CN104682913A - 弹性表面波滤波器 - Google Patents

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CN104682913A CN201410705282.5A CN201410705282A CN104682913A CN 104682913 A CN104682913 A CN 104682913A CN 201410705282 A CN201410705282 A CN 201410705282A CN 104682913 A CN104682913 A CN 104682913A
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Abstract

本发明提供一种弹性表面波滤波器，能够降低在下层布线和上层布线之间产生的寄生电容。弹性表面波滤波器具备压电基板(20)、下层布线(60)、上层布线(70)和层间绝缘膜(80)。下层布线(60)被设置于压电基板(20)上。上层布线(70)与下层布线(60)交叉。上层布线(70)的电位与下层布线(60)的电位不同。层间绝缘膜(80)被设置于下层布线(60)和上层布线(70)之间。在沿着下层布线(60)延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜(80)具有如下部分，该部分具有上层布线(70)的宽度W1以下的宽度W2。

Description

弹性表面波滤波器
技术领域
本发明涉及弹性表面波滤波器，特别是涉及具备下层布线与上层布线立体地交叉的构造的弹性表面波滤波器。
背景技术
一直以来，例如在日本特开2004-282707号公报(专利文献1)中公开了弹性表面波滤波器。在上述文献中公开了如下结构，即，电位互不相同的下层布线与上层布线，通过在其间夹着层间绝缘膜，从而在不互相导通的情况下交叉。
专利文献
专利文献1：日本特开2004-282707号公报
在上述文献的图9以及图17(b)中，记载有相对于上层布线的线宽而增大了层间绝缘膜的宽度的结构。如将上述文献的图9作为本申请的图10而图示的那样，如果扩大层间绝缘膜的区域，则在下层布线与上层布线的立体交叉部的上下布线间所产生的寄生电容将变大。如果经由该寄生电容而从上层布线向下层布线泄漏了无用的信号，则将产生弹性表面波滤波器的特性发生恶化的问题。
发明内容
本发明正是鉴于上述课题而完成的，其主要目的在于提供一种能够减少在下层布线与上层布线之间产生的寄生电容的弹性表面波滤波器。
本发明所涉及的弹性表面波滤波器具备压电基板、下层布线、上层布线和层间绝缘膜。下层布线被设置于压电基板上。上层布线与下层布线交叉。上层布线的电位与下层布线的电位不同。层间绝缘膜被设置于下层布线和上层布线之间。在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜具有如下部分，所述部分具有上层布线的宽度以下的宽度。
在上述弹性表面波滤波器中，优选为，在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜的整体具有上层布线的宽度以下的宽度。
在上述弹性表面波滤波器中，优选为，层间绝缘膜具有与上层布线接触的上表面和与下层布线接触的下表面。在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，上表面具有比上层布线的宽度小的宽度。
在上述弹性表面波滤波器中，优选为，在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，下表面具有比上表面大的宽度。
在上述弹性表面波滤波器中，优选为，在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，下表面具有比上层布线的宽度小的宽度。
在上述弹性表面波滤波器中，优选为，层间绝缘膜具有与上层布线接触的上表面和与下层布线接触的下表面。在沿着下层布线延伸的方向的剖视观察时，上表面具有比下表面大的宽度。
发明效果
根据本发明的弹性表面波滤波器，能够降低在下层布线和上层布线之间产生的寄生电容。
附图说明
图1为表示实施方式1的弹性表面波滤波器的俯视图。
