JP2013179558A - 弾性表面波素子および弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波素子および弾性表面波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013179558A JP2013179558A JP2012137745A JP2012137745A JP2013179558A JP 2013179558 A JP2013179558 A JP 2013179558A JP 2012137745 A JP2012137745 A JP 2012137745A JP 2012137745 A JP2012137745 A JP 2012137745A JP 2013179558 A JP2013179558 A JP 2013179558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- saw
- bus bar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
【解決手段】 圧電基板と、該圧電基板の上面に位置するIDT電極とを備えた弾性表面波素子である。IDT電極5は、交差幅重み付けが施されており、複数の第1電極指7の先端を結ぶ第1包絡線23が第1電極指1本毎に交互に逆側へ屈曲するジグザグ状であり、複数の第2電極指8の先端を結ぶ第2包絡線24が第2電極指1本毎に交互に逆側へ屈曲するジグザグ状である。
【選択図】図1
Description
装置に関する。
とを有する弾性表面波素子が知られている。IDT電極は、一対の櫛歯電極を有している。各櫛歯電極は、例えば、弾性表面波(以下「SAW」と略記することがある)の伝搬方向に延びるバスバーと、バスバーからSAWの伝搬方向に直交する方向に延びる複数の電極指とを有しており、一対の櫛歯電極は、複数の電極指が互いに噛み合うように(互いに交差するように)配置される。
1電極指1本毎に交互に逆側へ屈曲するジグザグ状であり、前記複数の第2電極指の先端を結ぶ第2包絡線が前記第2電極指1本毎に交互に逆側へ屈曲するジグザグ状である。
図1は本発明の実施形態に係るSAW素子1の要部の平面図である。図2は図1の領域IIの拡大図である。また、図3は図2のIII−III線における断面図である。
より好適には、圧電基板3は、128°±10°Y−XカットのLiNbO3基板によって構成されている。圧電基板3の平面形状および各種寸法は適宜に設定されてよい。一例として、圧電基板3の厚み(z方向の寸法)は、0.2〜0.5mmである。
向している。同様に、第2ダミー電極指14の先端は、第2電極指8の先端と第2ギャップG2を介して対向している。
T電極5の各種寸法は、SAW素子1に要求される電気特性などに応じて適宜に設定される。一例として、IDT電極5の厚みe(図3)は、100〜300nmである。
きなばらつきが生じることとなる。したがって、保護層11の表面を平坦にしておけば、各弾性表面波素子の共振周波数が安定化する。具体的には、保護層11の表面の平坦度を、圧電基板3上を伝搬するSAWの波長の1%以下とすることが望ましい。
射器6となる導電層15、ならびに質量付加膜9となる付加層17が形成される。具体的には、まず、スパッタリング法、蒸着法またはCVD(Chemical Vapor Deposition:化
学的気相堆積)法などの薄膜形成法によって、上面3a上に導電層15が形成される。次に、同様の薄膜形成法によって、付加層17が形成される。
図5は、上述したSAW素子1を用いて作製したSAW装置51の例を示す断面図である。
子20と実装用パッド55は、半田57によって接着される。その後、SAW素子31は封止部材59によって封止される。封止部材59は、例えば、樹脂からなる。
図7(a)および図7(b)は、SAWの伝搬損失の評価方法を説明する図である。
最大位相θmaxとなる。
図8は、図2に示した2つの包絡線間の距離dを変えていったときのSAW素子の伝搬損失の評価結果を示すグラフである。なお、グラフ中の一点鎖線は、隣接するギャップG同士の伝搬方向における重なりがなくなるときであり、このときのdの値は0.59μmである。
図9にスプリアス抑制効果の評価結果を示す。図9のグラフは、共振子としてのSAW素子のインピーダンスZの位相θについて、最大位相θmax付近を拡大して示すものである。評価は、交差幅重み付けが施されていないノーマルタイプの電極構造(電極指の交差領域が長方形状)のSAW素子、図6に示す電極構造からなる比較例のSAW素子、図1に示す電極構造からなる実施例のSAW素子の3種類のSAW素子を比較することにより行った。なお、図9において、細線はノーマルタイプのSAW素子、破線は比較例のSAW素子、二点鎖線は実施例のSAW素子についての結果である。
図1に示す電極構造からなる実施例のSAW素子と図6に示す電極構造からなる比較例のSAW素子とで電気的な特性が同等になるようにした状態におけるサイズの比較を行っ
た。具体的には、実施例のSAW素子と比較例のSAW素子とでIDT電極に形成される容量を等しくした場合にSAW素子を形成するのに必要となる領域の面積(占有面積)を比較した。
極5の材料は、AlおよびAlを主成分とする合金に限定されず、例えば、Cu、Ag、Au、Pt、W、Ta、Mo、Ni、Co、Cr、Fe、Mn、Zn、Tiであってもよい。また保護層の材料は、SiO2に限定されず、例えば、SiO2以外の酸化珪素であてもよい。
3・・・圧電基板
5・・・IDT電極
6・・・反射器
7・・・第1電極指
8・・・第2電極指
9・・・質量付加膜
13・・・第1ダミー電極指
14・・・第2ダミー電極指
21・・・第1バスバー
22・・・第2バスバー
23・・・第1包絡線
24・・・第2包絡線
Claims (4)
- 圧電基板と、該圧電基板の上面に位置するIDT電極とを備えた弾性表面波素子であって、
前記IDT電極は、
前記圧電基板の上面を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に直交する方向において互いに対向するように前記圧電基板の上面に位置している第1バスバーおよび第2バスバーと、
前記第1バスバーから前記第2バスバーに向かって延び、前記伝搬方向に配列された複数の第1電極指と、
前記第2バスバーから前記第1バスバーに向かって延び、前記第1電極指と交互になるように前記伝搬方向に配列された複数の第2電極指と、
前記第1バスバーから前記第2バスバーに向かって延び、前記伝搬方向に配列された、先端が前記複数の第2電極指の先端と第1ギャップを介して対向している複数の第1ダミー電極指と、
前記第2バスバーから前記第1バスバーに向かって延び、前記伝搬方向に配列された、先端が前記複数の第1電極指の先端と第2ギャップを介して対向する複数の第2ダミー電極指とを有し、
前記IDT電極は、交差幅重み付けが施されており、前記複数の第1電極指の先端を結ぶ第1包絡線が前記第1電極指1本毎に交互に逆側へ屈曲するジグザグ状であり、前記複数の第2電極指の先端を結ぶ第2包絡線が前記第2電極指1本毎に交互に逆側へ屈曲するジグザグ状である弾性表面波素子。 - 前記IDT電極は、前記弾性表面波の伝搬方向に沿った方向の中心から端に向かうにつれて前記第1包絡線と前記第2包絡線とが互いに近づくように交差幅重み付けが施されている請求項1に記載の弾性表面波素子。
- 隣接する前記第1ギャップ同士は、前記弾性表面波の伝搬方向において互いに重ならない位置にあり、
