JP2009077350A - 弾性表面波素子及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】圧電基板の端部で反射した弾性表面波を減衰量を特性を考慮して所定の膜厚である吸収部を有する弾性表面波素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子10は、弾性表面波を励振させるための入力電極12、出力電極14と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部16a、16bとが圧電基板18上に形成され、吸収部16a、16bは、フォトレジストで形成され、前記弾性表面波の波長をλとして吸収部16a、16bの膜厚hが0.7λ以上20λ以下である。また、吸収部16a、16bの膜厚hは、好ましくは1λ以上10λ以下であり、さらに好ましくは略1λである。
【選択図】図5

Description

本発明は、不要な弾性表面波を吸収する吸収部が圧電基板上に形成された弾性表面波素子及びその製造方法に関するものである。
近年、移動体通信等の分野において、素子を小型化、軽量化できる弾性表面波を利用した弾性表面波素子が用いられている。この弾性表面波素子は、一般に、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられた櫛歯状電極指からなる入力電極及び出力電極を備えている。弾性表面波素子では、入力電極に電気信号が入力されると、電極指間に電界が発生し、圧電効果により弾性表面波が励振され、圧電基板上を伝搬していく。
入力電極から励振された弾性表面波は、出力電極の方向の他に、出力電極と反対方向にも伝搬し、圧電基板の端部で反射して、出力電極に入射してノイズとなる。この圧電基板の端部で反射した弾性表面波を減衰させるために、圧電基板の弾性表面波の伝搬方向の端部に吸収部が形成される場合がある(特許文献1参照)。
特開昭60−236313号公報
しかしながら、前記吸収部については、弾性表面波の伝搬方向の幅は広いほど、圧電基板の端部で反射した弾性表面波の減衰量が増えることは知られているが、弾性表面波の減衰量と吸収部の膜厚との関係について詳細な検討が行われていなかった。
そこで、本出願の発明者は、吸収部の膜厚と圧電基板の端部で反射した弾性表面波の減衰量の関係を見出した。
本発明は、圧電基板の端部で反射した弾性表面波の減衰量の特性を考慮した所定の膜厚である吸収部を有する弾性表面波素子及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る弾性表面波素子及びその製造方法は、弾性表面波を励振させるための複数の櫛形電極と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部とが圧電基板上に形成された弾性表面波素子であって、前記吸収部は、フォトレジストで形成され、前記吸収部の膜厚が前記弾性表面波の波長をλとして0.7λ以上20λ以下であることを特徴とする。また、前記吸収部の膜厚が1λ以上10λ以下であることが好ましく、さらに好ましくは、前記吸収部の膜厚が略1λである。さらにまた、前記吸収部は、前記圧電基板の長手方向の各端部と各櫛形電極との間に少なくとも1つ形成されている。
本発明に係る他の弾性表面波素子及びその製造方法は、弾性表面波を励振させるための複数の櫛形電極と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部とが圧電基板上に形成された弾性表面波素子であって、前記吸収部は、フォトレジストで形成され、前記弾性表面波の波長をλとして前記吸収部の膜厚に対する減衰量の特性における折れ曲がり点の前記吸収部の膜厚が略1λであることを特徴とする。
本発明によれば、弾性表面波の波長をλとして吸収部の膜厚が1λ以上となると入力電極を励振して発生する弾性表面波が圧電基板の端部で反射して発生する不要な弾性表面波の前記弾性表面波の減衰量が変化せずに略一定となることがわかった。従って、不要な弾性表面波を減衰させるためには吸収部の膜厚を弾性表面波の略1λとすればよく、それ以上に吸収部の膜厚を厚くする必要はない。その結果、吸収部の膜厚の厚さを抑えることにより、弾性表面波素子を小型化できる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施形態に係る弾性表面波素子10の平面図であり、図2は、図1のII−II端面図である。
