JPH0823256A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
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- JPH0823256A JPH0823256A JP15622994A JP15622994A JPH0823256A JP H0823256 A JPH0823256 A JP H0823256A JP 15622994 A JP15622994 A JP 15622994A JP 15622994 A JP15622994 A JP 15622994A JP H0823256 A JPH0823256 A JP H0823256A
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- acoustic wave
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Abstract
(57)【要約】
【目的】広帯域でかつインピーダンス特性上の周波数可
変域にリップルの生じない弾性表面波共振子を提供す
る。 【構成】電気的に励振されることにより表面を弾性表面
波が伝搬する圧電基板１と、圧電基板１上に被着形成さ
れたすだれ状電極２とを備えた弾性表面波共振子におい
て、すだれ状電極２を間引電極で構成し、かつ電極外側
ほど間引く電極指数を多くした。
変域にリップルの生じない弾性表面波共振子を提供す
る。 【構成】電気的に励振されることにより表面を弾性表面
波が伝搬する圧電基板１と、圧電基板１上に被着形成さ
れたすだれ状電極２とを備えた弾性表面波共振子におい
て、すだれ状電極２を間引電極で構成し、かつ電極外側
ほど間引く電極指数を多くした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波共振子に関
し、特に広帯域の周波数可変幅を有する電圧制御発振器
（ＶＯＣ）等に用いる弾性表面波共振子に関する。
し、特に広帯域の周波数可変幅を有する電圧制御発振器
（ＶＯＣ）等に用いる弾性表面波共振子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から通信機器等のＶＨＦ帯ＶＣＯの
共振子として、弾性表面波共振子が用いられている。そ
の代表的な構成として、図９に示すように、電気的に励
振されることにより表面を弾性表面波が伝搬する圧電基
板１０上に被着形成された一つのすだれ状電極１１から
なる弾性表面波励振用トランスデューサの両側に、多数
の金属薄膜ストリップラインもしくは圧電基板１０上に
形成された多数の溝よりなる反射器１２を配置した１ポ
ート共振子がある。
共振子として、弾性表面波共振子が用いられている。そ
の代表的な構成として、図９に示すように、電気的に励
振されることにより表面を弾性表面波が伝搬する圧電基
板１０上に被着形成された一つのすだれ状電極１１から
なる弾性表面波励振用トランスデューサの両側に、多数
の金属薄膜ストリップラインもしくは圧電基板１０上に
形成された多数の溝よりなる反射器１２を配置した１ポ
ート共振子がある。
【０００３】しかしながら、このような構成の弾性表面
波共振子は、反射器１２の特性によって帯域幅が決ま
り、中心周波数の１％以上の周波数可変幅を得ることは
困難であった。そこで図１０に示すような、電気機械結
合係数の大きな圧電基板１３上にすだれ状電極１４を被
着形成し、広帯域の弾性表面波共振子を構成する提案が
なされている。
波共振子は、反射器１２の特性によって帯域幅が決ま
り、中心周波数の１％以上の周波数可変幅を得ることは
困難であった。そこで図１０に示すような、電気機械結
合係数の大きな圧電基板１３上にすだれ状電極１４を被
着形成し、広帯域の弾性表面波共振子を構成する提案が
なされている。
【０００４】電気機械結合係数の大きな圧電基板１３を
用いた弾性表面波共振子では、一般に反射器を用いなく
てもＶＣＯに用いる弾性表面波共振子として十分な共振
の尖鋭度（Ｑ）が得られ、すだれ状電極１４のみで弾性
表面波共振子を構成できる。
用いた弾性表面波共振子では、一般に反射器を用いなく
てもＶＣＯに用いる弾性表面波共振子として十分な共振
の尖鋭度（Ｑ）が得られ、すだれ状電極１４のみで弾性
表面波共振子を構成できる。
【０００５】しかしながら、このような反射器のない弾
性表面波共振子では、たとえば圧電基板１３に（３６°
Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 圧電基板を用いた場合のインピー
ダンス特性は図１１に示す如くであって、ＶＣＯの周波
数可変域（以下、周波数可変域と記す）中の周波数２２
６ＭＨｚの近傍において多くのリップルが生じている。
この弾性表面波共振子をＶＣＯの共振子として用いたと
き、インピーダンス特性上の周波数可変域に生じたリッ
プルのためにＶＣＯに供給する周波数制御電圧を変化さ
せて発振周波数を変化させた場合に、このリップル位置
で周波数が不連続に跳ぶという不具合が発生していた。
性表面波共振子では、たとえば圧電基板１３に（３６°
Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 圧電基板を用いた場合のインピー
ダンス特性は図１１に示す如くであって、ＶＣＯの周波
数可変域（以下、周波数可変域と記す）中の周波数２２
６ＭＨｚの近傍において多くのリップルが生じている。
この弾性表面波共振子をＶＣＯの共振子として用いたと
き、インピーダンス特性上の周波数可変域に生じたリッ
プルのためにＶＣＯに供給する周波数制御電圧を変化さ
せて発振周波数を変化させた場合に、このリップル位置
で周波数が不連続に跳ぶという不具合が発生していた。
【０００６】図７において、縦軸は弾性表面波共振子の
インピーダンスを示し、符号“０”は直列共振点のイン
ピーダンスを示している。
インピーダンスを示し、符号“０”は直列共振点のイン
ピーダンスを示している。
【０００７】インピーダンス特性上の周波数可変域に生
ずるリップルは、圧電基板端面からの弾性表面波の反射
によるものと推定され、実際に圧電基板１３の端部角を
機械的に粗く削ると、図１２に示すようにインピーダン
ス特性上のリップルはほぼ完全に除去される。
ずるリップルは、圧電基板端面からの弾性表面波の反射
によるものと推定され、実際に圧電基板１３の端部角を
機械的に粗く削ると、図１２に示すようにインピーダン
ス特性上のリップルはほぼ完全に除去される。
【０００８】圧電基板端面からの反射波除去の簡便な方
策の一つに、樹脂等の吸収体の圧電基板表面上塗布があ
るが、（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 圧電基板ではほと
んど効果がない。これは（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3
圧電基板のようなＳＨ波モードで伝搬する弾性表面波に
は、圧電基板表面上の吸収体による伝搬吸収は少ないた
めと考えられる。
策の一つに、樹脂等の吸収体の圧電基板表面上塗布があ
るが、（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 圧電基板ではほと
んど効果がない。これは（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3
圧電基板のようなＳＨ波モードで伝搬する弾性表面波に
は、圧電基板表面上の吸収体による伝搬吸収は少ないた
めと考えられる。
【０００９】ところで、周波数可変幅を広くとるために
は、上記したように圧電基板として電気機械結合係数の
大きい圧電基板を用いる必要がある。その代表例とし
て、（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 圧電基板、（６４°
Ｙ−Ｘ）ＬｉＮｂＯ3 圧電基板、（４１°Ｙ−Ｘ）Ｌｉ
ＮｂＯ3 圧電基板等があるが、いずれも伝搬モードがＳ
Ｈ波であり、上記のような方法では端面からの反射波を
除去できないという問題点がある。
は、上記したように圧電基板として電気機械結合係数の
大きい圧電基板を用いる必要がある。その代表例とし
て、（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 圧電基板、（６４°
Ｙ−Ｘ）ＬｉＮｂＯ3 圧電基板、（４１°Ｙ−Ｘ）Ｌｉ
ＮｂＯ3 圧電基板等があるが、いずれも伝搬モードがＳ
Ｈ波であり、上記のような方法では端面からの反射波を
除去できないという問題点がある。
【００１０】また、圧電基板端面の斜めカットの方法も
あるが、上記と同様な理由により、効果は期待できな
い。
あるが、上記と同様な理由により、効果は期待できな
い。
【００１１】さらに、圧電基板端部を機械的もしくは化
学的に荒らして、電極の外に漏れ出てきた弾性表面波を
散乱させる方法も考えられるが、製造工程が複雑にな
り、圧電基板の寸法が必要以上に大きくなる等の問題点
がある。
学的に荒らして、電極の外に漏れ出てきた弾性表面波を
