CN116647204A - 一种声表面波谐振器及滤波器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种声表面波谐振器及滤波器，该声表面波谐振器包括叉指区；叉指区包括第一分部和第二分部，沿第一方向，第一分部和第二分部分别位于叉指区的两侧；第一分部包括至少一个第一子分部，第一子分部包括多个第一短指和多个第一长指，第一短指与第一长指均沿第一方向延伸且沿第二方向依次交替设置；第二分部包括至少一个第二子分部，第二子分部包括多个第二短指和多个第二长指，第二短指与第二长指均沿第一方向延伸且沿第二方向依次交替设置；第一分部与第二分部关于叉指区的中心轴非对称设置；中心轴经过叉指区的中心且沿第二方向延伸。采用上述方案，第一分部与第二分部关于叉指区的中心轴为非对称设置，进而造成孔径突变，抑制横波。

Description

一种声表面波谐振器及滤波器

技术领域

本发明涉及谐振器技术领域，尤其涉及一种声表面波谐振器及滤波器。

背景技术

声表面波滤波器(Surface Acoustic Wave，SAW)是无线通信技术领域重要的元器件之一，声表面波谐振器作为声表面波滤波器的重要组成部分，在无线通信中的基站、移动终端设备中扮演着不可或缺的作用。但随着无线通信的迅猛发展，在4G、5G以及6G的发展背景下，对声表面波谐振器的性能提出了更高更严格的要求，从而需要制备性能更加优秀的声表面波滤波器件。

为实现低插入损耗、低频率温度系数以及高Q值等的滤波器特性，温度补偿型声表面波滤波器、薄膜型声表面波滤波器应运而生。但在上述声表面波器件中，声表面波会沿着纵向或横向传播，从而离开声表面波传播轨迹，在有限的孔径内，会通过衍射效应产生横向模态，即存在横波模式寄生的问题。

在常规形式的声表滤波器中的谐振器，横波模式寄生对滤波器性能的影响一般不明显，但对于温度补偿型声表面波滤波器以及薄膜型声表面波滤波器等滤波器来说，横波模式的寄生影响很明显，会造成声表面波滤波器的通带内出现大量纹波，增大插入损耗，劣化声表面波器件的滤波器特性。

发明内容

本发明实施例提供了一种声表面波谐振器及滤波器，以抑制横波，提高Q值，进而提高声表面波谐振器的性能。

第一方面，本发明实施例提供的一种声表面波谐振器，包括叉指区；

所述叉指区包括第一分部和第二分部，沿第一方向，所述第一分部和所述第二分部分别位于所述叉指区的两侧；

所述第一分部包括至少一个第一子分部，所述第一子分部包括多个第一短指和多个第一长指，所述第一短指与所述第一长指均沿所述第一方向延伸且沿第二方向依次交替设置；所述第一方向与所述第二方向相交；

所述第二分部包括至少一个第二子分部，所述第二子分部包括多个第二短指和多个第二长指，所述第二短指与所述第二长指均沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向依次交替设置；

所述第一分部与所述第二分部关于所述叉指区的中心轴非对称设置；所述中心轴经过所述叉指区的中心且沿第二方向延伸。

可选的，所述第一分部包括i个第一子分部，所述第二分部包括j个第二子分部；

其中，i和j均为正整数且i≠j。

可选的，所述第一分部包括多个第一子分部，所述第二分部包括多个第二子分部；

任意两个第一子分部中所述第一短指的数量以及设置方式相同，任意两个第二子分部中所述第二短指的数量以及设置方式相同。

可选的，所述第一分部包括至少两个第一子分部，同一所述第一子分部中所述第一短指在所述第一方向上的延伸长度相同；存在两个所述第一子分部中的所述第一短指在所述第一方向上的延伸长度不同；所述第二分部包括至少两个第二子分部，同一所述第二子分部中所述第二短指在所述第一方向上的延伸长度相同；存在两个所述第二子分部中的所述第二短指在所述第一方向上的延伸长度不同。

可选的，所述第一子分部包括靠近所述中心轴一侧的第一边界轮廓，所述第一边界轮廓覆盖所述第一短指靠近所述中心轴一侧的端部；

所述第二子分部包括靠近所述中心轴一侧的第二边界轮廓，所述第二边界轮廓覆盖所述第二短指靠近所述中心轴一侧的端部；

所述第一边界轮廓包括延伸方向与所述第一方向和所述第二方向均相交的第一轮廓分部，所述第二边界轮廓包括延伸方向与所述第一方向和所述第二方向均相交的第二轮廓分部。

可选的，所述第一边界轮廓包括多个第一轮廓分部，沿所述第二方向，任意接触连接的两个所述第一轮廓分部的延伸方向相交；

所述第二边界轮廓包括多个第二轮廓分部，沿所述第二方向，任意接触连接的两个所述第二轮廓分部的延伸方向相交。

可选的，沿所述第二方向接触连接且延伸方向相交的两个所述第一轮廓分部的斜率分别为K1和K2；

沿所述第二方向接触连接且延伸方向相交的两个所述第二轮廓分部的斜率分别为K3和K4；

其中，K1＝-K2且K3＝-K4。

可选的，0.5≤|K1|≤2，0.5≤|K2|≤2；0.5≤|K3|≤2，0.5≤|K4|≤2。

可选的，所述第一边界轮廓包括多个曲线轮廓分部；

同一所述曲线轮廓分部中，任意两点的切平面位于所述曲线轮廓分部的同一侧；沿所述第二方向相邻的两个所述曲线轮廓分部包括第一曲线轮廓分部和第二曲线轮廓分部，所述第一曲线轮廓分部中任一点的切平面和所述第二曲线轮廓分部中任一点的切平面分别位于所述曲线轮廓分部的不同侧；

所述第二边界轮廓包括至少一个曲线轮廓分部；

同一所述曲线轮廓分部中，任意两点的切平面位于所述曲线轮廓分部的同一侧。

第二方面，本发明实施例还提供了一种滤波器，包括第一方面任一项所述的声表面波谐振器。

本发明实施例提供的声表面波谐振器，叉指区包括第一分部和第二分部，沿第一方向，第一分部和第二分部分别位于叉指区的两侧；第一分部包括至少一个第一子分部，第一子分部包括多个第一短指和多个第一长指；第二分部包括至少一个第二子分部，第二子分部包括多个第二短指和多个第二长指；第一分部与第二分部关于叉指区的中心轴非对称设置。也就是说，通过将第一分部的第一短指与第二分部中的第二短指设置为不对称结构，如此能够造成孔径突变，使沿第一方向传播的横波被反射回声表面波谐振器中，进而能够减少声表面波泄露，提高Q值，进而提高声表面波谐振器的性能。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种声表面波谐振器的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种声表面波谐振器的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为本发明实施例提供的一种声表面波谐振器的结构示意图。如图1所示，声表面波谐振器包括叉指区10；叉指区10包括第一分部101和第二分部102，沿第一方向(如图1中所示的Y方向)，第一分部101和第二分部102分别位于叉指区10的两侧；第一分部101包括至少一个第一子分部11，第一子分部11包括多个第一短指111和多个第一长指112，第一短指111与第一长指112均沿第一方向Y延伸且沿第二方向(如图1中所示的X方向)依次交替设置；第一方向Y与第二方向X相交；第二分部102包括至少一个第二子分部12，第二子分部12包括多个第二短指121和多个第二长指122，第二短指121与第二长指122均沿第一方向Y延伸且沿第二方向X依次交替设置；第一分部101与第二分部102关于叉指区10的中心轴A非对称设置；中心轴A经过叉指区10的中心且沿第二方向X延伸。

具体的，第一短指111与第二短指121可以是假指，第一长指112与第二长指122可以是真指。进一步的，第一短指111、第二短指121、第一长指112以及第二长指122均属于IDT电极，IDT电极可以用于声电能量转换。示例性的，沿第一方向Y，叉指区10两侧可以包括汇流条，IDT电极、汇流条以及沿第一方向Y，短指与长指之间的间隙可以构成叉指换能器。第一短指111、第二短指121、第一长指112以及第二长指122靠近汇流条一侧的一端分别与汇流条相连。当将某一频率的交流信号施加在汇流条上，可以在叉指区10产生声表面波。声表面波主要集中在有效孔径区，且主要沿第二方向X传播，但是也存在部分声表面波，即横波会沿第一方向Y向汇流条一侧传播及泄露。可以理解的是，有效孔径区可以理解为沿第二方向X，第一长指112与第二长指122交叠的区域。

