JP2015177465A

JP2015177465A - 弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JP2015177465A
Application number: JP2014054168A
Authority: JP
Inventors: 幹博後藤; Mikihiro Goto; 谷津田　博美; Hiromi Yatsuda; 博美谷津田
Original assignee: Japan Radio Co Ltd
Current assignee: Japan Radio Co Ltd
Priority date: 2014-03-17
Filing date: 2014-03-17
Publication date: 2015-10-05
Anticipated expiration: 2034-03-17
Also published as: JP6387573B2

Abstract

【課題】斜め電極指の伝搬路部分に反射器を設ける弾性表面波フィルタにおいて、帯域内にリプルが発生することを防ぐ弾性表面波フィルタを提供する。
【解決手段】前記弾性表面波反射手段は、互いに隣接する第１の反射器の反射器間隔が前記第１の波長の半分よりも大きい間隔で配置された低域反射器と、第２の反射器がそれぞれ、互いに隣接する反射器の反射器間隔が前記第２の波長の半分よりも小さい間隔で配置された高域反射器と、を備え、前記低域反射器と前記高域反射器との境界部分が弾性表面波の進行方向に水平な直線上に存在しないようにずらして配置されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、弾性表面波フィルタに関する。

従来、この種の弾性表面波フィルタとして、圧電性を有する基板上に、電気信号を入力し弾性表面波を生成する複数の斜め電極指を有する入力側の斜め電極と、弾性表面波を受信して電気信号に変換する複数の斜め電極指を有する出力側の斜め電極とを備え、入力側及び出力側の各斜め電極指は、互いに隣接する電極指同士の間隔が、弾性表面波の伝搬方向と直交する方向に変化するよう形成されたものが知られている（特許文献１）。

弾性表面波フィルタにおいて、周波数が互いに近接する信号を好適に分離するには、信号の通過帯域から阻止帯域にかけて急激に減衰量が増加する急峻なフィルタ特性が必要とされる。そのため、例えば、入力側及び出力側の斜め電極において斜め電極指の対向する数を増加させ、フィルタ波形における立ち上がり部及び立ち下がり部の周波数特性（以下「肩特性」という。）を急峻にする手法が挙げられる。この場合、斜め電極指の対数の増加により、入力側の斜め電極と出力側の斜め電極とが互いに近接し、両者間で電磁結合が生じてしまう。
よって、従来のものでは、肩特性を急峻にしようとすると、入力側の斜め電極と出力側の斜め電極とを互いに離して電磁結合を抑制する必要があるので、基板の面積が大きくなってしまい、小型化が図れないという課題があった。

この課題を解決するために、斜め電極指の伝搬路部分に、中心周波数が異なる２種類の反射器が互いに電気的に接続された一体反射器が設けられた、所望の周波数特性を阻止する構造が提案されている（特許文献２）。図９は、斜め電極指の伝搬路部分に一体反射器を設ける前と設けた後の弾性表面波フィルタの肩特性の違いを説明する図である。図９において、破線が一体型反射器を設ける前の肩特性を示し、実線が一体型反射器を設けた後の肩特性を示している。このように、弾性表面波フィルタにおいて、斜め電極指の伝搬路部分に中心周波数の異なる２種類の反射器が互いに電気的に接続された一体反射器を設けることで帯域両側の肩特性が改善できる。

特開２００２−０５７５５１号公報特許第５３６３８２１号公報

しかしながら、特許文献２に記載の弾性表面波フィルタは、中心周波数の異なる２つの反射器が接続され一体化された一体反射器を用いることで肩特性が改善したが、弾性表面波の帯域内にリプルが発生し易くなるという課題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、斜め電極指の伝搬路部分に反射器を設ける弾性表面波フィルタにおいて、弾性表面波の帯域内にリプルが発生することを防ぐ弾性表面波フィルタを提供することである。