散乱させる方法も考えられるが、製造工程が複雑にな
り、圧電基板の寸法が必要以上に大きくなる等の問題点
がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、広帯域でか
つインピーダンス特性上の周波数可変域にリップルの生
じない弾性表面波共振子を提供することを目的とする。
つインピーダンス特性上の周波数可変域にリップルの生
じない弾性表面波共振子を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波共振
子は、電気的に励振されることにより表面を弾性表面波
が伝搬する圧電基板と、圧電基板上に被着形成されたす
だれ状電極とを備えた弾性表面波共振子において、すだ
れ状電極を間引電極で構成し、かつ電極外側ほど間引く
電極指の数を多くしたことを特徴とする。
子は、電気的に励振されることにより表面を弾性表面波
が伝搬する圧電基板と、圧電基板上に被着形成されたす
だれ状電極とを備えた弾性表面波共振子において、すだ
れ状電極を間引電極で構成し、かつ電極外側ほど間引く
電極指の数を多くしたことを特徴とする。
【００１４】
【作用】本発明においては、反射器を用いないすだれ状
電極によって弾性表面波共振子を構成しているので、可
変幅の広い弾性表面波共振子を実現できる。さらにすだ
れ状電極を電極外側ほど間引く電極指の数を多くした間
引電極で構成しているので、電極中央に弾性表面波のエ
ネルギが閉じ込められ、圧電基板端面反射波の影響でイ
ンピーダンス特性上に生ずるリップルが除去される。従
って、ＶＣＯの共振子として用いたときに周波数跳びの
ない実用的な弾性表面波共振子となる。
電極によって弾性表面波共振子を構成しているので、可
変幅の広い弾性表面波共振子を実現できる。さらにすだ
れ状電極を電極外側ほど間引く電極指の数を多くした間
引電極で構成しているので、電極中央に弾性表面波のエ
ネルギが閉じ込められ、圧電基板端面反射波の影響でイ
ンピーダンス特性上に生ずるリップルが除去される。従
って、ＶＣＯの共振子として用いたときに周波数跳びの
ない実用的な弾性表面波共振子となる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例により説明する。
【００１６】図１は、本発明に係る弾性表面波共振子の
第１実施例の構成を示す平面図である。
第１実施例の構成を示す平面図である。
【００１７】第１の実施例の弾性表面波共振子は、（３
６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 からなる圧電基板１上にすだ
れ状電極２を被着形成し、すだれ状電極２は間引電極で
構成されており、かつ間引電極は外側ほど間引いた電極
指数が多くなっている。
６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ3 からなる圧電基板１上にすだ
れ状電極２を被着形成し、すだれ状電極２は間引電極で
構成されており、かつ間引電極は外側ほど間引いた電極
指数が多くなっている。
【００１８】ここで、電極指を間引くということは、図
１に示されている如く、所定位置の電極指をなくするこ
とを意味している。３６対のすだれ電極から合計１０対
の電極指対を間引いた例を模式的に示せば、図２に示す
如くになる。
１に示されている如く、所定位置の電極指をなくするこ
とを意味している。３６対のすだれ電極から合計１０対
の電極指対を間引いた例を模式的に示せば、図２に示す
如くになる。
【００１９】図２において、符号“１”は上側電極ａ
（＋側）に接続されている電極指を、符号“−１”は下
側電極ｂ（−側）に接続されている電極指を、符号
“０”は間引かれた電極指を示している。また、図２に
おいて、小文字数字は左側から電極指対に付した対数を
示す番号であり、枠内は上側電極ａに接続されている電
極指のみを表示したものである。
（＋側）に接続されている電極指を、符号“−１”は下
側電極ｂ（−側）に接続されている電極指を、符号
“０”は間引かれた電極指を示している。また、図２に
おいて、小文字数字は左側から電極指対に付した対数を
示す番号であり、枠内は上側電極ａに接続されている電
極指のみを表示したものである。
【００２０】すだれ状電極２の構成をこのようにするこ
とで、すだれ状電極２の中央部分に弾性表面波のエネル
ギを閉じ込めることができ、弾性表面波はすだれ状電極
２の外側に漏れ出ないので、圧電基板１の端面からの反
射波は発生しない。この結果、インピーダンス特性上の
周波数可変域におけるリップルが消滅する。
