JP2003124782A - 弾性表面波フィルタ、通信装置 - Google Patents
弾性表面波フィルタ、通信装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度を
改善した弾性表面波フィルタ及び通信装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板２０１上に、弾性表面波の伝搬
方向に沿って三つのくし型電極部２０６、２０７、２０
８を有するフィルタ部２０２を、平衡−不平衡機能を備
えるように設ける。各平衡信号端子２１４、２１５を、
くし型電極部２０７の各電極指にそれぞれ接続して設け
る。不平衡信号端子２１３を各くし型電極部２０６、２
０８の一方の電極指にそれぞれ接続して設ける。各くし
型電極部２０６、２０８の他方の電極指に接続された各
アース端子２１６、２１８を圧電基板２０１上において
電気的に互いに分離して設ける。
改善した弾性表面波フィルタ及び通信装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板２０１上に、弾性表面波の伝搬
方向に沿って三つのくし型電極部２０６、２０７、２０
８を有するフィルタ部２０２を、平衡−不平衡機能を備
えるように設ける。各平衡信号端子２１４、２１５を、
くし型電極部２０７の各電極指にそれぞれ接続して設け
る。不平衡信号端子２１３を各くし型電極部２０６、２
０８の一方の電極指にそれぞれ接続して設ける。各くし
型電極部２０６、２０８の他方の電極指に接続された各
アース端子２１６、２１８を圧電基板２０１上において
電気的に互いに分離して設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルタ特性を有
すると共に平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フ
ィルタ、及びそれを用いた通信装置に関するものであ
る。
すると共に平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フ
ィルタ、及びそれを用いた通信装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、近年の携帯電話機の小型化、軽量
化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実
現するための手段として、各構成部品の削減、小型化は
もとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んでき
た。このような状況を背景に、携帯電話機のＲＦ段に使
用する弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、い
わゆるバラン（balun)の機能を有するものも近年盛んに
研究され、ＧＳＭ方式（Global System for Mobile com
munications)などを中心に使用されるようになってき
た。
化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実
現するための手段として、各構成部品の削減、小型化は
もとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んでき
た。このような状況を背景に、携帯電話機のＲＦ段に使
用する弾性表面波フィルタに平衡−不平衡変換機能、い
わゆるバラン（balun)の機能を有するものも近年盛んに
研究され、ＧＳＭ方式（Global System for Mobile com
munications)などを中心に使用されるようになってき
た。
【０００３】バランとは、平行二線式フィーダのような
平衡線路と同軸ケーブルのような不平衡線路とを直接接
続すると、不平衡電流が流れ給電線（フィーダ）自体が
アンテナとして動作してしまい望ましくないので、不平
衡電流を阻止し、平衡線路と不平衡線路とを整合する回
路をいう。
平衡線路と同軸ケーブルのような不平衡線路とを直接接
続すると、不平衡電流が流れ給電線（フィーダ）自体が
アンテナとして動作してしまい望ましくないので、不平
衡電流を阻止し、平衡線路と不平衡線路とを整合する回
路をいう。
【０００４】このような平衡−不平衡変換機能を備えた
弾性表面波フィルタに関する特許も、幾つか出願されて
いる。入力インピーダンスと出力インピーダンスがほぼ
等しい、平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波フィ
ルタとしては、図１１に示すような構成が広く知られて
いる。
弾性表面波フィルタに関する特許も、幾つか出願されて
いる。入力インピーダンスと出力インピーダンスがほぼ
等しい、平衡−不平衡変換機能を備えた弾性表面波フィ
ルタとしては、図１１に示すような構成が広く知られて
いる。
【０００５】図１１に示す弾性表面波フィルタでは、圧
電基板１００上に、くし型電極部（すだれ状電極とも呼
ばれ、Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴとい
う）１０２が設けられ、そのＩＤＴ１０２の左右（弾性
表面波の伝搬方向に沿った）に各ＩＤＴ１０１、１０３
がそれぞれ配置されている。
電基板１００上に、くし型電極部（すだれ状電極とも呼
ばれ、Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴとい
う）１０２が設けられ、そのＩＤＴ１０２の左右（弾性
表面波の伝搬方向に沿った）に各ＩＤＴ１０１、１０３
がそれぞれ配置されている。
【０００６】さらに、上記弾性表面波フィルタにおいて
は、これらの各ＩＤＴ１０１、１０２、１０３を左右か
ら挟み込むように、弾性表面波を反射して変換効率を向
上させるための各リフレクタ１０４、１０５がそれぞれ
配置されている。各平衡信号端子１０６、１０７が、中
央のＩＤＴ１０２の各電極指にそれぞれ接続されて設け
られている。不平衡信号端子１０８が、各ＩＤＴ１０
１、１０３の一方の電極指に接続されて設けられてい
る。
は、これらの各ＩＤＴ１０１、１０２、１０３を左右か
ら挟み込むように、弾性表面波を反射して変換効率を向
上させるための各リフレクタ１０４、１０５がそれぞれ
配置されている。各平衡信号端子１０６、１０７が、中
央のＩＤＴ１０２の各電極指にそれぞれ接続されて設け
られている。不平衡信号端子１０８が、各ＩＤＴ１０
１、１０３の一方の電極指に接続されて設けられてい
る。
【０００７】このような弾性表面波フィルタは、３ＩＤ
Ｔタイプの縦結合共振子型の弾性表面波フィルタと呼ば
れ、各ＩＤＴ１０１、１０２、１０３間での弾性表面波
を用いた変換により平衡−不平衡変換機能を有するもの
である。
Ｔタイプの縦結合共振子型の弾性表面波フィルタと呼ば
れ、各ＩＤＴ１０１、１０２、１０３間での弾性表面波
を用いた変換により平衡−不平衡変換機能を有するもの
である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】平衡−不平衡変換機能
を有する弾性表面波フィルタでは、不平衡信号端子１０
８と、それぞれの平衡信号端子１０６、１０７との間の
通過帯域内での伝送特性において、振幅特性が等しく、
かつ位相が１８０度反転していることが要求されてい
る。
を有する弾性表面波フィルタでは、不平衡信号端子１０
８と、それぞれの平衡信号端子１０６、１０７との間の
通過帯域内での伝送特性において、振幅特性が等しく、
かつ位相が１８０度反転していることが要求されてい
る。
【０００９】平衡信号端子１０６、１０７間における、
振幅特性の等しさの程度、及び位相が１８０度反転して
いる程度は、それぞれ振幅平衡度及び位相平衡度と呼ば
れている。
振幅特性の等しさの程度、及び位相が１８０度反転して
いる程度は、それぞれ振幅平衡度及び位相平衡度と呼ば
れている。
【００１０】このような振幅平衡度及び位相平衡度は、
前記平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ
を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子を
第一ポート、平衡出力端子のそれぞれを第二ポート、第
三ポートとしたとき、振幅平衡度＝〔Ａ〕、Ａ＝｜２０
ｌｏｇ（Ｓ２１）｜−｜２０ｌｏｇ（Ｓ３１）｜、位相
平衡度＝Ｂ−１８０、Ｂ＝｜∠Ｓ２１−∠Ｓ３１｜にて
それぞれ定義される。なお、Ｓ２１は第一ポートから第
二ポートへの伝達係数を、Ｓ３１は第一ポートから第三
ポートへの伝達係数を示しており、また、上記各式中の
｜｜は絶対値を示すためのものである。
前記平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタ
を３ポートのデバイスと考え、例えば不平衡入力端子を
第一ポート、平衡出力端子のそれぞれを第二ポート、第
三ポートとしたとき、振幅平衡度＝〔Ａ〕、Ａ＝｜２０
ｌｏｇ（Ｓ２１）｜−｜２０ｌｏｇ（Ｓ３１）｜、位相
平衡度＝Ｂ−１８０、Ｂ＝｜∠Ｓ２１−∠Ｓ３１｜にて
それぞれ定義される。なお、Ｓ２１は第一ポートから第
二ポートへの伝達係数を、Ｓ３１は第一ポートから第三
ポートへの伝達係数を示しており、また、上記各式中の
｜｜は絶対値を示すためのものである。
【００１１】このように定義される各平衡信号端子間の
平衡度については、理想的には弾性表面波フィルタの通
過帯域内で振幅平衡度が０ｄＢ、位相平衡度が０度とさ
れている。
平衡度については、理想的には弾性表面波フィルタの通
過帯域内で振幅平衡度が０ｄＢ、位相平衡度が０度とさ
れている。
【００１２】しかしながら、図１１に示す従来の構成に
おいては、各平衡信号端子１０６、１０７間の平衡度が
悪化しているという問題があった。
おいては、各平衡信号端子１０６、１０７間の平衡度が
悪化しているという問題があった。
【００１３】本発明の目的は、平衡−不平衡変換機能を
有する弾性表面波フィルタにおいて、各平衡信号端子間
の平衡度が改善された弾性表面波フィルタ、及びそれを
用いて伝送特性が改善された通信装置を提供することに
ある。
有する弾性表面波フィルタにおいて、各平衡信号端子間
の平衡度が改善された弾性表面波フィルタ、及びそれを
用いて伝送特性が改善された通信装置を提供することに
ある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波フィ
ルタは、以上の課題を解決するために、圧電基板上に、
弾性表面波の伝搬方向に沿って三つ以上の奇数個のＩＤ
Ｔを有するフィルタ部が設けられ、各平衡信号端子が、
各ＩＤＴにおける中央の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞ
れ接続されて設けられ、不平衡信号端子が、各ＩＤＴに
おける中央ＩＤＴと異なる少なくとも二つの端部ＩＤＴ
の一方の電極指にそれぞれ接続されて設けられ、各端部
ＩＤＴの他方の電極指がアースに接続されており、各端
部ＩＤＴの内、少なくとも一つの端部ＩＤＴのアース
が、他の端部ＩＤＴのアースと圧電基板上において電気
的に分離されていることを特徴としている。
ルタは、以上の課題を解決するために、圧電基板上に、
弾性表面波の伝搬方向に沿って三つ以上の奇数個のＩＤ
Ｔを有するフィルタ部が設けられ、各平衡信号端子が、
各ＩＤＴにおける中央の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞ
れ接続されて設けられ、不平衡信号端子が、各ＩＤＴに
おける中央ＩＤＴと異なる少なくとも二つの端部ＩＤＴ
の一方の電極指にそれぞれ接続されて設けられ、各端部
ＩＤＴの他方の電極指がアースに接続されており、各端
部ＩＤＴの内、少なくとも一つの端部ＩＤＴのアース
が、他の端部ＩＤＴのアースと圧電基板上において電気
的に分離されていることを特徴としている。
【００１５】上記構成によれば、各平衡信号端子を、各
ＩＤＴにおける中央の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞれ
接続し、不平衡信号端子を、各ＩＤＴにおける中央ＩＤ
Ｔと異なる少なくとも二つの端部ＩＤＴの一方の電極指
にそれぞれ接続することにより、平衡−不平衡機能を発
揮できる。
ＩＤＴにおける中央の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞれ
接続し、不平衡信号端子を、各ＩＤＴにおける中央ＩＤ
Ｔと異なる少なくとも二つの端部ＩＤＴの一方の電極指
にそれぞれ接続することにより、平衡−不平衡機能を発
揮できる。
【００１６】また、上記構成では、各端部ＩＤＴの内、
少なくとも一つの端部ＩＤＴのアースを、他の端部ＩＤ
Ｔのアースと圧電基板上において電気的に分離したの
で、各平衡信号端子間の平衡度を改善できる。
少なくとも一つの端部ＩＤＴのアースを、他の端部ＩＤ
Ｔのアースと圧電基板上において電気的に分離したの
で、各平衡信号端子間の平衡度を改善できる。
【００１７】上記弾性表面波フィルタでは、不平衡信号
端子及び各第二ＩＤＴを互いに接続するためのシグナル
ラインと、上記シグナルラインに囲まれた平衡信号端子
との間にアースラインが設けられていてもよい。上記構
成によれば、シグナルライン及び平衡信号端子間に入る
橋絡容量をアースラインにより低減できるので、平衡信
号端子間の平衡度を改善することが可能となる。
端子及び各第二ＩＤＴを互いに接続するためのシグナル
ラインと、上記シグナルラインに囲まれた平衡信号端子
との間にアースラインが設けられていてもよい。上記構
成によれば、シグナルライン及び平衡信号端子間に入る
橋絡容量をアースラインにより低減できるので、平衡信
号端子間の平衡度を改善することが可能となる。
【００１８】本発明の他の弾性表面波フィルタは、以上
の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の
伝搬方向に沿って三つ以上の奇数個のＩＤＴを有するフ
ィルタ部が複数段にて設けられ、各平衡信号端子が、各
フィルタ部の内の一つの第一のフィルタ部における第一
の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞれ接続されて設けら
れ、不平衡信号端子が、各フィルタ部の内の第一のフィ
ルタ部と異なる第二のフィルタ部の第二の中央ＩＤＴの
一方の電極指に接続されて設けられ、各フィルタ部の、
第一及び第二の中央ＩＤＴと異なる端部ＩＤＴの一方の
電極指がアースにそれぞれ接続され、各端部ＩＤＴの
内、少なくとも一つの端部ＩＤＴのアースが、他の端部
ＩＤＴのアースと圧電基板上において電気的に分離され
ていることを特徴としている。
の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の
伝搬方向に沿って三つ以上の奇数個のＩＤＴを有するフ
ィルタ部が複数段にて設けられ、各平衡信号端子が、各
フィルタ部の内の一つの第一のフィルタ部における第一
の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞれ接続されて設けら
れ、不平衡信号端子が、各フィルタ部の内の第一のフィ
ルタ部と異なる第二のフィルタ部の第二の中央ＩＤＴの
一方の電極指に接続されて設けられ、各フィルタ部の、
第一及び第二の中央ＩＤＴと異なる端部ＩＤＴの一方の
電極指がアースにそれぞれ接続され、各端部ＩＤＴの
内、少なくとも一つの端部ＩＤＴのアースが、他の端部
ＩＤＴのアースと圧電基板上において電気的に分離され
ていることを特徴としている。
【００１９】上記構成によれば、フィルタ部を複数段に
て設けたことにより、通過帯域外の減衰量を大きくでき
て、フィルタ特性を向上できる。
て設けたことにより、通過帯域外の減衰量を大きくでき
て、フィルタ特性を向上できる。
【００２０】また、上記構成では、各平衡信号端子を、
第一の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞれ接続し、不平衡
信号端子を、第二の中央ＩＤＴの一方の電極指にそれぞ
れ接続することにより、平衡−不平衡機能を発揮でき
る。
第一の中央ＩＤＴの各電極指にそれぞれ接続し、不平衡
信号端子を、第二の中央ＩＤＴの一方の電極指にそれぞ
れ接続することにより、平衡−不平衡機能を発揮でき
る。
【００２１】その上、上記構成においては、各端部ＩＤ
Ｔの内、少なくとも一つの端部ＩＤＴのアースを、他の
端部ＩＤＴのアースと圧電基板上において電気的に分離
したので、各平衡信号端子間の平衡度を改善できる。
Ｔの内、少なくとも一つの端部ＩＤＴのアースを、他の
端部ＩＤＴのアースと圧電基板上において電気的に分離
したので、各平衡信号端子間の平衡度を改善できる。
【００２２】上記弾性表面波フィルタにおいては、圧電
基板を収納するパッケージがアース端子用のボンディン
グパッドを複数有して設けられ、中央ＩＤＴを間に挟む
各端部ＩＤＴのアースは、それらを電気的に分離するた
めに、互いに異なる上記ボンディングパッドにそれぞれ
接続されていることが好ましい。
基板を収納するパッケージがアース端子用のボンディン
グパッドを複数有して設けられ、中央ＩＤＴを間に挟む
各端部ＩＤＴのアースは、それらを電気的に分離するた
めに、互いに異なる上記ボンディングパッドにそれぞれ
接続されていることが好ましい。
【００２３】上記構成によれば、各端部ＩＤＴのアース
を、パッケージ上においても分離したので、各平衡信号
端子間の平衡度をさらに改善することが可能となる。
を、パッケージ上においても分離したので、各平衡信号
端子間の平衡度をさらに改善することが可能となる。
【００２４】上記弾性表面波フィルタでは、前記平衡信
号端子に接続されているＩＤＴの電極指の総本数は偶数
本であることが望ましい。
号端子に接続されているＩＤＴの電極指の総本数は偶数
本であることが望ましい。
【００２５】上記構成によれば、平衡信号端子に接続さ
れているＩＤＴの電極指の総本数を偶数本としたので、
各平衡信号端子に接続された各電極指の本数を同数にで
きることから、各平衡信号端子間の平衡度をさらに向上
できる。
れているＩＤＴの電極指の総本数を偶数本としたので、
各平衡信号端子に接続された各電極指の本数を同数にで
