JP2018182354A - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】不要波を効果的に抑制することができる、弾性波装置を提供する。【解決手段】弾性波装置1は、圧電基板2(圧電性基板)と、圧電基板2において構成されている複数の弾性波共振子と、圧電基板2上に、複数の弾性波共振子を覆うように設けられている第1の誘電体膜8(誘電体膜)とを備え、複数の弾性波共振子が、圧電基板2上に設けられたIDT電極をそれぞれ有し、IDT電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとしたときに、複数の弾性波共振子が、波長λが異なる少なくとも2つの弾性波共振子を有し、波長λが異なる任意の2つの弾性波共振子において、波長λが長い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚が、波長λが短い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚以下であり、複数の弾性波共振子のうち少なくとも2つの弾性波共振子のIDT電極の膜厚が異なり、レイリー波を利用している。【選択図】図1
Description
本発明は、弾性波装置に関する。
従来、弾性波装置が携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献1には、共振周波数が異なる2つの共振子を有する弾性波装置が記載されている。2つの共振子におけるIDT電極の膜厚は異なる寸法に設定されている。具体的には、2つの共振子のうち、IDT電極の周期長すなわち波長λがより短く、共振周波数が高域側に位置する共振子におけるIDT電極の膜厚は、IDT電極の周期長すなわち波長λがより長く、共振周波数が低域側に位置する共振子におけるIDT電極の膜厚よりも薄い。
特許文献1においては、上記構成により温度変化による周波数変動を抑制し得るとされている。しかし、不要波による周波数特性の低下が十分に抑制された弾性波装置については記載されていない。
本発明の目的は、不要波を効果的に抑制することができる、弾性波装置を提供することにある。
本発明に係る弾性波装置は、圧電性基板と、前記圧電性基板において構成されている複数の弾性波共振子と、前記圧電性基板上に、前記複数の弾性波共振子を覆うように設けられている誘電体膜とを備え、前記複数の弾性波共振子が、前記圧電性基板上に設けられたIDT電極をそれぞれ有し、前記IDT電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとしたときに、前記複数の弾性波共振子が、前記波長λが異なる少なくとも2つの弾性波共振子を有し、前記波長λが異なる任意の2つの前記弾性波共振子において、前記波長λが長い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚が、前記波長λが短い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚以下であり、前記複数の弾性波共振子のうち少なくとも2つの弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚が異なり、レイリー波を利用している。
本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、前記波長λが異なる任意の2つの前記弾性波共振子において、前記波長λが長い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚が、前記波長λが短い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚より薄い。この場合には、不要波をより一層抑制することができる。
本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、前記複数の弾性波共振子が前記複数の弾性波共振子のうち前記波長λが最も長い第1の弾性波共振子と、前記複数の弾性波共振子のうち前記波長λが最も短い第2の弾性波共振子とを有し、前記IDT電極の膜厚をtとしたときに、前記第1の弾性波共振子の前記膜厚tに対する不要波の比帯域の関数が、極小値を有する関数F1(t)であり、前記第2の弾性波共振子の前記膜厚tに対する不要波の比帯域の関数が、極小値を有する関数F2(t)であり、前記第1の弾性波共振子において、t=t1のときにF1(t1)が前記関数F1(t)の最小値となり、前記第2の弾性波共振子において、t=t2のときにF2(t2)が前記関数F2(t)の最小値となり、前記第1の弾性波共振子及び前記第2の弾性波共振子において、t=tjのときにF1(tj)=F2(tj)であり、前記第1の弾性波共振子において、前記関数F1(t)の値がF1(tj)と同じ値となり、かつt<t1となる前記IDT電極の膜厚をtαとし、前記第2の弾性波共振子において、前記関数F2(t)の値がF2(tj)と同じ値となり、かつt2<tとなる前記IDT電極の膜厚をtβとしたときに、前記第1の弾性波共振子において前記IDT電極の膜厚がtα≦t<tjであり、前記第2の弾性波共振子において前記IDT電極の膜厚がtj<t≦tβである。この場合には、不要波をより一層抑制することができる。
