JPWO2019003909A1 - 弾性波装置及び複合フィルタ装置 - Google Patents
弾性波装置及び複合フィルタ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019003909A1 JPWO2019003909A1 JP2019526783A JP2019526783A JPWO2019003909A1 JP WO2019003909 A1 JPWO2019003909 A1 JP WO2019003909A1 JP 2019526783 A JP2019526783 A JP 2019526783A JP 2019526783 A JP2019526783 A JP 2019526783A JP WO2019003909 A1 JPWO2019003909 A1 JP WO2019003909A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- elastic wave
- sound speed
- electrode finger
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 33
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 26
- 239000010408 film Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
- H03H9/02716—Tilted, fan shaped or slanted grating lines
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/1452—Means for weighting by finger overlap length, apodisation
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1457—Transducers having different finger widths
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/643—Means for obtaining a particular transfer characteristic the transfer characteristic being determined by reflective or coupling array characteristics
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
2…圧電性基板
3…圧電体層
4…低音速層
5…高音速層
6…IDT電極
7a,7b…第1,第2のバスバー
8a,8b…第1,第2の電極指
9a,9b…第1,第2のダミー電極指
13…反射器
14a,14b…第1,第2のバスバー
15…電極指
15c,15d…第1,第2の端部
15e,15f…第1,第2の辺部分
16…反射器
17a,17b…第1,第2のバスバー
18…電極指
18c,18d…第1,第2の端部
23,26…反射器
31…弾性波装置
32…開口部
36…IDT電極
37a,37b…第1,第2のバスバー
38a,38b…第1,第2の電極指
39a…幅広部
43…反射器
44a,44b…第1,第2のバスバー
45…電極指
45e,45f…第1,第2の辺部分
46…反射器
48…電極指
53,56…反射器
63…反射器
65…電極指
65c,65d…第1,第2の端部
65e,65f…第1,第2の辺部分
65g…段差部
66…反射器
68…電極指
71…弾性波装置
76…IDT電極
77a,77b…第1,第2のバスバー
78a,78b…第1,第2の電極指
81…複合フィルタ装置
82A,82B…第1,第2の帯域通過型フィルタ
83…アンテナ端子
84…信号端子
91…複合フィルタ装置
92B,92C…第2,第3の帯域通過型フィルタ
P1,P2…並列腕共振子
S1〜S3…直列腕共振子
Claims (10)
- 圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられているIDT電極と、
弾性波伝搬方向を第1の方向としたときに、前記圧電性基板上において、前記IDT電極の前記第1の方向両側に設けられている一対の反射器と、
を備え、
前記第1の方向に直交する方向を第2の方向としたときに、前記一対の反射器が、前記第2の方向に延びる複数の電極指をそれぞれ有し、
前記電極指が、前記第2の方向における一方端である第1の端部及び他方端である第2の端部を有し、
前記電極指の前記第1の方向に沿う寸法を電極指幅としたときに、前記電極指の前記第2の端部の前記電極指幅が前記第1の端部の前記電極指幅より広く、
前記電極指において、ある任意の位置における前記電極指幅が、該任意の位置よりも前記第1の端部に近い位置における前記電極指幅以上である、弾性波装置。 - 前記電極指の前記電極指幅が、前記第1の端部から前記第2の端部に向かい連続的に広くなっている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記電極指の前記電極指幅が、前記第1の端部から前記第2の端部に向かい段階的に広くなっている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 隣り合う前記電極指において、前記第1の端部及び前記第2の端部の前記第2の方向における位置の関係が互いに反対である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 隣り合う前記電極指において、前記第1の端部及び前記第2の端部の前記第2の方向における位置の関係が互いに同じである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極が、互いに対向しており、かつ前記第1の方向に対して傾斜して延びている第1のバスバー及び第2のバスバーを有し、
前記一対の反射器が、互いに対向しており、前記電極指に接続されており、かつ前記第1の方向に対して傾斜して延びている第1のバスバー及び第2のバスバーをそれぞれ有する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記IDT電極が、互いに対向する第1のバスバー及び第2のバスバーと、前記第1のバスバーに一端が接続された複数の第1の電極指と、前記第2のバスバーに一端が接続されており、かつ前記複数の第1の電極指と間挿し合っている複数の第2の電極指と、を有し、前記IDT電極が、前記第1の電極指と前記第2の電極指とが前記第1の方向において重なり合っている部分である交叉領域を有し、
前記交叉領域が、前記第2の方向における中央側に位置している中央領域を有し、
前記交叉領域において、前記中央領域の前記第1のバスバー側に配置されており、かつ前記中央領域における音速より音速が低い第1の低音速領域と、前記中央領域の前記第2のバスバー側に配置されており、かつ前記中央領域における音速より音速が低い第2の低音速領域とが設けられており、
前記IDT電極において、前記中央領域における音速より音速が高い第1の高音速領域と、第2の高音速領域とが設けられており、前記第1の高音速領域が前記第1の低音速領域の前記第2の方向において外側に配置されており、前記第2の高音速領域が前記第2の低音速領域の前記第2の方向において外側に配置されている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記圧電性基板が、圧電体からなる圧電体層と、前記圧電体層に積層されており、かつ前記圧電体層を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が低い低音速層と、前記低音速層に積層されており、かつ前記圧電体層を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高い高音速層と、を有し、
前記圧電体層上に前記IDT電極及び前記一対の反射器が設けられている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - アンテナに接続されるアンテナ端子と、
前記アンテナ端子に共通接続されている複数のフィルタ装置と、
を備え、
前記複数のフィルタ装置のうち少なくとも1つのフィルタ装置が、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置を含む、複合フィルタ装置。 - 前記弾性波装置を含む前記フィルタ装置が、複数の弾性波共振子を有するラダー型フィルタであり、
前記弾性波装置が、前記複数の弾性波共振子のうち、前記フィルタ装置の最も前記アンテナ端子側に位置する弾性波共振子である、請求項9に記載の複合フィルタ装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017124216 | 2017-06-26 | ||
JP2017124216 | 2017-06-26 | ||
PCT/JP2018/022522 WO2019003909A1 (ja) | 2017-06-26 | 2018-06-13 | 弾性波装置及び複合フィルタ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019003909A1 true JPWO2019003909A1 (ja) | 2020-03-26 |
JP6835222B2 JP6835222B2 (ja) | 2021-02-24 |
Family
ID=64741531
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019526783A Active JP6835222B2 (ja) | 2017-06-26 | 2018-06-13 | 弾性波装置及び複合フィルタ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11611326B2 (ja) |
JP (1) | JP6835222B2 (ja) |
CN (1) | CN110800212B (ja) |
WO (1) | WO2019003909A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG10201911416RA (en) * | 2018-12-03 | 2020-07-29 | Skyworks Solutions Inc | Acoustic Wave Device With Transverse Spurious Mode Suppression |