本発明の一態様は、第１周波数から前記第１周波数よりも高い第２周波数までの周波数範囲の電気信号を通過させる弾性表面波フィルタであって、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され電気信号を入力して前記第１周波数から前記第２周波数までの周波数に応じた弾性表面波を生成する弾性表面波生成手段と、前記圧電基板上に形成され前記弾性表面波生成手段が生成した前記弾性表面波を受信して電気信号に変換する弾性表面波受信手段と、前記弾性表面波生成手段と前記弾性表面波受信手段との間において前記弾性表面波生成手段が生成した前記弾性表面波の一部を反射する弾性表面波反射手段とを備え、前記弾性表面波生成手段は、前記弾性表面波を生成する複数の生成電極指を有する一対の生成側斜め電極を備え、前記生成側斜め電極は、互いに隣接する生成電極指の電極指間隔が前記弾性表面波の伝搬方向と直交する直交方向の一の方向に沿って徐々に広がるものであって、最大及び最小の電極指間隔となるそれぞれの位置で第１及び第２の波長の弾性表面波を生成するものであり、前記弾性表面波受信手段は、前記弾性表面波を受信する複数の受信電極指を有する一対の受信側斜め電極を備え、前記受信側斜め電極は、互いに隣接する受信電極指の電極指間隔が前記一の方向に沿って徐々に広がるものであって、最大及び最小の電極指間隔となるそれぞれの位置で、前記生成側斜め電極が生成した前記第１及び前記第２の波長の弾性表面波を受信するものであり、前記弾性表面波反射手段は、前記第１周波数よりも予め定めた周波数だけ低い周波数及び前記第２周波数よりも予め定めた周波数だけ高い周波数を中心周波数とする弾性表面波を反射し、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された前記第１の反射器がそれぞれ、互いに隣接する反射器の反射器間隔が前記第１の波長の半分よりも大きい間隔で配置された低域反射器と、前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された前記第２の反射器がそれぞれ、互いに隣接する反射器の反射器間隔が前記第２の波長の半分よりも小さい間隔で配置された高域反射器と、を備え、前記低域反射器と前記高域反射器との境界部分が弾性表面波の進行方向に水平な直線上に存在しないようにずらして配置されていることを特徴とする弾性表面波フィルタである。

また、本発明の一態様は、上述した弾性表面波フィルタであって、前記弾性表面波反射手段は、前記低域反射器と前記高域反射器との境界部分が所定の周波数帯域毎に分割された複数のチャンネルの各々に分散されて設けられている。

本発明によれば、斜め電極指の伝搬路部分に反射器を設ける弾性表面波フィルタにおいて、周期の異なる反射器の境界部分を複数のチャンネルに分散する事で、帯域内のリプルが他の帯域に分散されるため、弾性表面波の帯域内にリプルが発生することを防ぐことができる。

第１の実施形態における弾性表面波フィルタ１００の構成を概念的に示す図である。第１の実施形態における弾性表面波フィルタ１００の挿入損失の周波数特性を示す図である。従来の弾性フィルタ２００の構成を概念的に示す図である。従来の弾性表面波フィルタ２００の挿入損失の周波数特性を示す図である。第２の実施形態における弾性表面波フィルタの構成の一例を概念的に示す図である。第３の実施形態における弾性表面波フィルタの構成の一例を概念的に示す図である。第４の実施形態における弾性表面波フィルタの構成の一例を概念的に示す図である。本発明の実施形態における変形例である。斜め電極指の伝搬路部分に反射器を設ける前と設けた後の弾性表面波フィルタの肩特性の違いを説明する図である。

（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態おける弾性表面波フィルタについて図面を用いて説明する。
図１は、本実施形態における弾性表面波フィルタ１００の構成を概念的に示した図である。

図１に示すように、本実施形態における弾性表面波フィルタ１００は、圧電基板１１と、圧電基板１１上に同一膜厚の金属薄膜で形成された斜め電極指１２〜１５、一体反射器２０とを備えている。なお、図１において、構成を分かりやすくするため、斜め電極指１２及び１４の電極指を各４つ、斜め電極指１３及び１５の電極指を各３つとしている。以下、弾性表面波の伝搬方向をｘ軸方向といい、そのｘ軸方向に垂直な方向をｙ軸方向という。

圧電基板１１は、例えば、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウム、タンタル酸リチウム、ランガサイト等の強誘電体の圧電材料で構成される。本実施形態では、圧電基板１１は２８度ＹカットＬｉＮｂＯ_３単結晶基板で構成され、図１に示すような長方形の形状を有するものとする。

斜め電極指１２及び１３は、例えばＡｌＣｕ合金の金属薄膜により圧電基板１１上に形成され、それぞれの電極指が交互に隣接するよう配置されている。また、斜め電極指１２及び１３は、例えば斜め電極指１３が接地側になるよう電気信号源（図示省略）に接続され、この電気信号源から電気信号を入力するようになっている。なお、斜め電極指１２及び１３は、本発明に係る弾性表面波生成手段を構成し、斜め電極指１２及び１３が有する各電極指は、本発明に係る生成電極指を構成する。

また、斜め電極指１２及び１３において、互いに隣接する電極指同士の間隔は、ｙ軸方向上方に向かうに従って大きくなるよう形成されている。また、斜め電極指１２及び１３は、それぞれ、電極指端部１２ａ及び１３ａを有する。ここで、図示のように、電極指端部１３ａ側においては波長がλ１の弾性表面波が生成されるようになっており、線分Ａ上における斜め電極指１２及び１３の電極指間隔はそれぞれλ１である。一方、電極指端部１２ａ側においては波長がλ２の弾性表面波が生成されるようになっており、線分Ｂ上における斜め電極指１２及び１３の電極指間隔はそれぞれλ２である。すなわち、斜め電極指１２及び１３においては、電極指間隔は、最大間隔のλ１から最小間隔のλ２までの間で変化している。なお、λ１は本発明に係る第１の波長に対応し、λ２は本発明に係る第２の波長に対応する。

他方、斜め電極指１４及び１５は、それぞれ、斜め電極指１２及び１３と同様に構成されている。すなわち、斜め電極指１４及び１５は、例えばＡｌＣｕ合金の金属薄膜により圧電基板１１上に形成され、それぞれの電極指が交互に隣接するよう配置されている。また、斜め電極指１４及び１５は、例えば斜め電極指１５が接地側に接続され、弾性表面波を受信して電気信号に変換し、変換した電気信号を出力するようになっている。なお、斜め電極指１４及び１５は、本発明に係る弾性表面波受信手段を構成し、斜め電極指１４及び１５が有する各電極指は、本発明に係る受信電極指を構成する。

また、斜め電極指１４及び１５において、互いに隣接する電極指同士の間隔は、ｙ軸方向上方に向かうに従って大きくなるよう形成されている。また、斜め電極指１４及び１５は、それぞれ、電極指端部１４ａ及び１５ａを有する。また、電極指端部１５ａ側においては波長がλ１の弾性表面波が受信されるようになっており、線分Ａ上における斜め電極指１４及び１５の電極指間隔はそれぞれλ１である。一方、電極指端部１４ａ側においては波長がλ２の弾性表面波が受信されるようになっており、線分Ｂ上における斜め電極指１４及び１５の電極指間隔はそれぞれλ２である。すなわち、斜め電極指１４及び１５においても、電極指間隔は、最大間隔のλ１から最小間隔のλ２までの間で変化する構成となっている。

前述の構成において、斜め電極指１２及び１３は、図示しない電気信号源から電気信号を入力し、電気信号に含まれる周波数成分のうち、電極指間隔λ１からλ２までの距離に対応した周波数成分を有する弾性表面波を、圧電基板１１による圧電効果に基づいて生成するようになっている。具体的には、電極指間隔λ１において生成される弾性表面波の周波数を第１周波数とし、電極指間隔λ２において生成される弾性表面波の周波数を第２周波数とすると、斜め電極指１２及び１３は、入力した電気信号に含まれる周波数成分のうち第１周波数から第２周波数までの周波数成分に対応した弾性表面波を生成するようになっている。

斜め電極指１２及び１３が生成した弾性表面波は、圧電基板１１の表面を伝搬してｘ軸方向に進み、斜め電極指１４及び１５によって受信されるようになっている。斜め電極指１４及び１５は、受信した弾性表面波を、圧電基板１１による圧電効果に基づいて電気信号に変換し、第１周波数から第２周波数までの周波数成分を含む電気信号を出力するようになっている。

斜め電極指１２及び１３と、斜め電極指１４及び１５との間の圧電基板１１上には、一体反射器２０が設けられている。以下、一体反射器２０について詳細に説明する。

図１に示した線分Ａは、電極指端部１３ａと電極指端部１５ａとを結んだ線分であり、線分Ｂは、電極指端部１２ａと電極指端部１４ａとを結んだ線分である。また、便宜上、線分ＡとＢとの間を６つのチャンネルｃｈ１〜ｃｈ６（６つの周波数帯域）に等分割して示している。ｃｈ１からｃｈ６に向かうに従って電極指間は狭くなっており、ｃｈ１において最も低い周波数の弾性表面波が伝搬し、ｃｈ６において最も高い周波数の弾性表面波が伝搬する。

一体反射器２０は、例えばＡｌＣｕ合金の金属薄膜により圧電基板１１上に形成され、所定周波数の弾性表面波を反射するようになっている。一体反射器２０は、接地に接続されている。一体反射器２０は、低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂを備える。なお、一体反射器２０は、本発明に係る弾性表面波反射手段を構成する。

低域反射器２０ａは、ｙ軸方向の長さが異なる第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆと、第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆの各々に電気的に接続する接続部２１と、を備える。なお、第１の反射器の各々は、ｙ軸方向の長さは、第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆの順にｘ軸方向に沿って短くなる。各第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆの反射器間隔は、１／２・（λ３）であり、λ１＜λ３という関係を有する。

高域反射器２０ｂは、ｙ軸方向の長さが異なる第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆの各々に電気的に接続する接続部２４と、を備える。なお、第２の反射器のｙ軸方向の長さは、第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆの順にｘ軸方向に沿って長くなる。各第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆの反射器間隔は、１／２・（λ４）であり、λ２＞λ４という関係を有する。

低域反射器２０ａは、通過帯域の低域側周波数成分を有する弾性表面波を反射するようになっている。また、高域反射器２０ｂは、通過帯域の高域側周波数成分を有する弾性表面波を反射するようになっている。
また、図１に示すように、チャンネルｃｈ６において、第１の反射器２２ａは、第２の反射器２３ａと電気的に接続されている。チャンネルｃｈ５において、第１の反射器２２ｂは、第２の反射器２３ｂと電気的に接続されている。チャンネルｃｈ４において、第１の反射器２２ｃは、第２の反射器２３ｃと電気的に接続されている。チャンネルｃｈ３において、第１の反射器２２ｄは、第２の反射器２３ｄと電気的に接続されている。チャンネルｃｈ２において、第１の反射器２２ｅは、第２の反射器２３ｅと電気的に接続されている。チャンネルｃｈ１において、第１の反射器２２ｆは、第２の反射器２３ｆと電気的に接続されている。このように、第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆの各々は、第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆの各々と電気的に接続され、その各々の接続された境界部分が複数のチャンネルに分散されている。

次に、本実施形態における弾性表面波フィルタ１００の挿入損失の周波数特性について説明する。
図２は、本実施形態における弾性表面波フィルタ１００の挿入損失の周波数特性を示す図である。なお、図２において、縦軸方向が挿入損失を示し、横軸方向が周波数を示す。

図２に示すように、弾性表面波の合成波形１１０は、ｃｈ１〜ｃｈ６（図１参照）の各領域で生成された弾性表面波の各成分が合成されたものであり、波形の立ち上がり部１１１と波形の立ち下がり部１１２とを含む。

波形の立ち上がり部１１１は、電極指間隔λ１及び反射器間隔１／２・（λ３）を所望値に設定することにより得られる通過帯域の低域側の肩特性である。
低域反射器２０ａは、斜め電極指１２及び１３により生成された弾性表面波のうち、第１周波数よりも予め定めた周波数だけ低い周波数ｆ１だけを反射するノッチフィルタであるため、波形の立ち上がり部１１１において、通過帯域の低域側の肩特性を急峻にする。

波形の立ち下がり部１１２は、電極指間隔λ２及び反射器間隔１／２・（λ４）を所望値に設定することにより得られる通過帯域の高域側の肩特性である。
高域反射器２０ｂは、斜め電極指１２及び１３により生成された弾性表面波のうち、第２周波数よりも予め定めた周波数だけ高い周波数ｆ２だけを反射するノッチフィルタであるため、波形の立ち下がり部１１２において、通過帯域の高域側の肩特性を急峻にする。
また、図２に示すように、弾性表面波の合成波形１１０は、第１周波数から第２周波数までの帯域内において、挿入損失がほぼ一定に推移する。

次に、本実施形態の効果について説明する。図３は、従来の弾性表面波フィルタ２００の構成を概念的に示す図である。なお、第１実施形態と同様な構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
図３に示すように、従来の弾性表面波フィルタ２００は、圧電基板１１と、圧電基板１１上に同一膜厚の金属薄膜で形成された斜め電極指１２〜１５と、一体反射器３１とを備えている。一体反射器３１は、低域反射器３１ａと高域反射器３１ｂとを備える。

低域反射器３１ａは、第１の反射器３２ａと、第１の反射器３２ａを電気的に接続する接続部３２ｂとを備える。
低域反射器３１ａは、通過帯域の低域側周波数成分を有する弾性表面波を反射するようになっている。

高域反射器３１ｂは、第２の反射器３２ｃと、第２の反射器３２ｃを電気的に接続する接続部３２ｄとを備える。
高域反射器３１ｂは、通過帯域の高域側周波数成分を有する弾性表面波を反射するようになっている。さらに、第１の反射器３２ａと第２の反射器３２ｃとが、線分ＡとＢとの中心付近で図示のように電気的に接続されている。

図４は、従来の弾性表面波フィルタ２００の挿入損失の周波数特性を示す図である。なお、図４において、縦軸方向が挿入損失を示し、横軸方向が周波数を示す。弾性表面波の合成波形２１０は、ｃｈ１〜ｃｈ６（図１参照）の各領域で生成された弾性表面波の各成分が合成されたものであり、波形の立ち上がり部２１１と波形の立ち下がり部２１２とを含む。

波形の立ち上がり部２１１は、電極指間隔λ１及び反射器間隔１／２・（λ３）を所望値に設定することにより得られる通過帯域の低域側の肩特性である。
低域反射器３１ａは、斜め電極指１２及び１３により生成された弾性表面波のうち、第１周波数よりも予め定めた周波数だけ低い中心周波数ｆ１だけを反射するノッチフィルタであるため、波形の立ち上がり部２１１において、通過帯域の低域側の肩特性が急峻になっている。

波形の立ち下がり部２１２は、電極指間隔λ２及び反射器間隔１／２・（λ４）を所望値に設定することにより得られる通過帯域の高域側の肩特性である。
高域反射器３１ｂは、斜め電極指１２及び１３により生成された弾性表面波のうち、第２周波数よりも予め定めた周波数だけ高い中心周波数ｆ２だけを反射するノッチフィルタであるため、波形の立ち下がり部２１２において、通過帯域の高域側の肩特性が急峻になっている。

図４の矢印Ａに示すように、弾性表面波の合成波形２１０の帯域内において、周波数ｆ３にリプルが発生する。帯域内にリプルが発生する理由は、反射する弾性表面波の周波数が異なる反射器である低域反射器３１ａと高域反射器３１ｂとの境界部分を同一チャンネル上に設けているため、その境界部分のチャンネルにおいて特性劣化が発生したからである。なお、周波数ｆ３は、上記境界部分に対応する位置で斜め電極指１２及び１３により生成された弾性表面波の周波数である。

しかしながら、上述したように、本実施形態によれば、弾性表面波フィルタ１００は、反射する弾性表面波の周波数が異なる反射器である低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂとの境界部分がｘ軸方向において同一直線上にない。具体的には、低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂとの境界部分が複数のチャンネルに分散している。したがって、低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂとの境界部分の特性劣化が複数のチャンネルに分散されるため、弾性表面波の帯域内にリプルが発生することを防ぐことができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明に係る弾性表面波フィルタの第２の実施形態について説明する。
図５は、第２の実施形態における弾性表面波フィルタ３００の構成の一例を概念的に示す図である。
図５に示すように、弾性表面波フィルタ３００は、圧電基板１１と、圧電基板１１上に同一膜厚の金属薄膜で形成された斜め電極指１２〜１５、一体反射器４０とを備えている。なお、第１実施形態と同様な構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

一体反射器４０は、低域反射器４０ａと高域反射器４０ｂを備える。なお、一体反射器４０は、本発明に係る弾性表面波反射手段を構成する。

低域反射器４０ａは、第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆと、第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆの各々に電気的に接続する接続部２１と、を備える。

高域反射器４０ｂは、ｙ軸方向の長さが異なる第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆの各々に電気的に接続する接続部２４とを備える。
を備えている。

第１の実施形態において、弾性表面波フィルタ１００は、低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂとの境界部分の各々がｘ軸方向に進むにしたがって、チャンネルｃｈ６、ｃｈ５、ｃｈ４、ｃｈ３、ｃｈ２、ｃｈ１の順に分散され配置されていたが、本実施形態は、図５に示すように、上記境界部分の各々がチャンネルｃｈ１〜ｃｈ６に分散され配置される順番は、ランダムである。