示例性的，沿第二方向X，声表面波谐振器还可以包括分别位于叉指区10两侧的反射栅，反射栅可以用于反射声表面波，防止声表面波泄露。

示例性的，IDT电极和反射栅可以均设置于压电晶圆上。IDT电极和反射栅的材料可以采用Cu、Al、Pt、Ti以及Cr等金属或上述金属组成的合金，也可以采用叠层复合结构。压电晶圆可以包括LiTaO₃、LiNbO₃或石英等压电材料，以及上述压电材料和SiO₂、SiC、Si或AlN键合而成的复合多层晶圆。示例性的，汇流条和长指可以由一次光刻形成，其材料一般为Al或者其合金，其中，温度补偿型声表面波滤波器中一般采用材料Cu。

需要说明的是，本发明实施例对第一短指111、第二短指121、第一长指112以及第二长指122的数目不进行具体限定。

具体的，第一子分部11包括多个第一短指111和多个第一长指112，第一短指111与第一长指112均沿第一方向Y延伸且沿第二方向X依次交替设置，也就是说，多个第一短指111和多个第一长指112形成梳状结构。可以理解的是，多个第二短指121和多个第二长指122形成梳状结构。此外，沿第一方向Y，第一短指111与第二长指122一一对应设置；第一长指112与第二短指121一一对应设置。

示例性的，第一子分部11可以是最小的重复分部，也可以是非重复分部。

进一步的，第一分部101与第二分部102关于叉指区10的中心轴A非对称设置。可以理解为，第一分部101中的第一短指111与第二分部102中的第二短指121为非对称结构，即第一分部101与第二分部102关于叉指区10的中心轴A非对称，如此设置能够造成孔径突变，使横波在沿第一方向Y传播时，被反射回声表面波谐振器的内部，即声表面波可以集中在声表面波谐振器的有效孔径区，进而可以减少声表面波泄露，提高Q值。

本发明实施例提供的声表面波谐振器，叉指区包括第一分部和第二分部，沿第一方向，第一分部和第二分部分别位于叉指区的两侧；第一分部包括至少一个第一子分部，第一子分部包括多个第一短指和多个第一长指；第二分部包括至少一个第二子分部，第二子分部包括多个第二短指和多个第二长指；第一分部与第二分部关于叉指区的中心轴非对称设置。也就是说，通过将第一分部的第一短指与第二分部中的第二短指设置为不对称结构，如此能够造成孔径突变，使沿第一方向传播的横波被反射回声表面波谐振器中，进而能够减少声波泄露，提高Q值，进而提高声表面波谐振器的性能。

可选的，继续参考图1，第一分部101包括i个第一子分部11，第二分部102包括j个第二子分部12；其中，i和j均为正整数且i≠j。

具体的，第一分部101包括i个第一子分部11，第二分部102包括j个第二子分部12，且i≠j，也就是第一子分部11的个数不等于第二子分部12，如此能够进一步保证第一分部101与第二分部102关于叉指区10的中心轴A为非对称结构，进而造成孔径突变，抑制横波。

示例性的，图1中示出的第一分部101包括3个第一子分部11，第二分部102包括2个第二子分部12，即i＝3，j＝2。可以理解的是，图1仅示出了第一子分部11的个数大于第二子分部12的个数的技术方案。示例性的，第二子分部12的个数可以大于第一子分部11的个数，本发明实施例对第一子分部11与第二子分部12的个数不做具体限定，能够保证二者个数不相等即可。

可选的，继续参考图1，第一分部101包括多个第一子分部11，第二分部102包括多个第二子分部12；任意两个第一子分部11中第一短指111的数量以及设置方式相同，任意两个第二子分部12中第二短指121的数量以及设置方式相同。