とで、すだれ状電極２の中央部分に弾性表面波のエネル
ギを閉じ込めることができ、弾性表面波はすだれ状電極
２の外側に漏れ出ないので、圧電基板１の端面からの反
射波は発生しない。この結果、インピーダンス特性上の
周波数可変域におけるリップルが消滅する。
【００２１】具体的には、第１実施例の弾性表面波共振
子において、圧電基板１に（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ
3 からなる圧電基板を用いて、すだれ状電極２を１５０
対の正規形電極から総計５２対の電極指を間引いた構成
とし、電極指の間引きは図３に示されるような配置とし
た場合における弾性表面波共振子のインピーダンス特性
の測定結果は図４に示す如くである。
子において、圧電基板１に（３６°Ｙ−Ｘ）ＬｉＴａＯ
3 からなる圧電基板を用いて、すだれ状電極２を１５０
対の正規形電極から総計５２対の電極指を間引いた構成
とし、電極指の間引きは図３に示されるような配置とし
た場合における弾性表面波共振子のインピーダンス特性
の測定結果は図４に示す如くである。
【００２２】図４に示した第１実施例の弾性表面波共振
子による場合のインピーダンス特性と図１１に示した従
来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性とを比較す
れば明らかなように、従来の弾性表面波共振子によって
生じていた周波数可変域のリップルが第１実施例の弾性
表面波共振子では除去されていることが判る。
子による場合のインピーダンス特性と図１１に示した従
来の弾性表面波共振子のインピーダンス特性とを比較す
れば明らかなように、従来の弾性表面波共振子によって
生じていた周波数可変域のリップルが第１実施例の弾性
表面波共振子では除去されていることが判る。
【００２３】なお、図３は図２において枠内に示したよ
うに上側電極ａに接続されている電極指の位置のみを示
している。図３において下側電極ｂに接続されている電
極指の位置は図２の表示から容易に類推することができ
るために、図３では下側電極ｂに接続されている電極指
は省略して、上側電極ａに接続されている電極指の位置
のみを簡潔に示した。
うに上側電極ａに接続されている電極指の位置のみを示
している。図３において下側電極ｂに接続されている電
極指の位置は図２の表示から容易に類推することができ
るために、図３では下側電極ｂに接続されている電極指
は省略して、上側電極ａに接続されている電極指の位置
のみを簡潔に示した。
【００２４】次に図５は上記した第１実施例の変形例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【００２５】図５に示した変形例の弾性表面波共振子は
図１に示した第１実施例におけるすだれ状電極２に代わ
って、すだれ状電極２１が圧電基板１上に被着形成して
ある。
図１に示した第１実施例におけるすだれ状電極２に代わ
って、すだれ状電極２１が圧電基板１上に被着形成して
ある。
【００２６】すだれ状電極２１はすだれ状電極２におい
て間引きのために除去された圧電基板１上の電極指部分
の跡に、図６に示すように下側電極ｂに接続された電極
指、すなわち同電位の電極指をダミー電極指ｄ1 、
ｄ2 、…、ｄ8 として被着形成して、圧電基板１上にお
ける電極指ピッチを等ピッチにしてある。
て間引きのために除去された圧電基板１上の電極指部分
の跡に、図６に示すように下側電極ｂに接続された電極
指、すなわち同電位の電極指をダミー電極指ｄ1 、
ｄ2 、…、ｄ8 として被着形成して、圧電基板１上にお
ける電極指ピッチを等ピッチにしてある。
【００２７】図６は図２に対応しており、枠内は上側電
極ａに接続される電極指を示し、符号“１”は上側電極
ａに接続される電極指を、符号“０”は間引かれた電極
指を示している。また、枠外においては圧電基板１上の
電極指を示し、符号“１”は上側電極ａに接続される電
極指を示し、符号“−１”は下側電極ｂに接続される電
極指を示し、枠内における符号“０”に対応する電極指
対はダミー電極指を示している。
極ａに接続される電極指を示し、符号“１”は上側電極
ａに接続される電極指を、符号“０”は間引かれた電極
指を示している。また、枠外においては圧電基板１上の
電極指を示し、符号“１”は上側電極ａに接続される電
極指を示し、符号“−１”は下側電極ｂに接続される電
極指を示し、枠内における符号“０”に対応する電極指
対はダミー電極指を示している。
【００２８】このようにダミー電極指を被着形成するこ
