JPS5925411A - 表面波素子 - Google Patents
表面波素子Info
- Publication number
- JPS5925411A JPS5925411A JP12575983A JP12575983A JPS5925411A JP S5925411 A JPS5925411 A JP S5925411A JP 12575983 A JP12575983 A JP 12575983A JP 12575983 A JP12575983 A JP 12575983A JP S5925411 A JPS5925411 A JP S5925411A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface wave
- width
- effect
- comb
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面波を利用した表面波フィルタの如き表面波
素子に係わる。
素子に係わる。
この稍表面波素子は、例えば第１図に示す如く、表面波
伝播媒質、即ち圧電体基体（１）上に、夫々対の櫛歯電
極が交互に対向配置されてなる入力電極（２）と出力Ｎ
＆ （３）とが被着形成され両電極（２）及び（３）
間に接地電極（イ）が配置されて成る。
伝播媒質、即ち圧電体基体（１）上に、夫々対の櫛歯電
極が交互に対向配置されてなる入力電極（２）と出力Ｎ
＆ （３）とが被着形成され両電極（２）及び（３）
間に接地電極（イ）が配置されて成る。
この種表面波素子に於いては、その電極（２）及び（３
）の各対の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ大となして
入力電極（２）によって励起発生した表面波のうち、直
接出力電極（３）に向う有効表面波のエネルギーを大と
し、他方向に回折によって広がる不要表面波の反射によ
る不要波の影響をできるだけ小さくするようＫしている
。
）の各対の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ大となして
入力電極（２）によって励起発生した表面波のうち、直
接出力電極（３）に向う有効表面波のエネルギーを大と
し、他方向に回折によって広がる不要表面波の反射によ
る不要波の影響をできるだけ小さくするようＫしている
。
ところがこのように櫛歯電極の対向幅Ｗを大とすると、
特に、例えばＰＺＴ （チクン酸鉛とジルコン酸鉛との
固溶体）系の圧電セラミックのようにその誘電率εが１
０００前後という高誘ＴＵＬ率を有する表面波伝播媒質
を用いた表面波素子では、そのインピーダンスが低く外
部回路の負担が大きくなる。
特に、例えばＰＺＴ （チクン酸鉛とジルコン酸鉛との
固溶体）系の圧電セラミックのようにその誘電率εが１
０００前後という高誘ＴＵＬ率を有する表面波伝播媒質
を用いた表面波素子では、そのインピーダンスが低く外
部回路の負担が大きくなる。
そこで、このような圧電セラミックを用いた表面ｔＪＸ
素子ではそのインピーダンスを高めるためには、櫛歯電
極の対向幅Ｗはできるだけ小さくすることが望まれる。
素子ではそのインピーダンスを高めるためには、櫛歯電
極の対向幅Ｗはできるだけ小さくすることが望まれる。
今、圧電セラミックを用いて１０．７ ＭＨｚの表面波
フィルタについて述べると、この場合櫛爾［極の対向幅
Ｗが１，５朋以上である場合は本来の伝搬路を伝わる表
面波のエネルギーが犬きいため不要表面波による影響は
殆んど問題にならないが、この幅を１，０朋以下とする
と不要表面ｒＢＩＫよる影響が大となってくる。これは
回折により広がった表面波が音響インピーダンスの不整
合部即し各電極（２＋ （３）及び（４）の縁部、特に
ほぼ表面波伝播方向（水門Ｉ！］ｎ Ｉｆｔでいう表面
波伝播方向とは本来の表面波を伝ｔｌｆｆさせるべき方
向を指称し、両電極（２）及び（３）を結ぶ方向をい５
）に沿って延在する両外側縁部（２ａ）（２ｂ）、 （
３ａＸ３ｂ）及び（４ａ）（４ｂ）においての反射が特
に大きく影響しているのである。
フィルタについて述べると、この場合櫛爾［極の対向幅
Ｗが１，５朋以上である場合は本来の伝搬路を伝わる表
面波のエネルギーが犬きいため不要表面波による影響は
殆んど問題にならないが、この幅を１，０朋以下とする
と不要表面ｒＢＩＫよる影響が大となってくる。これは
回折により広がった表面波が音響インピーダンスの不整
合部即し各電極（２＋ （３）及び（４）の縁部、特に
ほぼ表面波伝播方向（水門Ｉ！］ｎ Ｉｆｔでいう表面
