JP2015106802A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性表面波フィルタは、圧電基板20と、下層配線60と、上層配線70と、層間絶縁膜80とを備えている。下層配線60は、圧電基板20上に設けられている。上層配線70は、下層配線60に交差している。上層配線70は、下層配線60とは電位が異なっている。層間絶縁膜80は、下層配線60および上層配線70の間に設けられている。下層配線60の延びる方向に沿う断面視において、層間絶縁膜80は、上層配線70の幅W1以下の幅W2を有する部分を有している。
【選択図】図2
Description
図1は、実施の形態1の弾性表面波フィルタ11を示す平面図である。図1を参照して、弾性表面波フィルタ11は、圧電基板20を備えている。圧電基板20は、矩形板状であり、主表面である表面20aと、対向する2つの端辺20A,20Bとを有している。圧電基板20は、たとえば、LiTaO3基板、LiNbO3基板、水晶基板などにより構成することができる。以下の実施の形態では、圧電基板20がLiTaO3基板により構成されている例について説明する。
図4は、実施の形態2の弾性表面波フィルタ11における立体交差部90の、下層配線60の延びる方向に沿う断面図である。図5は、図4に示す立体交差部90の平面図である。実施の形態2の層間絶縁膜80は、下層配線60の延びる方向に沿う断面視において、一定の幅W2を有している。層間絶縁膜80の幅W2は、上層配線70の幅W1と、等しくなっている。
図6は、実施の形態3の弾性表面波フィルタ11における立体交差部90の、下層配線60の延びる方向に沿う断面図である。実施の形態3では、図6に示す下層配線60の延びる方向に沿う断面視において、層間絶縁膜80の上面84は、上層配線70の幅W1よりも小さい幅W2を有している。層間絶縁膜80の下面85もまた、上層配線70の幅W1よりも小さい幅を有している。このため、層間絶縁膜80の全体が、上層配線の幅W1よりも小さい幅を有している。
図7は、実施の形態4の弾性表面波フィルタ11における立体交差部90の、下層配線60の延びる方向に沿う断面図である。実施の形態4では、図7に示す下層配線60の延びる方向に沿う断面視において、層間絶縁膜80の下面85は、上層配線70の幅W1よりも小さい幅W2を有している。層間絶縁膜80の上面84は、上層配線70と幅W1と等しい幅を有している。このため、層間絶縁膜80の全体が、上層配線の70幅W1以下の幅を有している。
図8は、実施の形態5の弾性表面波フィルタ11における立体交差部90の、下層配線60の延びる方向に沿う断面図である。実施の形態5では、図8に示す下層配線60の延びる方向に沿う断面視において、層間絶縁膜80の上面84は、上層配線70の幅W1よりも小さい幅W2を有している。層間絶縁膜80の下面85もまた、上層配線70の幅W1よりも小さい幅を有している。
図9は、実施の形態6の弾性表面波フィルタ11における、立体交差部90の分解斜視図である。これまでの実施の形態においては、下層配線60の延びる方向に沿う断面視を参照して、層間絶縁膜80の断面形状について説明した。層間絶縁膜80の断面形状は、下層配線60の線幅方向、すなわち上層配線70の延びる方向において、一様である必要はなく、形状を変化させてもよい。
Claims (6)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた下層配線と、
前記下層配線に交差する、前記下層配線と電位の異なる上層配線と、
前記下層配線および前記上層配線の間に設けられた層間絶縁膜とを備え、
前記下層配線の延びる方向に沿う断面視において、前記層間絶縁膜は、前記上層配線の幅以下の幅を有する部分を有している、弾性表面波フィルタ。 - 前記下層配線の延びる方向に沿う断面視において、前記層間絶縁膜の全体が、前記上層配線の幅以下の幅を有している、請求項1に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記層間絶縁膜は、前記上層配線に接触する上面と、前記下層配線に接触する下面とを有し、
前記下層配線の延びる方向に沿う断面視において、前記上面は、前記上層配線の幅よりも小さい幅を有している、請求項1または2に記載の弾性表面波フィルタ。 - 前記下層配線の延びる方向に沿う断面視において、前記下面は、前記上面よりも大きい幅を有している、請求項3に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記下層配線の延びる方向に沿う断面視において、前記下面は、前記上層配線の幅よりも小さい幅を有している、請求項3または4に記載の弾性表面波フィルタ。
- 前記層間絶縁膜は、前記上層配線に接触する上面と、前記下層配線に接触する下面とを有し、
前記下層配線の延びる方向に沿う断面視において、前記上面は、前記下面よりも大きい幅を有している、請求項1から3のいずれか1項に記載の弾性表面波フィルタ。
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