图2为图1所示的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。
图3为图1所示的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着上层布线延伸的方向的剖视图。
图4为实施方式2的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。
图5为图4所示的立体交叉部的俯视图。
图6为实施方式3的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。
图7为实施方式4的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。
图8为实施方式5的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的、沿着下层布线延伸的方向的剖视图。
图9为实施方式6的弹性表面波滤波器中的、立体交叉部的分解立体图。
图10为现有的弹性表面波滤波器中的立体交叉部的剖视图。
具体实施方式
以下，根据附图来对本发明的实施方式进行说明。另外，在以下的附图中，对相同或相当的部分标记相同的参照号码，并不再重复其说明。
(实施方式1)
图1为表示实施方式1的弹性表面波滤波器11的俯视图。参照图1，弹性表面波滤波器11具备压电基板20。压电基板20为矩形板状，且具有作为主表面的表面20a和对置的两个端边20A、20B。压电基板20例如能够由LiTaO3基板、LiNbO3基板、水晶基板等构成。在以下的实施方式中，说明压电基板20由LiTaO3基板构成的示例。
在压电基板20的表面20a上，形成有第1弹性波滤波器部21和第2弹性波滤波器部22。第1弹性波滤波器部21被配置在压电基板20的端边20A侧。第2弹性波滤波器部22被配置在压电基板20的端边20B侧。在压电基板20的表面20a上，还形成有输入焊盘电极31、输出焊盘电极32和接地电极51、52。
第1弹性波滤波器部21包括IDT(InterDigital Transducer：叉指式换能器)组210和反射器214、215。IDT组210具有多个IDT211、212、213。IDT211在弹性表面波的传播方向上配置于一方，IDT213在弹性表面波的传播方向上配置于另一方，IDT212被IDT211和IDT213夹持。IDT211～213具有按照彼此的电极指分别相邻的方式对置配置的、一对梳齿电极。
反射器214被配置于IDT组210的弹性表面波的传播方向的一方。反射器215被配置于IDT组210的弹性表面波的传播方向的另一方。通过使反射器214和反射器215沿着弹性表面波的传播方向夹持IDT组210，由此来形成第1弹性波滤波器部21。第1弹性波滤波器部21为3IDT型的纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器。
第2弹性波滤波器部22包括IDT组220和反射器224、225。IDT组220具有多个IDT221、222、223。IDT221在弹性表面波的传播方向上配置于一方，IDT223在弹性表面波的传播方向上配置于另一方，IDT222被IDT221和IDT223夹持。IDT221～223具有按照彼此的电极指分别相邻的方式对置配置的、一对梳齿电极。
反射器224被配置于IDT组220的弹性表面波的传播方向的一方。反射器225被配置于IDT组220的弹性表面波的传播方向的另一方。通过使反射器224和反射器225沿着弹性表面波的传播方向夹持IDT组220，由此来形成第2弹性波滤波器部22。第2弹性波滤波器部22为3IDT型的纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器。
输入焊盘电极31与第1弹性波滤波器部21通过输入信号布线71而被连接。输入信号布线71电连接了输入焊盘电极31和IDT212的端边20A侧的梳齿电极。输出焊盘电极32与第2弹性波滤波器部22通过输出信号布线72而被连接。输出信号布线72电连接了输出焊盘电极32和IDT222的端边20B侧的梳齿电极。
接地电极51与第1弹性波滤波器部21通过接地布线61而被连接。接地布线61电连接了接地电极51和IDT211、213的端边20A侧的梳齿电极。接地电极51与第2弹性波滤波器部22通过接地布线62而被连接。接地布线62电连接了接地电极51和IDT221、223的端边20B侧的梳齿电极。