隣接する前記第2ギャップ同士は、前記弾性表面波の伝搬方向において互いに重ならない位置にある請求項1または2に記載の弾性表面波素子。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の弾性表面波素子と、
該弾性表面波素子が実装された回路基板とを備える弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012137745A JP5882842B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-06-19 | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012017957 | 2012-01-31 | ||
JP2012017957 | 2012-01-31 | ||
JP2012137745A JP5882842B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-06-19 | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013179558A true JP2013179558A (ja) | 2013-09-09 |
JP5882842B2 JP5882842B2 (ja) | 2016-03-09 |
Family
ID=49270812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012137745A Active JP5882842B2 (ja) | 2012-01-31 | 2012-06-19 | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5882842B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02170610A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2004537235A (ja) * | 2001-07-24 | 2004-12-09 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 障害励振の抑圧を改善した表面波トランスデューサ |
JP2006157307A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2007019710A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
WO2007108269A1 (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波共振子 |
JP2009219045A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波共振子及び弾性波デバイス |
-
2012
- 2012-06-19 JP JP2012137745A patent/JP5882842B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02170610A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-02 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
JP2004537235A (ja) * | 2001-07-24 | 2004-12-09 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 障害励振の抑圧を改善した表面波トランスデューサ |
JP2006157307A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
JP2007019710A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
WO2007108269A1 (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波共振子 |
JP2009219045A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 弾性波共振子及び弾性波デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5882842B2 (ja) | 2016-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7103528B2 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5931868B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP5562441B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP6352971B2 (ja) | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 | |
JP5833102B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
US20220216846A1 (en) | Acoustic wave device | |
WO2012102131A1 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP5815383B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
WO2021060509A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6756722B2 (ja) | 弾性波素子および弾性波装置 | |
JP5083469B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP5859355B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP6767497B2 (ja) | 弾性波素子 | |
WO2021060510A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5751887B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
JP5872196B2 (ja) | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 | |
CN116868508A (zh) | 弹性波装置 | |
JP5882842B2 (ja) | 弾性表面波素子および弾性表面波装置 | |
WO2020184622A1 (ja) | 弾性波装置 | |
WO2018042964A1 (ja) | 弾性波装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5882842 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |