JPS5931246B2 - ヒヨウメンハソシ - Google Patents
ヒヨウメンハソシInfo
- Publication number
- JPS5931246B2 JPS5931246B2 JP14887575A JP14887575A JPS5931246B2 JP S5931246 B2 JPS5931246 B2 JP S5931246B2 JP 14887575 A JP14887575 A JP 14887575A JP 14887575 A JP14887575 A JP 14887575A JP S5931246 B2 JPS5931246 B2 JP S5931246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface wave
- electrode
- waves
- unnecessary
- comb
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面波を利用した表面波フィルタの如き表面波
素子に係わる。
素子に係わる。
この種表面波素子は、例えば第１図に示す如く、表面波
伝播媒質、即ち圧電体基体１上に、夫々対の櫛歯電極が
交互に対向配置されてなる入力電極２と出力電極３とが
被着形成され両電極２及び３間に接地電極４が配置され
て成る。
伝播媒質、即ち圧電体基体１上に、夫々対の櫛歯電極が
交互に対向配置されてなる入力電極２と出力電極３とが
被着形成され両電極２及び３間に接地電極４が配置され
て成る。
この種表面波素子に於いては、その電極２及び３の各対
の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ犬となして入力電極
２によって励起発生した表面波のうち、直接出力電極３
に向う有効表面波のエネルギーを犬とし、他方向に回折
によって拡がる不要表面波の反射による不要波の影響を
できるだけ小さくするようにしている。
の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ犬となして入力電極
２によって励起発生した表面波のうち、直接出力電極３
に向う有効表面波のエネルギーを犬とし、他方向に回折
によって拡がる不要表面波の反射による不要波の影響を
できるだけ小さくするようにしている。
ところがこのように櫛歯電極の対向幅Ｗを犬とすると、
特に、例えばＰＺＴ（チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固
溶体）系の圧電セラミックのようにその誘電率εが１０
００前後という高誘電率を有する表面波伝播媒質を用い
た表面波素子では、そのインピーダンスが低く外部回路
の負担が大きくなる。
特に、例えばＰＺＴ（チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固
溶体）系の圧電セラミックのようにその誘電率εが１０
００前後という高誘電率を有する表面波伝播媒質を用い
た表面波素子では、そのインピーダンスが低く外部回路
の負担が大きくなる。
そこで、このような圧電セラミックを用いた表面波素子
ではそのインピーダンスを高めるためには、櫛歯電極の
対向幅Ｗはできるだけ小さくすることが望まれる。
ではそのインピーダンスを高めるためには、櫛歯電極の
対向幅Ｗはできるだけ小さくすることが望まれる。
今、圧電セラミックを用いて１０、７ Ｍ Ｈｚの表面
波フィルタについて述べると、この場合櫛歯電極の対向
幅Ｗが１．５ｍｍ以上である場合は本来の伝搬路を伝わ
る表面波のエネルギーが大きいため不要表面波による影
響は殆んど問題にならないが、この幅Ｗを１．Ｏｉｘｍ
以下とすると不要表面波による影響が大となってくる。
波フィルタについて述べると、この場合櫛歯電極の対向
幅Ｗが１．５ｍｍ以上である場合は本来の伝搬路を伝わ
る表面波のエネルギーが大きいため不要表面波による影
響は殆んど問題にならないが、この幅Ｗを１．Ｏｉｘｍ
以下とすると不要表面波による影響が大となってくる。
これは回折により広がった表面波が音響インピーダンス
の不整合部即ち各電極２，３及び４の縁部、特にほぼ表
面波伝播方向（本明細書でいう表面波伝播方向とは本来
の表面波を伝播させるべき方向を指称し、両電極２及び
３を結ぶ方向をいう）に沿って延在する両外側縁部２
ａ 、２ ｂ、３ ａ 、３ ｂ及び４ ａ ５４ ｂ
においての反射が特に大きく影響しているのである。
の不整合部即ち各電極２，３及び４の縁部、特にほぼ表
面波伝播方向（本明細書でいう表面波伝播方向とは本来
の表面波を伝播させるべき方向を指称し、両電極２及び
３を結ぶ方向をいう）に沿って延在する両外側縁部２
ａ 、２ ｂ、３ ａ 、３ ｂ及び４ ａ ５４ ｂ
においての反射が特に大きく影響しているのである。
第２図ないし第８図は夫々表面波速度が２３００ｍ／
Ｓｅｅの圧電セラミックによる基体１を用いた’ １
０．７ ＭＨｚの表面波フィルタの特性（各周波数−減
衰利得）を示すもので、第２図は対向幅Ｗが２．５ｍ−
距離ｄが５５０μｍの場合、第３図は、対向幅Ｗが１．
７間、距離ｄが５５０μｍの場合、第４図は対向幅Ｗが
１．５朋、距離ｄが５５０μｍの場合、第５図は対向幅
Ｗが１．０ｍ−距離ｄが５５０μｍの場合、第６図は対
向幅Ｗが０．７ ｍｍ、距離ｄが５５０μｍの場合の各
特性で、第７図は対向幅Ｗが１．０ｍ１Ｌ、距離ｄが６
００ μｍの場合、第８図は対向幅Ｗが０．７ ｍｙｙ
ｔ、距離ｄが７５０μｍの場合の各特性で、これら特性
より明らかなように対向幅Ｗが１ｍｍ以下では、距離ｄ
が５５０μｍのものでは第５図及び第６図中破線で囲ん
で示したように回折・反射の影響ができてさて、理論通
りの特性が得られず、第１図及び第８図に示す如く対向
幅Ｗを１ｍ痣下としてもその距離ｄを表面波の１波長の
３倍及び之に以上に選定したものにあっては、不要波に
よる影響が取り除かれていることがわかる。
Ｓｅｅの圧電セラミックによる基体１を用いた’ １
０．７ ＭＨｚの表面波フィルタの特性（各周波数−減
衰利得）を示すもので、第２図は対向幅Ｗが２．５ｍ−
距離ｄが５５０μｍの場合、第３図は、対向幅Ｗが１．
７間、距離ｄが５５０μｍの場合、第４図は対向幅Ｗが
１．５朋、距離ｄが５５０μｍの場合、第５図は対向幅
Ｗが１．０ｍ−距離ｄが５５０μｍの場合、第６図は対
向幅Ｗが０．７ ｍｍ、距離ｄが５５０μｍの場合の各
特性で、第７図は対向幅Ｗが１．０ｍ１Ｌ、距離ｄが６
００ μｍの場合、第８図は対向幅Ｗが０．７ ｍｙｙ
ｔ、距離ｄが７５０μｍの場合の各特性で、これら特性
より明らかなように対向幅Ｗが１ｍｍ以下では、距離ｄ
が５５０μｍのものでは第５図及び第６図中破線で囲ん
で示したように回折・反射の影響ができてさて、理論通
りの特性が得られず、第１図及び第８図に示す如く対向
幅Ｗを１ｍ痣下としてもその距離ｄを表面波の１波長の
３倍及び之に以上に選定したものにあっては、不要波に
よる影響が取り除かれていることがわかる。
尚、ここに各電極２及び３の各櫛歯電極の内側の縁部２
ｃ 、２ｄ及び３ ｃ 、３ ｄは、これが櫛歯による
ジグザグパターンを有しているので、この縁部において
は、不要波が散乱されるので、之による影響は殆んどな
い。
ｃ 、２ｄ及び３ ｃ 、３ ｄは、これが櫛歯による
ジグザグパターンを有しているので、この縁部において
は、不要波が散乱されるので、之による影響は殆んどな
い。
上述したように、表面波素子においてその電極の実効部
分即ち櫛歯電極の対向部分から外側縁までの距離ｄを、
伝播させるべき表面波の波長の３倍以上とするときは、
不要波の影響を回避することができるが、本発明はこの
ような構成とすることなく或いは、この構成とし更に不
要波の影響を確実に除去することができるようにした表
面波素子を提供せんとするものである。
分即ち櫛歯電極の対向部分から外側縁までの距離ｄを、
伝播させるべき表面波の波長の３倍以上とするときは、
不要波の影響を回避することができるが、本発明はこの
ような構成とすることなく或いは、この構成とし更に不
要波の影響を確実に除去することができるようにした表
面波素子を提供せんとするものである。
即ち、本発明においては、表面波伝播媒質、即ち圧電基
体上に被着された電極のほぼ表面波伝播方向に沿って延
在する外縁部に表面波の散乱手段を設ける。
体上に被着された電極のほぼ表面波伝播方向に沿って延
在する外縁部に表面波の散乱手段を設ける。
第９図を参照して本発明の詳細な説明するに、第１図と
対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する
。
対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する
。
本発明においては、電極２，３，４の各外側縁の電極端
面２ ａ ｔ ２ ｂ、３ａｊ３ｂ、４ ａ 、４ ｂ
を鋸歯状のジグザグ又は波状のパターンとして、ここで
、不要表面波を散乱させる手段５を形成する。
面２ ａ ｔ ２ ｂ、３ａｊ３ｂ、４ ａ 、４ ｂ
を鋸歯状のジグザグ又は波状のパターンとして、ここで
、不要表面波を散乱させる手段５を形成する。
この場合の周波数特性は第１０図に示す如く不要波の影
響が除去されている。
響が除去されている。
第１１図はこの手段５を設けない場合の周波数特性を示
したものである。
したものである。
即ち、本発明においては電極２，３，４の各外側縁が表
面波伝播方向に沿わざるようにしたもので、この場合鋸
歯状パターンの波形の波長は伝播表面波の波長と同等な
いしは２以下に選定する。
面波伝播方向に沿わざるようにしたもので、この場合鋸
歯状パターンの波形の波長は伝播表面波の波長と同等な
いしは２以下に選定する。
又、第１２図に示すように、対向幅Ｗの短かい櫛歯電極
を複数段シリーズに重ねてインピーダンスを高（し、挿
入損を減らすようにした表面波フィルタに本発明を適用
することもでき、この場合にも回折反射の影響を除去す
ることができる。
を複数段シリーズに重ねてインピーダンスを高（し、挿
入損を減らすようにした表面波フィルタに本発明を適用
することもでき、この場合にも回折反射の影響を除去す
ることができる。
尚、この例のように、各電極の内側縁においても複数の
櫛歯が対向し、その伝播方向に沿う直線部分が比較的長
い部分においては手段５を設けることが望ましい。
櫛歯が対向し、その伝播方向に沿う直線部分が比較的長
い部分においては手段５を設けることが望ましい。
上述の如く本発明によれば、各電極２，３，４の少くと
も各外側縁２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂに不要
波の散乱手段５を設けたことによって、不要波の影響を
効果的に回避できるので櫛歯電極の対向幅Ｗを十分小と
なして、インピーダンスの増大化を図ることができる。
も各外側縁２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂに不要
波の散乱手段５を設けたことによって、不要波の影響を
効果的に回避できるので櫛歯電極の対向幅Ｗを十分小と
なして、インピーダンスの増大化を図ることができる。
したがって電極の櫛歯の対向部分から外側縁までの距離
ｄを波長の３倍に選定する要はなく全体の小型化をはか
ることができる。
ｄを波長の３倍に選定する要はなく全体の小型化をはか
ることができる。
尚、必要に応じて入力及び出力電極の相対向する側とは