本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、前記誘電体膜が酸化ケイ素を主成分とする。
本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、前記誘電体膜が第1の誘電体膜であり、該第1の誘電体膜上に第2の誘電体膜が設けられている。この場合には、耐湿性を高めることができる。
本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、前記圧電性基板がLiNbO3からなる。
本発明によれば、不要波を効果的に抑制することができる、弾性波装置を提供することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。
弾性波装置1は、圧電性基板としての圧電基板2を有する。本実施形態では、圧電基板2は圧電単結晶からなる。より具体的には、弾性波装置1においては、特に限定されないが、圧電基板2には126°〜130°YカットX伝搬LiNbO3が用いられている。ここで、上記カット角の範囲は、126°及び130°を含む。なお、弾性波装置1には、支持基板上に圧電膜が積層されている圧電性基板を用いてもよい。上記圧電膜として、上記圧電単結晶などを適宜用いることができる。
圧電基板2においては、第1の弾性波共振子3A及び第2の弾性波共振子3Bが構成されている。第1の弾性波共振子3A及び第2の弾性波共振子3Bは隣り合うように配置されている。なお、第1の弾性波共振子3A及び第2の弾性波共振子3Bの位置の関係は、上記に限定されない。弾性波装置1は、第1の弾性波共振子3A及び第2の弾性波共振子3Bに加え、圧電基板2において構成されている、図1に示していない複数の弾性波共振子を有する。なお、弾性波装置1は、少なくとも第1の弾性波共振子3A及び第2の弾性波共振子3Bを有していればよい。
図2は、本発明における第1の弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。なお、図2においては、弾性波共振子に接続されている配線は省略している。
第1の弾性波共振子3Aは、圧電基板上に設けられたIDT電極4を有する。IDT電極4は、互いに対向し合っている第1のバスバー5a及び第2のバスバー6aを有する。IDT電極4は、第1のバスバー5aに一端が接続されている、複数の第1の電極指5bを有する。さらに、IDT電極4は、第2のバスバー6aに一端が接続されている、複数の第2の電極指6bを有する。複数の第1の電極指5bと複数の第2の電極指6bとは、互いに間挿し合っている。
IDT電極4に交流電圧を印加すると、弾性波が励振される。本実施形態では、弾性波装置1は、弾性波としてレイリー波を利用している。この場合、不要波はSH波となる。IDT電極4の弾性波伝搬方向両側には、反射器7a及び反射器7bが配置されている。
IDT電極4、反射器7a及び反射器7bは、複数の金属層が積層された積層金属膜からなっていてもよく、単層の金属膜からなっていてもよい。本実施形態では、IDT電極4、反射器7a及び反射器7bはPtからなる。
第1の弾性波共振子3A以外の他の複数の弾性波共振子も、同様にIDT電極及び反射器をそれぞれ有する。本実施形態では、第1の弾性波共振子3Aを含む複数の弾性波共振子のIDT電極のデューティはいずれも0.5である。
ここで、IDT電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとする。図1に示す第1の弾性波共振子3Aは、複数の弾性波共振子のうち波長λが最も長い。第2の弾性波共振子3Bは、複数の弾性波共振子のうち波長λが最も短い。なお、複数の弾性波共振子においては、少なくとも2つの弾性波共振子において波長λが異なっていればよい。
本実施形態では、波長λが異なる任意の2つの弾性波共振子において、波長λが長い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚が、波長λが短い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚より薄いか、または波長λが短い方におけるIDT電極の膜厚と同じである。加えて、本実施形態では、複数の弾性波共振子のうち少なくとも2つの弾性波共振子のIDT電極の膜厚が異なる。そのため、少なくとも、波長λが最も長い第1の弾性波共振子3AのIDT電極4の膜厚は、波長λが最も短い第2の弾性波共振子3BのIDT電極の膜厚よりも薄い。
図1に示すように、圧電基板2上には、第1の弾性波共振子3A、第2の弾性波共振子3B及び他の複数の弾性波共振子を覆うように、第1の誘電体膜8が設けられている。第1の誘電体膜8は酸化ケイ素を主成分とする。本明細書において、主成分とするとは、その材料を50重量%以上含むことをいう。酸化ケイ素はSiOx(xは整数)として表される。本実施形態では、第1の誘電体膜8はSiO2からなる。
第1の誘電体膜8上には、第2の誘電体膜9が設けられている。第2の誘電体膜9は、SiNを主成分とする。第2の誘電体膜9を有することにより、例えば、耐湿性を高めることができる。なお、第2の誘電体膜9の材料は上記に限定されない。第2の誘電体膜9は設けられていなくともよい。
弾性波装置1においては、第1の誘電体膜8の膜厚は650nmであり、第2の誘電体膜9の膜厚は20nmである。なお、第1の誘電体膜8及び第2の誘電体膜9の膜厚は上記に限定されない。
本実施形態の特徴は、以下の構成を有する点にある。1)波長λが異なる任意の2つの弾性波共振子において、波長λが長い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚が、波長λが短い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚以下である。2)複数の弾性波共振子のうち少なくとも2つの弾性波共振子のIDT電極の膜厚が異なる。それによって、不要波を効果的に抑制することができる。これを以下において説明する。
以下の条件の下、弾性波共振子における波長λ、IDT電極の膜厚及び不要波の比帯域の関係を求めた。なお、不要波はSH波とした。
圧電基板;材料LiNbO3、カット角127°
IDT電極;材料Pt、膜厚25nm以上、50nm以下、デューティ0.5
第1の誘電体膜;材料SiO2、膜厚650nm
第2の誘電体膜;材料SiN、膜厚20nm
波長λ;1.5μm、1.6μm、1.7μm、1.8μm
IDT電極;材料Pt、膜厚25nm以上、50nm以下、デューティ0.5
第1の誘電体膜;材料SiO2、膜厚650nm
第2の誘電体膜;材料SiN、膜厚20nm
波長λ;1.5μm、1.6μm、1.7μm、1.8μm
図3は、弾性波共振子における波長λ、IDT電極の膜厚及び不要波の比帯域の関係を示す図である。図3において、実線は波長λが1.5μmである場合の結果を示す。破線は波長λが1.6μmである場合の結果を示す。一点鎖線は波長λが1.7μmである場合の結果を示す。二点鎖線は波長λが1.8μmである場合の結果を示す。
図3に示すように、波長λが短い1.5μmの場合は、IDT電極の膜厚が約37.5nmのときに不要波の比帯域が最小となっている。他方、波長λが長い1.8μmの場合は、IDT電極の膜厚が約35nmのときに不要波の比帯域が最小となっている。このように、波長λが長いほど、不要波の比帯域が小さくなるIDT電極の膜厚が薄くなることがわかる。
本実施形態では、波長λが長い第1の弾性波共振子のIDT電極の膜厚が、波長λが短い第2の弾性波共振子のIDT電極の膜厚よりも薄いため、不要波を効果的に抑制することができる。
波長λが異なる任意の2つの弾性波共振子において、波長λが長い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚が、波長λが短い方の弾性波共振子のIDT電極の膜厚より薄いことが好ましい。この場合には、弾性波装置1の全ての弾性波共振子において、不要波を効果的に抑制することができる。
以下において、第2の実施形態の弾性波装置について説明する。
第2の実施形態では、第1の弾性波共振子及び第2の弾性波共振子のIDT電極の膜厚の範囲が第1の実施形態と異なる。上記以外の点においては、第2の実施形態の弾性波装置は、図1に示す第1の実施形態の弾性波装置1と同様の構成を有する。
図4は、第2の実施形態における第1の弾性波共振子及び第2の弾性波共振子のIDT電極の膜厚と、不要波の比帯域との関係を示す図である。図4において、実線は第1の弾性波共振子の結果を示し、破線は第2の弾性波共振子の結果を示す。
本実施形態においては、IDT電極の膜厚をtとしたときに、第1の弾性波共振子の膜厚tに対する不要波の比帯域の関数は、図4に示す関数F1(t)である。第2の弾性波共振子の膜厚tに対する不要波の比帯域の関数は、関数F2(t)である。関数F1(t)及び関数F2(t)は、極小値を有する。なお、図4に示す関数F1(t)及び関数F2(t)は一例であって、極小値を有していれば、特に限定されない。
第1の弾性波共振子においては、t=t1のときにF1(t1)が関数F1(t)の最小値となる。第2の弾性波共振子においては、t=t2のときにF2(t2)が関数F2(t)の最小値となる。他方、第1の弾性波共振子及び第2の弾性波共振子において、t=tjのときにF1(tj)=F2(tj)となる。
