JP2007214943A - トランスバーサル型sawフィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】LBO基板のレーリーSAWを用い、バルクスプリアスが抑圧されたトランスバーサル型SAWフィルタを提供することにある。
【解決手段】太い実線で記された波形は、アルミニウム(Al)膜厚を1.71%λ0として試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)を示す。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答を示す。計算と比べて実測ではまだバルクスプリアスによる減衰劣化はみられるが、その劣化分はアルミニウム(Al)膜厚が1.42%λ0の試作品と比べて大幅に良化している。
【選択図】図11
【解決手段】太い実線で記された波形は、アルミニウム(Al)膜厚を1.71%λ0として試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)を示す。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答を示す。計算と比べて実測ではまだバルクスプリアスによる減衰劣化はみられるが、その劣化分はアルミニウム(Al)膜厚が1.42%λ0の試作品と比べて大幅に良化している。
【選択図】図11
Description
本発明は、無線通信分野で利用される弾性表面波フィルタに関するものである。
弾性表面波フィルタ(以降、SAWフィルタと称す)は無線通信分野で広く利用されている。そのSAW(Surface Accoustic Wave)フィルタにおいては、温度安定性(以下、温度特性と称す)に優れる水晶や温度特性は悪いものの電気機械結合係数が高く広帯域なデバイスを実現できるリチウムタンタレート(以降、LTと称す)やリチウムナイオベート(以降、LNと称す)が利用されることが多かった。
温度特性が比較的良好で、更に電気機械結合係数も比較的高い圧電材料として四ホウ酸リチウム(以降、LBOと称す)があり、SAWデバイスへの利用が進められてきた。特に、水晶では実現が難しく、LT、LNでは温度特性が問題となる中帯域デバイスにおいては高い優位性がある。
LBOのウェハ方位(カットアングル)は幾つか知られているが、温度特性が優れるオイラー角表示で(45°、90°、90°)のカットでのレーリー(Rayleigh Waves)SAWを利用したものが最も多く用いられている。そのカットアングルは結晶の(1,1,0)面に相当し、ウェハの製造の点でも利点がある。
製造条件によって最適なカットアングルが変わるため、実際にはそのカットアングルから若干変えたものも多く利用されている。例えば、特許文献1、特許文献2ではオイラー角(45°、θ°、90°)のθ°を90°より幾分変えたものが報告されている。これら(45°、90°、90°)から若干アングルを変えたLBOは、(1,1,0)方位付近の利用であるため、レーリーSAWを利用するカットである点で同類のものと判断できる。
LBOは電極端部におけるSAWの反射量が大きく、製造条件に対する反射量の変動も大きい。また、製造条件に関するSAWの位相速度の変動も水晶と比べて大きい。これらの性質から、LBOを用いたSAWデバイスは、量産時の製造条件のバラツキに対してデバイスの中心周波数等の特性バラツキが水晶を用いたものと比べて大きい欠点があった。
特許文献3では、オイラー角表示で(45°±1°、90°±1°、90°±1°)またはそれと等価な(135°±1°、90°±1°、90°±1°)のLBOを用いたSAWデバイスにおいてアルミニウム(Al)電極の膜厚を0.5%λ0〜1.5%λ0とすることで製造時の再現性を高めることが示されている。
ここで、λ0はSAWデバイスのIDT電極上を伝搬するSAWの位相速度とSAWデバイスの中心周波数との比から決まるSAWの実効的な波長である。λ0はIDT電極の電極ピッチと等しいが、近年のSAWデバイスは複数の電極ピッチが混在しているため、複数の電極ピッチの平均値に比較的近い値となる。
特許文献1では、デバイスを小型化する目的で反射を高めるためにアルミニウム(Al)電極の膜厚を1.8%λ0〜5.0%λ0としたSAWデバイスが開示されている。しかし、一般にはアルミニウム(Al)電極の膜厚を2%λ0以下とすることでバラツキを抑え、量産時の再現性を高めて利用されることが多い。
