JPS6231212A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は圧電性基板上に複数個の入力および出力電極を
形成して成る弾性表面波装置に関する。

〔発明の背景〕

弾性表面波装置の一方の電極が”くし形°特性を有する
電極を複数個組み合せた構成としたものについては１日
本学術振興会弾性波デバイス小委員会の第１１回研究会
資料により述べられており、特に周波数特性の肩付近の
特性のシャープさ、いわゆる矩形性と帯域外特性の向上
に関して有効である事がうかがえる。ここで、′くシ形
“周波数特性は電極の中心間距離によって決定される。

前記従来技術においては各々の電極が弾性表面波の伝搬
路を完全に共有している事から、あるくし形周波数特性
を与える１組の電極内に他のくし形周波数特性を与える
電極の組が１組あるいはそれ以上存在し、その電極によ
る表面波の反射から位相特性が乱れ、かつ、帯域内の周
波数特性にリップルを生ずる場合がある。

また、電極の設計においても、電極の無い自由表面部分
と電極のある部分で表面波の音速が異なり、特に電極の
組み合せ個数が多い場合の音速補正は複雑であυ、その
狂いが周波数特性に犬きく影響する。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記した従来技術の欠点をなくし、く
し彫物性を有する電極配置の改良により、不要波の低減
および、設計時における複雑な音速補正を不要とする弾
性表面波装置を提供する。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するために本発明においてはくし彫物性
を示す複数個の電極組よシ構成される電極を互いに伝搬
路を共有しない２つ以上の群に分けた。

すなわち弾性表面波は、電極の左右両方向に発生し、電
極の交差幅が電極内において一定の場合１表面波のエネ
ルギーは伝搬方向罠一様となる事から、該くし彫物性を
示す複数個の電極組を２つに分割して、他の電極の左右
に置く。

あるいは、くし彫物性を示す複数個の電極組を２つ以上
に分割し、互いに伝搬路を共有しないように配置するこ
ととした。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図において、１は入力電極、２はシールド電極、３
は第１のくし形層波数特性を有する電極対数Ｎ、の出力
電極、４は第２のくし彫物性を有する電極対数ＮＢの出
力電極であり、これらが５の弾性表面波を伝搬する基板
上に設けられて成る弾性表面波装置を示している。

入力電極１に加えられた電気信号は表面波に変換され、
入力電極１の左右両方向（図中α、ｂ）に伝わる。入力
電極１の右側に伝搬される表面波αは、電極の中心間距
離ΔＸ、を持つ出力電極３で電気信号に変換され、その
時のくし形層波数特性は電極対数ＮＡと距離ΔＸ、で決
定される。

また、入力電極１の左側に伝搬される表面波すは中心間
距離ｌｑを持つ出力電極４で電気信号に変換され、くし
形層波数特性は電極対数ＮＥと距離Δｘ２で決定される
。

ここで、出力電極３と４の電気的結線によって取り出さ
れる弾性表面波装置の周波数特性は出力電極３と出力電
極４の各々の周波数特性の和で表わされる。

次に本発明の他の実施例を第２図によシ説明する。

第２図において１１は入力電極、１２はシールド電極、
１３は第１のくし形層波数特性を有する電極対数Ｎｃの
出力電極、１４は第２のくし形層波数特性を有する電極
対数Ｎｄの出力電極であシ、これらが１５の弾性表面波
を伝搬する基板上に設けられた弾性表面波装置を示して
いる。

入力電極１１の交差幅が一定である事から、入力電極１
１から放射される表面波は伝搬方向に対して一様となる
。ここで出力電極１３の出力周波数特性は中心間距離Δ
匂と電極対数Ｎｃで決まシ同様に出力電極１４の出力周
波数特性は中心間距離Δｘ４と電極対数Ｎｄから決るく
し形層波数特性であり、出力電極１３と出力電極１４の
電気的結線によって取フ出される弾性表面波装置の周波
数特性は、出力電極１３と出力電極１４の周波数特性の
和で表わされる。

以上述べた実施例において、各々のくし形層波数特性を
示す出力電極３，４．１３および１４は弾性表面波の伝
搬路を共有せず、他のくし形層波数特性を示す電極の影
響を押える事ができる。

すなわち従来方法では、設計により与えられた電極のく
し形層波数特性に他の電極による反射波が入シ、それら
が不要なリップルとなって発生するおそれがあった。

また、従来方法ではくし形層波数特性を持つ一組の出力
電極に対し、他のくし形層波数特性を持つ電極の有無に
よって表面波の音速な異なシ、複雑な音速の補正を必要
としていたが本実施例においては各々のくし形層波数特
性を単独で扱えるため、複雑な音速の補正を必要としな
い。

尚、本発明は外側電極が第１および第２のくし彫物性を
持つ場合に関して述べているが、くし彫物性の組み合せ
個数は任意の値にできる。

また、第３図に示す２２のマルチストリップカプラを用
いても本発明と同様の効果は得られ、さらに第１図〜第
３図の各々を組み合せても良い事は言うまでもない。

上記の実施例では、くシ形特性を示す１つの電極組は、
他のくし彫物性を示す電極組と必ず伝搬路を分けていた
が、くシ形特性を示す電極組が多い場合は、数組毎九一
つの群となして。

その群の中では伝搬路を共有させ、他の群との間では伝
搬路を共有しない様にしても良く、上記実施例に近い効
果が挙げ得る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、くシ形周波数特性を示す各電極組が互
いに同一伝搬路上に無い、もしくは同一伝搬路上の電極
組の数が少ないため、他の電極の反射波等によるリップ
ルを抑えられる。

また、くし形層波ａ％性を示す各電極組が互に同一伝搬
路上に無い場合、くし形層波数特性を与えろ１組の電極
間はすべて自由表面となり音速一定である事から音速の
補正を必要としない。すなわち音速補正時の誤差がなく
なるため設計値通シの周波数特性を得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図および
第３図は本発明の他の実施例を示す平面図である。 １．１１．２１・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・入力電極２．１２・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・−・・・・・・・・シールド３
、４．１３．１４．２３．２４・・・・・・くし彫物性
を有する出力電極 ２２・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・マルチストリップカ
プラ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、圧電性基板上に入力電極および出力電極を設けて成
   る弾性表面波装置において、前記入力電極または出力電
   極の少なくとも一方の電極がくし形周波数特性を示す複
   数個の電極組により構成され、かつ、該、くし形周波数
   特性を示す複数個の電極組により構成される電極が、前
   記弾性表面波装置の他方の電極の片側の弾性表面波伝搬
   路上では互いに伝搬路を共有しない２つ以上の群より成
   ることを特徴とする弾性表面波装置。 ２、圧電性基板上に入力電極および出力電極を設けて成
   る弾性表面波装置において、前記入力電極と出力電極が
   マルチストリップカプラを介して成る特許請求の範囲第
   １項記載の弾性表面波装置。