きることから、各平衡信号端子間の平衡度をさらに向上
できる。
【００２６】上記弾性表面波フィルタにおいては、フィ
ルタ部に対し、直列及び並列の少なくとも一方にて、弾
性表面波共振子が少なくとも１つ接続されていることが
好ましい。上記構成によれば、少なくとも１つの弾性表
面波共振子を、フィルタ部に対し、直列及び並列の少な
くとも一方にて、接続したので、通過帯域外の減衰量を
大きくできて、フィルタ特性を向上できる。
ルタ部に対し、直列及び並列の少なくとも一方にて、弾
性表面波共振子が少なくとも１つ接続されていることが
好ましい。上記構成によれば、少なくとも１つの弾性表
面波共振子を、フィルタ部に対し、直列及び並列の少な
くとも一方にて、接続したので、通過帯域外の減衰量を
大きくできて、フィルタ特性を向上できる。
【００２７】本発明の通信装置は、前記の課題を解決す
るために、上記の何れかに記載の弾性表面波フィルタを
有することを特徴としている。上記構成によれば、平衡
−不平衡機能を発揮できると共に、平衡度の改善された
弾性表面波フィルタを有するので、伝送特性を向上でき
る。
るために、上記の何れかに記載の弾性表面波フィルタを
有することを特徴としている。上記構成によれば、平衡
−不平衡機能を発揮できると共に、平衡度の改善された
弾性表面波フィルタを有するので、伝送特性を向上でき
る。
【００２８】
【発明の実施の形態】本発明の弾性表面波フィルタに係
る実施の形態について、図１ないし図１０に基づき説明
すれば、以下の通りである。以後の実施の形態では、弾
性表面波フィルタとしてのＰＣＳ(Personal Communicat
ion System) 受信用フィルタを例にとって説明する。
る実施の形態について、図１ないし図１０に基づき説明
すれば、以下の通りである。以後の実施の形態では、弾
性表面波フィルタとしてのＰＣＳ(Personal Communicat
ion System) 受信用フィルタを例にとって説明する。
【００２９】本発明に係る実施の形態の弾性表面波フィ
ルタは、図１に示すように、圧電基板２０１上に縦結合
共振子型の弾性表面波フィルタ部２０２と、上記弾性表
面波フィルタ部２０２に対し直列接続された各弾性表面
波共振子２０３、２０４がフォトリソグラフィー法等に
よって形成されたアルミニウム（Ａｌ）電極（箔）によ
り形成されている。本実施の形態においては、圧電基板
２０１の素材として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴ
ａＯ3 が用いられている。
ルタは、図１に示すように、圧電基板２０１上に縦結合
共振子型の弾性表面波フィルタ部２０２と、上記弾性表
面波フィルタ部２０２に対し直列接続された各弾性表面
波共振子２０３、２０４がフォトリソグラフィー法等に
よって形成されたアルミニウム（Ａｌ）電極（箔）によ
り形成されている。本実施の形態においては、圧電基板
２０１の素材として、４０±５°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＴ
ａＯ3 が用いられている。
【００３０】また、上記弾性表面波フィルタでは、弾性
表面波フィルタ部２０２等を備えた圧電基板２０１を内
表面上に収納するパッケージ２０５が設けられている。
上記パッケージ２０５は、長方形板状の、アルミナ等の
絶縁体基板からなっている。パッケージ２０５におけ
る、圧電基板２０１の載置面と同一面で、かつ圧電基板
２０１に隣り合う内表面上には、略長方形薄膜状金属か
らなるアース端子用の各ボンディングパッド２２１、２
２３、２２５が、上記内表面の周辺部に沿ってそれぞれ
設けられている。
表面波フィルタ部２０２等を備えた圧電基板２０１を内
表面上に収納するパッケージ２０５が設けられている。
上記パッケージ２０５は、長方形板状の、アルミナ等の
絶縁体基板からなっている。パッケージ２０５におけ
る、圧電基板２０１の載置面と同一面で、かつ圧電基板
２０１に隣り合う内表面上には、略長方形薄膜状金属か
らなるアース端子用の各ボンディングパッド２２１、２
２３、２２５が、上記内表面の周辺部に沿ってそれぞれ
設けられている。
【００３１】さらに、上記内表面における、アース端子
用の各ボンディングパッド２２１、２２３の間には、不
平衡信号の入力用のボンディングパッド２２２が、上記
内表面の周辺部に略長方形金属薄膜にて設けられてい
る。また、アース端子用のボンディングパッド２２５を
挟んで、各平衡信号端子用の出力用の各ボンディングパ
ッド２２４、２２６が略長方形金属薄膜にてそれぞれ設
けられている。
用の各ボンディングパッド２２１、２２３の間には、不
平衡信号の入力用のボンディングパッド２２２が、上記
内表面の周辺部に略長方形金属薄膜にて設けられてい
る。また、アース端子用のボンディングパッド２２５を
挟んで、各平衡信号端子用の出力用の各ボンディングパ
ッド２２４、２２６が略長方形金属薄膜にてそれぞれ設
けられている。
【００３２】弾性表面波フィルタ部２０２では、中央の
ＩＤＴ２０７を弾性表面波の伝搬方向に沿って両側から
挟み込むように各ＩＤＴ（端部ＩＤＴ）２０６、２０８
がそれぞれ形成され、さらに、それらの両側に各リフレ
クタ２０９、２１０がそれぞれ形成されている。
ＩＤＴ２０７を弾性表面波の伝搬方向に沿って両側から
挟み込むように各ＩＤＴ（端部ＩＤＴ）２０６、２０８
がそれぞれ形成され、さらに、それらの両側に各リフレ
クタ２０９、２１０がそれぞれ形成されている。
【００３３】ＩＤＴは、帯状の基端部（バスバー）と、
その基端部の一方の側部から直交する方向に延びる複数
の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた電極指部を２
つ備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互いに
対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上
記各電極指部を有するものである。
その基端部の一方の側部から直交する方向に延びる複数
の、互いに平行な帯状の電極指とを備えた電極指部を２
つ備えており、上記各電極指部の電極指の側部を互いに
対面するように互いの電極指間に入り組んだ状態にて上
記各電極指部を有するものである。
【００３４】よって、ＩＤＴでは、２つの電極指部に対
し各基端部（バスバー）を介して入力電気信号に基づく
電位差が生じると、その部分の圧電基板２０１の表面上
に弾性表面波が発生し、その弾性表面波は各電極指の幅
方向（各電極指の長手方向に対し直交する方向）の双方
向に圧電基板２０１の表面上を伝搬する。一方、電気信
号が入力されていないＩＤＴでは、伝搬してきた弾性表
面波により圧電基板２０１の表面上に発生した弾性表面
波を各電極指によって検出し、出力電気信号に変換して
出力できる。
し各基端部（バスバー）を介して入力電気信号に基づく
電位差が生じると、その部分の圧電基板２０１の表面上
に弾性表面波が発生し、その弾性表面波は各電極指の幅
方向（各電極指の長手方向に対し直交する方向）の双方
向に圧電基板２０１の表面上を伝搬する。一方、電気信
号が入力されていないＩＤＴでは、伝搬してきた弾性表
面波により圧電基板２０１の表面上に発生した弾性表面
波を各電極指によって検出し、出力電気信号に変換して
出力できる。
【００３５】このようなＩＤＴでは、各電極指の長さや
幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り
組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定す
ることにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能と
なっている。上記各リフレクタは、伝搬してきた弾性表
面波を反射するためのものである。
幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り
組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定す
ることにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能と
なっている。上記各リフレクタは、伝搬してきた弾性表
面波を反射するためのものである。
【００３６】さらに、弾性表面波フィルタ部２０２にお
いては、図１を見るとわかるように、ＩＤＴ２０６及び
ＩＤＴ２０７が互いに対向した部分、およびＩＤＴ２０
７及びＩＤＴ２０８が互いに対向した部分の数本の電極
指（狭ピッチ電極指）のピッチを、ＩＤＴの他の部分の
電極指のピッチよりも小さく設定している（図１の２１
１と２１２の箇所）。このような狭ピッチ電極指を設定
することにより、挿入損失を低減できる。ちなみに図１
では図を簡潔にするために電極指の本数を実際より少な
く示している。
いては、図１を見るとわかるように、ＩＤＴ２０６及び
ＩＤＴ２０７が互いに対向した部分、およびＩＤＴ２０
７及びＩＤＴ２０８が互いに対向した部分の数本の電極
指（狭ピッチ電極指）のピッチを、ＩＤＴの他の部分の