具体的，第一分部101中任意两个第一子分部11中第一短指111的数量以及设置方式相同，第二分部102中任意两个第二子分部12中第二短指121的数量以及设置方式相同。也就是说，第一子分部11沿第二方向X呈周期性设置，第二子分部12沿第二方向X呈周期性设置，如此设置方式简单。

示例性的，以第一短指111为例进行说明，设置方式相同可以是指第一短指111沿第二方向X的延伸长度相同，或者是第一短指111沿第二方向X的延伸长度是依次渐变的等。

可选的，图2为本发明实施例提供的另一种声表面波谐振器的结构示意图。如图2所示，第一分部101包括至少两个第一子分部11，同一第一子分部11中第一短指111在第一方向Y上的延伸长度相同；存在两个第一子分部11中的第一短指111在第一方向Y上的延伸长度不同；第二分部102包括至少两个第二子分部12，同一第二子分部12中第二短指121在第一方向Y上的延伸长度相同；存在两个第二子分部12中的第二短指121在第一方向Y上的延伸长度不同。

具体的，同一第一子分部11中第一短指111在第一方向Y上的延伸长度相同，如此能够保证第一分部101设置方式简单。进一步的，存在两个第一子分部11中的第一短指111在第一方向Y上的延伸长度不同，如此能够对第一分部101中第一短指111的延伸长度进行多样化设计，即可以实现对第一分部101的多样化设计。可以理解的是，同一第二子分部12中第二短指121在第一方向Y上的延伸长度相同，存在两个第二子分部12中的第二短指121在第一方向Y上的延伸长度不同，如此一方面能够保证第二分部102设置方式简单，另一方面能够实现对第二分部102的多样化设计。

示例性的，图2中示出的第一分部101包括三个第一子分部11，第二分部102包括两个第二子分部12，可以理解的是，第一子分部11与第二子分部12的数目可以相同。

可选的，图3为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图。如图3所示，第一子分部11包括靠近中心轴A一侧的第一边界轮廓a，第一边界轮廓a覆盖第一短指111靠近中心轴A一侧的端部；第二子分部12包括靠近中心轴A一侧的第二边界轮廓b，第二边界轮廓b覆盖第二短指121靠近中心轴A一侧的端部；第一边界轮廓a包括延伸方向与第一方向Y和第二方向X均相交的第一轮廓分部a1，第二边界轮廓b包括延伸方向与第一方向Y和第二方向X均相交的第二轮廓分部b1。

具体的，第一边界轮廓a覆盖第一短指111靠近中心轴A一侧的端部，第二边界轮廓b覆盖第二短指121靠近中心轴A一侧的端部。也就是说，沿第二方向X，第一边界轮廓a为多个第一短指111靠近中心轴A一侧的端部所形成的轮廓线。沿第二方向X，第二边界轮廓b为多个第二短指121靠近中心轴A一侧的端部所形成的轮廓线。进一步的，第一边界轮廓a包括延伸方向与第一方向Y和第二方向X均相交的第一轮廓分部a1，第二边界轮廓b包括延伸方向与第一方向Y和第二方向X均相交的第二轮廓分部b1，即第一轮廓分部a1和第二轮廓分部b1不是与第二方向X平行的直线，也就是说，沿第一方向Y，第一子分部11中多个第一短指111的延伸长度不同，第二子分部12中多个第二短指121的延伸长度不同。如此设置，一方面能够实现孔径突变，进而抑制横波，另一方面能够实现声表面波谐振器的多样化设计。

示例性的，第一边界轮廓a和第二边界轮廓b可以是直线也可以是曲线，本发明实施例对第一边界轮廓a和第二边界轮廓b的线形不做具体限定。

可选的，继续参考图3，第一边界轮廓a包括多个第一轮廓分部a1，沿第二方向X，任意接触连接的两个第一轮廓分部a1的延伸方向相交；第二边界轮廓b包括多个第二轮廓分部b1，沿第二方向X，任意接触连接的两个第二轮廓分部b1的延伸方向相交。

具体的，继续参考图3，沿第二方向X，多个第一轮廓分部a1连接形成类似“锯齿状”的第一边界轮廓a。沿第二方向X，多个第二轮廓分部b1连接形成类似“锯齿状”第二边界轮廓b。

进一步的，继续参考图3，沿第二方向X接触连接且延伸方向相交的两个第一轮廓分部a1的斜率分别为K1和K2；沿第二方向X接触连接且延伸方向相交的两个第二轮廓分部b1的斜率分别为K3和K4；其中，K1＝-K2且K3＝-K4。

具体的，两个第一轮廓分部a1的斜率K1和K2以及两个第二轮廓分部b1的斜率K3和K4，满足K1＝-K2且K3＝-K4，即以经过相交的两个第一轮廓分部a1中间交点且沿第一方向Y延伸的直线作为对称轴，接触连接的两个第一轮廓分部a1关于对称轴对称，接触连接的两个第二轮廓分部b1关于对称轴对称，如此设置一方面能够实现第一轮廓分部a1连接形成的第一边界轮廓a以及第二轮廓分部b1形成的第二边界轮廓b均呈形状较为规则的“锯齿状”，进而可以实现对声表面波谐振器的多样化设计。进一步的，0.5≤|K1|≤2，0.5≤|K2|≤2；0.5≤|K3|≤2，0.5≤|K4|≤2，如此能够满足声表面波谐振器制备的工艺要求。

可选的，图4为本发明实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图。如图4所示，第一边界轮廓a包括多个曲线轮廓分部c，同一曲线轮廓分部c中，任意两点的切平面位于曲线轮廓分部c的同一侧；沿第二方向X相邻的两个曲线轮廓分部c包括第一曲线轮廓分部c1和第二曲线轮廓分部c2，第一曲线轮廓分部c1中任一点的切平面和第二曲线轮廓分部c2中任一点的切平面分别位于曲线轮廓分部c的不同侧；第二边界轮廓b包括至少一个曲线轮廓分部c；同一曲线轮廓分部c中，任意两点的切平面位于曲线轮廓分部c的同一侧。

具体的，第一边界轮廓a中的同一曲线轮廓分部c中，任意两点的切平面位于曲线轮廓分部c的同一侧，也就是说，曲线轮廓分部c可以是“向上凸的圆弧状”，还可以是“向下凹的圆弧状”。进一步的，沿第二方向X相邻的两个曲线轮廓分部c包括第一曲线轮廓分部c1和第二曲线轮廓分部c2，第一曲线轮廓分部c1中任一点的切平面和第二曲线轮廓分部c2中任一点的切平面分别位于曲线轮廓分部c的不同侧，也就是多个曲线轮廓分部c连接形成类似“波浪状”的第一边界轮廓a。可以理解的是，第二边界轮廓b包括至少一个曲线轮廓分部c，同一曲线轮廓分部c中，任意两点的切平面位于曲线轮廓分部c的同一侧，即第二边界轮廓b中的曲线轮廓分部c可以是“向上凸的圆弧状”，还可以是“向下凹的圆弧状”。至少一个曲线轮廓分部c可以连接形成类似“波浪状”的第二边界轮廓b，进而可以实现对声表面波谐振器的多样化设计。

可以理解的是，图4仅示出了第二边界轮廓b包括一个曲线轮廓分部c的技术方案，当第二边界轮廓b包括多个曲线轮廓分部c时，同一曲线轮廓分部c中，任意两点的切平面位于曲线轮廓分部c的同一侧；沿第二方向X相邻的两个曲线轮廓分部c包括第一曲线轮廓分部和第二曲线轮廓分部，第一曲线轮廓分部中任一点的切平面和第二曲线轮廓分部中任一点的切平面分别位于曲线轮廓分部的不同侧，也就是多个曲线轮廓分部c连接形成类似“波浪状”的第二边界轮廓b。

示例性的，沿第二方向X，第一边界轮廓a中的第一曲线轮廓分部c1和第二曲线轮廓分部c2可以依次交替设置，可以理解的是，当第二边界轮廓b中包括多个曲线轮廓分部c时，第二边界轮廓b中的第一曲线轮廓分部和第二曲线轮廓分部也可以依次交替设置，如此能够保证沿第二方向X，第一曲线轮廓分部和第二曲线轮廓分部呈周期性设置，如此设置能够实现对声表面波谐振器的多样化设计。