上述したように、本実施形態によれば、弾性表面波フィルタ３００は、反射する弾性表面波の周波数が異なる反射器である低域反射器４０ａと高域反射器４０ｂとの境界部分が複数のチャンネルに分散している。したがって、低域反射器４０ａと高域反射器４０ｂとの境界部分の特性劣化が複数のチャンネルに分散されるため、弾性表面波の帯域内にリプルが発生することを防ぐことができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明に係る弾性表面波フィルタの第３の実施形態について説明する。
図６は、第３の実施形態における弾性表面波フィルタ４００の構成の一例を概念的に示す図である。
図６に示すように、弾性表面波フィルタ４００は、圧電基板１１と、圧電基板１１上に同一膜厚の金属薄膜で形成された斜め電極指１２〜１５、一体反射器５０とを備えている。なお、第１実施形態と同様な構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

一体反射器５０は、低域反射器５０ａと高域反射器５０ｂを備える。なお、一体反射５０器は、本発明に係る弾性表面波反射手段を構成する。
低域反射器５０ａは、第１の反射器２２ａ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆと、第１の反射器２２ａ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆの各々に電気的に接続する接続部２１とを備える。

高域反射器５０ｂは、第２の反射器２３ａ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第２の反射器２３ａ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆの各々に電気的に接続する接続部２４とを備える。

第１の実施形態において、弾性表面波フィルタ１００は、低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂとの境界部分の各々がｘ軸方向に進むにしたがって、チャンネルｃｈ６、ｃｈ５、ｃｈ４、ｃｈ３、ｃｈ２、ｃｈ１の順に分散され配置されていたが、本実施形態は、図６に示すように、上記境界部分の各々がチャンネルｃｈ１〜ｃｈ６において、２つ以上のチャンネルに分散されていればよく、１つのチャンネルに複数の上記境界部分が配置されていてもよい。

上述したように、本実施形態によれば、弾性表面波フィルタ４００は、反射する弾性表面波の周波数が異なる反射器である低域反射器５０ａと高域反射器５０ｂとの境界部分がｘ軸方向において同一直線上にない。具体的には、低域反射器５０ａと高域反射器５０ｂとの境界部分が複数のチャンネルに分散している。したがって、低域反射器５０ａと高域反射器５０ｂとの境界部分の特性劣化が複数のチャンネルに分散されるため、弾性表面波の帯域内にリプルが発生することを防ぐことができる。

（第４の実施形態）
次に、本発明に係る弾性表面波フィルタの第４の実施形態について説明する。
図７は、第４の実施形態における弾性表面波フィルタ５００の構成の一例を概念的に示す図である。
図７に示すように、弾性表面波フィルタ５００は、圧電基板１１と、圧電基板１１上に同一膜厚の金属薄膜で形成された斜め電極指１２〜１５、一体反射器６０とを備えている。なお、第１実施形態と同様な構成については同一の符号を付し、説明を省略する。

一体反射器６０は、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂを備える。なお、一体反射５０は、本発明に係る弾性表面波反射手段を構成する。
低域反射器６０ａは、第１の反射器２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆを備える。

高域反射器６０ｂは、第２の反射器２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆを備える。

第１の実施形態において、弾性表面波フィルタ１００は、低域反射器２０ａと高域反射器２０ｂとの境界部分が短絡していたが、本実施形態は、図８に示すように、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの境界部分の各々が開放するように配置されている。また、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの開放された境界部分は、ｘ軸方向に進むにしたがって、チャンネルｃｈ６、ｃｈ５、ｃｈ４、ｃｈ３、ｃｈ２、ｃｈ１の順に分散され配置されている。

上述したように、本実施形態によれば、弾性表面波フィルタ５００は、反射する弾性表面波の周波数が異なる反射器である低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの境界部分がｘ軸方向において同一直線上にない。具体的には、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの境界部分が複数のチャンネルに分散している。したがって、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの境界部分の特性劣化が複数のチャンネルに分散されるため、弾性表面波の帯域内にリプルが発生することを防ぐことができる。

なお、本実施形態において、第２実施形態と同様に、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの開放された境界部分がチャンネルｃｈ１〜ｃｈ６に分散され配置される順番は、ランダムでもよい。
また、本実施形態において、第３実施形態と同様に、低域反射器６０ａと高域反射器６０ｂとの開放された境界部分の各々がチャンネルｃｈ１〜ｃｈ６において、２つ以上のチャンネルに分散されていればよく、１つのチャンネルに複数の上記境界部分が配置されていてもよい。

なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
図８は、本発明の実施形態における変形例である。図８（ａ）は、第１の実施形態、第２の実施形態、第３の実施形態の低域反射器と高域反射器との境界部分の変形例である。図８（ｂ）は、第４の実施形態の低域反射器と高域反射器との境界部分の変形例である。
第１の実施形態、第２の実施形態、第３の実施形態では、低域反射器と高域反射器との境界部分が、チャンネルに対して平行であったが、例えば図８（ａ）に示すように、チャンネルに対して斜めに接続されていてもよい。
また第４実施形態では、低域反射器と高域反射器との開放された境界部分が、チャンネルに対して平行であったが、例えば図８（ｂ）に示すように、チャンネルに対して斜めであってもよい。

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。

上述した実施形態において、一体反射器３１が接地に接続された場合について説明したが、本発明の実施形態はこれに限定されるものではなく、一体反射器３１が接地に接続されていなくてもよい。

また上述した実施形態において、斜め電極指１２〜１５は、同一膜厚の金属薄膜で形成された場合について説明したが、本発明の実施形態はこれに限定されるものではなく、同一膜厚の金属薄膜で形成されていなくてもよい。

１００、２００弾性表面波フィルタ
１１圧電基板
１２〜１５斜め電極指
１２ａ、１３ａ、１４ａ、１５ａ電極指端部
２０、３１一体反射器
２０ａ、３１ａ低域反射器
２０ｂ、３１ｂ高域反射器
２１、２４、３２ｂ、３２ｄ接続部
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆ第１の反射器
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆ第２の反射器

Claims

第１周波数から前記第１周波数よりも高い第２周波数までの周波数範囲の電気信号を通過させる弾性表面波フィルタであって、
圧電基板と、前記圧電基板上に形成され電気信号を入力して前記第１周波数から前記第２周波数までの周波数に応じた弾性表面波を生成する弾性表面波生成手段と、前記圧電基板上に形成され前記弾性表面波生成手段が生成した前記弾性表面波を受信して電気信号に変換する弾性表面波受信手段と、前記弾性表面波生成手段と前記弾性表面波受信手段との間において前記弾性表面波生成手段が生成した前記弾性表面波の一部を反射する弾性表面波反射手段とを備え、
前記弾性表面波生成手段は、前記弾性表面波を生成する複数の生成電極指を有する一対の生成側斜め電極を備え、
前記生成側斜め電極は、互いに隣接する生成電極指の電極指間隔が前記弾性表面波の伝搬方向と直交する直交方向の一の方向に沿って徐々に広がるものであって、最大及び最小の電極指間隔となるそれぞれの位置で第１及び第２の波長の弾性表面波を生成するものであり、
前記弾性表面波受信手段は、前記弾性表面波を受信する複数の受信電極指を有する一対の受信側斜め電極を備え、
前記受信側斜め電極は、互いに隣接する受信電極指の電極指間隔が前記一の方向に沿って徐々に広がるものであって、最大及び最小の電極指間隔となるそれぞれの位置で、前記生成側斜め電極が生成した前記第１及び前記第２の波長の弾性表面波を受信するものであり、
前記弾性表面波反射手段は、前記第１周波数よりも予め定めた周波数だけ低い周波数及び前記第２周波数よりも予め定めた周波数だけ高い周波数を中心周波数とする弾性表面波を反射し、
前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された前記第１の反射器がそれぞれ、互いに隣接する反射器の反射器間隔が前記第１の波長の半分よりも大きい間隔で配置された低域反射器と、
前記弾性表面波の伝搬方向に沿って配置された前記第２の反射器がそれぞれ、互いに隣接する反射器の反射器間隔が前記第２の波長の半分よりも小さい間隔で配置された高域反射器と、
を備え、
前記低域反射器と前記高域反射器との境界部分が弾性表面波の進行方向に水平な直線上に存在しないようにずらして配置されていることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
前記弾性表面波反射手段は、前記低域反射器と前記高域反射器との境界部分が所定の周波数帯域毎に分割された複数のチャンネルの各々に分散されて設けられていることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波フィルタ。