WO2020261763A1 - 弾性波装置 - Google Patents

Abstract

横モードによるリップルをより効果的に抑圧し得る、弾性波装置を提供する。　第１，第２の弾性波共振子ユニットにより構成されている弾性波装置１０であって、圧電性基板１０Ａに、第１の弾性波共振子ユニット１と、第２の弾性波共振子ユニット２とが構成されており、第１の弾性波共振子ユニット１の第１のＩＤＴ電極１１では、交差幅領域が中央領域と、中央領域の両外側に配置された第１，第２の低音速領域とを有し、第１，第２の低音速領域の外側に第１，第２の高音速領域が設けられており、第１，第２の高音速領域が、複数の開口部１１ａ３または１７ｂが弾性波伝搬方向に沿って配置された構造を有し、第２の弾性波共振子ユニット２では、第２のＩＤＴ電極１２が、中央領域と、中央領域の交差幅方向両外側に配置された第１，第２の低音速領域とを有し、第１の低音速領域の外側では、第３のバスバー１７に複数の開口部１７ｂが設けられて、第１の高音速領域が形成されており、第２の低音速領域の外側では、第４のバスバー１２ａに複数の開口部が設けられていない、弾性波装置１０。

Description

弾性波装置

　本発明は、ピストンモードを利用した弾性波装置に関し、特に、弾性波共振子が複数の弾性波共振子ユニットに分割されている弾性波装置に関する。

　下記の特許文献１では、弾性波共振子が第１，第２の弾性波共振子ユニットに直列分割されている。特許文献１では、第１，第２の弾性波共振子ユニットでは、ＩＤＴ電極の交差幅領域が、中央領域と、中央領域の両側に位置している第１，第２の低音速領域とを有する。第１，第２の低音速領域の外側に、第１，第２の高音速領域が設けられている。この第１，第２の高音速領域において音速を高めるために、バスバーに開口部が設けられている。また、一方のバスバーが、第１の弾性波共振子ユニットと、第２の弾性波共振子ユニットとで共有されている。

ＷＯ２０１５／０９８６７８号公報

　特許文献１に記載の弾性波装置では、第１の弾性波共振子ユニットと、第２の弾性波共振子ユニットとが同様に構成されている。そのため、第１の弾性波共振子ユニットで発生する横モードの周波数位置と、第２の弾性波共振子ユニットで発生する横モードの周波数位置とが重なり合っている。その結果、横モードが強め合い、横モードリップルを十分に抑圧できないことがあった。

　本発明の目的は、横モードによるリップルをより効果的に抑圧し得る、弾性波装置を提供することにある。

　本発明に係る弾性波装置では、第１，第２の弾性波共振子ユニットにより構成されている。

　本発明の弾性波装置は、上記第１，第２の弾性波共振子ユニットを構成するために、圧電性基板と、前記圧電性基板上に形成されており、第１の弾性波共振子ユニットを構成している第１のＩＤＴ電極と、前記圧電性基板上に形成されており、前記第１の弾性波共振子ユニットに電気的に接続されている第２の弾性波共振子ユニットを構成している、第２のＩＤＴ電極と、前記第１の弾性波共振子ユニットと前記第２の弾性波共振子ユニットとを接続している段間接続部とを備え、前記第１のＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、前記第１のバスバーに一端が接続されており、前記第２のバスバー側に延びる複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されており、前記第１のバスバー側に延びる複数本の第２の電極指とを有し、前記第２のＩＤＴ電極が、第３のバスバーと、前記第３のバスバーと隔てられて配置された第４のバスバーと、前記第３のバスバーに一端が接続されており、前記第４のバスバー側に延びる複数本の第３の電極指と、前記第４のバスバーに一端が接続されており、前記第３のバスバー側に向かって延びる複数本の第４の電極指とを有し、前記第１，第２のＩＤＴ電極のそれぞれにおいて、前記第１，第２の電極指又は前記第３，第４の電極指の延びる方向中央に中央領域が設けられており、前記第１，第２の電極指又は前記第３，第４の電極指の延びる方向において前記中央領域の両外側に、前記中央領域に比べて音速が低い第１，第２の低音速領域が設けられており、前記第１，第２の低音速領域の前記第１，第２の電極指又は前記第３，第４の電極指の延びる方向両外側に、前記中央領域よりも音速が高い第１，第２の高音速領域が設けられており、前記第１のＩＤＴ電極では、前記第１，第２の高音速領域において、前記第１，第２のバスバーの双方に弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、前記第２のＩＤＴ電極では、前記第３，第４のバスバーのうち、前記第３のバスバーには、第１の高音速領域において、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、前記第４のバスバーでは、第２の高音速領域において、前記開口部が設けられていない。