ここで、第1の弾性波共振子において、不要波の比帯域の関数F1(t)の値がF1(tj)と同じ値となり、かつt<t1となるIDT電極の膜厚をtαとする。第2の弾性波共振子において、不要波の比帯域の関数F2(t)の値がF2(tj)と同じ値となり、かつt2<tとなるIDT電極の膜厚をtβとする。本実施形態では、第1の弾性波共振子においてIDT電極の膜厚がtα≦t<tjであり、第2の弾性波共振子においてIDT電極の膜厚がtj<t≦tβである。
第1の弾性波共振子及び第2の弾性波共振子のIDT電極の膜厚が上記範囲内であるため、図4に示すように、不要波の比帯域が小さくなっていることがわかる。このように、本実施形態においては、不要波をより一層抑制することができる。
1…弾性波装置
2…圧電基板
3A,3B…第1,第2の弾性波共振子
4…IDT電極
5a,6a…第1,第2のバスバー
5b,6b…第1,第2の電極指
7a,7b…反射器
8,9…第1,第2の誘電体膜
2…圧電基板
3A,3B…第1,第2の弾性波共振子
4…IDT電極
5a,6a…第1,第2のバスバー
5b,6b…第1,第2の電極指
7a,7b…反射器
8,9…第1,第2の誘電体膜
Claims (6)
- 圧電性基板と、
前記圧電性基板において構成されている複数の弾性波共振子と、
前記圧電性基板上に、前記複数の弾性波共振子を覆うように設けられている誘電体膜と、
を備え、
前記複数の弾性波共振子が、前記圧電性基板上に設けられたIDT電極をそれぞれ有し、
前記IDT電極の電極指ピッチにより規定される波長をλとしたときに、前記複数の弾性波共振子が、前記波長λが異なる少なくとも2つの弾性波共振子を有し、
前記波長λが異なる任意の2つの前記弾性波共振子において、前記波長λが長い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚が、前記波長λが短い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚以下であり、
前記複数の弾性波共振子のうち少なくとも2つの弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚が異なり、
レイリー波を利用している、弾性波装置。 - 前記波長λが異なる任意の2つの前記弾性波共振子において、前記波長λが長い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚が、前記波長λが短い方の弾性波共振子の前記IDT電極の膜厚より薄い、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記複数の弾性波共振子が前記複数の弾性波共振子のうち前記波長λが最も長い第1の弾性波共振子と、前記複数の弾性波共振子のうち前記波長λが最も短い第2の弾性波共振子と、を有し、
前記IDT電極の膜厚をtとしたときに、前記第1の弾性波共振子の前記膜厚tに対する不要波の比帯域の関数が、極小値を有する関数F1(t)であり、前記第2の弾性波共振子の前記膜厚tに対する不要波の比帯域の関数が、極小値を有する関数F2(t)であり、
前記第1の弾性波共振子において、t=t1のときにF1(t1)が前記関数F1(t)の最小値となり、前記第2の弾性波共振子において、t=t2のときにF2(t2)が前記関数F2(t)の最小値となり、
前記第1の弾性波共振子及び前記第2の弾性波共振子において、t=tjのときにF1(tj)=F2(tj)であり、
前記第1の弾性波共振子において、前記関数F1(t)の値がF1(tj)と同じ値となり、かつt<t1となる前記IDT電極の膜厚をtαとし、前記第2の弾性波共振子において、前記関数F2(t)の値がF2(tj)と同じ値となり、かつt2<tとなる前記IDT電極の膜厚をtβとしたときに、前記第1の弾性波共振子において前記IDT電極の膜厚がtα≦t<tjであり、前記第2の弾性波共振子において前記IDT電極の膜厚がtj<t≦tβである、請求項1または2に記載の弾性波装置。 - 前記誘電体膜が酸化ケイ素を主成分とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体膜が第1の誘電体膜であり、該第1の誘電体膜上に第2の誘電体膜が設けられている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記圧電性基板がLiNbO3からなる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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CN113810014A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-17 | 武汉敏声新技术有限公司 | 叉指型体声波谐振器及滤波器 |
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Publication number | Publication date |
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