JP2005203996A - トランスバーサルsawフィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電基板上に入力用IDT電極と出力用IDT電極を所定の間隙をあけて配置したトランスバーサルSAWフィルタにおいて、通過帯域近傍の阻止域減衰量を改善することを目的とする。
【解決手段】圧電基板1上にIDT電極2、3を所定の間隙をあけて形成し、入出力端子間の直達波を遮蔽するためのグレーティング型シールド電極4を前記IDT電極2、3の間隙に形成する。そして、シールド電極4の電極周期λsを、IDT電極2、3の電極周期をλi、IDT電極2、3を励振するリーキーSAWの共振周波数をfl、シールド電極4により形成される反射帯域の中心周波数をfmとした時、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiの範囲に設定する。
【選択図】 図1
【解決手段】圧電基板1上にIDT電極2、3を所定の間隙をあけて形成し、入出力端子間の直達波を遮蔽するためのグレーティング型シールド電極4を前記IDT電極2、3の間隙に形成する。そして、シールド電極4の電極周期λsを、IDT電極2、3の電極周期をλi、IDT電極2、3を励振するリーキーSAWの共振周波数をfl、シールド電極4により形成される反射帯域の中心周波数をfmとした時、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiの範囲に設定する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧電基板上に入力用IDT電極と出力用IDT電極を所定の間隙をあけて配置したトランスバーサルSAWフィルタにおいて、阻止域減衰量を改善したトランスバーサルSAWフィルタに関する。
近年、弾性表面波(Surface Acoustic Wave:以下、SAW)フィルタは移動体通信分野で広く利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴があることから特に携帯電話、無線LAN等に多く用いられている。これらの機器に用いられるIF用SAWフィルタは、小型軽量、広帯域、低損失であると共に、隣接するキャリア周波数を阻止するために急峻な減衰傾度が要求される。更に、前記IF用SAWフィルタは高速なデジタルデータの品質を保持するために位相直線性も要求される。このような要求仕様を満足するフィルタ形式としては、振幅特性と位相特性を別々に設計可能なトランスバーサルSAWフィルタが最も適している。
図7は従来のトランスバーサルSAWフィルタの構成を示す平面図であって、圧電基板101の主表面上にSAWの伝搬方向に沿って入力用IDT電極102と出力用IDT電極103を所定の間隔をあけて配置すると共に、該IDT電極102、103の間に入出力端子間の直達波を遮蔽するためのシールド電極104を配置する。前記IDT電極102、103は互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極より構成されており、IDT電極102の一方のくし形電極を入力端子INに接続すると共に他方のくし形電極は接地し、IDT電極103の一方のくし形電極を出力端子OUTに接続すると共に他方のくし形電極は接地した構造である。また、基板端面からの不要な反射波を抑圧するために、圧電基板101の長辺方向(SAWの伝搬方向)の両端に吸音材105を塗布している。
前記シールド電極104の形状は、図7に示すような長方形のベタ電極が一般的に用いられているが、このようなベタ電極にするとシールド電極の端面でSAWの反射が発生し、IDT電極内に不要波が混入してフィルタ特性にリップルが発生してしまう問題があった。また、前記シールド電極の形状を平行四辺形とすることで、端面を斜めにしSAWの反射による不要波をIDT電極内に混入することを阻止しリップルを低減した構造が試みられてきたが、端面反射の影響を完全になくすことはできなかった。
前記問題を解決するために、図8に示すようなグレーティング型のシールド電極114が考案された。該シールド電極114は電極指を所定の間隔をあけて配置することによりグレーティングを形成し、電極周期λsをIDT電極112、113の電極周期λiと等しくした構造となっている。このようにシールド電極をグレーティング型にすることにより、シールド電極の端面で生じる反射が打ち消されるので、不要波に起因するリップルの発生を阻止できることが知られている。
