] 前記第 1弾性表面波共振子の少なくとも一部の電極指ピッチが、前記第 2弾性表 面波共振子の電極指ピッチよりも大きくされている、請求項 18に記載の弾性表面波 フイノレタ。
[20] 前記第 1弾性表面波共振子におけるくし型電極部の電極指ピッチとリフレクタの電 極指ピッチとの比が、前記第 2弾性表面波共振子におけるくし型電極部の電極指ピ ツチとリフレクタの電極指ピッチとの比よりも大きくされている、請求項 18または 19に 記載の弾性表面波フィルタ。
[21] 前記第 1弾性表面波共振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心間距 離が、前記第 2弾性表面波共振子におけるくし型電極部とリフレクタとの電極指中心 間距離よりも大きくされている、請求項 18— 20のいずれ力 4項に記載の弾性表面波 フイノレタ。
[22] 前記第 2弾性表面波共振子の電極指のデューティーが、前記第 1弾性表面波共振 子のデューティーよりも大きくされている、請求項 18— 21のいずれ力 1項に記載の弾 性表面波フィルタ。
[23] 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部に対しカスケード接続された第 2の縦 結合共振子型弾性表面波フィルタ部をさらに備える、請求項 1一 22のいずれか 1項 に記載の弾性表面波フィルタ。
[24] 前記第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部が、中央くし型電極部と、中央く し型電極部の両側に配置された第 1 ,第 2のくし型電極部とを有し、中央くし型電極 部の電極指の本数が偶数本とされている、請求項 23に記載の弾性表面波フィルタ。
[25] 前記第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 1のくし型電極部と、前記縦 結合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 1または第 2のくし型電極部とを電気的に 接続している第 1のシグナルラインと、
前記第 2の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 2のくし型電極部と、前記縦 結合共振子型弾性表面波フィルタ部の第 2または第 1のくし型電極部とを接続してい る第 2のシグナルラインとを備え、
前記第 1 ,第 2のシグナルラインを伝送する信号の位相が約 180度異なっている請 求項 23または 24に記載の弾性表面波フィルタ。
[26] 請求項 1一 25のいずれ力 1項に記載の弾性表面波フィルタを備えることを特徴とす る、通信機。
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