無線通信の高速大容量化によりそのIF段に用いるIF(Intermediate Frequency)フィルタにおいても広帯域な特性が求められている。IFフィルタには一般に急峻なフィルタ特性、高い減衰特性が要求され、デジタル通信機器用では群遅延の平坦性も重要となる。
これらのフィルタには、減衰量及び群遅延の平坦性に優れるトランスバーサル型SAWフィルタが多く利用されてきた。従来のトランスバーサル型SAW−IFフィルタの圧電材料には、温度特性の優れる水晶が多く利用されていた。しかし、広帯域伝送のニーズに伴い、温度特性が比較的良好であり、広帯域な特性を得ることが可能なLBOへの展開がIFフィルタにおいても進んでいる。
トランスバーサル型SAWフィルタは一般にフィルタの挿入損失が大きい欠点があった。挿入損失に関しては一方向性電極の採用により低損失化が進んでいる。一方向性電極として最もよく利用されているものの一つにDART電極がある。このDART電極に関しては非特許文献1に詳しく述べられている。
また、特許文献4ではLBO基板を用いた一方向性電極の最適な電極形状に関して開示されている。その最適な電極形状とは、波長λ0の区間に、電極指幅がλ0/8の2本の電極指と、電極指幅が0.26λ0〜0.33λ0の1本の反射電極指の組み合わせであり、電極膜厚は1.0%λ0〜2.0%λ0が良いと示されている。LBO基板を用いたトランスバーサル型SAWフィルタでは広帯域な特性が得られ、更に一方向性電極の利用により比較的低損失な特性が実現可能である。トランスバーサル型SAWフィルタにおいても、製造時の再現性を高めるため、アルミニウム(Al)電極の膜厚は2%λ0以下で利用されることがほとんどである。
オイラー角表示で(45°、90°、90°)付近のカットのLBOはレーリーSAWを主モードとして用いるが、そのカットでは横波を主成分としたバルク波が強勢に生じる。そのバルク波の放射可能となるカットオフ周波数がレーリーSAWの高域側近傍に相当することより、フィルタや共振子等の高域側にスプリアスが生じ、その周波数応答の劣化を生じる問題があった。特許文献4では一方向性電極の最適な電極形状は述べているものの、このバルクスプリアスの問題については触れていない。
特許文献5では、このバルクスプリアスの問題点を指摘しており、サブトラックを設けることでバスクスプリアスを受信しない手法が述べられているが、サブトラックの追加によりデバイスサイズが大型化する欠点がある。このように、(45°、90°、90°)付近のカットのLBOはバルクスプリアスの問題があり、高い減衰特性が要求されるIFフィルタに利用されるトランスバーサル型SAWフィルタではそのスプリアスを抑圧することは特に重要な課題である。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、LBO基板のレーリーSAWを用い、バルクスプリアスが抑圧されたトランスバーサル型SAWフィルタを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、LBO(Li2B4O7:リチウムテトラボレート)でなる圧電基板上に2つ以上のIDT電極がSAWの伝搬方向に並んで配置され、SAWの実効的な波長をλ0としたときIDT電極の電極膜厚が1.57%λ0を超えて2%λ0以下であり、中心周波数が500MHz以下であることを要旨とする。
これによれば、LBO(Li2B4O7:リチウムテトラボレート)でなる圧電基板上に2つ以上のIDT電極がSAWの伝搬方向に並んで配置され、SAWの実効的な波長をλ0としたときIDT電極の電極膜厚が1.57%λ0を超えて2%λ0以下であり、中心周波数が500MHz以下であるために、圧電基板にLBO(Li2B4O7:リチウムテトラボレート)を使用しても、バルクスプリアスが抑圧されたトランスバーサル型SAWフィルタを提供することができる。
以下、本発明を図面に示した実施例に基づいて詳細に説明する。
図1は、トランスバーサル型SAWフィルタの構成を示す平面図を示す。
圧電基板11上に入力IDT電極12と出力IDT電極13が設けられ、入力IDT電極12と出力IDT電極13との間に、入力IDT電極12と出力IDT電極13間の電磁結合を弱めるためのシールド電極14が形成されている。図中、黒で塗りつぶされている部分はアルミニウム(Al)電極である。IDT電極はボンディングワイヤ16にて外部端子と接続される。シールド電極14もまたボンディングワイヤ16にて外部のグランド端子に接続される。さらに、圧電基板11の長辺方向(表面波伝搬方向)の端部に吸音材15を塗布して不要反射波を抑圧している。
圧電基板11上に入力IDT電極12と出力IDT電極13が設けられ、入力IDT電極12と出力IDT電極13との間に、入力IDT電極12と出力IDT電極13間の電磁結合を弱めるためのシールド電極14が形成されている。図中、黒で塗りつぶされている部分はアルミニウム(Al)電極である。IDT電極はボンディングワイヤ16にて外部端子と接続される。シールド電極14もまたボンディングワイヤ16にて外部のグランド端子に接続される。さらに、圧電基板11の長辺方向(表面波伝搬方向)の端部に吸音材15を塗布して不要反射波を抑圧している。
図2は、一方向性電極を用いたトランスバーサル型SAWフィルタの構成を示す平面図を示す。
圧電基板21上に一方向性電極を部分的に配置した入力IDT電極22と出力IDT電極23が設けられ、入力IDT電極22と出力IDT電極23との間に、入力IDT電極22と出力IDT電極23間の電磁結合を弱めるためのシールド電極24が形成されている。
圧電基板21上に一方向性電極を部分的に配置した入力IDT電極22と出力IDT電極23が設けられ、入力IDT電極22と出力IDT電極23との間に、入力IDT電極22と出力IDT電極23間の電磁結合を弱めるためのシールド電極24が形成されている。
図3は、一方向性電極の一種であるDART電極の基本区間を示す模式図である。
図中左端を原点とした場合、それぞれの電極指の中心座標を示す電極指中心座標d1,d2,d3と、電極指幅w1,w2,w3を図に示した値のように設定する。すなわち、d1=0.25λ0、d2=0.625λ0、d3=0.875λ0、w1=3λ0/8、w2=λ0/8、w3=λ0/8である。このSPUDT基本区間IDT電極の反射中心の座標を示す電極指中心座標d1は((λ0/4)/λ0)×2π=90°となり、励振中心の座標を示す電極指中心座標d2は(0.625λ0/λ0)×2π=225°付近となり、水晶やLBOなどの圧電基板11,21に数%λ0程度のアルミニウム(Al)電極で構成するときには、図中右方へ表面波を強く励振できることが知られている。尚、電極指幅w1,w2,w3は常に図3に示した値が良いわけではなく、電極膜厚等により最適な値へと僅かに変更される。製造バラツキも考慮すると、実際にはw1=3λ0/8±0.025λ0(0.35λ0〜0.40λ0)、w2=λ0/8±0.025λ0(0.10λ0〜0.15λ0)、w3=λ0/8±0.025λ0(0.10λ0〜0.15λ0)の範囲となる。
図中左端を原点とした場合、それぞれの電極指の中心座標を示す電極指中心座標d1,d2,d3と、電極指幅w1,w2,w3を図に示した値のように設定する。すなわち、d1=0.25λ0、d2=0.625λ0、d3=0.875λ0、w1=3λ0/8、w2=λ0/8、w3=λ0/8である。このSPUDT基本区間IDT電極の反射中心の座標を示す電極指中心座標d1は((λ0/4)/λ0)×2π=90°となり、励振中心の座標を示す電極指中心座標d2は(0.625λ0/λ0)×2π=225°付近となり、水晶やLBOなどの圧電基板11,21に数%λ0程度のアルミニウム(Al)電極で構成するときには、図中右方へ表面波を強く励振できることが知られている。尚、電極指幅w1,w2,w3は常に図3に示した値が良いわけではなく、電極膜厚等により最適な値へと僅かに変更される。製造バラツキも考慮すると、実際にはw1=3λ0/8±0.025λ0(0.35λ0〜0.40λ0)、w2=λ0/8±0.025λ0(0.10λ0〜0.15λ0)、w3=λ0/8±0.025λ0(0.10λ0〜0.15λ0)の範囲となる。
図4は、DART電極αと反射間引き電極βとの構造の比較を示す模式図である。
反射間引き電極βは、DART電極αにおいて反射の機能を持つ電極指幅w1を略λ0/8の幅に2本の電極で分割した構造を持つ。この2本の電極指を電極指M1及び電極指M2とする。電極指M1の電極指幅を電極指幅m1とし、電極指M2の電極指幅を電極指幅m2とする。また他の電極指を電極指M3及び電極指M4とする。この4本の電極指M1,M2,M3,M4は略λ0/4間隔で配置され、このとき反射作用がなくなる。このように、部分的に反射を間引いて反射に複雑な重み付けを行う場合は、DART電極αと反射間引き電極βとを組み合わせて利用する。このようにDART電極αと反射間引き電極βとを用いて反射を部分的に間引くことで反射に重み付けを行いフィルタの周波数応答を制御する手法に関しては、非特許文献1に詳しく述べられている。
反射間引き電極βは、DART電極αにおいて反射の機能を持つ電極指幅w1を略λ0/8の幅に2本の電極で分割した構造を持つ。この2本の電極指を電極指M1及び電極指M2とする。電極指M1の電極指幅を電極指幅m1とし、電極指M2の電極指幅を電極指幅m2とする。また他の電極指を電極指M3及び電極指M4とする。この4本の電極指M1,M2,M3,M4は略λ0/4間隔で配置され、このとき反射作用がなくなる。このように、部分的に反射を間引いて反射に複雑な重み付けを行う場合は、DART電極αと反射間引き電極βとを組み合わせて利用する。このようにDART電極αと反射間引き電極βとを用いて反射を部分的に間引くことで反射に重み付けを行いフィルタの周波数応答を制御する手法に関しては、非特許文献1に詳しく述べられている。
図5は、一方向性DART電極が部分的に配置されたトランスバーサル型SAWフィルタの平面図である。
圧電基板31上に一方向性電極を部分的に配置した入力IDT電極32と出力IDT電極33が設けられ、入力IDT電極32と出力IDT電極33との間に、入力IDT電極32と出力IDT電極33間の電磁結合を弱めるためのシールド電極34が形成されている。入力IDT電極32又は出力IDT電極33には、1λ0の長さのDART電極αと1λ0の長さの反射間引き電極βとが1つ以上配置されている。さらに、圧電基板31の長辺方向(表面波伝搬方向)の端部に吸音材15を塗布して不要反射波を抑圧している。入力IDT電極32及び出力IDT電極33は、一方向性の機能は持たない双方向性電極である。
圧電基板31上に一方向性電極を部分的に配置した入力IDT電極32と出力IDT電極33が設けられ、入力IDT電極32と出力IDT電極33との間に、入力IDT電極32と出力IDT電極33間の電磁結合を弱めるためのシールド電極34が形成されている。入力IDT電極32又は出力IDT電極33には、1λ0の長さのDART電極αと1λ0の長さの反射間引き電極βとが1つ以上配置されている。さらに、圧電基板31の長辺方向(表面波伝搬方向)の端部に吸音材15を塗布して不要反射波を抑圧している。入力IDT電極32及び出力IDT電極33は、一方向性の機能は持たない双方向性電極である。
一方、トランスバーサル型SAWフィルタのカットオフ特性をさらに急峻にするために、上述のような反射の重み付けに加えて、IDT電極に励振の「間引き重み付け」を施す手法も考案されている。
また、特許文献6には、方向性の異なるDART基本区間IDT電極を組み合わせて、IDT電極内部に幾つかの局所的な共振キャビティを生じさせ、IDT電極全体としては一方向性を持たせた変換器、即ち内部共振型一方向性変換器(RSPUDT)を用いたトランスバーサル型SAWフィルタの設計手法が開示されている。このRSPUDTをIDT電極に用いたトランスバーサル型SAWフィルタは、挿入損失が低減すると共に伝送特性が改善されるという特徴がある。つまり、このIDT電極内は方向性の異なる3つのグループのDART電極から構成されている。
図中右方への伝搬方向を順方向、左方への伝搬方向を逆方向とすれば、順方向のDART基本区間IDT電極を50λ0分配した第1のグループと、逆方向のDART基本区間IDT電極を40λ0分配した第2のグループと、更に順方向のDART基本区間IDT電極を20λ0分配した第3のグループとからなるIDT電極を用いてトランスバーサル型SAWフィルタを構成した例と、その伝達応答が示されている。
この特許文献6のfig.11には、IDT電極の位置(SAWの伝搬方向)を横軸にDART(SPUDT)の反射係数を縦軸にとったグラフが図示されている。反射の重み付けを施したIDT電極を用いたトランスバーサル型SAWフィルタが例示されている。同図から、この特許文献6の発明は、IDT電極に反射係数が正の部分と、反射係数が負の部分と、零の部分とが存在する。
ここで反射の正負について簡単に説明する。これまでは正と零の反射重み付けを施したフィルタが一般的であったが、特許文献6の発明は、これと比べ、挿入損失が7.4dBから6.5dBに低減されること、群遅延時間偏差が200nsecから100nsecに半減されること、第2のサイドローブの減衰量が大きく確保されること、通過帯域が広がること等の特徴を有すると記されている。
図6(a)は、RSPUDTを用いたSAWフィルタ(RSPUDTフィルタ)の構成例を示す平面図である。
図6(a)において、SAWフィルタは、入力端子及び出力端子がそれぞれ1本の伝送線路で構成され、アンバランス動作する。SAWフィルタを含むRF部においては、位相の180°反転した2本の伝送線路を用いて外部からのノイズの影響を抑圧するバランス伝送が多く用いられている。SAWフィルタもバランス伝送に対応して動作させる必要があり、その場合は入力を2端子、出力を2端子とする必要がある。
図6(a)において、SAWフィルタは、入力端子及び出力端子がそれぞれ1本の伝送線路で構成され、アンバランス動作する。SAWフィルタを含むRF部においては、位相の180°反転した2本の伝送線路を用いて外部からのノイズの影響を抑圧するバランス伝送が多く用いられている。SAWフィルタもバランス伝送に対応して動作させる必要があり、その場合は入力を2端子、出力を2端子とする必要がある。
図6(b)は、バランス終端に対応したRSPUDTフィルタの模式図を示す。
RSPUDTフィルタに限らず、トランスバーサル型SAWフィルタや方向性電極を用いたトランスバーサル型SAWフィルタに関してもバランス動作させる場合は同様の構成となる。特許文献7、特許文献8には11種類の電極の組み合わせによって、そのRSPUDTの最適な電極構成を実現できることが示されている。
RSPUDTフィルタに限らず、トランスバーサル型SAWフィルタや方向性電極を用いたトランスバーサル型SAWフィルタに関してもバランス動作させる場合は同様の構成となる。特許文献7、特許文献8には11種類の電極の組み合わせによって、そのRSPUDTの最適な電極構成を実現できることが示されている。
図7は、11種類の電極の構造を示す模式図である。
実際には、この11種類の電極すべてが用いられるとは限らず、所望の周波数応答を実現する最低限の種類の電極が利用される。LBO(45°、90°、90°)を用いて図5の一方向性トランスバーサル型SAWフィルタや図6のRSPUDTフィルタを試作した。
実際には、この11種類の電極すべてが用いられるとは限らず、所望の周波数応答を実現する最低限の種類の電極が利用される。LBO(45°、90°、90°)を用いて図5の一方向性トランスバーサル型SAWフィルタや図6のRSPUDTフィルタを試作した。
図8は、フィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答と試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)とを比較したグラフである。
図8の太い実線で記された波形は、IDT電極の電極膜をアルミニウム(Al)とし、その膜厚を1.42%λ0として試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)を示すグラフである。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答を示す。同図の横軸はフィルタの中心周波数(200MHz帯)を基準とした相対周波数を示しており、縦軸にはフィルタの挿入損失を示している。計算と実測とで、図中丸印で示された高域側の応答に差がみられ、実測の応答が劣化している。この応答の劣化は、SHを主成分とするバルク波がそのカットオフ周波数以上において基板内部に放射され、それが裏面の反射を経由して受信されたバスクスプリアスである。
図8の太い実線で記された波形は、IDT電極の電極膜をアルミニウム(Al)とし、その膜厚を1.42%λ0として試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)を示すグラフである。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答を示す。同図の横軸はフィルタの中心周波数(200MHz帯)を基準とした相対周波数を示しており、縦軸にはフィルタの挿入損失を示している。計算と実測とで、図中丸印で示された高域側の応答に差がみられ、実測の応答が劣化している。この応答の劣化は、SHを主成分とするバルク波がそのカットオフ周波数以上において基板内部に放射され、それが裏面の反射を経由して受信されたバスクスプリアスである。