接地电极52与第1弹性波滤波器部21通过接地布线73而被连接。接地布线73电连接了接地电极52和IDT212的端边20B侧的梳齿电极。接地电极52与第2弹性波滤波器部22通过接地布线74而被连接。接地布线74电连接了接地电极52和IDT222的端边20A侧的梳齿电极。
第1弹性波滤波器部21与第2弹性波滤波器部22通过级间连接布线75、76而被级联连接。级间连接布线75对IDT211的端边20B侧的梳齿电极和IDT221的端边20A侧的梳齿电极进行了电连接。级间连接布线76对IDT213的端边20B侧的梳齿电极和IDT223的端边20A侧的梳齿电极进行了电连接。
接地布线61、62构成了下层布线60。下层布线60被设置于压电基板20的表面上。输入信号布线71、输出信号布线72、接地布线73、74以及级间连接布线75、76构成了上层布线70。上层布线70的一部分与下层布线60交叉，使层间绝缘膜80介于其间且被载置于下层布线60上。在上层布线70之中载于层间绝缘膜80之上的部分，压电基板20和上层布线70互相并未直接接触，即互相分离。
在图1所示的示例中，弹性表面波滤波器11包括两个立体交叉部90。在第1立体交叉部91中，与接地电极51连接的接地布线61和与输入焊盘电极31连接的输入信号布线71立体地交叉。在第2立体交叉部92中，与接地电极51连接的接地布线62和与输出焊盘电极32连接的输出信号布线72立体地交叉。
在第1立体交叉部91中，接地布线61沿着压电基板20的端边20A而延伸，输入信号布线71沿着与端边20A正交的方向而延伸。在第1立体交叉部91中，被设置于压电基板20的表面20a上的接地布线61和电位与接地布线61不同的输入信号布线71互相正交。在压电基板20的厚度方向上的、接地布线61与输入信号布线71之间，设置有层间绝缘膜81。
在第2立体交叉部92中，接地布线62沿着压电基板20的端边20B而延伸，输出信号布线72沿着与端边20B正交的方向而延伸。在第2立体交叉部92中，被设置于压电基板20的表面20a上的接地布线62和电位与接地布线62不同的输出信号布线72互相正交。在压电基板20的厚度方向上的、接地布线62与输出信号布线72之间，设置有层间绝缘膜82。
图2为图1所示的弹性表面波滤波器11中的立体交叉部90的、沿着下层布线60延伸的方向的剖视图。图2中的下层布线60的剖视图是根据由包括下层布线60延伸的方向和压电基板20的表面20a的法线方向的面而剖切出的下层布线60的剖面从而得到的。图3为图1所示的弹性表面波滤波器11中的立体交叉部90的、沿着上层布线70延伸的方向的剖视图。
在图3所示的、沿着上层布线70延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜80被设置成覆盖下层布线60，且具有大致梯形形状的外形。层间绝缘膜80为了抑制上层布线70的断线而具有锥状的斜面。
另一方面，如图2所示，层间绝缘膜80在沿着纸面垂直方向延伸的上层布线70的线宽方向(图2中的左右方向)上，具有一部分缩颈的形状。该缩颈形状的最深部83的宽度W2与上层布线70的宽度W1相比，变得更小。
在图2所示的沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜80包括：具有比上层布线70的宽度W1小的宽度W2的部分、和具有比上层布线70的宽度W1大的宽度的部分。在对立体交叉部90进行俯视观察的情况下，层间绝缘膜80之中具有比上层布线70的宽度W1大的宽度的部分从上层布线70突出。如图2所示，在俯视观察时从上层布线70突出的层间绝缘膜80的一部分，在压电基板20的厚度方向上具有比上层布线70与下层布线60之间的距离小的厚度。
在立体交叉部90的附近处，层间绝缘膜80的宽度减少，其结果为，层间绝缘膜80的一部分被置换为空气。在上层布线70的宽度W1的区域内，于下层布线60与上层布线70之间，设置有与层间绝缘膜80相比介电常数较小的空气的层，下层布线60与上层布线70隔着空气的层而互相对置并交叉。由此，与在下层布线60和上层布线70之间充满层间绝缘膜80的结构相比，能够减小下层布线60和上层布线70之间的寄生电容值。
另一方面，在立体交叉部90中，配置于下层布线60上方的上层布线70被层间绝缘膜80从下方支承。层间绝缘膜80在立体交叉部90中发挥作为对上层布线70进行支承的支承体的功能。
因此，本实施方式的弹性表面波滤波器11能够在不损失作为立体交叉部90中的构造体的强度的情况下，通过减小寄生电容值从而对通频带外的衰减特性的恶化进行抑制。在对立体交叉部90进行俯视观察的情况下，通过采用在与上层布线70重叠的整个区域内存在有层间绝缘膜80的结构，从而能够更加提高立体交叉部90的强度，能够使立体交叉部90的形状更加稳定。
接下来，关于本实施方式的弹性表面波滤波器11的制造工序，以立体交叉部90的形成为焦点而进行说明。
首先，作为压电基板20而准备42°Y切割LiTaO3基板。压电基板20的表面20a预先进行了镜面研磨。
在压电基板20的表面20a上，对抗蚀剂进行涂敷、曝光、显影而形成掩模图案，并以Al、Cu的顺序成膜之后，通过去除掩模图案和掩模图案上的Al/Cu膜的剥离法，从而形成第1弹性波滤波器部21、第2弹性波滤波器部22、以及下层布线60。或者，也可以采用干蚀刻法，所述干蚀刻法为在压电基板20的表面20a上成膜的Al/Cu膜上形成抗蚀图案，并在根据该抗蚀图案而对Al/Cu膜进行加工之后，去除变为无用的抗蚀图案的方法。
接下来，在下层布线60之中欲使下层布线60与上层布线70立体交叉之处，形成以聚酰亚胺为主成分的层间绝缘膜80。层间绝缘膜80通过使用感光性聚酰亚胺并实施光刻从而形成。
接着，采用上述的剥离法来形成由Ti/Al的层叠膜构成的上层布线70。作为抗蚀剂而使用酚醛类的树脂，并通过蒸镀而使Ti以及Al被成膜。此时，上层布线70的一部分被形成为在层间绝缘膜80上延伸并与下层布线60交叉。该情况下的上层布线70的线宽被设定为小于层间绝缘膜80的宽度。
接下来，使作为层间绝缘膜80的聚酰亚胺膜浸渍于聚酰亚胺的有机显影液中，而使减膜某一定量。此时，上层布线70起到了掩模的作用，通过湿蚀刻工法，从而仅减膜所露出的聚酰亚胺膜。然后，在300℃一小时的条件下进行热处理，从而使聚酰亚胺膜固化。
由此，形成了如图2、3所示的、下层布线60与上层布线70隔着层间绝缘膜80而立体地交叉的立体交叉部90。通过使层间绝缘膜80减膜的处理，从而如图2所示那样在层间绝缘膜80上形成了缩颈形状，并能够形成缩颈形状的最深部83的宽度W2小于上层布线70的宽度W1的形状。由于是通过湿蚀刻来形成缩颈形状的，因此能够以低成本制造层间绝缘膜80的宽度W2小于上层布线70的宽度W1的形状。通过在形成上层布线70之后去除层间绝缘膜80的一部分，从而能够避免上层布线70相对于层间绝缘膜80而发生位置偏移的不良状况，进而能够获得稳定且所需的构造。
(实施方式2)
图4为实施方式2的弹性表面波滤波器11中的立体交叉部90的、沿着下层布线60延伸的方向的剖视图。图5为图4所示的立体交叉部90的俯视图。实施方式2的层间绝缘膜80，在沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，具有固定的宽度W2。层间绝缘膜80的宽度W2变得与上层布线70的宽度W1相等。
实施方式2的层间绝缘膜80，在沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，并不包括具有比上层布线70的宽度W1大的宽度的部分。层间绝缘膜80整体具有与上层布线70的宽度W1相等的宽度W2。
如图4所示，层间绝缘膜80具有与上层布线70接触的上表面84和与下层布线60接触的下表面85。在上层布线70与下层布线60交叉的立体交叉部90中，上表面84和下表面85均具有平坦的形状。在立体交叉部90中，上表面84和下表面85被形成为相同的形状，因此具有相等的面积。上层布线70的下表面、即与压电基板20的表面20a对置一侧的面，在立体交叉部90中，该面的整个面与层间绝缘膜80的上表面84面接触。
在以上说明过的实施方式2的弹性表面波滤波器11中，层间绝缘膜80整体具有等于上层布线70的宽度W1的宽度W2。其结果为，如图5所示，在俯视观察时，层间绝缘膜80未从上层布线70突出，故无法视觉辨认层间绝缘膜80。由此，能够进一步减少被设置成覆盖下层布线60的层间绝缘膜80的量，因此能够进一步减少下层布线60和上层布线70之间的寄生电容值。此外，由于上层布线70的整个下表面与层间绝缘膜80接触，因此能够提高上层布线70与层间绝缘膜80的粘接强度，从而能够抑制上层布线70和层间绝缘膜80的剥离的产生。