とによって、電極指ピッチは等ピッチとなって弾性表面
波の位相が合わせられることになり、電極指の間隔が不
均一になることによる不都合が避けられる。
とによって、電極指ピッチは等ピッチとなって弾性表面
波の位相が合わせられることになり、電極指の間隔が不
均一になることによる不都合が避けられる。
【００２９】ダミー電極指を被着形成した理由は次のと
おりである。通常の弾性表面波変換器は等ピッチで配列
された電極指群によって構成されており、この電極指ピ
ッチは図７に示すように、励振される弾性表面波の波長
に対応している。特に、弾性表面波変換器を共振器とし
て応用する場合は、所望の周波数に対応した波長の定在
波を発生させるために各電極指対位置で弾性表面波の位
相を合わせる必要が生ずる。
おりである。通常の弾性表面波変換器は等ピッチで配列
された電極指群によって構成されており、この電極指ピ
ッチは図７に示すように、励振される弾性表面波の波長
に対応している。特に、弾性表面波変換器を共振器とし
て応用する場合は、所望の周波数に対応した波長の定在
波を発生させるために各電極指対位置で弾性表面波の位
相を合わせる必要が生ずる。
【００３０】しかるに上記した第１実施例の弾性表面波
共振子に示したようにすだれ状電極２の電極指の一部を
間引く場合に、図１に示したように間引き位置の電極指
を単純に除去してしまうと、間引かれて電極指のない部
分において弾性表面波の音速が僅かに早くなって、位相
のずれが生ずる。しかし、上記した変形例によるときは
電極指ピッチは等ピッチとなって、位相のずれが防止さ
れる。
共振子に示したようにすだれ状電極２の電極指の一部を
間引く場合に、図１に示したように間引き位置の電極指
を単純に除去してしまうと、間引かれて電極指のない部
分において弾性表面波の音速が僅かに早くなって、位相
のずれが生ずる。しかし、上記した変形例によるときは
電極指ピッチは等ピッチとなって、位相のずれが防止さ
れる。
【００３１】さらに電極指においては弾性表面波の機械
的反射（金属薄膜表面領域と自由表面領域との境界にお
ける音響インピーダンスの不連続による弾性表面波の反
射）および電気的反射（圧電材料による電気的再励起に
よる弾性表面波の反射）があるために、電極指を除去し
た場合の問題は、より複雑になる。
的反射（金属薄膜表面領域と自由表面領域との境界にお
ける音響インピーダンスの不連続による弾性表面波の反
射）および電気的反射（圧電材料による電気的再励起に
よる弾性表面波の反射）があるために、電極指を除去し
た場合の問題は、より複雑になる。
【００３２】しかるに上記したように、ダミー電極指ｄ
1 〜ｄ8 を被着形成し、かつ同電位としたために、ダミ
ー電極指対で弾性表面波が励振されず電極指を間引いた
のと同様の効果が得られると共に、弾性表面波が励振さ
れないということ以外の点においては他部分の電極指と
同等であって、弾性表面波の機械的反射や電気的反射に
よる特別の影響はなくなる。
1 〜ｄ8 を被着形成し、かつ同電位としたために、ダミ
ー電極指対で弾性表面波が励振されず電極指を間引いた
のと同様の効果が得られると共に、弾性表面波が励振さ
れないということ以外の点においては他部分の電極指と
同等であって、弾性表面波の機械的反射や電気的反射に
よる特別の影響はなくなる。
【００３３】次に本発明の第２実施例について説明す
る。
る。
【００３４】第２実施例の弾性表面波共振子は、電極指
を弾性表面波の励振強度分布が所定の関数、例えば緩や
かに変化する関数であるハミング関数で近似されるよう
に間引いた場合の例である。
を弾性表面波の励振強度分布が所定の関数、例えば緩や
かに変化する関数であるハミング関数で近似されるよう
に間引いた場合の例である。
【００３５】第２実施例の弾性表面波共振子では、例え
ば、Ｎ対の電極指（電極指本数＝２Ｎ＋１本）を有する
正規形電極からハミング関数で近似されるような励振強
度分布となるように間引く電極指を定めて、電極指を間
引いてすだれ状電極を構成する。このように構成するた
めには、ｎ番目の電極指位置での弾性表面波の励振強度
Ｉが Ｉ＝０．５４＋０．４６・ｃｏｓＸ …（１） ここで、Ｘは Ｘ＝π・ｎ／（Ｎ＋１）−π …（２） となるように電極指を間引けばよい。
ば、Ｎ対の電極指（電極指本数＝２Ｎ＋１本）を有する
正規形電極からハミング関数で近似されるような励振強
度分布となるように間引く電極指を定めて、電極指を間
引いてすだれ状電極を構成する。このように構成するた
めには、ｎ番目の電極指位置での弾性表面波の励振強度
