JP2018191115A - 弾性波デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
12 金属膜
14 絶縁膜
15 バリア層
16 金属層
17 低抵抗層
20 IDT
21 電極指
22 櫛型電極
23 バスバー
24 反射器
25 弾性表面波共振器
26、27 電極
28 対向領域
30 放電素子
32 配線
34 パッド
36 バンプ
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、各々複数の電極指と前記複数の電極指が接続されたバスバーとを有し、前記複数の電極指が対向する一対の櫛型電極と、
前記一対の櫛型電極の少なくとも一方に電気的に接続された第1電極と、グランドパッドに電気的に接続され少なくとも一部において前記第1電極と重なる第2電極と、前記第1電極と前記第2電極とが重なる領域における前記第1電極と前記第2電極との間に設けられ前記第1電極および前記第2電極の各々の膜厚より小さい膜厚を有する絶縁膜と、を有する放電素子と、
を具備する弾性波デバイス。 - 前記絶縁膜の膜厚は、前記一対の櫛型電極が対向する最小のギャップの距離より小さい請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第1電極は前記第2電極に向かうに従い幅が狭くなり、前記第2電極は前記第1電極に向かうに従い幅が狭くなる請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記第1電極と前記第2電極との間の静電容量は0.1pF以下である請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記一対の櫛型電極は入力パッドと出力パッドとの間に接続され、前記第1電極は、前記一対の櫛型電極を介さず前記入力パッドおよび前記出力パッドのいずれか一方に接続される請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記入力パッドおよび前記出力パッドのうち前記第1電極に接続された一方並びに前記グランドパッドは、前記圧電基板上に設けられた金属膜と前記金属膜上に設けられた金属層とから形成され、
前記第1電極は、前記金属膜および前記金属層のいずれか一方から形成され前記金属膜および前記金属層の他方を含まず、前記第2電極は、前記金属膜および前記金属層の他方から形成され前記金属膜および前記金属層の一方を含まない請求項5記載の弾性波デバイス。 - 前記一対の櫛型電極は前記金属膜から形成される請求項6記載の弾性波デバイス。
- 前記一対の櫛型電極を含むフィルタを具備する請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記絶縁膜は、酸化シリコン膜または窒化シリコン膜であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
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CN111294009A (zh) * | 2018-12-10 | 2020-06-16 | 太阳诱电株式会社 | 声波装置、滤波器和多路复用器 |
KR20220105512A (ko) * | 2021-01-20 | 2022-07-27 | (주)와이솔 | 필터 및 멀티플렉서 |
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KR20220105512A (ko) * | 2021-01-20 | 2022-07-27 | (주)와이솔 | 필터 및 멀티플렉서 |
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