WO2020261763A1 (ja) * | 2019-06-24 | 2020-12-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
CN114337582A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-04-12 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种声表面波谐振器 |
CN114567283B (zh) * | 2022-01-28 | 2023-04-11 | 江苏卓胜微电子股份有限公司 | 叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器 |
WO2023243351A1 (ja) * | 2022-06-17 | 2023-12-21 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、および通信装置 |
WO2024085062A1 (ja) * | 2022-10-19 | 2024-04-25 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及び弾性波素子 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001285012A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2004266827A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Northrop Grumman Corp | 重み付けされた反射型グレーティングを用いたデュラルトラックsaw反射器フィルタ |
JP2005198020A (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置 |
JP2014192723A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波フィルタ |
JP2014229961A (ja) * | 2013-05-20 | 2014-12-08 | 日本電波工業株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2015177465A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
WO2016208446A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6856214B2 (en) * | 2002-12-10 | 2005-02-15 | Nortel Networks Limited | Surface wave devices with low passband ripple |
JP2005203996A (ja) * | 2004-01-15 | 2005-07-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | トランスバーサルsawフィルタ |
JP2012060421A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波デバイス、電子機器及びセンサー装置 |
WO2014034492A1 (ja) * | 2012-08-29 | 2014-03-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
CN105264772B (zh) * | 2013-05-29 | 2018-01-12 | 株式会社村田制作所 | 弹性波滤波器装置 |
JP6504551B2 (ja) * | 2013-06-10 | 2019-04-24 | 太陽誘電株式会社 | 共振器、フィルタおよび分波器 |
WO2015198897A1 (ja) * | 2014-06-23 | 2015-12-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
KR101974830B1 (ko) * | 2015-03-27 | 2019-05-03 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 공진자, 탄성파 필터 및 듀플렉서 |
US10715105B2 (en) * | 2016-06-24 | 2020-07-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device |
JP2018182354A (ja) * | 2017-04-03 | 2018-11-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
-
2018
- 2018-06-13 CN CN201880042794.4A patent/CN110800212B/zh active Active
- 2018-06-13 WO PCT/JP2018/022522 patent/WO2019003909A1/ja active Application Filing
- 2018-06-13 JP JP2019526783A patent/JP6835222B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-23 US US16/724,419 patent/US11611326B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001285012A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
JP2004266827A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Northrop Grumman Corp | 重み付けされた反射型グレーティングを用いたデュラルトラックsaw反射器フィルタ |
JP2005198020A (ja) * | 2004-01-07 | 2005-07-21 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波装置 |
JP2014192723A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波フィルタ |
JP2014229961A (ja) * | 2013-05-20 | 2014-12-08 | 日本電波工業株式会社 | 弾性表面波素子 |
JP2015177465A (ja) * | 2014-03-17 | 2015-10-05 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
WO2016208446A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11611326B2 (en) | 2023-03-21 |
JP6835222B2 (ja) | 2021-02-24 |
CN110800212B (zh) | 2023-09-26 |
CN110800212A (zh) | 2020-02-14 |
WO2019003909A1 (ja) | 2019-01-03 |
US20200127638A1 (en) | 2020-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6835222B2 (ja) | 弾性波装置及び複合フィルタ装置 | |
JP5942740B2 (ja) | ラダー型フィルタ及び分波器 | |
JP5333654B2 (ja) | ラダー型フィルタ及びデュプレクサ | |
US10084431B2 (en) | Ladder filter | |
US11018650B2 (en) | Acoustic wave device | |
WO2016111262A1 (ja) | 複合フィルタ装置 | |
JP2011182220A (ja) | 弾性波共振器及びこれを用いた縦結合二重モードフィルタ、ラダー型フィルタ | |
US11165409B2 (en) | Acoustic wave device, filter, and composite filter device | |
JP5333650B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2017163481A (ja) | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
WO2021002321A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
WO2019131530A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP4571200B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
WO2019059208A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置及びマルチプレクサ | |
CN114270707A (zh) | 弹性波装置 | |
JP5850209B1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP2011205625A (ja) | ラダー型フィルタ | |
US8222973B2 (en) | Elastic wave resonator, ladder filter and duplexer | |
US11038484B2 (en) | Acoustic wave device, band pass filter, and multiplexer | |
KR20230091164A (ko) | 탄성파 장치 및 래더형 필터 | |
WO2024004862A1 (ja) | フィルタ装置および通信装置 | |
WO2021045031A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 | |
JP2017076903A (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
JP2024036840A (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6835222 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |