JP5138731B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
図1は本実施形態に係る弾性表面波装置の概略図を示すものである。本実施形態に係る弾性共振波装置1は、基板上に対向して形成される一対の反射器2と、この一対の反射器2の間に配置されるすだれ変換子(以下単に「IDT」という。)3とを有して構成されており、IDT3は一対の共通電極31を有し、この共通電極31のそれぞれには交差部321とダミー部322とを有する複数の交差電極32と、複数のダミー電極33が接続されている。また一方の共通電極に接続された複数の交差電極それぞれは対向する他の共通電極の複数の交差電極と交差しており、櫛歯状に配置されている。
本実施形態に係る弾性表面波装置の効果を確認するために、実際の弾性表面波装置を作成した。以下具体的に説明する。
本実施形態に係る弾性表面波装置は、実施形態1に係る弾性表面波装置において更にダミー電極の裾幅と交差電極のダミー部の裾幅にも重みをつけた点が異なる。なおそれ以外についてはほぼ実施形態1に記載の弾性表面波装置と同様である。図7に本実施形態に係る弾性表面波装置の模式図を示す。
本実施形態に係る弾性表面波装置は、実施形態1に係る弾性表面波装置のダミー電極の共通電極との接続部分(裾部)における厚みにも重みをつけた点が異なる。それ以外についてはほぼ実施形態1に記載の弾性表面波装置と同様である。即ち弾性表面波装置を正面から見た場合は図1とほぼ同じであるが切断面における構成が異なる。図11に本実施形態に係る弾性表面波装置を図1としたときの図中A−Aに沿って切断した場合の断面概略図を示す。
本実施形態では、実施形態1とほぼ同様であるが、ダミー電極の頂部(裾と反対の部分をいう)の幅77と、このダミー電極とギャップを空けて配置される交差電極の頂部の幅79とを異ならせ、更に、交差電極におけるダミー部とギャップ部32との境界近傍におけるダミー部の幅78と交差電極における交差部とギャップ部32との境界近傍における幅79をも異ならせていることを特徴とする。即ち、ギャップ8を挟んで対向するダミー電極における幅と交差電極における幅とを異ならせていることまた、交差電極の交差部の幅とダミー部の幅とを異ならせていることを特徴とする。図13にこの俯瞰慨略図を示す。
本実施例では、実施形態4に係る弾性表面波装置を実際に作成し、その効果を確かめた。
Claims (4)
- 一対の反射器と、
該一対の反射器の間に配置され、交差部及びダミー部を有する交差電極並びにダミー電極を有するすだれ変換子と、を備えた弾性表面波装置であって、
前記複数の交差電極の交差部の長さがいずれもほぼ同じであって、
前記複数の交差電極のギャップ部の長さ、及び、前記交差電極の交差部と前記ダミー電極のギャップの長さがいずれもほぼ同じであって、
前記ダミー電極の長さと該ダミー電極が隣り合う前記交差電極のダミー部の長さが、弾性表面波の進行方向に沿って三角波的、矩形波的、三角関数波的又はランダムに変化していることを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記ダミー電極の裾幅と前記ダミー電極が隣り合う前記交差電極のダミー部の裾幅とが異なっていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装置。
- 前記ダミー電極の裾幅と前記交差電極のダミー部の裾幅は、弾性表面波の進行方向に沿って重み付けがなされていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装置。
- 前記ダミー電極の裾幅と前記交差電極のダミー部の裾幅は、弾性表面波の進行方向に沿って三角波的、矩形波的、三角関数波的又はランダムに変化していることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装置。
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