更に、前記グレーティング型のシールド電極において、該シールド電極の一部の電極指間間隔をずらしたり電極指幅を変化させたりしてSAWの反射に重み付けを施すことにより通過帯域近傍の減衰量を高めることができる。
ところで、弾性表面波の伝搬モードにはレイリーSAWやリーキーSAW、縦波型のSSBW(Surface Skimming Bulk Waves)等がある。図9は、圧電基板に33.5°回転YカットX伝搬水晶基板を用い、レイリーSAWを主伝搬モードにしたトランスバーサルSAWフィルタのフィルタ特性を示している。なお、中心周波数foは200(MHz)に設定している。同図に示すようにリーキーSAWはレイリーSAWの約1.6倍の周波数位置、縦波型SSBWはレイリーSAWの約1.8倍の周波数位置に主応答が現れ、通過帯域から比較的離れた位置に主伝搬モード以外の伝搬モードの主応答が出現することが分かる。一方、図示していないが、リーキーSAWを主伝搬モードにしたトランスバーサルSAWフィルタの場合、レイリーSAWはリーキーSAWの約0.6倍の周波数位置、縦波型SSBWはリーキーSAWの約1.1倍の周波数位置に主応答が現れ、通過帯域に比較的近い位置に主伝搬モード以外の伝搬モードの主応答が出現してしまうので、レイリーSAWを主伝搬モードにしたトランスバーサルSAWフィルタと比較して通過帯域近傍の減衰量が劣ってしまうことが知られている。従って、通過域近傍において高減衰が要求されるSAWフィルタにおいては、レイリーSAWを主伝搬モードとして選択することが多い。
ところが、レイリーSAWを主伝搬モードとしたトランスバーサルSAWフィルタにおいて、前記リーキーSAWの低域側の応答がスプリアスとしてレイリーSAWの応答に混入してしまい、通過帯域近傍の阻止域減衰量が劣化してしまう問題があった。この問題を図10を用いて説明する。同図は図9のフィルタ特性における中心周波数fo付近の通過特性を拡大した図であり、レイリーSAWのみの応答(実線)とリーキーSAWのみの応答(点線)を分けて図示している。ここで、通過帯域近傍の阻止域に着目すると、実線に示すレイリーSAWのみの応答は阻止域Xにおいて高減衰であるが、点線に示すリーキーSAWのみの応答は阻止域Xにおいて減衰量が劣化しているのが分かる。従って、両伝搬モードを合成したフィルタ特性で見ると、阻止域XにおいてリーキーSAWの応答がスプリアスとして現れてしまうので減衰量が劣化してしまうのである。
特願平7−142779号公報
本発明の解決しようとする課題は、入力用IDT電極と出力用IDT電極とを所定の間隙をあけて配置し、レイリーSAWを主伝搬モードにしたトランスバーサルSAWフィルタにおいて、リーキーSAWの低域側の応答がレイリーSAWの応答に混入し阻止域減衰量を劣化させてしまう点である。
上記課題を解決するために本発明に係るトランスバーサルSAWフィルタの請求項1に記載の発明は、圧電基板上に少なくとも2個のIDT電極を所定の間隙をあけて配置し、入出力端子間の直達波を遮蔽するためのグレーティング型のシールド電極を前記IDT電極の間隙に配置したトランスバーサルSAWフィルタにおいて、前記シールド電極の電極周期λsは、前記IDT電極の電極周期をλi、前記IDT電極を励振するリーキーSAWの共振周波数をfl、前記シールド電極により形成される反射帯域の中心周波数をfmとした時、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiの範囲に設定することを特徴としている。
請求項2に記載の発明は、前記シールド電極は、隣り合う電極指の中心間距離をλs/2として電極指を順次配置していることを特徴としている。
請求項3に記載の発明は、前記シールド電極に、隣り合う電極指の中心間距離を3λs/4、或いは3λs/8とした部分が含まれていることを特徴としている。
請求項4に記載の発明は、前記シールド電極に、隣り合う電極指の中心間距離を3λs/4にし、その3λs/4の中心間距離を有する電極指間にλs/4以下の幅を有する電極指を1本配置した部分が含まれていることを特徴としている。