図1に示すように、弾性表面波素子10は、入力電極12、出力電極14、吸収部16a、16bを備え、これらは圧電基板18上に形成されている。
入力電極12は、図示しない発振器から入力された電気信号によって、弾性表面波を励振させるために櫛形電極で構成され、また、出力電極14は、入力電極12で励振され伝搬してきた弾性表面波を受信するために櫛形電極で構成されている。
吸収部16a、16bは、フォトレジストで形成され、圧電基板18の長手方向(弾性表面波の伝搬方向)の端部20a、20bの周辺の圧電基板18の短手方向に延在する。吸収部16a、16bの間には、入力電極12、出力電極14が形成され、吸収部16a、16bの圧電基板18の短手方向の長さは、入力電極12、出力電極14の短手方向の長さよりも長く、また、前記短手方向の端部は面取されている。さらに、入力電極12を励振すると、図1の矢印X1とその反対方向であるX2の2方向に弾性表面波が伝搬する。吸収部16aは、矢印X2方向に伝搬し、吸収部16aへ入射する不要な弾性表面波を吸収するとともに、吸収部16aで吸収しきれずに通過し、さらに端部20aで反射して再入射する不要な弾性表面波を吸収する。さらにまた、吸収部16bは、矢印X1方向に伝搬し、出力電極14で受信されるとともに一部通過し、吸収部16bへ入射する不要な弾性表面波を吸収するとともに、吸収部16bで吸収しきれずに通過し、さらに端部20bで反射して再入射する不要な弾性表面波を吸収する。
圧電基板18は、弾性表面波を伝搬することができれば、特に限られないが、128度回転YカットLiNbO3であることが好ましい。
次に、前記実施形態に係る弾性表面波素子10の製造方法について説明する。図3A〜図3Gは、弾性表面波素子10の製造工程の説明図である。弾性表面波素子10では、入力電極12、出力電極14、吸収部16a、16bは、エポキシ系感光樹脂を用いたフォトリソグラフィ法により形成される。
弾性表面波素子10の製造では、まず、表面を鏡面仕上げした圧電基板18を用意し(図3A参照)、フォトレジストを圧電基板18上に滴下して、図示しないスピンコータにより均一な厚さのレジスト膜30を形成する(図3B参照)。前記フォトレジストとしては、エポキシ系感光樹脂ベースのネガレジスト、例えば、SU−8(化薬マイクロケム社製感光性エポキシ樹脂)を用いることができる。
レジスト膜30が形成された圧電基板18を加熱してレジスト膜30を固化するソフトベーク処理を施した後に、図示しない露光装置を用いて、レジスト膜30に対してフォトマスク40を介して紫外線を照射する。前記紫外線の照射エネルギーは約1500J/m2とする。フォトマスク40には、圧電基板18上の入力電極12及び出力電極14が形成される位置に紫外線が照射されるように櫛形電極形状のマスクパターンが形成されている。
圧電基板18を専用の有機溶剤に浸漬して現像する。この現像によって、前記紫外線が照射されなかった部分が溶解し、圧電基板18上に櫛形電極の型となるレジストパターン32が形成される(図3C参照)。
レジストパターン32が形成された圧電基板18上に対してALを真空蒸着し、AL膜34を形成する(図3D参照)。なお、蒸着時の真空度は、5×10-6とする。その後、レジストパターン32及びレジストパターン32上のAL膜34を除去(リフトオフ)することにより、所望の入力電極12及び出力電極14を圧電基板18上に形成することができる(図3E参照)。
入力電極12及び出力電極14が形成された圧電基板18上に、フォトレジストを滴下して、図示しないスピンコータによりレジスト膜36を形成する(図3F参照)。前記フォトレジストとしては、上記レジストパターン32で用いたフォトレジストと同様である。
レジスト膜36が形成された圧電基板18を加熱してレジスト膜36を固化するソフトベーク処理を施した後に、図示しない露光装置を用いて、レジスト膜36に対してフォトマスク42を介して紫外線を照射する。フォトマスク42には、圧電基板18上の吸収部16a、16bが形成される位置に紫外線が照射されるようにマスクパターンが形成されている。
圧電基板18を専用の有機溶剤に浸漬して現像する。この現像によって、前記紫外線が照射されなかったレジスト膜36が溶解し、吸収部16a、16bとなるレジストパターンが残存される。
前記レジストパターンを200度に加熱し固化(ハードベーク)することにより、吸収部16a、16bが圧電基板18上に形成される(図3G参照)。以上の製造工程により、弾性表面波素子10を得ることができる。
次に、弾性表面波素子10の吸収部16a、16bの膜厚と不要な弾性表面波の減衰量との関係について説明する。ここで、伝搬する弾性表面波の波長λは28μm、伝搬速度を約4000m/s、中心周波数を140MHzとし、吸収部16a、16bの幅Lを560μm(20λ)とする。