接下来，关于实施方式2的弹性表面波滤波器11的制造工序，以立体交叉部90的形成为焦点而进行说明。
作为压电基板20而准备42°Y切割LiTaO3基板。在压电基板20的表面20a上，形成由作为粘接层的Ti以及作为主电极的Al/Cu构成的第1弹性波滤波器部21、第2弹性波滤波器部22、以及下层布线60。形成方法采用与实施方式1相同的剥离法或者干蚀刻法。
接下来，作为层间绝缘膜80而通过溅射来成膜SiO2。从下层布线60之中欲使下层布线60和上层布线70立体交叉之处以外的部分，通过干蚀刻来蚀刻去除SiO2膜。
接着，采用剥离法来形成由Ti/Al的层叠膜构成的上层布线70。此时，上层布线70的一部分被形成为在层间绝缘膜80上延伸并与下层布线60交叉。该情况下的上层布线70的线宽被设定为等于层间绝缘膜80的宽度。
然后，使用CF4气体来实施干蚀刻，并将上层布线70作为掩模而蚀刻去除层间绝缘膜80。
由此，形成了如图4、5所示的、下层布线60与上层布线70隔着层间绝缘膜80而立体地交叉的立体交叉部90。通过对层间绝缘膜80进行干蚀刻的处理，从而如图4所示那样在沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，能够形成层间绝缘膜80的宽度W2等于上层布线70的宽度W1的形状。由于是通过干蚀刻来形成层间绝缘膜80的，因此能够使层间绝缘膜80的形状稳定，因此能够减小寄生电容值的偏差、以及弹性表面波滤波器11的特性的偏差。
(实施方式3)
图6为实施方式3的弹性表面波滤波器11中的立体交叉部90的、沿着下层布线60延伸的方向的剖视图。在实施方式3中，在图6所示的沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜80的上表面84具有比上层布线70的宽度W1小的宽度W2。层间绝缘膜80的下表面85也具有比上层布线70的宽度W1小的宽度。因而，层间绝缘膜80整体具有比上层布线70的宽度W1小的宽度。
在立体交叉部90中，层间绝缘膜80的下表面85具有比上表面84大的宽度。图6所示的层间绝缘膜80的剖面具有上底小于下底的梯形形状。
在实施方式3的弹性表面波滤波器11中，与图4所示的实施方式2相比，下层布线60和上层布线70之间的层间绝缘膜80被进一步减少，从而层间绝缘膜80之中被置换为空气的部分增大。由此，与实施方式2相比，能够进一步减小下层布线60和上层布线70之间的寄生电容值。
(实施方式4)
图7为实施方式4的弹性表面波滤波器11中的立体交叉部90的、沿着下层布线60延伸的方向的剖视图。在实施方式4中，在图7所示的沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜80的下表面85具有比上层布线70的宽度W1小的宽度W2。层间绝缘膜80的上表面84具有与上层布线70的宽度W1相等的宽度。因而，层间绝缘膜80整体具有上层布线70的宽度W1以下的宽度。
在立体交叉部90中，层间绝缘膜80的上表面84具有比下表面85大的宽度。图7所示的层间绝缘膜80的剖面具有下底小于上底的梯形形状。
在实施方式4的弹性表面波滤波器11中，与图4所示的实施方式2相比，下层布线60和上层布线70之间的层间绝缘膜80被进一步减少，从而层间绝缘膜80之中被置换为空气的部分增大。由此，与实施方式2相比，能够进一步减小下层布线60和上层布线70之间的寄生电容值。
此外，在实施方式4的弹性表面波滤波器11中，与图6所示的实施方式3相比，上层布线70的下表面之中更大面积与层间绝缘膜80接触。由此，能够确保上层布线70和层间绝缘膜80的粘接面积，因此能够提高上层布线70和层间绝缘膜80的粘接强度，从而能够抑制上层布线70和层间绝缘膜80的剥离的产生。
(实施方式5)
图8为实施方式5的弹性表面波滤波器11中的立体交叉部90的、沿着下层布线60延伸的方向的剖视图。在实施方式5中，在图8所示的沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜80的上表面84具有比上层布线70的宽度W1小的宽度W2。层间绝缘膜80的下表面85也具有比上层布线70的宽度W1小的宽度。