電極指のピッチよりも小さく設定している（図１の２１
１と２１２の箇所）。このような狭ピッチ電極指を設定
することにより、挿入損失を低減できる。ちなみに図１
では図を簡潔にするために電極指の本数を実際より少な
く示している。
【００３７】各平衡信号端子２１４、２１５が、ＩＤＴ
２０７の各電極指にそれぞれ接続されて圧電基板２０１
上に設けられている。不平衡信号端子２１３が、各弾性
表面波共振子２０３、２０４及びシグナルライン２１９
を介して、各ＩＤＴ２０６、２０８の一方の電極指に対
し電気的に接続されて圧電基板２０１上に設けられてい
る。よって、シグナルライン２１９は、略Ｃの字状に形
成され、平衡信号端子２１４を囲むようになっている。
２０７の各電極指にそれぞれ接続されて圧電基板２０１
上に設けられている。不平衡信号端子２１３が、各弾性
表面波共振子２０３、２０４及びシグナルライン２１９
を介して、各ＩＤＴ２０６、２０８の一方の電極指に対
し電気的に接続されて圧電基板２０１上に設けられてい
る。よって、シグナルライン２１９は、略Ｃの字状に形
成され、平衡信号端子２１４を囲むようになっている。
【００３８】また、シグナルライン２１９と平衡信号端
子２１４との間を遮るようにアースライン２２０が略Ｃ
の字状に圧電基板２０１上に挿入されて設けられてい
る。上記アースライン２２０は、シグナルライン２１９
と平衡信号端子２１４との間に発生する橋絡容量を低減
して、各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度を改善
できるものとなっている。
子２１４との間を遮るようにアースライン２２０が略Ｃ
の字状に圧電基板２０１上に挿入されて設けられてい
る。上記アースライン２２０は、シグナルライン２１９
と平衡信号端子２１４との間に発生する橋絡容量を低減
して、各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度を改善
できるものとなっている。
【００３９】シグナルライン２１９及びアースライン２
２０は、それぞれ、前述のフォトリソグラフィー法等に
よって形成されたアルミニウム（Ａｌ）電極（箔）によ
り形成されている。
２０は、それぞれ、前述のフォトリソグラフィー法等に
よって形成されたアルミニウム（Ａｌ）電極（箔）によ
り形成されている。
【００４０】また、圧電基板２０１上には、アース端子
２１６、２１７、２１８が、前述のフォトリソグラフィ
ー法等のＡｌ等の金属薄膜により、互いに別体にて、そ
れぞれ設けられている。アース端子２１６は、ＩＤＴ２
０６の他方の電極指に電気的に接続されている。アース
端子２１７は、アースライン２２０上にて、アースライ
ン２２０に電気的に接続されている。アース端子２１８
は、ＩＤＴ２０８の他方の電極指に電気的に接続されて
いる。
２１６、２１７、２１８が、前述のフォトリソグラフィ
ー法等のＡｌ等の金属薄膜により、互いに別体にて、そ
れぞれ設けられている。アース端子２１６は、ＩＤＴ２
０６の他方の電極指に電気的に接続されている。アース
端子２１７は、アースライン２２０上にて、アースライ
ン２２０に電気的に接続されている。アース端子２１８
は、ＩＤＴ２０８の他方の電極指に電気的に接続されて
いる。
【００４１】そして、本実施の形態では、ＩＤＴ２０６
のアース端子２１６とＩＤＴ２０８のアース端子２１８
とが、圧電基板２０１上で電気的に分離されていること
を特徴としている。
のアース端子２１６とＩＤＴ２０８のアース端子２１８
とが、圧電基板２０１上で電気的に分離されていること
を特徴としている。
【００４２】次に、圧電基板上２０１に形成された弾性
表面波フィルタ部２０２とパッケージ２０５との間の電
気的な接続について説明する。弾性表面波フィルタ部２
０２とパッケージ２０５とは、ワイヤボンディング法に
て電気的に互いに接続されている。不平衡信号端子２１
３はボンディングワイヤ２２７を介してパッケージ２０
５のボンディングパッド２２２と電気的に接続されてい
る。平衡信号端子２１４はボンディングワイヤ２２８を
介してボンディングパッド２２４と電気的に接続されて
いる。平衡信号端子２１５はボンディングワイヤ２２９
を介してボンディングパッド２２６と電気的に接続され
ている。
表面波フィルタ部２０２とパッケージ２０５との間の電
気的な接続について説明する。弾性表面波フィルタ部２
０２とパッケージ２０５とは、ワイヤボンディング法に
て電気的に互いに接続されている。不平衡信号端子２１
３はボンディングワイヤ２２７を介してパッケージ２０
５のボンディングパッド２２２と電気的に接続されてい
る。平衡信号端子２１４はボンディングワイヤ２２８を
介してボンディングパッド２２４と電気的に接続されて
いる。平衡信号端子２１５はボンディングワイヤ２２９
を介してボンディングパッド２２６と電気的に接続され
ている。
【００４３】また、アース端子２１６はボンディングワ
イヤ２３０を介してボンディングパッド２２３と電気的
に接続されている。アース端子２１７、２１８はそれぞ
れ各ボンディングワイヤ２３１、２３２を介してボンデ
ィングパッド２２５と電気的に接続されている。
イヤ２３０を介してボンディングパッド２２３と電気的
に接続されている。アース端子２１７、２１８はそれぞ
れ各ボンディングワイヤ２３１、２３２を介してボンデ
ィングパッド２２５と電気的に接続されている。
【００４４】本実施の形態のもう一つの特徴は、アース
端子２１６、２１８が、それぞれ別の各ボンディングパ
ッド２２３、２２５と電気的に接続され、各ボンディン
グパッド２２３、２２５は、パッケージ２０５内で電気
的に互いに分離されていることである。
端子２１６、２１８が、それぞれ別の各ボンディングパ
ッド２２３、２２５と電気的に接続され、各ボンディン
グパッド２２３、２２５は、パッケージ２０５内で電気
的に互いに分離されていることである。
【００４５】縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部２
０２の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる
波長をλＩ2 （図１の２１１、２１２の箇所）、その他
の電極指のピッチで決まる波長をλＩ1 とすると、 交叉幅Ｗ：５３．７λＩ1 ＩＤＴ本数（２０６、２０７、２０８の順）：２９
（４）／（４）４４（４）／（４）２９本（カッコ内は
ピッチを小さくした電極指の本数） ＩＤＴ波長λＩ1 ：２．０５μｍ、λＩ2 ：１．８６μ
ｍ リフレクタ波長λＲ：２．０６μｍ リフレクタ本数：１００本 ＩＤＴ−ＩＤＴ間電極指中心間距離：０．５０λＩ2 ＩＤＴ−リフレクタ間電極指中心間距離：０．４７λＲ ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、リフレクタ共） 電極膜厚：０．０８０λＩ1 弾性表面波共振子２０３の詳細な設計を、以下に示す。 交叉幅Ｗ：４９．１λ ＩＤＴ本数：４０１本 波長λ（ＩＤＴ、リフレクタ共）：２．０４μｍ リフレクタ本数：３０本 ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λ ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、リフレクタ共） 電極膜厚：０．０８０λ 弾性表面波共振子２０４の詳細な設計を、以下に示す。 交叉幅Ｗ：４０．６λ ＩＤＴ本数：２４１本 波長λ（ＩＤＴ、リフレクタ共）：１．９７μｍ リフレクタ本数：３０本 ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λ ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、リフレクタ共） 電極膜厚：０．０８４λ 次に、上記実施の形態の作用・効果について説明する。
まず、本実施の形態の構成での周波数に対する各平衡信
号端子２１４、２１５間の、振幅平衡度、及び位相平衡
度の各グラフを図２及び図３にそれぞれ示す。比較とし
て、図１に示す構成における、各アース端子２１６、２
１８をまとめて一つのアース端子とした以外は図１に示
す構成と同一な比較例の構成での振幅平衡度、及び位相
平衡度も図２及び図３にそれぞれ合わせて示す。
０２の詳細な設計は、狭ピッチ電極指のピッチで決まる
波長をλＩ2 （図１の２１１、２１２の箇所）、その他
の電極指のピッチで決まる波長をλＩ1 とすると、 交叉幅Ｗ：５３．７λＩ1 ＩＤＴ本数（２０６、２０７、２０８の順）：２９
（４）／（４）４４（４）／（４）２９本（カッコ内は
ピッチを小さくした電極指の本数） ＩＤＴ波長λＩ1 ：２．０５μｍ、λＩ2 ：１．８６μ
ｍ リフレクタ波長λＲ：２．０６μｍ リフレクタ本数：１００本 ＩＤＴ−ＩＤＴ間電極指中心間距離：０．５０λＩ2 ＩＤＴ−リフレクタ間電極指中心間距離：０．４７λＲ ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、リフレクタ共） 電極膜厚：０．０８０λＩ1 弾性表面波共振子２０３の詳細な設計を、以下に示す。 交叉幅Ｗ：４９．１λ ＩＤＴ本数：４０１本 波長λ（ＩＤＴ、リフレクタ共）：２．０４μｍ リフレクタ本数：３０本 ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λ ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、リフレクタ共） 電極膜厚：０．０８０λ 弾性表面波共振子２０４の詳細な設計を、以下に示す。 交叉幅Ｗ：４０．６λ ＩＤＴ本数：２４１本 波長λ（ＩＤＴ、リフレクタ共）：１．９７μｍ リフレクタ本数：３０本 ＩＤＴ−リフレクタ間隔：０．５０λ ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ、リフレクタ共） 電極膜厚：０．０８４λ 次に、上記実施の形態の作用・効果について説明する。
まず、本実施の形態の構成での周波数に対する各平衡信
号端子２１４、２１５間の、振幅平衡度、及び位相平衡
度の各グラフを図２及び図３にそれぞれ示す。比較とし
て、図１に示す構成における、各アース端子２１６、２
１８をまとめて一つのアース端子とした以外は図１に示
す構成と同一な比較例の構成での振幅平衡度、及び位相
平衡度も図２及び図３にそれぞれ合わせて示す。
【００４６】ＰＣＳ受信用フィルタにおける通過帯域の
周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。
この範囲での最大の振幅平衡度は、比較例では２．４ｄ
Ｂであるのに対し、本実施の形態では２．０ｄＢと、約
０．４ｄＢ振幅平衡度が改善している。
周波数範囲は１９３０ＭＨｚ〜１９９０ＭＨｚである。
この範囲での最大の振幅平衡度は、比較例では２．４ｄ
Ｂであるのに対し、本実施の形態では２．０ｄＢと、約
０．４ｄＢ振幅平衡度が改善している。
【００４７】次に、最大の位相平衡度は、比較例では８
度であるに対し、本実施の形態では７度と、約１度位相
平衡度が改善している。これは、圧電基板２０１上で、
各ＩＤＴ２０６、２０８の各アース端子２１６、２１８
を電気的に互いに分離したことによるものである。
度であるに対し、本実施の形態では７度と、約１度位相
平衡度が改善している。これは、圧電基板２０１上で、
各ＩＤＴ２０６、２０８の各アース端子２１６、２１８
を電気的に互いに分離したことによるものである。
【００４８】さらに電気的に分離した各アース端子２１
６、２１８を、パッケージ２０５内で電気的に分離され
ている別々のボンディングパッド２２３、２２５と電気
的に接続することでも、平衡信号端子２１４、２１５間
の平衡度をさらに改善する効果が得られている。
６、２１８を、パッケージ２０５内で電気的に分離され
ている別々のボンディングパッド２２３、２２５と電気
的に接続することでも、平衡信号端子２１４、２１５間
の平衡度をさらに改善する効果が得られている。
【００４９】例えば図１において、アース端子２１６、
２１８のどちらもボンディングパッド２２３と電気的に
接続した場合や、また、ボンディングパッド２２３とボ
ンディングパッド２２５とが、パッケージ２０５内で電
気的に導通している場合では、本実施の形態よりも各平
衡信号端子２１４、２１５間の平衡度は悪化することが
確かめられている。
２１８のどちらもボンディングパッド２２３と電気的に
接続した場合や、また、ボンディングパッド２２３とボ
ンディングパッド２２５とが、パッケージ２０５内で電
気的に導通している場合では、本実施の形態よりも各平
衡信号端子２１４、２１５間の平衡度は悪化することが
確かめられている。
【００５０】以上説明したように、本実施の形態では、
平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタにお
いて、不平衡信号の入力端子または出力端子に接続され
ているＩＤＴの各アース端子を、圧電基板上やパッケー
ジ内で電気的に互いに分離することで、従来や比較例の
弾性表面波フィルタよりも各平衡信号端子間の平衡度が
改善された弾性表面波フィルタが得られる。
平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタにお
いて、不平衡信号の入力端子または出力端子に接続され
ているＩＤＴの各アース端子を、圧電基板上やパッケー
ジ内で電気的に互いに分離することで、従来や比較例の
弾性表面波フィルタよりも各平衡信号端子間の平衡度が
改善された弾性表面波フィルタが得られる。
【００５１】本実施の形態では、縦結合共振子型の弾性
表面波フィルタ部２０２の３つのＩＤＴ２０６、２０
７、２０８のうち中央のＩＤＴ２０７の総本数を偶数本
としたが、これは各平衡信号端子２１４、２１５に接続
されている各電極指の本数を互いに同じに設定すること
で、本発明の効果に加えて、更に各平衡信号端子２１
４、２１５間の平衡度を改善することができるためであ
る。
表面波フィルタ部２０２の３つのＩＤＴ２０６、２０
７、２０８のうち中央のＩＤＴ２０７の総本数を偶数本
としたが、これは各平衡信号端子２１４、２１５に接続
されている各電極指の本数を互いに同じに設定すること
で、本発明の効果に加えて、更に各平衡信号端子２１
４、２１５間の平衡度を改善することができるためであ
る。
【００５２】各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度
を更に改善するには実施の形態のように中央のＩＤＴ２
０７の総本数は偶数本であることが望ましいが、これが
奇数本であっても、本発明の効果は同様に得られる。
を更に改善するには実施の形態のように中央のＩＤＴ２
０７の総本数は偶数本であることが望ましいが、これが
奇数本であっても、本発明の効果は同様に得られる。
【００５３】また実施の形態では、シグナルライン２１
９と平衡信号端子２１４の間にアースライン２２０が挿
入されていたが、これはシグナルライン２１９と平衡信
号端子２１４の間の橋絡容量を低減することで、本発明
の効果に加えて、さらに各平衡信号端子２１４、２１５
間の平衡度を改善することができるためである。
９と平衡信号端子２１４の間にアースライン２２０が挿
入されていたが、これはシグナルライン２１９と平衡信
号端子２１４の間の橋絡容量を低減することで、本発明
の効果に加えて、さらに各平衡信号端子２１４、２１５
間の平衡度を改善することができるためである。
【００５４】各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度
を更に改善するには実施の形態のようにシグナルライン
２１９と、平衡信号端子２１４とが互いに隣り合う箇所
の間にアースライン２２０を挿入することが望ましい
が、このアースライン２２０が挿入されていなくても、
本発明の効果は同様に得られる。
を更に改善するには実施の形態のようにシグナルライン
２１９と、平衡信号端子２１４とが互いに隣り合う箇所
の間にアースライン２２０を挿入することが望ましい
が、このアースライン２２０が挿入されていなくても、
本発明の効果は同様に得られる。
【００５５】本実施の形態では、３つのＩＤＴ２０６、
２０７、２０８を有する縦結合共振子型の、１つの弾性
表面波フィルタ部２０２に、２つの各弾性表面波共振子
２０３、２０４を直列接続し、弾性表面波フィルタ部２
０２の中央部のＩＤＴ２０７から各平衡信号を得る構成
を挙げて、本発明について説明したが、本発明はこの構
成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾
性表面波フィルタにおいても、同様な効果が得られる。
２０７、２０８を有する縦結合共振子型の、１つの弾性
表面波フィルタ部２０２に、２つの各弾性表面波共振子
２０３、２０４を直列接続し、弾性表面波フィルタ部２
０２の中央部のＩＤＴ２０７から各平衡信号を得る構成
を挙げて、本発明について説明したが、本発明はこの構
成に限らず、平衡信号端子を有するどのような構成の弾
性表面波フィルタにおいても、同様な効果が得られる。
【００５６】例えば５つ以上のＩＤＴを有する縦結合共
振子型の弾性表面波フィルタ部の場合や、弾性表面波共
振子を並列接続した場合でも、同様な効果が得られる。
また図４のように、不平衡信号を縦結合共振子型の弾性
表面波フィルタ部のＩＤＴのそれぞれ逆側から入力（出
力）した場合、上記各ＩＤＴの各アース端子４０１、４
０２を圧電基板２０１上、およびパッケージ２０５内で
電気的に互いに分離することで、本発明の効果が得られ
る。
振子型の弾性表面波フィルタ部の場合や、弾性表面波共
振子を並列接続した場合でも、同様な効果が得られる。
また図４のように、不平衡信号を縦結合共振子型の弾性
表面波フィルタ部のＩＤＴのそれぞれ逆側から入力（出
力）した場合、上記各ＩＤＴの各アース端子４０１、４
０２を圧電基板２０１上、およびパッケージ２０５内で
電気的に互いに分離することで、本発明の効果が得られ
る。
【００５７】また図５のように縦結合共振子型の各弾性
表面波フィルタ部２０２、４０２を２段縦続接続した場
合、中央のＩＤＴ２０７を挟む各ＩＤＴ２０６、２０８
の各アース端子２１６、２１８、または／および、中央
のＩＤＴ４０７を挟む各ＩＤＴ４０６、４０８の各アー