Ｉが Ｉ＝０．５４＋０．４６・ｃｏｓＸ …（１） ここで、Ｘは Ｘ＝π・ｎ／（Ｎ＋１）−π …（２） となるように電極指を間引けばよい。
【００３６】すなわち、（１）式から計算される励振強
度Ｉが小さいほど、その近傍から間引く電極指の本数を
多くする。従って、（１）式で表される関数近似によっ
て間引きが行われたすだれ状電極２１は、弾性表面波の
伝搬方向に対して対称に電極指が間引かれており、電極
外側ほど間引き本数が多くなっている。
度Ｉが小さいほど、その近傍から間引く電極指の本数を
多くする。従って、（１）式で表される関数近似によっ
て間引きが行われたすだれ状電極２１は、弾性表面波の
伝搬方向に対して対称に電極指が間引かれており、電極
外側ほど間引き本数が多くなっている。
【００３７】図８はこのような電極の弾性表面波エネル
ギ分布を示したもので、電極中央に弾性表面波のエネル
ギが集中しており、電極内に弾性表面波が閉じ込められ
ている。従って、このようなすだれ状電極構成によっ
て、本発明の第１実施例と同様な効果が得られることは
明らかである。図８において、縦軸はノルマライズした
エネルギレベルを示している。
ギ分布を示したもので、電極中央に弾性表面波のエネル
ギが集中しており、電極内に弾性表面波が閉じ込められ
ている。従って、このようなすだれ状電極構成によっ
て、本発明の第１実施例と同様な効果が得られることは
明らかである。図８において、縦軸はノルマライズした
エネルギレベルを示している。
【００３８】なお、この種の近似関数の別の例として、
弾性表面波の励振強度Ｉが Ｉ＝（ｓｉｎＸ）／Ｘ …（３） Ｘ＝π・ｎ／（Ｎ＋１）−π …（４） となるようなシンク関数であっても同様の効果が得られ
る。
弾性表面波の励振強度Ｉが Ｉ＝（ｓｉｎＸ）／Ｘ …（３） Ｘ＝π・ｎ／（Ｎ＋１）−π …（４） となるようなシンク関数であっても同様の効果が得られ
る。
【００３９】さらに、本第２実施例においては、所定の
近似関数として（１）、（３）式で表されるハミング関
数およびシンク関数を用いて説明したが、電極の弾性表
面波エネルギ分布が図８のように電極両端部で小さくな
るような関数であれば、同様な効果が得られることは明
らかである。
近似関数として（１）、（３）式で表されるハミング関
数およびシンク関数を用いて説明したが、電極の弾性表
面波エネルギ分布が図８のように電極両端部で小さくな
るような関数であれば、同様な効果が得られることは明
らかである。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電極外に不要な弾性表面波が漏れ出ることがなく、圧電
基板端面等による反射波が発生しないので、インピーダ
ンス特性上の周波数可変域におけるリップルを抑圧で
き、周波数跳びのない実用的なＶＣＯ用の弾性表面波共
振子が実現できる。
電極外に不要な弾性表面波が漏れ出ることがなく、圧電
基板端面等による反射波が発生しないので、インピーダ
ンス特性上の周波数可変域におけるリップルを抑圧で
き、周波数跳びのない実用的なＶＣＯ用の弾性表面波共
振子が実現できる。
【００４１】また、従来構造と全く同等の製造工程で作
成可能であり、製造工程が複雑になることはない。さら
に、電極部分以外に何らかの加工を施す必要がないた
め、圧電基板の寸法を必要最小限の大きさに抑えること
ができる。
成可能であり、製造工程が複雑になることはない。さら
に、電極部分以外に何らかの加工を施す必要がないた
め、圧電基板の寸法を必要最小限の大きさに抑えること
ができる。
【図１】本発明に係る弾性表面波共振子の第１実施例の
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施例におけるすだれ状電極が３
６対の電極指からなる場合の間引き位置を示す模式図で
ある。
６対の電極指からなる場合の間引き位置を示す模式図で
ある。
【図３】本発明の第１実施例におけるすだれ状電極が１
５０対の電極指からなる場合の間引き位置を示す模式図
である。
５０対の電極指からなる場合の間引き位置を示す模式図
である。
【図４】第１実施例のインピーダンス特性を示す図であ
る。
る。
【図５】本発明に係る弾性表面波共振子の第１実施例の
変形例の構成を示す平面図である。
変形例の構成を示す平面図である。
【図６】第１実施例の変形例におけるダミー電極指被着
形成位置の説明に供する模式図である。
形成位置の説明に供する模式図である。
【図７】第１実施例の変形例の作用の説明に供する配置
模式図である。
模式図である。
【図８】本発明の第２実施例を説明するための、間引電
極における弾性表面波エネルギ分布図である。