实施方式5的层间绝缘膜80，在沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察时，具有固定的宽度W2。层间绝缘膜80的宽度W2变得小于上层布线70的宽度W1。因而，层间绝缘膜80整体具有比上层布线70的宽度W1小的宽度。
在实施方式5的弹性表面波滤波器11中，与图6所示的实施方式3、以及图7所示的实施方式4相比，下层布线60和上层布线70之间的层间绝缘膜80被进一步减少，从而层间绝缘膜80之中被置换为空气的部分增大。由此，与实施方式3、4相比，能够进一步减小下层布线60和上层布线70之间的寄生电容值。
(实施方式6)
图9为实施方式6的弹性表面波滤波器11中的、立体交叉部90的分解立体图。在至此为止的实施方式中，参照沿着下层布线60延伸的方向的剖视观察，而对层间绝缘膜80的剖面形状进行了说明。层间绝缘膜80的剖面形状无需在下层布线60的线宽方向、即上层布线70延伸的方向上相同，也可以使形状发生变化。
在图9所示的示例中，层间绝缘膜80具有矩形形状的上表面84。另一方面，层间绝缘膜80的下表面85被形成为梯形形状。因而，沿着下层布线60延伸的方向的层间绝缘膜80的剖面形状，其面积随着从图9中的跟前侧趋向于里侧而逐渐缩小。层间绝缘膜80在覆盖下层布线60的区域内，也可以具有三维地组合实施方式1～5的剖面形状的形状。
即使将层间绝缘膜80成形为这种形状，只要在沿着下层布线60延伸的方向的任一种剖面中层间绝缘膜80包括具有上层布线70的宽度W1以下的宽度的部分，则也同样能够获得能减小上述的寄生电容值的效果。
虽然如上述那样对本发明的实施方式进行了说明，但也可以将各个实施方式的结构进行适当组合。此外，本文公开的实施方式的所有内容为例示，应该认为并非是限制性的内容。本发明的保护范围通过权利要求来表示而非上述的说明，意图包括与权利要求同等的含义、以及范围内的所有变更。
符号说明
11 弹性表面波滤波器；20 压电基板；20A、20B 端边；20a 表面；21 第1弹性波滤波器部；22 第2弹性波滤波器部；31 输入焊盘电极；32 输出焊盘电极；51、52 接地电极；60 下层布线；61、62、73、74 接地布线；70 上层布线；71 输入信号布线；72 输出信号布线；75、76 级间连接布线；80、81、82 层间绝缘膜；83 最深部；84上表面；85 下表面；90 立体交叉部；91 第1立体交叉部；92 第2立体交叉部；210、220 IDT组；211～213、221～223 IDT；214、215、224、225 反射器；W1、W2 宽度。

Claims (6)

1.一种弹性表面波滤波器，具备：
压电基板；
下层布线，其被设置于所述压电基板上；
上层布线，其与所述下层布线交叉、且电位与所述下层布线不同；和
层间绝缘膜，其被设置于所述下层布线与所述上层布线之间，
在沿着所述下层布线延伸的方向的俯视观察时，所述层间绝缘膜具有如下部分，所述部分具有所述上层布线的宽度以下的宽度。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波滤波器，其中，
在沿着所述下层布线延伸的方向的剖视观察时，所述层间绝缘膜的整体具有所述上层布线的宽度以下的宽度。
3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波滤波器，其中，
所述层间绝缘膜具有：与所述上层布线接触的上表面、和与所述下层布线接触的下表面，
在沿着所述下层布线延伸的方向的剖视观察时，所述上表面具有比所述上层布线的宽度小的宽度。
4.根据权利要求3所述的弹性表面波滤波器，其中，
在沿着所述下层布线延伸的方向的剖视观察时，所述下表面具有比所述上表面大的宽度。
5.根据权利要求3或4所述的弹性表面波滤波器，其中，
在沿着所述下层布线延伸的方向的剖视观察时，所述下表面具有比所述上层布线的宽度小的宽度。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性表面波滤波器，其中，
所述层间绝缘膜具有：与所述上层布线接触的上表面、和与所述下层布线接触的下表面，
在沿着所述下层布线延伸的方向的剖视观察时，所述上表面具有比所述下表面大的宽度。
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