ス端子４１６、４１８をそれぞれ圧電基板２０１上、お
よびパッケージ２０５内の少なくとも一方で電気的に互
いに分離することで、本発明の効果が得られる。
表面波フィルタ部２０２、４０２を２段縦続接続した場
合、中央のＩＤＴ２０７を挟む各ＩＤＴ２０６、２０８
の各アース端子２１６、２１８、または／および、中央
のＩＤＴ４０７を挟む各ＩＤＴ４０６、４０８の各アー
ス端子４１６、４１８をそれぞれ圧電基板２０１上、お
よびパッケージ２０５内の少なくとも一方で電気的に互
いに分離することで、本発明の効果が得られる。
【００５８】また、本実施の形態のように平衡信号端子
２１４、２１５問に電気的中性点を持たない構成（フロ
ートバランスタイプ）だけではなく平衡信号端子２１
４、２１５間に電気的中性点を有する構成においても、
本発明を適用することにより同様に各平衡信号端子２１
４、２１５間の平衡度が改善した弾性表面波フィルタが
得られる。
２１４、２１５問に電気的中性点を持たない構成（フロ
ートバランスタイプ）だけではなく平衡信号端子２１
４、２１５間に電気的中性点を有する構成においても、
本発明を適用することにより同様に各平衡信号端子２１
４、２１５間の平衡度が改善した弾性表面波フィルタが
得られる。
【００５９】なお、実施の形態では４０±５°Ｙｃｕｔ
Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ3 からなる圧電基板２０１を用いた
が、効果が得られる原理からもわかる通り、本発明はこ
の基板に限らず、６４°〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮ
ｂＯ3 、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 などの圧電
基板でも同様な効果が得られる。
Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ3 からなる圧電基板２０１を用いた
が、効果が得られる原理からもわかる通り、本発明はこ
の基板に限らず、６４°〜７２°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮ
ｂＯ3 、４１°ＹｃｕｔＸ伝搬ＬｉＮｂＯ3 などの圧電
基板でも同様な効果が得られる。
【００６０】次に、フェイスダウン工法でパッケージ内
に収容されている場合の例を、図６ないし図９を用いて
説明する。図６は、図１の圧電基板２０１上に形成され
た電極、端子等のレイアウトを、フェイスダウン工法で
パッケージ６３０内に収容するために変更したものであ
り、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部２０２、各
弾性表面波共振子２０３、２０４の設計は図１と同じで
ある。
に収容されている場合の例を、図６ないし図９を用いて
説明する。図６は、図１の圧電基板２０１上に形成され
た電極、端子等のレイアウトを、フェイスダウン工法で
パッケージ６３０内に収容するために変更したものであ
り、縦結合共振子型の弾性表面波フィルタ部２０２、各
弾性表面波共振子２０３、２０４の設計は図１と同じで
ある。
【００６１】端子の位置はパッケージ６３０内に収容し
やすいように変更しているが、各ＩＤＴ２０６、２０８
の各アース端子２１６、２１８は、図１と同様に電気的
に互いに分離されている。次に図７を用いて、パッケー
ジ６３０について説明する。
やすいように変更しているが、各ＩＤＴ２０６、２０８
の各アース端子２１６、２１８は、図１と同様に電気的
に互いに分離されている。次に図７を用いて、パッケー
ジ６３０について説明する。
【００６２】パッケージ６３０は２層構造の箱型となっ
ており、底板６３１、側壁部６３２、及びキャップ６３
３を有している。この底板６３１の内表面上に、上記内
表面に対面する、圧電基板２０１の表面上に形成された
弾性表面波フィルタ６３５との電気的な導通を確保する
ためのダイアタッチ部６３４が形成されている。弾性表
面波フィルタ６３５とダイアタッチ部６３４とは、バン
プ６３６によって電気的及び機械的に互いに結合されて
いる。
ており、底板６３１、側壁部６３２、及びキャップ６３
３を有している。この底板６３１の内表面上に、上記内
表面に対面する、圧電基板２０１の表面上に形成された
弾性表面波フィルタ６３５との電気的な導通を確保する
ためのダイアタッチ部６３４が形成されている。弾性表
面波フィルタ６３５とダイアタッチ部６３４とは、バン
プ６３６によって電気的及び機械的に互いに結合されて
いる。
【００６３】図７のダイアタッチ部６３４を上から（弾
性表面波フィルタ６３５側から）見た図を図８に示す。
ダイアタッチ部６３４に、不平衡信号端子用の端子７０
７、平衡信号端子用の各端子７０８、７０９、アース端
子用の端子７１０が形成されている。白丸がバンプの位
置を示しており、図６の不平衡信号端子２１３がバンプ
７０１、平衡信号端子２１４、２１５がそれぞれバンプ
７０４、７０６によって、また、各アース端子２１６、
２１７、２１８がそれぞれ各バンプ７０２、７０３、７
０５によって、パッケージ６３０のダイアタッチ部６３
４と電気的に接続されている。
性表面波フィルタ６３５側から）見た図を図８に示す。
ダイアタッチ部６３４に、不平衡信号端子用の端子７０
７、平衡信号端子用の各端子７０８、７０９、アース端
子用の端子７１０が形成されている。白丸がバンプの位
置を示しており、図６の不平衡信号端子２１３がバンプ
７０１、平衡信号端子２１４、２１５がそれぞれバンプ
７０４、７０６によって、また、各アース端子２１６、
２１７、２１８がそれぞれ各バンプ７０２、７０３、７
０５によって、パッケージ６３０のダイアタッチ部６３
４と電気的に接続されている。
【００６４】以上のようにフェイスダウン工法で形成し
た弾性表面波フィルタにおいても、ＩＤＴ２０６、２０
８の各アース端子２１６、２１８がチップ状のパッケー
ジ６３０上で電気的に互いに分離されているので、各平
衡信号端子２１４、２１５間の平衡度が良好な、弾性表
面波フィルタが得られる。
た弾性表面波フィルタにおいても、ＩＤＴ２０６、２０
８の各アース端子２１６、２１８がチップ状のパッケー
ジ６３０上で電気的に互いに分離されているので、各平
衡信号端子２１４、２１５間の平衡度が良好な、弾性表
面波フィルタが得られる。
【００６５】また、上記各アース端子２１６、２１８の
ように、アース端子を複数、例えば２つに分けること
で、図６に示すように、各バンプを圧電基板２０１の４
角にそれぞれ形成できるため、各バンプボンド位置のバ
ランスが良くなり、図７に示すパッケージ６３０と圧電
基板２０１との接合強度も上記各バンプボンド位置によ
って向上させることが可能となる。
ように、アース端子を複数、例えば２つに分けること
で、図６に示すように、各バンプを圧電基板２０１の４
角にそれぞれ形成できるため、各バンプボンド位置のバ
ランスが良くなり、図７に示すパッケージ６３０と圧電
基板２０１との接合強度も上記各バンプボンド位置によ
って向上させることが可能となる。
【００６６】また図９のように、図８に示すアース端子
用の端子７１０に代えて、上記端子７１０をアース端子
用の各端子８０１、８０２の２つに分割したダイアタッ
チ部７３４を備えたパッケージ７３０を用いて、各ＩＤ
Ｔ２０６、２０８のアース端子２１６、２１８をパッケ
ージ７３０内でも互いに電気的に分離することで、さら
に各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度を改善し
た、弾性表面波フィルタが得られる。
用の端子７１０に代えて、上記端子７１０をアース端子
用の各端子８０１、８０２の２つに分割したダイアタッ
チ部７３４を備えたパッケージ７３０を用いて、各ＩＤ
Ｔ２０６、２０８のアース端子２１６、２１８をパッケ
ージ７３０内でも互いに電気的に分離することで、さら
に各平衡信号端子２１４、２１５間の平衡度を改善し
た、弾性表面波フィルタが得られる。
【００６７】以上のように本発明では、圧電基板上に弾
性表面波の伝搬方向に沿って複数のＩＤＴを有し、平衡
信号入力端子または出力端子を有する弾性表面波フィル
タにおいて、前記弾性表面波フィルタの不平衡信号入力
端子または出力端子に接続されているＩＤＴの各アース
端子を、圧電基板上で電気的に互いに分離することで、
各平衡信号端子間の平衡度を改善した、弾性表面波フィ
ルタが得られる。
性表面波の伝搬方向に沿って複数のＩＤＴを有し、平衡
信号入力端子または出力端子を有する弾性表面波フィル
タにおいて、前記弾性表面波フィルタの不平衡信号入力
端子または出力端子に接続されているＩＤＴの各アース
端子を、圧電基板上で電気的に互いに分離することで、
各平衡信号端子間の平衡度を改善した、弾性表面波フィ
ルタが得られる。
【００６８】また、前記圧電基板上で電気的に分離した
各々の各アース端子を、パッケージ内の別々の各端子
（ボンディングパッド）と電気的に接続することで、パ
ッケージ内でも各アース端子を、互いに電気的に分離で
きて、さらに平衡信号端子間の平衡度を改善した、弾性
表面波フィルタが得られる。
各々の各アース端子を、パッケージ内の別々の各端子