波伝播方向とは本来の表面波を伝ｔｌｆｆさせるべき方
向を指称し、両電極（２）及び（３）を結ぶ方向をい５
）に沿って延在する両外側縁部（２ａ）（２ｂ）、 （
３ａＸ３ｂ）及び（４ａ）（４ｂ）においての反射が特
に大きく影響しているのである。
本発明においては、上述したように、表面波伝播媒質上
舵、表面波の伝播方向に所定の間隔をおいて配され表面
波の伝播方向に対して直角方向に沿って延び所定の長さ
に渡って互いに対向するように交互に配された対の櫛保
電極を有して成る表面波素子において、各′ＦＩｆ極の
各櫛開部の先端と、互いに他の′Ｍ、極の各外側縁との
距離ｄを、表面波の波長の３倍以上に選定するものであ
る。
舵、表面波の伝播方向に所定の間隔をおいて配され表面
波の伝播方向に対して直角方向に沿って延び所定の長さ
に渡って互いに対向するように交互に配された対の櫛保
電極を有して成る表面波素子において、各′ＦＩｆ極の
各櫛開部の先端と、互いに他の′Ｍ、極の各外側縁との
距離ｄを、表面波の波長の３倍以上に選定するものであ
る。
第２図ないし第８図は夫々表面波辿度が２３００ルメｓ
ｅａの圧電セラミックによる基体（１）を用いた］、０
．７ＭＨｚ（波長２１５μｍ）の表面波フィルタの特性
（各周波数−減衰利得）を示すもので、第２図は対向１
いＷが２．５ｍｍ 、’距離ｄが５５０μＩ７１の場合
、第３図は、対向幅Ｗが１，７朋、距ｌｌ！ＩＩｄが５
５０ｕｎの場合、第４図は対向幅Ｗが１，５朋、距離ｄ
が５５０μｍの場合、第５図は対向幅Ｗが１．０朋、距
離ｄが５５０μｍ夏１の場合、第６図は対向幅Ｗが０．
７朋、距離ｄが５５０Ｉ１１ｎの場−合の各特性で、第
７図は対向幅Ｗが１．０ｍ＋＋ｔ−、距離（１が６００
μｍ（表面ｅ波長の約２．８倍）の場合、第８図は対向
幅Ｗが０．７ｍｒｔｈ、距離ｄが７５０μｔｎ （表面
波波長の約３．５倍）の場合の各特性で、こり、ら特性
より明らかなように対向幅Ｗが１ ｍｍ以下では、距離
（ｌが５５０μＩ１１のものでは第５図及び第６図中破
線で囲んで示したように回折・反射の影響がでてきて、
理論通りの特性が得られず、第７図及び第８図に示す如
く対向幅Ｗを１市以下としてもその距離ｄを表面波の１
ｆＪ＆艮の２．８倍以上とするとき、更１ｃ確宸性を
考えて３倍以上に選定したものにあっては、不要波によ
る影ケ１シが取り除かれるものであることがわかる。
ｅａの圧電セラミックによる基体（１）を用いた］、０
．７ＭＨｚ（波長２１５μｍ）の表面波フィルタの特性
（各周波数−減衰利得）を示すもので、第２図は対向１
いＷが２．５ｍｍ 、’距離ｄが５５０μＩ７１の場合
、第３図は、対向幅Ｗが１，７朋、距ｌｌ！ＩＩｄが５
５０ｕｎの場合、第４図は対向幅Ｗが１，５朋、距離ｄ
が５５０μｍの場合、第５図は対向幅Ｗが１．０朋、距
離ｄが５５０μｍ夏１の場合、第６図は対向幅Ｗが０．
７朋、距離ｄが５５０Ｉ１１ｎの場−合の各特性で、第
７図は対向幅Ｗが１．０ｍ＋＋ｔ−、距離（１が６００
μｍ（表面ｅ波長の約２．８倍）の場合、第８図は対向
幅Ｗが０．７ｍｒｔｈ、距離ｄが７５０μｔｎ （表面
波波長の約３．５倍）の場合の各特性で、こり、ら特性
より明らかなように対向幅Ｗが１ ｍｍ以下では、距離
（ｌが５５０μＩ１１のものでは第５図及び第６図中破
線で囲んで示したように回折・反射の影響がでてきて、
理論通りの特性が得られず、第７図及び第８図に示す如
く対向幅Ｗを１市以下としてもその距離ｄを表面波の１
ｆＪ＆艮の２．８倍以上とするとき、更１ｃ確宸性を
考えて３倍以上に選定したものにあっては、不要波によ
る影ケ１シが取り除かれるものであることがわかる。
尚、ここに各電接（２）及び（３）の各櫛歯電極の内側
の縁部（２ＣＸ２ｄ）及び（３Ｃ） （３ｄ）は、これ
が櫛門によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之による影
響は殆んとない。
の縁部（２ＣＸ２ｄ）及び（３Ｃ） （３ｄ）は、これ
が櫛門によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之による影
響は殆んとない。
上述したように、本発明忙おいては、表面波素子におい
てその電極の実効部分即ち櫛歯電極の対向部分から外側
縁までの距ＩｖＩ ｄを、伝播させるべき表面波の波長
の３倍以上とするもので、このとき、不要波の影響を回
避することができるが、必要に応じて更に不要波の影響
を確実に除去することができるように表面波伝播媒質、
即ち圧電基体上に一彼着された電極のほぼ表面波伝播方