請求項5に記載の発明は、前記シールド電極は、隣り合う電極指の中心間距離がλs/2となるよう電極指が順次配置された構造を基本として、電極指の1本を間引き、その位置にλs/4以下の幅を有する電極指を2本配置した構造を有していることを特徴としている。
以下、本発明を図面に図示した実施の形態例に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の第1の実施例に係るトランスバーサルSAWフィルタの平面図を示したものである。圧電基板1に33.5°回転YカットX伝搬水晶基板を用い、該圧電基板1の主表面上にSAWの伝搬方向に沿ってAlを主成分とする金属材料からなる入力用IDT電極2と出力用IDT電極3を所定の間隔をあけて配置すると共に、該IDT電極2,3の間に入出力端子間の直達波を遮蔽する為のグレーティング型のシールド電極4を配置したレイリーSAWを主伝搬モードとするトランスバーサルSAWフィルタである。前記IDT電極2、3は互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極より構成されており、IDT電極2の一方のくし形電極を入力端子INに接続すると共に他方のくし形電極は接地し、IDT電極3の一方にくし形電極を出力端子OUTに接続すると共に、他方のくし形電極は接地した構造である。そして、シールド電極4は、該シールド電極の電極周期をλsとした場合、3λs/8の幅を有する電極指をλs/8の間隔を介して順次配置している。また、基板端面からの不要な反射波を抑圧するために圧電基板1の長辺方向(SAWの伝搬方向)の両端に吸音材5を塗布する。本発明の特徴は、シールド電極4の電極周期λsを調整することにより、リーキーSAWの低域応答を前記シールド電極4で反射させ、出力用IDT電極3にリーキーSAWの低域応答を透過させないようにしたことである。
ここで、本発明のシールド電極4の構造について詳細に説明する。該シールド電極4の電極周期λsは、入出力用IDT電極2、3の電極周期をλi、レイリーSAWの共振周波数をfs、リーキーSAWの共振周波数をfl、阻止域周波数をf'とした時、λs=(fl/fs)×(fs/f')×λi=(fl/f')×λiに設定している。つまり、阻止域におけるレイリーSAWの波長(fs/f')×λiに対して、リーキーSAWの共振周波数とレイリーSAWの共振周波数の比率fl/fsだけ電極周期を変化させている。このようにシールド電極の電極周期λsを設定することで、リーキーSAWの低域応答をシールド電極で反射させ、阻止域においてリーキーSAWの低域応答を抑圧できないか試みた。
図2に、本発明に係るトランスバーサルSAWフィルタの通過特性を示す。なお、同図の実線は図1に示す本発明構造の通過特性、点線は図8に示す従来構造の通過特性である。本発明構造及び従来構造はいずれも、入力用IDT電極の電極指対数102対、出力用IDT電極の電極指対数を117対、シールド電極の電極指本数80本、電極周期λiを15(μm)とし、中心周波数fo、即ち、レイリーSAWの共振周波数fsを200(MHz)、リーキーSAWの共振周波数flを326(MHz)としている。また、本発明構造のシールド電極は、阻止域Yの周波数f'を191(MHz)に設定した場合において、電極周期λsをλs=(fl/f')×λi=(326/191)×15≒25.6(μm)として、3λs/8の幅を有する電極指をλs/4間隔毎に順次配置した構造である。一方、従来構造のシールド電極は、電極周期λsをIDT電極の電極周期λiと同じ15(μm)に設定した構造である。図2より本発明構造と従来構造を比較すると、阻止域Yにおいて本発明構造の方が約12dB高減衰になることが分かった。
ここで、本発明のトランスバーサルSAWフィルタのシールド電極の特性について調べた。図3は図2の周波数範囲におけるシールド電極の透過特性を示しており、190〜210(MHz)において0(dB)の信号を入力させた時、中心周波数付近では入力信号を全て透過させているが、191MHz付近の阻止域Yにおいて入力信号が反射している様子が分かる。また、この反射領域は、中心周波数fm=191(MHz)、帯域幅Wr=1.6(MHz)の反射帯域が形成されているとも言える。このように、シールド電極の電極周期λsを調整することにより、該シールド電極により形成される反射帯域Wrと阻止域の周波数位置が一致して、阻止域におけるリーキーSAWの低域応答が抑圧されたと考えられる。
また、本実施例のトランスバーサルSAWフィルタは、圧電基板に33.5°回転YカットX伝搬水晶基板、電極材料にAlを主成分とする金属で構成しているが、これ以外の圧電基板、電極材料を適用してもよい。前記反射帯域Wrは、圧電基板と電極材料の組み合わせによっては、0.98fm≦Wr≦1.02fmまで広げられることが実験により判明している。前述のように、シールド電極により形成される反射帯域Wrと阻止域の周波数位置とを一致させればリーキーSAWの低域応答を抑圧することが可能であるから、λs=(fl/f')×λiの式における阻止域周波数f'を反射帯域Wr、即ち、0.98fm≦Wr≦1.02fmの範囲内に一致させれば十分効果が得られる。つまり、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiの範囲内にシールド電極の電極周期λsを設定すれば阻止域を高減衰化することが可能である。
以上のように、従来構造においてはリーキーSAWの低域応答により通過域近傍阻止域の減衰量が所望の値より劣化してしまう問題があったが、本発明によれば、シールド電極の電極周期を調整することでリーキーSAWの低域応答を抑圧でき、阻止域減衰量を大幅に改善することができるという効果を奏する。
また、本発明のトランスバーサルSAWフィルタは、IDT電極本数を増やしたりチップサイズを大きくすることなく、入出力端子間の直達波の遮蔽用として従来から用いられてきたシールド電極の電極周期を調整するだけで高減衰化できるのでフィルタの小型化にも寄与する。
図1に示すようなシールド電極以外の構造でも、シールド電極の電極周期を前述のように設定することで、リーキーSAWの低域応答を抑圧して阻止域減衰量を高減衰にすることが可能である。以下、他実施例について詳細に説明する。
図4は本発明の第2の実施例に係るトランスバーサルSAWフィルタを示したものである。同図に示すシールド電極14、24は、該シールド電極の電極周期をλsとした時、隣接する電極指の中心間距離がλs/2となるようにλs/4程度の幅を有する電極指を順次配置し、一部の電極指中心間距離をずらしたことを特徴としている。ここで、(a)のシールド電極14は、一部の電極指中心間距離をλs/2から3λs/4にずらし、(b)のシールド電極24は、一部の電極指中心間距離をλs/2から3λs/8にずらした場合を示している。なお、(a)及び(b)のシールド電極の電極周期λsは共に、IDT電極の電極周期をλi、リーキーSAWの共振周波数をfl、反射帯域の中心周波数fmとした時、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiに設定している。このように、シールド電極の電極指のある一部分の中心間距離をずらしてSAWの反射に重み付けを施すことによりシールド電極の反射帯域を広げることができるので、阻止域を広帯域に渡って高減衰化が可能である。
ところで、第2の実施例に示すシールド電極は反射帯域を広帯域化できる反面、シールド電極内のSAWの反射が強い為に通過帯域内に歪が入ってしまう虞がある。そこで、本願発明者はシールド電極を構成する一部の電極指の幅を調整することによりシールド電極内のSAWの反射量を調整したシールド電極を考えた。以下、第3の実施例にて詳細に説明する。
図5は本発明の第3の実施例に係るトランスバーサルSAWフィルタを示したものである。同図に示すシールド電極34、44は、該シールド電極の電極周期をλsとした時、隣接する電極指の中心間距離がλs/2となるようにλs/4程度の幅を有する電極指を順次配置し、ある一部分の電極指の幅を変化させたことを特徴としている。ここで、(a)のシールド電極34は、B部において電極指の一本を間引き、その位置にλs/4以下の幅を有する電極指を2本配置しており、(b)のシールド電極44は、C部において電極指中心間距離をλs/2から3λs/4にずらし、そのずらした電極指間にλs/4以下の幅を有する電極指を1本配置した場合を示している。なお、(a)及び(b)のシールド電極の電極周期λsは共に、IDT電極の電極周期をλi、リーキーSAWの共振周波数をfl、反射帯域の中心周波数fmとした時、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiに設定している。このように、シールド電極の一部の電極指の幅を変化させることによりシールド電極内のSAWの反射量を調整することができるので、阻止域を広帯域に渡って高減衰にできると共に、通過帯域内に歪が入るのを防ぐことができる。
ところで、これまでIDT電極及びシールド電極の電極周期が一様である場合についてのみ言及してきたが、トランスバーサルSAWフィルタにおいては局所的に電極周期を異ならせてフィルタ特性を高性能化にする手法が多々用いられる。本発明においては、このように電極周期が一様でない場合も適用することが可能である。以下、第4の実施例にて詳細に説明する。
図6は本発明の第4の実施例に係るトランスバーサルSAWフィルタの模式図を示したものである。図6(a)のトランスバーサルSAWフィルタの入力用IDT電極52及び出力用IDT電極53は、電極周期λi1の電極指10対から構成された区間Xと電極周期λi2の電極指20対から構成された区間Yからなっている。このようにIDT電極が異なる電極周期で構成されている場合、IDT電極の平均電極周期λi'、即ちλi'=(10×λi1+20×λi2)/30をとって、シールド電極の電極周期を(fl/1.02fm)×λi'≦λs≦(fl/0.98fm)×λi'に設定することにより阻止域減衰量を高減衰にすることが可能である。
また、図6(b)のトランスバーサルSAWフィルタのシールド電極64は、電極周期λs1の電極指10対から構成された区間S1と電極周期λs2の電極指20対から構成された区間S2からなる。このように、シールド電極が異なる電極周期で構成されている場合、シールド電極の平均電極周期λs'、即ちλs'=(10×λs1+20×λs2)/30をとって、シールド電極の電極周期を(fl/1.02fm)×λi≦λs'≦(fl/0.98fm)×λiに設定することにより阻止域減衰量を高減衰にすることが可能である。
1 圧電基板
2、52、62 入力用IDT電極
3、53、63 出力用IDT電極
4、14、24、34、44、54 シールド電極
5 吸音材
2、52、62 入力用IDT電極
3、53、63 出力用IDT電極
4、14、24、34、44、54 シールド電極
5 吸音材
Claims (5)
- 圧電基板上に少なくとも2個のIDT電極を所定の間隙をあけて配置し、入出力端子間の直達波を遮蔽するためのグレーティング型のシールド電極を前記IDT電極の間隙に配置したトランスバーサルSAWフィルタにおいて、
前記シールド電極の電極周期λsは、前記IDT電極の電極周期をλi、前記IDT電極を励振するリーキーSAWの共振周波数をfl、前記シールド電極により形成される反射帯域の中心周波数をfmとした時、(fl/1.02fm)×λi≦λs≦(fl/0.98fm)×λiの範囲に設定することを特徴とするトランスバーサルSAWフィルタ。 - 前記シールド電極は、隣り合う電極指の中心間距離をλs/2として電極指を順次配置したシールド電極であることを特徴とする請求項1に記載のトランスバーサルSAWフィルタ。
- 前記シールド電極に、隣り合う電極指の中心間距離を3λs/4、或いは3λs/8とした部分が含まれていることを特徴とする請求項2に記載のトランスバーサルSAWフィルタ。
- 前記シールド電極に、隣り合う電極指の中心間距離を3λs/4にし、その3λs/4の中心間距離を有する電極指間にλs/4以下の幅を有する電極指を1本配置した部分が含まれていることを特徴とする請求項2に記載のトランスバーサルSAWフィルタ。
- 前記シールド電極は、隣り合う電極指の中心間距離がλs/2となるよう電極指が順次配置された構造を基本として、電極指の1本を間引き、その位置にλs/4以下の幅を有する電極指を2本配置した構造を有していることを特徴とする請求項1に記載のトランスバーサルSAWフィルタ。
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2004
- 2004-01-15 JP JP2004007407A patent/JP2005203996A/ja active Pending
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