JP2016178387A - 弾性波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板10上に設けられ、それぞれ複数の電極指12a、12bと前記複数の電極指が共通に接続されたバスバー16a、16bとを含み、互いの前記複数の電極指と前記バスバーまたは前記バスバーに共通に接続された複数のダミー電極指14a、14bとが向かい合って配置された1組の櫛型電極18a、18bと、それぞれが、前記複数の電極指の先端と前記バスバーまたは前記複数のダミー電極指の先端との間に位置する複数の隙間の少なくとも一部を覆い、前記複数の電極指の配列方向に互いに離れて設けられた複数の第1付加膜30と、平面視において前記バスバーおよび前記バスバーの外側の少なくとも一方に重なるように、前記配列方向に互いに離れて設けられた複数の第2付加膜32と、を具備する弾性波デバイス。
【選択図】図2
Description
11 交差領域
12、12a、12b、22 電極指
14、14a、14b ダミー電極指
15 ギャップ領域
16、16a、16b、24 バスバー
18、18a、18b 櫛型電極
20a、20b バッド
26 反射器
28 保護膜
30、32 付加膜
34 金属膜
Claims (9)
- 圧電基板上に設けられ、それぞれ複数の電極指と前記複数の電極指が共通に接続されたバスバーとを含み、互いの前記複数の電極指と前記バスバーまたは前記バスバーに共通に接続された複数のダミー電極指とが向かい合って配置された1組の櫛型電極と、
それぞれが、前記複数の電極指の先端と前記バスバーまたは前記複数のダミー電極指の先端との間に位置する複数の隙間の少なくとも一部を覆い、前記複数の電極指の配列方向に互いに離れて設けられた複数の第1付加膜と、
平面視において前記バスバーおよび前記バスバーの外側の少なくとも一方に重なるように、前記配列方向に互いに離れて設けられた複数の第2付加膜と、
を具備することを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記複数の第2付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向からみて前記第1付加膜の間に少なくとも一部が重なるように設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の第2付加膜は、平面視において少なくとも前記バスバーに重なるように設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の第2付加膜の前記配列方向のピッチは、前記複数の第1付加膜の前記配列方向のピッチと同じであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の第2付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向からみて前記第1付加膜の間に少なくとも一部が重なり、平面視において少なくとも前記バスバーに重なるように設けられ、前記複数の第2付加膜の前記配列方向のピッチは、前記複数の第1付加膜の前記配列方向のピッチと同じであることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記複数の第2付加膜は、前記複数の電極指の延伸方向に複数設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記延伸方向に設けられた複数の第2付加膜は、前記配列方向に互いにずれて設けられていることを特徴とする請求項6記載の弾性波デバイス。
- 前記1組の櫛型電極の前記配列方向に設けられ、複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを含む反射器を具備し、
前記複数の第2付加膜は、平面視において前記反射器のバスバーおよび前記反射器のバスバーの外側の少なくとも一方に重なるように設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。 - 前記複数の第2付加膜は、平面視において、前記反射器の前記配列方向の最も外側の電極指および前記最も外側の電極指の外側の少なくとも一方に重なるように設けられていることを特徴とする請求項8記載の弾性波デバイス。
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