極における弾性表面波エネルギ分布図である。
【図９】従来例に係る弾性表面波共振子の構成を示す平
面図である。
面図である。
【図１０】他の従来例に係る弾性表面波共振子の構成を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図１１】図１０に示す従来例のインピーダンス特性を
示す図である。
示す図である。
【図１２】他の従来例の端面処理を実施した場合のイン
ピーダンス特性を示す図である。
ピーダンス特性を示す図である。
１、１０、１３…圧電基板 ２、２１…す
だれ状電極 １２…反射器 ｄ1 〜ｄ8 …
ダミー電極指
だれ状電極 １２…反射器 ｄ1 〜ｄ8 …
ダミー電極指
Claims (3)
- 【請求項１】電気的に励振されることにより表面を弾性
表面波が伝搬する圧電基板と、圧電基板上に被着形成さ
れたすだれ状電極とを備えた弾性表面波共振子におい
て、すだれ状電極を間引電極で構成し、かつ電極外側ほ
ど間引く電極指の数を多くしたことを特徴とする弾性表
面波共振子。 - 【請求項２】請求項１記載の弾性表面波共振子におい
て、間引電極は弾性表面波エネルギ分布が、電極中央部
より両端部で小さくなるような関数の近似値に基づいて
電極指を間引いたことを特徴とする弾性表面波共振子。 - 【請求項３】請求項１記載の弾性表面波共振子におい
て、間引かれた電極指位置に同電位とされたダミー電極
指を被着形成したことを特徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15622994A JPH0823256A (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15622994A JPH0823256A (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0823256A true JPH0823256A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15623191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15622994A Pending JPH0823256A (ja) | 1994-07-07 | 1994-07-07 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0823256A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353769A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| US6552632B2 (en) | 2001-04-20 | 2003-04-22 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave resonator with withdrawn electrodes and surface acoustic wave ladder filter using same |
| WO2010047112A1 (ja) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
| JP2010104031A (ja) * | 2010-01-09 | 2010-05-06 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
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| JP2013085273A (ja) * | 2012-12-11 | 2013-05-09 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 |
| JP2020098970A (ja) * | 2018-12-17 | 2020-06-25 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 |
-
1994
- 1994-07-07 JP JP15622994A patent/JPH0823256A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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