弾性表面波素子10の吸収部16a、16bの膜厚の変化に対する不要な弾性表面波の減衰量を測定した。図4は、横軸を吸収部16a、16bの膜厚h[μm]とし、縦軸を不要な弾性表面波の減衰量(dB)として、吸収部16a、16bの膜厚と不要な弾性表面波の減衰量との関係を示した図である。図5は、横軸を弾性表面波の波長をλとして、波長λに対する吸収部16a、16bの膜厚(h/λ)[無次元]とし、縦軸を弾性表面波の波長λに対する減衰量(dB/λ)として、吸収部16a、16bの膜厚と不要な弾性表面波の減衰量との関係を示した図である。なお、弾性表面波は吸収部16a、16bを往復するので、その都度減衰されるが、図4、図5では、往復分の減衰量ではなく、往路又復路のみの一方向分の減衰量を示している。
図4では、膜厚hを厚くしていくと膜厚hが28(μm)すなわち、1λ付近で特性図が折れ曲がり、それ以降では減衰量が約−26(dB)と略一定となる。図5では、膜厚(h/λ)を大きくしていくとh/λが略1.1付近で特性図が折れ曲がり、それ以降では減衰量が約−1.3(dB)と略一定となる。従って、膜厚hが1λ又はh/λが1.1の近傍に至ると、吸収部16a、16bの膜厚hを厚くしても、減衰量は前記一定の減衰量からほとんど変化しなくなる。
吸収部16a、16bの膜厚が弾性表面波の波長λと同等以上となっても、減衰量が変化しない理由は以下のように考えられる。すなわち、弾性表面波の主として構成するレイリー波は、圧電基板18の表面付近を伝搬していく。このレイリー波では、圧電基板18の厚さ方向の1λの範囲内に波としてのエネルギーの90%が含まれている。レイリー波が吸収部16a、16bに伝搬すると、圧電基板18の吸収部16a、16bとの境界面を伝搬するストンリー波のような境界波へ伝搬モードが変換される。レイリー波がモード変換された境界波においても波としてのエネルギーの大半は圧電基板18の厚さ方向の1λの範囲内に存在すると考えられる。従って、圧電基板18上に形成する吸収部16a、16bの膜厚は、弾性表面波の単位波長分の厚さがあれば、不要な弾性表面波として存在する境界波の大半が吸収部16a、16bによって吸収されると考えられる。
以上説明したように、この実施形態に係る弾性表面波素子10は、弾性表面波を励振させるための入力電極12、出力電極14と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部16a、16bとが圧電基板18上に形成され、吸収部16a、16bは、フォトレジストで形成され、前記弾性表面波の波長をλとして吸収部16a、16bの膜厚hが0.7λ以上20λ以下である。また、吸収部16a、16bの膜厚hは、好ましくは1λ以上10λ以下であり、さらに好ましくは略1λである。さらにまた、吸収部16aは、入力電極12と端部20aの間に形成され、吸収部16bは、出力電極14と端部20bの間に形成されている。
弾性表面波素子10によれば、弾性表面波の波長をλとし、吸収部16a、16bの膜厚が1λ以上となると入力電極12を励振して発生する弾性表面波が圧電基板18の端部20a、20bで反射して発生する不要な弾性表面波の減衰量が変化せずに略一定となることがわかる。従って、不要な弾性表面波を減衰させるためには吸収部16a、16bの膜厚を弾性表面波の略1λとすればよく、それ以上に吸収部16a、16bの膜厚を厚くする必要はない。その結果、吸収部16a、16bの膜厚の厚さを抑えることにより、弾性表面波素子10を小型化できる。
また、フォトリソグラフィー法によって、吸収部16a、16bを形成する場合には、その膜厚を厚くするために複数回の成膜工程が必要となり製造コストがかかる。従来の弾性表面波素子では、弾性表面波の波長と吸収部16a、16bの膜厚と不要な弾性表面波の減衰量の関係を考慮しなかったために、所定の不要な弾性表面波の減衰量を得るために必要以上に吸収部16a、16bの膜厚を厚くしていた。従って、吸収部16a、16bの膜厚を弾性表面波の波長と同等とすることにより、吸収部16a、16bを形成するにあたって発生していた余分な製造コストを削減することができる。
さらに、上記の弾性表面波素子10では、中心周波数が140MHzであったが、これに限定されるものではなく、60MHz以上において用いることができる。
さらにまた、吸収部16a、16bの位置は、図1に示すように端部20a、20bの周辺であって、入力電極12と端部20aの間、出力電極14と端部20bの間に限定されるものではなく、図6に示すように、圧電基板18の端部20aに吸収部16aを形成し、端部20bに吸収部16bを形成してもよい。