このように圧電基板の裏面を経由して受信されるバルク波は一般にDBAWと呼ばれる。このDBAWは圧電基板の裏面をバルク波の波長に近い大きさまで粗し(粗面化し)、裏面で反射する際に散乱させることで抑圧が可能である。
図9は、裏面を粗したSAWチップの断面図を示す。
主面91の表面にIDT電極93が設けられ、主面91と対向する裏面92が粗面化される。このような粗面化では、周波数が比較的低く、バルク波の波長が長いデバイスに関しては、ウェハの裏面92をRaを0.5μm以上、周波数によっては数μm程度粗さなければ効果が得られない。ここでRaとは算術平均粗さであり、粗さ曲線から、その平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計し、平均した値である。
主面91の表面にIDT電極93が設けられ、主面91と対向する裏面92が粗面化される。このような粗面化では、周波数が比較的低く、バルク波の波長が長いデバイスに関しては、ウェハの裏面92をRaを0.5μm以上、周波数によっては数μm程度粗さなければ効果が得られない。ここでRaとは算術平均粗さであり、粗さ曲線から、その平均線の方向に基準長さだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計し、平均した値である。
ウェハへIDT電極をパターンニングするウェハ処理工程において、ウェハの裏面92にてウェハを吸着して装置内でウェハを自動搬送することが一般的である。Raを1μm以上にウェハの裏面92が粗されると多くの装置で吸着エラーが生じる。また、特許文献9にはRaが0.3μmを超えるとウェハの反りが生じ、特に1μm以上では数μmの反りが生じることが記されている。この反りは、成膜、露光等多くの製造工程において均一な分布での処理を難しくするため、デバイスの個体差が広がり、しいては歩留まりの劣化に繋がる。
試作レベルではRaが数μmのウェハの処理ができても、量産時には吸着エラーやウェハの破損が多発するとともに、特性のバラツキにより歩留まりが劣化するため、量産性が著しく悪化することになる。従って、量産性を加味するとウェハの裏面92は、例えばRaを0.5μm以下等にする制約が課せられることになる。周波数が高ければその程度の粗しでもバルク波を十分に散乱させることが可能だが、周波数が低い場合には散乱の効果がほとんど得られない。必要とするバルクスプリアスの抑圧レベルによって効果は異なるが、数100MHz以下で動作させるデバイスでは抑圧の効果が薄い。
トランスバーサル型SAWフィルタにおいては、前述のとおり高い減衰量を要求されるIFフィルタ等で利用されることが多いので、バルクスプリアスを十分に抑圧する必要がある。そのため、中心周波数500MHz以下のフィルタにおいては裏面粗しの手法によるバルクスプリアスの抑圧は難しかった。先に述べた試作においては、裏面92のRaが2μm程度まで粗したウェハを用いたが中心周波数が200MHz帯のフィルタでは強勢にバルクスプリアスが生じた。その200MHz帯のフィルタの実効的な波長λ0は10数μmであり、スプリアスが生じる周波数におけるバルク波の波長もその程度の波長である。すなわち、量産性に問題が生じる2μmまで粗したにもかかわらず、10μmを超える波長(例えば15μm)からすると十分小さいので散乱の効果が薄かったと言える。
バルク波によるスプリアスの強さは、電極の膜厚によって多少変わることが知られており、例えば水晶基板を用いたSAWフィルタでは膜厚が薄い場合にはその応答が強くないことが知られている。しかし、LBO基板を用いたSAWフィルタのDBAWと電極膜厚との関係については詳しい調査結果がない。そこで、量産性に優れるアルミニウム(Al)膜厚が2%λ0以下の条件において、膜厚とバルクスプリアスとの関係を実験的に調査した。