（ボンディングパッド）と電気的に接続することで、パ
ッケージ内でも各アース端子を、互いに電気的に分離で
きて、さらに平衡信号端子間の平衡度を改善した、弾性
表面波フィルタが得られる。
【００６９】さらに、前記平衡信号入力端子または平衡
信号出力端子に接続されているＩＤＴの電極指の総本数
を偶数本とすること、前記弾性表面波フィルタのシグナ
ルラインまたは信号端子が隣り合う間にアースラインを
挿入し、シグナルライン間及び信号端子間に入る橋絡容
量を低減させることで、それぞれ、さらに各平衡信号端
子間の平衡度を改善した、弾性表面波フィルタが得られ
る。
信号出力端子に接続されているＩＤＴの電極指の総本数
を偶数本とすること、前記弾性表面波フィルタのシグナ
ルラインまたは信号端子が隣り合う間にアースラインを
挿入し、シグナルライン間及び信号端子間に入る橋絡容
量を低減させることで、それぞれ、さらに各平衡信号端
子間の平衡度を改善した、弾性表面波フィルタが得られ
る。
【００７０】また、通過帯域外の減衰量を大きくする上
では、直列、もしくは並列、あるいはその両方に、弾性
表面波共振子を少なくとも１つ以上接続することが望ま
しい。これにより、通過帯域外の減衰量を大きくでき
る。
では、直列、もしくは並列、あるいはその両方に、弾性
表面波共振子を少なくとも１つ以上接続することが望ま
しい。これにより、通過帯域外の減衰量を大きくでき
る。
【００７１】次に、上記実施の形態に記載の弾性表面波
フィルタを用いた通信装置について図１０に基づき説明
する。上記通信装置６００は、受信を行うレシーバ側
（Ｒｘ側）として、アンテナ６０１、アンテナ共用部／
ＲＦＴｏｐフィルタ６０２、アンプ６０３、Ｒｘ段間フ
ィルタ６０４、ミキサ６０５、１ｓｔＩＦフィルタ６０
６、ミキサ６０７、２ｎｄＩＦフィルタ６０８、１ｓｔ
＋２ｎｄローカルシンセサイザ６１１、ＴＣＸＯ（temp
erature compensated crystal oscillator（温度補償型
水晶発振器））６１２、デバイダ６１３、ローカルフィ
ルタ６１４を備えて構成されている。
フィルタを用いた通信装置について図１０に基づき説明
する。上記通信装置６００は、受信を行うレシーバ側
（Ｒｘ側）として、アンテナ６０１、アンテナ共用部／
ＲＦＴｏｐフィルタ６０２、アンプ６０３、Ｒｘ段間フ
ィルタ６０４、ミキサ６０５、１ｓｔＩＦフィルタ６０
６、ミキサ６０７、２ｎｄＩＦフィルタ６０８、１ｓｔ
＋２ｎｄローカルシンセサイザ６１１、ＴＣＸＯ（temp
erature compensated crystal oscillator（温度補償型
水晶発振器））６１２、デバイダ６１３、ローカルフィ
ルタ６１４を備えて構成されている。
【００７２】Ｒｘ段間フィルタ６０４からミキサ６０５
へは、図１０に二本線で示したように、バランス性を確
保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
へは、図１０に二本線で示したように、バランス性を確
保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【００７３】また、上記通信装置６００は、送信を行う
トランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ６０１
及び上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２を
共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ６２１、ミキサ６
２２、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンプ６２４、カプラ
６２５、アイソレータ６２６、ＡＰＣ（automatic powe
r control （自動出力制御））６２７を備えて構成され
ている。
トランシーバ側（Ｔｘ側）として、上記アンテナ６０１
及び上記アンテナ共用部／ＲＦＴｏｐフィルタ６０２を
共用するとともに、ＴｘＩＦフィルタ６２１、ミキサ６
２２、Ｔｘ段間フィルタ６２３、アンプ６２４、カプラ
６２５、アイソレータ６２６、ＡＰＣ（automatic powe
r control （自動出力制御））６２７を備えて構成され
ている。
【００７４】そして、上記のＲｘ段間フィルタ６０４、
１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ＴｘＩＦフィルタ６２１、
Ｔｘ段間フィルタ６２３には、上述した本実施の形態に
記載の弾性表面波フィルタが好適に利用できる。
１ｓｔＩＦフィルタ６０６、ＴｘＩＦフィルタ６２１、
Ｔｘ段間フィルタ６２３には、上述した本実施の形態に
記載の弾性表面波フィルタが好適に利用できる。
【００７５】本発明に係る弾性表面波フィルタは、フィ
ルタ機能と共に不平衡−平衡変換機能を備え、その上、
各平衡信号間の位相特性が理想により近いという優れた
特性を有するものである。よって、上記弾性表面波フィ
ルタを有する本発明の通信装置は、通信機能における伝
送特性を向上できるものとなっている。
ルタ機能と共に不平衡−平衡変換機能を備え、その上、
各平衡信号間の位相特性が理想により近いという優れた
特性を有するものである。よって、上記弾性表面波フィ
ルタを有する本発明の通信装置は、通信機能における伝
送特性を向上できるものとなっている。
【００７６】
【発明の効果】本発明の弾性表面波フィルタは、以上の
ように、圧電基板上に、平衡−不平衡変換機能を発揮す
るために、３以上の奇数個のＩＤＴを有し、不平衡信号
端子が一方の電極指にそれぞれ接続された少なくとも二
つの端部ＩＤＴの他方の電極指がアースに接続されてお
り、各端部ＩＤＴの内、少なくとも一つの端部ＩＤＴの
アースが、他の端部ＩＤＴのアースと圧電基板上におい
て電気的に分離されている構成である。
ように、圧電基板上に、平衡−不平衡変換機能を発揮す
るために、３以上の奇数個のＩＤＴを有し、不平衡信号
端子が一方の電極指にそれぞれ接続された少なくとも二
つの端部ＩＤＴの他方の電極指がアースに接続されてお
り、各端部ＩＤＴの内、少なくとも一つの端部ＩＤＴの
アースが、他の端部ＩＤＴのアースと圧電基板上におい
て電気的に分離されている構成である。
【００７７】それゆえ、各端部ＩＤＴの内、少なくとも
一つの端部ＩＤＴのアースを、他の端部ＩＤＴのアース
と圧電基板上において電気的に分離したので、各平衡信
号端子間の平衡度を改善できるという効果を奏する。
一つの端部ＩＤＴのアースを、他の端部ＩＤＴのアース
と圧電基板上において電気的に分離したので、各平衡信
号端子間の平衡度を改善できるという効果を奏する。
【図１】本発明に係る実施の形態の弾性表面波フィルタ
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図２】上記実施の形態と比較例との間での振幅平衡度
の差を示すグラフである。
の差を示すグラフである。
【図３】上記実施の形態と比較例との間での位相平衡度
の差を示すグラフである。
の差を示すグラフである。
【図４】上記実施の形態の他の変形例を示す概略構成図
である。
である。
【図５】上記実施の形態のさらに他の変形例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図６】上記実施の形態をフェイスダウン工法で形成し
た際のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
た際のさらに他の変形例を示す概略構成図である。
【図７】上記フェイスダウン工法にて用いるパッケージ
の概略断面図である。
の概略断面図である。
【図８】上記パッケージのダイアタッチ部の平面図であ
る。
る。
【図９】上記ダイアタッチ部の一変形例を示す平面図で
ある。
ある。
【図１０】本発明の通信装置の要部ブロック図である。
【図１１】平衡−不平衡変換機能を有する、従来の弾性
表面波フィルタの概略構成図である。
表面波フィルタの概略構成図である。
２０１ 圧電基板
２０２、４０２ 弾性表面波フィルタ部（フィルタ部）
２０６、２０８ ＩＤＴ（端部くし型電極部）
２０７ ＩＤＴ（中央くし型電極部）
２１４、２１５ 平衡信号端子
２１６、２１８ アース端子
２１９ シグナルライン
２２０ アースライン
Claims (7)
- 【請求項１】圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿
って三つ以上の奇数個のくし型電極部を有するフィルタ
部が設けられ、 各平衡信号端子が、各くし型電極部における中央の中央
くし型電極部の各電極指にそれぞれ接続されて設けら
れ、 不平衡信号端子が、各くし型電極部における中央くし型
電極部と異なる少なくとも二つの端部くし型電極部の一
方の電極指にそれぞれ接続されて設けられ、 各端部くし型電極部の他方の電極指がアースに接続され
ており、 各端部くし型電極部の内、少なくとも一つの端部くし型
電極部のアースが、他の端部くし型電極部のアースと圧
電基板上において電気的に分離されていることを特徴と
する弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】請求項１記載の弾性表面波フィルタにおい
て、 不平衡信号端子及び各端部くし型電極部を互いに接続す
るためのシグナルラインが、各平衡信号端子の一方を囲
んで設けられ、 上記シグナルラインに囲まれた平衡信号端子と上記シグ
ナルラインとの間にアースラインが設けられていること
を特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿
って三つ以上の奇数個のくし型電極部を有するフィルタ
部が複数段にて設けられ、 各平衡信号端子が、各フィルタ部の内の一つの第一のフ
ィルタ部における第一の中央くし型電極部の各電極指に
それぞれ接続されて設けられ、 不平衡信号端子が、各フィルタ部の内の第一のフィルタ
部と異なる第二のフィルタ部の第二の中央くし型電極部
の一方の電極指に接続されて設けられ、 各フィルタ部の、第一及び第二の中央くし型電極部と異
なる端部くし型電極部の一方の電極指がアースにそれぞ
れ接続され、 各端部くし型電極部の内、少なくとも一つの端部くし型
電極部のアースが、他の端部くし型電極部のアースと圧
電基板上において電気的に分離されていることを特徴と
する弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】請求項１ないし３の何れかに記載の弾性表
面波フィルタにおいて、 圧電基板を収納するパッケージがアース端子用のボンデ
ィングパッドを複数有して設けられ、中央くし型電極部
を間に挟む各端部くし型電極部のアースは、それらを電
気的に分離するために、互いに異なる上記ボンディング
パッドにそれぞれ接続されていることを特徴とする弾性
表面波フィルタ。 - 【請求項５】請求項１ないし４の何れかに記載の弾性表
面波フィルタにおいて、 前記各平衡信号端子に接続されているくし型電極部の電
極指の総本数は偶数本であることを特徴とする弾性表面
波フィルタ。 - 【請求項６】請求項１ないし５の何れかに記載の弾性表
面波フィルタにおいて、 フィルタ部に対し、直列及び並列の少なくとも一方に
て、弾性表面波共振子が少なくとも１つ接続されている
ことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項７】請求項１ないし６の何れかに記載の弾性表
面波フィルタを有することを特徴とする通信装置。
Priority Applications (7)
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|---|---|---|---|
| JP2002159137A JP3864850B2 (ja) | 2001-08-09 | 2002-05-31 | 弾性表面波フィルタ、通信装置 |
| TW091116919A TWI259655B (en) | 2001-08-09 | 2002-07-29 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus |
| KR10-2002-0046756A KR100489777B1 (ko) | 2001-08-09 | 2002-08-08 | 탄성표면파 필터 및 통신 장치 |
| EP02255590A EP1289136A3 (en) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus. |
| EP06011341A EP1710912A3 (en) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus |
| US10/215,024 US6756867B2 (en) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | Surface acoustic wave filter and communication apparatus |
| CNB021419825A CN1223084C (zh) | 2001-08-09 | 2002-08-09 | 弹性表面波滤波器、通信装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001242846 | 2001-08-09 | ||
| JP2001-242846 | 2001-08-09 | ||
| JP2002159137A JP3864850B2 (ja) | 2001-08-09 | 2002-05-31 | 弾性表面波フィルタ、通信装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003124782A true JP2003124782A (ja) | 2003-04-25 |
| JP3864850B2 JP3864850B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=26620314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002159137A Expired - Lifetime JP3864850B2 (ja) | 2001-08-09 | 2002-05-31 | 弾性表面波フィルタ、通信装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6756867B2 (ja) |
| EP (2) | EP1289136A3 (ja) |
| JP (1) | JP3864850B2 (ja) |
| KR (1) | KR100489777B1 (ja) |
| CN (1) | CN1223084C (ja) |
| TW (1) | TWI259655B (ja) |
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| WO2009119016A1 (ja) | 2008-03-27 | 2009-10-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
| US7924118B2 (en) | 2007-05-28 | 2011-04-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Duplexer and elastic wave device |
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| WO2005101657A1 (ja) * | 2004-04-16 | 2005-10-27 | Toyo Communication Equipment Co., Ltd. | 平衡型弾性表面波フィルタ |
| JP3993579B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2007-10-17 | 富士通メディアデバイス株式会社 | バランス出力型フィルタ |
| JP4294632B2 (ja) | 2005-10-26 | 2009-07-15 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波装置 |
| CN102804601B (zh) * | 2009-06-26 | 2015-03-04 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置及双工器 |
| JP2012065272A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波デバイス |
| WO2014050450A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
| JP6558445B2 (ja) * | 2015-11-18 | 2019-08-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ、デュプレクサ及び弾性波フィルタモジュール |
| KR102372785B1 (ko) * | 2017-09-05 | 2022-03-08 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 필터 장치 및 필터 장치의 제조 방법 |
| US20210159883A1 (en) * | 2019-11-27 | 2021-05-27 | Tohoku University | Energy confinement in acoustic wave devices |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0637872B1 (en) * | 1993-08-06 | 2000-02-23 | Kinseki Limited | Surface acoustic wave device |
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