また、本発明は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
本発明の実施形態に係る弾性表面波素子の平面図である。 図1のII−II端面図である。 図3A〜図3Gは、弾性表面波の製造工程の説明図である。 図4は、横軸を吸収部の膜厚h[μm]とし、縦軸を不要な弾性表面波の減衰量(dB)として、吸収部の膜厚と不要な弾性表面波の減衰量との関係を示した図である。 図5は、横軸を弾性表面波の波長をλとして、波長λに対する吸収部の膜厚(h/λ)とし、縦軸を弾性表面波の波長に対する減衰量(dB/λ)として、吸収部の膜厚と不要な弾性表面波の減衰量との関係を示した図である。 図6は、本発明の実施形態に係る弾性表面波素子の変形例の平面図である。
符号の説明
10…弾性表面波素子 12…入力電極
14…出力電極 16a、16b…吸収部
18…圧電基板 20a、20b…端部
30、36…レジスト膜 32…レジストパターン
34…AL膜 40、42…フォトマスク

Claims (9)

  1. 弾性表面波を励振させるための複数の櫛形電極と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部とが圧電基板上に形成された弾性表面波素子であって、
    前記吸収部は、フォトレジストで形成され、
    前記吸収部の膜厚が前記弾性表面波の波長をλとして0.7λ以上20λ以下であることを特徴とする弾性表面波素子。
  2. 請求項1記載の弾性表面波素子において、
    前記吸収部の膜厚が1λ以上10λ以下であることを特徴とする弾性表面波素子。
  3. 請求項1記載の弾性表面波素子において、
    前記吸収部の膜厚が略1λであることを特徴とする弾性表面波素子。
  4. 弾性表面波を励振させるための複数の櫛形電極と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部とが圧電基板上に形成された弾性表面波素子であって、
    前記吸収部は、フォトレジストで形成され、前記弾性表面波の波長をλとして前記吸収部の膜厚に対する減衰量の特性における折れ曲がり点の前記吸収部の膜厚が略1λであることを特徴とする弾性表面波素子。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性表面波素子において、
    前記吸収部は、前記圧電基板の長手方向の各端部と各櫛形電極との間に少なくとも1つ形成されていることを特徴とする弾性表面波素子。
  6. 弾性表面波を励振させるための複数の櫛形電極と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部とが圧電基板上に形成された弾性表面波素子の製造方法であって、
    前記吸収部は、エポキシ系感光樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成され、前記吸収部の膜厚が前記弾性表面波の波長をλとして0.7λ以上20λ以下であることを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
  7. 請求項6記載の弾性表面波素子の製造方法において、
    前記吸収部の膜厚が1λ以上10λ以下であることを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
  8. 請求項6記載の弾性表面波素子の製造方法において、
    前記吸収部の膜厚が略1λであることを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
  9. 弾性表面波を励振させるための複数の櫛形電極と、不要な弾性表面波を吸収する吸収部とが圧電基板上に形成された弾性表面波素子の製造方法であって、
    前記吸収部は、エポキシ系感光樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によって形成され、前記弾性表面波の波長λとして前記吸収部の膜厚に対する減衰量の特性における折れ曲がり点の前記吸収部の膜厚が略1λであることを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。
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