向に沿って延在する外縁部に表面波の吸収若しくは散乱
手段を股←することもできる。
てその電極の実効部分即ち櫛歯電極の対向部分から外側
縁までの距ＩｖＩ ｄを、伝播させるべき表面波の波長
の３倍以上とするもので、このとき、不要波の影響を回
避することができるが、必要に応じて更に不要波の影響
を確実に除去することができるように表面波伝播媒質、
即ち圧電基体上に一彼着された電極のほぼ表面波伝播方
向に沿って延在する外縁部に表面波の吸収若しくは散乱
手段を股←することもできる。
第】図は本発明の説明に供する表面波素子の路線的上面
図、第２図ないし第８図は夫々その説明に供する周波数
−減衰利得曲線である。 （１）は表面波伝播媒質としての圧電基体、（２）は入
力’ａｑｔ、（２ａ）及び（２ｂ）はその外側縁、（２
ｃ）及び（２ｄ）はその内側縁、（３）は出方電極、（
３ａ）及び（３ｂ）はその外側縁、（３ｃ）及び（３ｄ
）はその内側縁、（４）は接地電棒、（４ａ）及び（４
１３）はその外側縁である。 第１図 第５図 第６図
図、第２図ないし第８図は夫々その説明に供する周波数
−減衰利得曲線である。 （１）は表面波伝播媒質としての圧電基体、（２）は入
力’ａｑｔ、（２ａ）及び（２ｂ）はその外側縁、（２
ｃ）及び（２ｄ）はその内側縁、（３）は出方電極、（
３ａ）及び（３ｂ）はその外側縁、（３ｃ）及び（３ｄ
）はその内側縁、（４）は接地電棒、（４ａ）及び（４
１３）はその外側縁である。 第１図 第５図 第６図
Claims (1)
- 表面波伝播媒質上に、表面波の伝播方向に所定の間隔を
おいて配され、上記表面波の伝播方向に対して直角方向
に沿って延び所定の長さに渡って互いに対向するよ５に
交互忙配された対の櫛ｒａ ’７１１極を有して成る表
面波素子において、各電極の各櫛歯部の先端と、互いに
他の電極の各外側縁との距離ｄを、」二記表面波の波長
の３倍以上に選定した表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12575983A JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12575983A JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14887575A Division JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925411A true JPS5925411A (ja) | 1984-02-09 |
| JPS6126246B2 JPS6126246B2 (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=14918111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12575983A Granted JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925411A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62127648U (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-13 | ||
| US11255257B2 (en) | 2017-08-28 | 2022-02-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Turbocharger |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50159228A (ja) * | 1974-06-12 | 1975-12-23 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12575983A patent/JPS5925411A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50159228A (ja) * | 1974-06-12 | 1975-12-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6126246B2 (ja) | 1986-06-19 |
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