反対側の即ち基体１０表面波伝播方向の両端部に図示し
ないが通常の如く、不要波の吸収材を被着するようにな
すこともできる。
反対側の即ち基体１０表面波伝播方向の両端部に図示し
ないが通常の如く、不要波の吸収材を被着するようにな
すこともできる。
第１図は従来の表面波素子の路線的上面図、第２図ない
し第８図は夫々その説明に供する周波数−減衰利得特性
曲線図、第９図は本発明による表面波素子の一例の路線
的上面図、第１０図及び第１１図はその説明に供する周
波数−減衰利得特性曲線図、第１２図は本発明素子の他
の例の路線的上面図である。 １は表面波伝播媒質としての圧電基体、２は入力電極、
２ａ及び２ｂはその外側縁、２ｃ及び２ｄはその内側縁
、３は出力電極、３ａ及び３ｂはその外側縁、３ｃ及び
３ｄはその内側縁、４は接地電極、４ａ及び４ｂはその
外側縁、５は不要波散乱手段である。
し第８図は夫々その説明に供する周波数−減衰利得特性
曲線図、第９図は本発明による表面波素子の一例の路線
的上面図、第１０図及び第１１図はその説明に供する周
波数−減衰利得特性曲線図、第１２図は本発明素子の他
の例の路線的上面図である。 １は表面波伝播媒質としての圧電基体、２は入力電極、
２ａ及び２ｂはその外側縁、２ｃ及び２ｄはその内側縁
、３は出力電極、３ａ及び３ｂはその外側縁、３ｃ及び
３ｄはその内側縁、４は接地電極、４ａ及び４ｂはその
外側縁、５は不要波散乱手段である。
Claims (1)
- １ 表面波伝播媒質上に被着された電極の表面波伝播方
向に沿う電極端面を上記表面波伝播方向に非平行に形成
して不要波の散乱手段とした表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14887575A JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14887575A JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12575983A Division JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
| JP916584A Division JPS59139714A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 表面波素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5272137A JPS5272137A (en) | 1977-06-16 |
| JPS5931246B2 true JPS5931246B2 (ja) | 1984-08-01 |
Family
ID=15462665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14887575A Expired JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931246B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0120702Y2 (ja) * | 1984-10-18 | 1989-06-21 | ||
| WO2021024769A1 (ja) | 2019-08-05 | 2021-02-11 | 田中貴金属工業株式会社 | 金粉末及び該金粉末の製造方法並びに金ペースト |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59200519A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-13 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振器 |
| JPS63272214A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 弾性表面波装置 |
| US4999535A (en) * | 1989-09-25 | 1991-03-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Saw transducer with improved bus-bar design |
| JP4556442B2 (ja) * | 2004-02-20 | 2010-10-06 | 凸版印刷株式会社 | 弾性表面波素子 |
-
1975
- 1975-12-12 JP JP14887575A patent/JPS5931246B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0120702Y2 (ja) * | 1984-10-18 | 1989-06-21 | ||
| WO2021024769A1 (ja) | 2019-08-05 | 2021-02-11 | 田中貴金属工業株式会社 | 金粉末及び該金粉末の製造方法並びに金ペースト |
| KR20220019787A (ko) | 2019-08-05 | 2022-02-17 | 다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤 | 금 분말 및 해당 금 분말의 제조 방법 그리고 금 페이스트 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5272137A (en) | 1977-06-16 |
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