　本発明に係る弾性波装置では、横モードによるリップルを十分に抑圧することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す平面図である。 図２は、第１の実施形態の弾性波装置の模式的平面図である。 図３は、第１の実施形態の弾性波装置の圧電性基板を説明するための模式的正面断面図である。 図４は、実施例及び比較例の弾性波装置のリターンロス特性を示す図である。 図５は、実施例及び比較例の弾性波装置の共振子としてのインピーダンス特性を示す図である。 図６は、第１の実施形態の弾性波装置が用いられているラダー型フィルタの回路図である。 図７は、実施例及び比較例のラダー型フィルタの減衰量－周波数特性を示す図である。 図８は、比較例のラダー型フィルタの減衰量－周波数特性と、５ＭＨｚ上方にシフトさせた減衰量－周波数特性を示す図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の電極構造を示す平面図であり、図２は、本実施形態の弾性波装置の模式的平面図である。

　弾性波装置１０は、弾性波共振子を、第１，第２の弾性波共振子ユニット１，２に直列分割することにより構成されている。

　図２に示すように、圧電性基板１０Ａ上に、第１の弾性波共振子ユニット１及び第２の弾性波共振子ユニット２が構成されている。第１の弾性波共振子ユニット１は、第１のＩＤＴ電極１１と、第１のＩＤＴ電極１１の弾性波伝搬方向両側に配置された反射器１３，１４とを有する。第２の弾性波共振子ユニット２は、第２のＩＤＴ電極１２と、第２のＩＤＴ電極１２の弾性波伝搬方向両側に配置された反射器１５，１６とを有する。第１の弾性波共振子ユニット１と第２の弾性波共振子ユニット２は、段間接続部を兼ねる共通バスバー１７により直列に接続されている。第１，第２の弾性波共振子ユニット１，２は、上記のように、１ポート型の弾性波共振子ユニットである。

　図１に示すように、第１のＩＤＴ電極１１は、第１のバスバー１１ａと、第２のバスバーとしての共通バスバー１７とを有する。第１のバスバー１１ａは、内側バスバー部１１ａ１と、外側バスバー部１１ａ２と、内側バスバー部１１ａ１と外側バスバー部１１ａ２とを連結している連結部１１ａ４とを有する。第１のバスバー１１ａでは、複数の開口部１１ａ３が弾性波伝搬方向に沿って配置されている。隣り合う開口部１１ａ３，１１ａ３間が、連結部１１ａ４である。

　内側バスバー部１１ａ１には、複数本の第１の電極指１１ｃの一端が接続されている。第１の電極指１１ｃは、第２のバスバーとしての共通バスバー１７に向かって延びている。共通バスバー１７に、複数本の第２の電極指１１ｄの一端が接続されている。第２の電極指１１ｄは、第１のバスバー１１ａ側に向かって延びている。複数本の第１の電極指１１ｃと、複数本の第２の電極指１１ｄとは、間挿し合っている。第１の電極指１１ｃと、第２の電極指１１ｄとを、弾性波伝搬方向に沿って見たときに、重なり合っている領域が交差幅領域である。この交差幅領域の第１，第２の電極指１１ｃ，１１ｄの延びる方向に沿う寸法が交差幅である。

　複数本の第１の電極指１１ｃ及び第２の電極指１１ｄの先端には、電極指の幅が太い太幅部１１ｃ１，１１ｄ１が設けられている。それによって、交差幅領域は中央領域と、中央領域の両側に位置している第１，第２の低音速領域とを有する。上記太幅部１１ｄ１が弾性波伝搬方向に沿って配置されている領域が第１の低音速領域である。太幅部１１ｃ１が弾性波伝搬方向に沿って配置されている領域が第２の低音速領域である。

　図１に示すように、共通バスバー１７は、第１のバスバー部１１ｂと、第２のバスバー部１２ｂとを有する。第１のバスバー部１１ｂに、第２の電極指１１ｄの一端が接続されている。共通バスバー１７においても、弾性波伝搬方向に沿って複数の開口部１７ｂが設けられている。隣り合う開口部１７ｂ間が連結部１７ａである。連結部１７ａにより、第１のバスバー部１１ｂと、第２のバスバー部１２ｂとが接続されている。

　他方、第２のＩＤＴ電極１２では、第３のバスバーとしての共通バスバー１７と、第４のバスバー１２ａとが設けられている。第３のバスバーとしての共通バスバー１７の第２のバスバー部１２ｂに、複数本の第３の電極指１２ｃの一端が接続されている。第３の電極指１２ｃは、第４のバスバー１２ａ側に向かって延ばされている。複数本の第４の電極指１２ｄの一端が第４のバスバー１２ａに接続されている。第４の電極指１２ｄは、第３のバスバーとしての共通バスバー１７側に向かって延びている。複数本の第３の電極指１２ｃと、複数本の第４の電極指１２ｄとは、間挿し合っている。第２のＩＤＴ電極１２においても、第３の電極指１２ｃ及び第４の電極指１２ｄの先端に太幅部１２ｃ１，１２ｄ１が設けられている。それによって、第１，第２の低音速領域が設けられている。すなわち、太幅部１２ｄ１を通り弾性波伝搬方向に延びる領域が第１の低音速領域であり、太幅部１２ｃ１を通り弾性波伝搬方向に延びる領域が第２の低音速領域である。そして、交差幅領域は中央領域と、中央領域の両側に位置している上記第１，第２の低音速領域とを有する。

　第２のＩＤＴ電極１２では、共通バスバー１７、すなわち第３のバスバーでは、複数の開口部１７ｂが設けられており、該複数の開口部１７ｂを通り、弾性波伝搬方向に延びる領域が高音速領域となっている。もっとも、第４のバスバー１２ａには、開口部は設けられていない。

　上記第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２が、反射器１３，１４，１５，１６とともに、圧電性基板１０Ａ上に設けられている。

　図３に示すように、圧電性基板１０Ａは、支持基板３、高音速部材４、低音速膜５及び圧電膜６を有する。すなわち、支持基板３と圧電膜６との間に、高音速部材４及び低音速膜５が積層されている。支持基板３の材料は特に限定されないが、例えばＳｉのような半導体や、Ａｌ_２Ｏ_３などの絶縁体を用いることができる。

　高音速部材４は、高音速材料からなる。高音速材料とは、伝搬するバルク波の音速が、圧電膜６を伝搬する弾性波の音速よりも高い材料をいう。このような高音速材料としては、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、シリコン、サファイア、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜またはダイヤモンド、上記材料を主成分とする媒質、上記材料の混合物を主成分とする媒質等の様々な材料を用いることができる。

　低音速膜５は、低音速材料からなる。低音速材料とは、伝搬するバルク波の音速が圧電膜６を伝搬するバルク波の音速よりも低い材料をいう。低音速材料としては、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、また、酸化ケイ素にフッ素や炭素やホウ素、水素、あるいはシラノール基を加えた化合物、上記材料を主成分とする媒質等の様々な材料を用いることができる。

　圧電膜６は、ＬｉＴａＯ_３からなる。もっとも、圧電膜６を構成する材料はこれに限らず、他の圧電単結晶を用いてもよい。このような圧電単結晶としては、Ｔａ_２Ｏ_５、ＡｌＮなどを挙げることができる。

　上記圧電性基板１０Ａでは、圧電膜６内に弾性波のエネルギーを効果的に閉じ込めることができ、Ｑ値を高めることができる。

　もっとも、支持基板３と高音速部材４とが一体化されていてもよい。すなわち、支持基板３が高音速材料からなる場合、高音速部材４を省略してもよい。

　また、低音速膜５を有しない圧電性基板１０Ａを用いてもよい。

　さらに、本発明では、圧電性基板１０Ａは上記のような構造に限らず、圧電膜６の下方に、音響反射膜が設けられている構造を有していてもよい。音響反射膜は、低音響インピーダンス膜と、高音響インピーダンス膜とを積層することにより構成されている。

　さらに、圧電性基板１０Ａは、圧電単結晶からなる圧電基板であってもよい。

　弾性波装置１０においては、第１，第２の低音速領域を交差幅領域の両側に設け、さらに外側に第１，第２の高音速領域を設けることにより、横モードの抑圧が図られている。弾性波装置１０の特徴は、第１の弾性波共振子ユニット１における横モードを抑圧する構造と、第２の弾性波共振子ユニット２における横モードを抑圧する構造とが異なっていることにある。これを、より具体的に説明する。

　図１の右側において、各領域の音速を示す。図１の矢印Ｖで示すように、図１上において右側にいくにつれて音速が高いことを示す。

　第１のＩＤＴ電極１１においては、中央の交差幅領域の中央領域の音速がＶ１であり、第１，第２の低音速領域の音速がＶ２Ａ，Ｖ２Ｂである。Ｖ１＞Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂである。そして、第１の低音速領域の外側のギャップ領域の音速がＶ３Ａであり、内側バスバー部１１ａ１が設けられている部分の音速がＶ４Ａであり、開口部１１ａ３が設けられている領域がＶ５Ａであり、外側バスバー部１１ａ２における音速がＶ６である。この場合、複数の開口部１１ａ３が設けられている領域の音速Ｖ５Ａと、外側バスバー部１１ａ２における音速Ｖ６が高い。この音速Ｖ５Ａ及び音速Ｖ６の領域が第１の高音速領域である。他方、音速Ｖ２Ａ、音速Ｖ３Ａ及び音速Ｖ４Ａである領域が第１の低音速領域を構成している。すなわち、太幅部１１ｄ１、ギャップ領域及び内側バスバー部１１ａ１が第１の低音速領域を構成している。第１の低音速領域の音速に比べて、第１の高音速領域における音速が十分に高い。従って、横モードを効果的に抑圧することができる。

　また第２の低音速領域側においても、第１，第２の電極指１１ｃ，１１ｄが延びる方向において中央領域の外側に、第２の低音速領域及び第２の高音速領域が位置している。すなわち、太幅部１１ｃ１の音速がＶ２Ｂであり、その外側のギャップ領域の音速がＶ３Ｂであり、第１のバスバー部１１ｂの音速がＶ４Ｂであり、複数の開口部１７ｂが設けられている領域の音速がＶ１０である。ここで、第２の低音速領域は、太幅部１１ｃ１が設けられている領域、ギャップ領域及び第１のバスバー部１１ｂが設けられている領域である。複数の開口部１７ｂが設けられている領域が第２の高音速領域となる。従って、第２の低音速領域側においても、横モードによるリップルを抑圧することができる。

　他方、第２のＩＤＴ電極１２は、太幅部１２ｄ１を含み、弾性波伝搬方向に延びる領域の音速はＶ１２Ａであり、この領域の外側に、上記共通バスバー１７が位置している。前述のように、第１のＩＤＴ電極１１と、第２のＩＤＴ電極１２とで、共通バスバー１７が共有されている。この共通バスバー１７は、第１のＩＤＴ電極１１の第２のバスバーであり、第２のＩＤＴ電極１２においては、第３のバスバーとなる。

　第２のＩＤＴ電極１２では、太幅部１２ｄ１が設けられている領域と、その外側のギャップ領域と、第２のバスバー部１２ｂとが第１の低音速領域である。すなわち、音速Ｖ１２Ａである領域、音速Ｖ１３Ａである領域及び音速Ｖ１４Ａである領域が第１の低音速領域を構成している。共通バスバー１７中の開口部１７ｂが設けられている領域が、第１の高音速領域となる。すなわち、音速Ｖ１０の第１の高音速領域が構成されている。第１の高音速領域の音速Ｖ１０と、第１の低音速領域との間に十分な音速差を確保することができる。従って、横モードを抑圧することができる。

　これに対し、太幅部１２ｃ１が配置されている第２の低音速領域の音速はＶ１２Ｂであり、中央領域の音速Ｖ１１よりも低められている。そして、第２の低音速領域の外側では、ギャップ領域の音速がＶ１３Ｂ、第４のバスバー１２ａの音速がＶ１６と、高音速である。すなわち、ギャップ領域及び第４のバスバー１２ａが、第２の高音速領域を構成している。

　上記第２の低音速領域の音速Ｖ１２Ｂに比べて、第２の高音速領域の音速が高められている。なお、第４のバスバー１２ａにおける音速Ｖ１６は、音速Ｖ１３Ｂよりも低い。しかしながら、上記音速Ｖ１２Ｂの第２の低音速領域の外側に音速Ｖ１３Ｂ及びＶ１６の各領域が存在するため、第１の低音速領域側ほどではないが、横モードを抑圧することができる。

　加えて、弾性波装置１０では、第１の弾性波共振子ユニット１と、第２の弾性波共振子ユニット２の横モードを抑圧する構造が異なっているため、第１の弾性波共振子ユニット１において発生する横モードの周波数位置と、第２の弾性波共振子ユニット２において発生する横モードの周波数位置とが異なっている。そのため、両者の強め合いが起こりがたいため、全体として横モードのリップルを効果的に抑圧することができる。これを、以下の実施例に基づき説明する。

　上記実施形態の弾性波装置１０の実施例を以下の仕様で設計した。

　圧電性基板１０Ａの詳細
　支持基板３：Ｓｉ。

　高音速部材４：厚み９００ｎｍのＳｉＮ膜。

　低音速膜５：厚み６７３ｎｍのＳｉＯ_２膜。

　圧電膜６：厚み６００ｎｍのカット角４２°のＬＴ膜。

　第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２，反射器１３～１６の詳細
　電極指ピッチで定まる波長λ＝２．３μｍ。

　第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２における電極指交差幅＝７λ。

　中央領域の交差幅方向に沿う寸法＝６λ。

　太幅部１１ｃ１，１１ｄ１，１２ｃ１，１２ｄ１における交差幅方向に沿う寸法＝０．５λ。

　第１，第２のＩＤＴ電極１１，１２の電極指の対数＝２４８対。

　反射器１３～１６における電極指の本数＝各２０本。

　電極材料：１００ｎｍの厚みのＡｌＣｕ膜。

　第１のＩＤＴ電極１１におけるギャップ領域の幅＝０．２７μｍ。なお、幅とは、ギャップ領域の第１，第２の電極指１１ｃ，１１ｄの延びる方向に沿う寸法、すなわち交差幅方向に沿う寸法をいうものとする。

　内側バスバー部１１ａ１の幅＝０．３λ、開口部１１ａ３の交差幅方向に沿う寸法＝２λ。

　共通バスバー１７における第１のバスバー部１１ｂ及び第２のバスバー部１２ｂの幅＝０．３λ。

　開口部１７ｂの交差幅方向に沿う寸法＝２λ。

　第２のＩＤＴ電極１２においては、第４のバスバー１２ａに開口部を設けなかったことを除いては、第１のＩＤＴ電極１１と同じ設計パラメータとした。

　上記実施例の弾性波装置と、第４のバスバー１２ａに、開口部を設け、第４のバスバー１２ａを第１のバスバー１１ａと同様に構成したことを除いては、上記実施例と同様にして、比較例の弾性波装置を得た。

　上記実施例及び比較例の弾性波装置のリターンロス特性及び共振子としてのインピーダンス特性を図４及び図５に示す。図４及び図５において、破線が比較例の結果を、実線が実施例の結果を示す。

　図４のリターンロス特性から明らかなように、比較例の弾性波装置に比べ、実施例の弾性波装置では、１８００－１８２０ＭＨｚ付近において、リターンロス特性が大幅に改善されていることがわかる。また、図５に示すように、共振特性はさほど変わらないことがわかる。

　図４に示したように、１８００－１８２０ＭＨｚ付近において、リターンロス特性を大幅に改善し得たのは、第１の弾性波共振子ユニット１において発生した横モードの周波数位置と、第２の弾性波共振子ユニット２において発生した横モードの周波数位置が異なっていることによると考えられる。すなわち、比較例では、横モード同士の強め合いによりリターンロス特性が１８００－１８２０ＭＨｚ付近で大きく低下しているのに対し、実施例ではこのような特性の劣化が生じがたい。

　なお、弾性波装置１０では、第１，第２の弾性波共振子ユニットに、弾性波共振子が直列分割されていたが、１以上の第３の弾性波共振子ユニットを有するように、３段以上に、弾性波共振子が分割されている構造であってもよい。

　上記実施例及び比較例の弾性波装置を用いて、図６に示すラダー型フィルタ３１を構成した。図６は、上記弾性波装置１０が好適に用いられるラダー型フィルタ３１の回路図である。

　ラダー型フィルタ３１では、複数の直列腕共振子Ｓ１～Ｓ４が入出力端間において直列に接続されている。この直列腕共振子Ｓ１～Ｓ４が設けられている直列腕とグラウンド電位とを結ぶ複数の並列腕に並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４が設けられている。

　上記実施例及び比較例の弾性波装置を、ラダー型フィルタ３１の並列腕共振子Ｐ１～Ｐ４や直列腕共振子Ｓ１～Ｓ４として用いた。この実施例の弾性波装置を用いたラダー型フィルタと、比較例の弾性波装置を用いたラダー型フィルタのフィルタ特性を、図７及び図８に示す。

　図７の実線が実施例の弾性波装置を用いたラダー型フィルタの減衰量－周波数特性であり、破線が比較例の弾性波装置を用いたラダー型フィルタの減衰量－周波数特性である。また、対比を容易とするために、図８において、比較例のラダー型フィルタの減衰量－周波数特性を破線で示し、実施例のラダー型フィルタの減衰量－周波数特性については、本来の周波数位置から５ＭＨｚ高い周波数付近にシフトさせて示した。図７及び図８から明らかなように、比較例のラダー型フィルタでは、通過帯域内において、矢印Ａで示す大きなリップルが表れているのに対し、実施例では、このようなリップルが表れていないことがわかる。従って、上記実施例の弾性波装置をラダー型フィルタの並列腕共振子として用いることにより、ラダー型フィルタのフィルタ特性を効果的に改善し得ることがわかる。

　１…第１の弾性波共振子ユニット
　２…第２の弾性波共振子ユニット
　３…支持基板
　４…高音速部材
　５…低音速膜
　６…圧電膜
　１０…弾性波装置
　１０Ａ…圧電性基板
　１１…第１のＩＤＴ電極
　１１ａ…第１のバスバー
　１１ａ１…内側バスバー部
　１１ａ２…外側バスバー部
　１１ａ３…開口部
　１１ａ４…連結部
　１１ｂ…第１のバスバー部
　１１ｃ…第１の電極指
　１１ｃ１…太幅部
　１１ｄ…第２の電極指
　１１ｄ１…太幅部
　１２…第２のＩＤＴ電極
　１２ａ…第４のバスバー
　１２ｂ…第２のバスバー部
　１２ｃ…第３の電極指
　１２ｃ１…太幅部
　１２ｄ…第４の電極指
　１２ｄ１…太幅部
　１３，１４，１５，１６…反射器
　１７…共通バスバー
　１７ａ…連結部
　１７ｂ…開口部
　３１…ラダー型フィルタ
　Ｐ１～Ｐ４…並列腕共振子
　Ｓ１～Ｓ４…直列腕共振子

Claims (7)

1. 　第１，第２の弾性波共振子ユニットにより構成されている弾性波装置であって、
   　圧電性基板と、
   　前記圧電性基板上に形成されており、第１の弾性波共振子ユニットを構成している第１のＩＤＴ電極と、
   　前記圧電性基板上に形成されており、前記第１の弾性波共振子ユニットに電気的に接続されている第２の弾性波共振子ユニットを構成している、第２のＩＤＴ電極と、
   　前記第１の弾性波共振子ユニットと前記第２の弾性波共振子ユニットとを接続している段間接続部とを備え、
   　前記第１のＩＤＴ電極が、第１のバスバーと、前記第１のバスバーと隔てられて配置された第２のバスバーと、
   　前記第１のバスバーに一端が接続されており、前記第２のバスバー側に延びる複数本の第１の電極指と、前記第２のバスバーに一端が接続されており、前記第１のバスバー側に延びる複数本の第２の電極指とを有し、
   　前記第２のＩＤＴ電極が、第３のバスバーと、前記第３のバスバーと隔てられて配置された第４のバスバーと、前記第３のバスバーに一端が接続されており、前記第４のバスバー側に延びる複数本の第３の電極指と、前記第４のバスバーに一端が接続されており、前記第３のバスバー側に向かって延びる複数本の第４の電極指とを有し、
   　前記第１，第２のＩＤＴ電極のそれぞれにおいて、前記第１，第２の電極指又は前記第３，第４の電極指の延びる方向中央に中央領域が設けられており、前記第１，第２の電極指又は前記第３，第４の電極指の延びる方向において前記中央領域の両外側に、前記中央領域に比べて音速が低い第１，第２の低音速領域が設けられており、前記第１，第２の低音速領域の前記第１，第２の電極指又は前記第３，第４の電極指の延びる方向両外側に、前記中央領域よりも音速が高い第１，第２の高音速領域が設けられており、
   　前記第１のＩＤＴ電極では、前記第１，第２の高音速領域において、前記第１，第２のバスバーの双方に弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、
   　前記第２のＩＤＴ電極では、前記第３，第４のバスバーのうち、前記第３のバスバーには、第１の高音速領域において、弾性波伝搬方向に沿って配置された複数の開口部が設けられており、前記第４のバスバーでは、第２の高音速領域において、前記開口部が設けられていない、弾性波装置。
2. 　前記第１，前記第２の弾性波共振子ユニットが直列に接続されている、請求項１に記載の弾性波装置。
3. 　前記圧電性基板が、高音速部材と、前記高音速部材上に積層された圧電膜とを有し、前記高音速部材が、前記圧電膜を伝搬する弾性波の音速よりも伝搬するバルク波の音速が高い高音速材料からなる、請求項１または２に記載の弾性波装置。
4. 　前記高音速部材が、前記高音速材料からなる支持基板である、請求項３に記載の弾性波装置。
5. 　前記高音速部材と、前記圧電膜との間に積層されており、伝搬するバルク波の音速が前記圧電膜を伝搬するバルク波の音速よりも低い低音速材料からなる、低音速膜をさらに備える、請求項３または４に記載の弾性波装置。
6. 　前記高音速部材を支持している支持基板をさらに備える、請求項３に記載の弾性波装置。
7. 　前記第１，第２の弾性波共振子ユニットに加えて、さらに少なくとも１個の弾性波共振子ユニットに、複数段分割することにより構成されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の弾性波装置。

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