ウェハ毎の個体差、サンプル毎の個体差の影響を避けるため、同一ロットのウェハ6枚にアルミニウム(Al)膜厚1.42%λ0、1.57%λ0、1.71%λ0の3水準を各2枚処理し、3水準から計10個のフィルタを製作した。その3水準各々10個のバルクスプリアスのレベルを測定し、水準毎にバルクスプリアスの減衰量の平均値を求めた。
図10は、アルミニウム(Al)膜厚とバルクスプリアスの応答レベルとの実測結果を示すグラフである。
各水準毎のサンプル10個のバルクスプリアスの減衰量をフィルタの通過帯域内の挿入損失と比べた相対減衰量を示してある。アルミニウム(Al)膜厚が1.57%λ0以下では比較的強いバルクスプリアスが生じ、その結果、相対減衰量は35dB程度しか得られない。しかし、アルミニウム(Al)膜厚が1.57%λ0を超えた1.71%λ0ではバルクスプリアスが5dB以上抑圧され、相対減衰量で40dB得られている。
各水準毎のサンプル10個のバルクスプリアスの減衰量をフィルタの通過帯域内の挿入損失と比べた相対減衰量を示してある。アルミニウム(Al)膜厚が1.57%λ0以下では比較的強いバルクスプリアスが生じ、その結果、相対減衰量は35dB程度しか得られない。しかし、アルミニウム(Al)膜厚が1.57%λ0を超えた1.71%λ0ではバルクスプリアスが5dB以上抑圧され、相対減衰量で40dB得られている。
図11は、フィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答と試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)とを比較したグラフである。
図11の太い実線で記された波形は、アルミニウム(Al)膜厚を1.71%λ0として試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)を示す。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答を示す。計算と比べて実測ではまだバルクスプリアスによる減衰劣化はみられるが、その劣化分はアルミニウム(Al)膜厚が1.42%λ0の試作品と比べて大幅に良化している。
図11の太い実線で記された波形は、アルミニウム(Al)膜厚を1.71%λ0として試作したフィルタの伝達応答(周波数応答)を示す。同図の細い実線で記された波形は、そのフィルタの計算時(シミュレーション時)の伝達応答を示す。計算と比べて実測ではまだバルクスプリアスによる減衰劣化はみられるが、その劣化分はアルミニウム(Al)膜厚が1.42%λ0の試作品と比べて大幅に良化している。
図12は、一方向性電極における反射機能を持つ電極指の波長λ0に対するアルミニウム(Al)膜厚の相対膜厚と波長λ0に対する電極指幅の相対電極指幅との関係を示すグラフである。
一方向性電極における反射機能を持つ電極指としては、図4で示した反射間引き電極βの電極指M1及び電極指M2であり、電極指幅としては、図4で示した電極指幅m1及び電極指幅m2である。図中斜線部内の白丸は、アルミニウム(Al)膜厚が1.71%λ0で、電極指幅m1又は電極指幅m2が0.375λ0である電極指M1及び電極指M2(図4参照)であり、バルクスプリアスが最も抑圧された条件である。更に、好適にはアルミニウム(Al)膜厚が1.71λ0±0.13%λ0(1.57%λ0を超えて1.85%λ0未満)の範囲であることが望ましい。斜線部は、量産性に優れ、かつ、バルクスプリアスが抑圧可能な範囲である。すなわち、アルミニウム(Al)膜厚が1.57%λ0を超えて1.85%λ0未満であり、電極指M1及び電極指M2(図4参照)の電極指幅m1及び電極指幅m2が0.375λ0±0.025λ0(0.35λ0〜0.40λ0)で示される範囲である。
一方向性電極における反射機能を持つ電極指としては、図4で示した反射間引き電極βの電極指M1及び電極指M2であり、電極指幅としては、図4で示した電極指幅m1及び電極指幅m2である。図中斜線部内の白丸は、アルミニウム(Al)膜厚が1.71%λ0で、電極指幅m1又は電極指幅m2が0.375λ0である電極指M1及び電極指M2(図4参照)であり、バルクスプリアスが最も抑圧された条件である。更に、好適にはアルミニウム(Al)膜厚が1.71λ0±0.13%λ0(1.57%λ0を超えて1.85%λ0未満)の範囲であることが望ましい。斜線部は、量産性に優れ、かつ、バルクスプリアスが抑圧可能な範囲である。すなわち、アルミニウム(Al)膜厚が1.57%λ0を超えて1.85%λ0未満であり、電極指M1及び電極指M2(図4参照)の電極指幅m1及び電極指幅m2が0.375λ0±0.025λ0(0.35λ0〜0.40λ0)で示される範囲である。