综上，本发明实施例提供的声表面波谐振器，通过将第一分部的第一短指与第二分部中的第二短指设置为不对称结构，如此能够造成孔径突变，使沿第一方向传播的横波被反射回声表面波谐振器中，进而能够减少声波泄露，提高Q值，进而提高声表面波谐振器的性能。此外，通过对第一分部以及第二分部中的短指进行图案化设置，能够实现对声表面波谐振器的多样化设计。

基于同样的发明构思，本发明实施例还提供了一种滤波器，包括上述实施例中的声表面波谐振器，因此本发明实施例提供的滤波器也具备上述实施例所描述的有益效果，此处不再赘述。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括叉指区；

所述叉指区包括第一分部和第二分部，沿第一方向，所述第一分部和所述第二分部分别位于所述叉指区的两侧；

所述第一分部包括至少一个第一子分部，所述第一子分部包括多个第一短指和多个第一长指，所述第一短指与所述第一长指均沿所述第一方向延伸且沿第二方向依次交替设置；所述第一方向与所述第二方向相交；

所述第二分部包括至少一个第二子分部，所述第二子分部包括多个第二短指和多个第二长指，所述第二短指与所述第二长指均沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向依次交替设置；

所述第一分部与所述第二分部关于所述叉指区的中心轴非对称设置；所述中心轴经过所述叉指区的中心且沿第二方向延伸。

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一分部包括i个第一子分部，所述第二分部包括j个第二子分部；

其中，i和j均为正整数且i≠j。

3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一分部包括多个第一子分部，所述第二分部包括多个第二子分部；

任意两个第一子分部中所述第一短指的数量以及设置方式相同，任意两个第二子分部中所述第二短指的数量以及设置方式相同。

4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一分部包括至少两个第一子分部，同一所述第一子分部中所述第一短指在所述第一方向上的延伸长度相同；存在两个所述第一子分部中的所述第一短指在所述第一方向上的延伸长度不同；所述第二分部包括至少两个第二子分部，同一所述第二子分部中所述第二短指在所述第一方向上的延伸长度相同；存在两个所述第二子分部中的所述第二短指在所述第一方向上的延伸长度不同。

5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一子分部包括靠近所述中心轴一侧的第一边界轮廓，所述第一边界轮廓覆盖所述第一短指靠近所述中心轴一侧的端部；

所述第二子分部包括靠近所述中心轴一侧的第二边界轮廓，所述第二边界轮廓覆盖所述第二短指靠近所述中心轴一侧的端部；

所述第一边界轮廓包括延伸方向与所述第一方向和所述第二方向均相交的第一轮廓分部，所述第二边界轮廓包括延伸方向与所述第一方向和所述第二方向均相交的第二轮廓分部。

6.根据权利要求5所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一边界轮廓包括多个第一轮廓分部，沿所述第二方向，任意接触连接的两个所述第一轮廓分部的延伸方向相交；

所述第二边界轮廓包括多个第二轮廓分部，沿所述第二方向，任意接触连接的两个所述第二轮廓分部的延伸方向相交。

7.根据权利要求6所述的声表面波谐振器，其特征在于，沿所述第二方向接触连接且延伸方向相交的两个所述第一轮廓分部的斜率分别为K1和K2；

沿所述第二方向接触连接且延伸方向相交的两个所述第二轮廓分部的斜率分别为K3和K4；

其中，K1＝-K2且K3＝-K4。

8.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，0.5≤|K1|≤2，0.5≤|K2|≤2；0.5≤|K3|≤2，0.5≤|K4|≤2。

9.根据权利要求5所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一边界轮廓包括多个曲线轮廓分部；

同一所述曲线轮廓分部中，任意两点的切平面位于所述曲线轮廓分部的同一侧；沿所述第二方向相邻的两个所述曲线轮廓分部包括第一曲线轮廓分部和第二曲线轮廓分部，所述第一曲线轮廓分部中任一点的切平面和所述第二曲线轮廓分部中任一点的切平面分别位于所述曲线轮廓分部的不同侧；

所述第二边界轮廓包括至少一个曲线轮廓分部；

同一所述曲线轮廓分部中，任意两点的切平面位于所述曲线轮廓分部的同一侧。

10.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的声表面波谐振器。