また、図中太い線で囲まれた範囲は、特許文献4に述べられている最適な一方向性電極の条件である。本実施例は、電極指M1及び電極指M2を0.375λ0付近の電極指幅m1,m2に限定したときのアルミニウム(Al)膜厚とバルクスプリアスとの関係を調査した。しかし、バルクスプリアスは反射電極としての電極指M1及び反射電極としての電極指M2の電極指幅m1,m2に支配されないので、必ずしも電極指幅m1,m2が0.375λ0付近である必要はなく、それ以外の電極指幅の構造でも同様の効果が期待できる。従って、図11の破線で囲まれた条件においても同様の効果を得ることができる。
以下、実施例1の効果を記載する。
(1)中心周波数が500MHz以下、特に300MHz以下のトランスバーサル型SAWフィルタにおいて、生産性を犠牲とせずにバルク波によるスプリアスを抑圧できる効果がある。
(1)中心周波数が500MHz以下、特に300MHz以下のトランスバーサル型SAWフィルタにおいて、生産性を犠牲とせずにバルク波によるスプリアスを抑圧できる効果がある。
11,21,31…圧電基板、12,22,32…入力IDT電極、13,23,33…出力IDT電極、14,24,34…シールド電極、15…吸音材、16…ボンディングワイヤ、91…主面、92…裏面、93…IDT電極、d1,d2,d3…電極指中心座標、m1,m2,w1,w2,w3…電極指幅、M1,M2…反射電極としての電極指、M3,M4…電極指、α…DART電極、β…反射間引き電極、λ0…波長。
Claims (6)
- 四ホウ酸リチウムでなる圧電基板上に2つ以上のIDT電極がSAWの伝搬方向に並んで配置され、
SAWの実効的な波長をλ0としたとき前記IDT電極の電極膜厚が1.57%λ0を超えて2%λ0以下であり、中心周波数が500MHz以下であることを特徴とするトランスバーサル型SAWフィルタ。 - 請求項1に記載のトランスバーサル型SAWフィルタであって、前記IDT電極内に少なくとも1λ0長さ分の一方向性電極を1つ以上有してなることを特徴とするトランスバーサル型SAWフィルタ。
- 請求項1又は請求項2に記載のトランスバーサル型SAWフィルタであって、前記圧電基板のウェハ方位がオイラー角で(45°±5°、90°±5°、90°±5°)であることを特徴とするトランスバーサル型SAWフィルタ。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のトランスバーサル型SAWフィルタであって、前記中心周波数が300MHz以下であることを特徴とするトランスバーサル型SAWフィルタ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のトランスバーサル型SAWフィルタであって、前記一方向性電極における反射電極の電極指幅が0.35λ0〜0.40λ0であることを特徴とするトランスバーサル型SAWフィルタ。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のトランスバーサル型SAWフィルタであって、前記一方向性電極における反射電極の電極指幅が0.35λ0〜0.40λ0であることを特徴とするトランスバーサル型SAWフィルタ。
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JP2009077350A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Japan Radio Co Ltd | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
JP2010050626A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
-
2006
- 2006-02-10 JP JP2006033325A patent/JP2007214943A/ja not_active Withdrawn
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