JPS5925411A - 表面波素子 - Google Patents
表面波素子Info
- Publication number
- JPS5925411A JPS5925411A JP12575983A JP12575983A JPS5925411A JP S5925411 A JPS5925411 A JP S5925411A JP 12575983 A JP12575983 A JP 12575983A JP 12575983 A JP12575983 A JP 12575983A JP S5925411 A JPS5925411 A JP S5925411A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface wave
- width
- effect
- comb
- wavelength
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面波を利用した表面波フィルタの如き表面波
素子に係わる。
素子に係わる。
この稍表面波素子は、例えば第1図に示す如く、表面波
伝播媒質、即ち圧電体基体(1)上に、夫々対の櫛歯電
極が交互に対向配置されてなる入力電極(2)と出力N
& (3)とが被着形成され両電極(2)及び(3)
間に接地電極(イ)が配置されて成る。
伝播媒質、即ち圧電体基体(1)上に、夫々対の櫛歯電
極が交互に対向配置されてなる入力電極(2)と出力N
& (3)とが被着形成され両電極(2)及び(3)
間に接地電極(イ)が配置されて成る。
この種表面波素子に於いては、その電極(2)及び(3
)の各対の櫛歯電極の対向幅Wをできるだけ大となして
入力電極(2)によって励起発生した表面波のうち、直
接出力電極(3)に向う有効表面波のエネルギーを大と
し、他方向に回折によって広がる不要表面波の反射によ
る不要波の影響をできるだけ小さくするようKしている
。
)の各対の櫛歯電極の対向幅Wをできるだけ大となして
入力電極(2)によって励起発生した表面波のうち、直
接出力電極(3)に向う有効表面波のエネルギーを大と
し、他方向に回折によって広がる不要表面波の反射によ
る不要波の影響をできるだけ小さくするようKしている
。
ところがこのように櫛歯電極の対向幅Wを大とすると、
特に、例えばPZT (チクン酸鉛とジルコン酸鉛との
固溶体)系の圧電セラミックのようにその誘電率εが1
000前後という高誘TUL率を有する表面波伝播媒質
を用いた表面波素子では、そのインピーダンスが低く外
部回路の負担が大きくなる。
特に、例えばPZT (チクン酸鉛とジルコン酸鉛との
固溶体)系の圧電セラミックのようにその誘電率εが1
000前後という高誘TUL率を有する表面波伝播媒質
を用いた表面波素子では、そのインピーダンスが低く外
部回路の負担が大きくなる。
そこで、このような圧電セラミックを用いた表面tJX
素子ではそのインピーダンスを高めるためには、櫛歯電
極の対向幅Wはできるだけ小さくすることが望まれる。
素子ではそのインピーダンスを高めるためには、櫛歯電
極の対向幅Wはできるだけ小さくすることが望まれる。
今、圧電セラミックを用いて10.7 MHzの表面波
フィルタについて述べると、この場合櫛爾[極の対向幅
Wが1,5朋以上である場合は本来の伝搬路を伝わる表
面波のエネルギーが犬きいため不要表面波による影響は
殆んど問題にならないが、この幅を1,0朋以下とする
と不要表面rBIKよる影響が大となってくる。これは
回折により広がった表面波が音響インピーダンスの不整
合部即し各電極(2+ (3)及び(4)の縁部、特に
ほぼ表面波伝播方向(水門I!]n Iftでいう表面
波伝播方向とは本来の表面波を伝tlffさせるべき方
向を指称し、両電極(2)及び(3)を結ぶ方向をい5
)に沿って延在する両外側縁部(2a)(2b)、 (
3aX3b)及び(4a)(4b)においての反射が特
に大きく影響しているのである。
フィルタについて述べると、この場合櫛爾[極の対向幅
Wが1,5朋以上である場合は本来の伝搬路を伝わる表
面波のエネルギーが犬きいため不要表面波による影響は
殆んど問題にならないが、この幅を1,0朋以下とする
と不要表面rBIKよる影響が大となってくる。これは
回折により広がった表面波が音響インピーダンスの不整
合部即し各電極(2+ (3)及び(4)の縁部、特に
ほぼ表面波伝播方向(水門I!]n Iftでいう表面
波伝播方向とは本来の表面波を伝tlffさせるべき方
向を指称し、両電極(2)及び(3)を結ぶ方向をい5
)に沿って延在する両外側縁部(2a)(2b)、 (
3aX3b)及び(4a)(4b)においての反射が特
に大きく影響しているのである。
本発明においては、上述したように、表面波伝播媒質上
舵、表面波の伝播方向に所定の間隔をおいて配され表面
波の伝播方向に対して直角方向に沿って延び所定の長さ
に渡って互いに対向するように交互に配された対の櫛保
電極を有して成る表面波素子において、各′FIf極の
各櫛開部の先端と、互いに他の′M、極の各外側縁との
距離dを、表面波の波長の3倍以上に選定するものであ
る。
舵、表面波の伝播方向に所定の間隔をおいて配され表面
波の伝播方向に対して直角方向に沿って延び所定の長さ
に渡って互いに対向するように交互に配された対の櫛保
電極を有して成る表面波素子において、各′FIf極の
各櫛開部の先端と、互いに他の′M、極の各外側縁との
距離dを、表面波の波長の3倍以上に選定するものであ
る。
第2図ないし第8図は夫々表面波辿度が2300ルメs
eaの圧電セラミックによる基体(1)を用いた]、0
.7MHz(波長215μm)の表面波フィルタの特性
(各周波数−減衰利得)を示すもので、第2図は対向1
いWが2.5mm 、’距離dが550μI71の場合
、第3図は、対向幅Wが1,7朋、距ll!IIdが5
50unの場合、第4図は対向幅Wが1,5朋、距離d
が550μmの場合、第5図は対向幅Wが1.0朋、距
離dが550μm夏1の場合、第6図は対向幅Wが0.
7朋、距離dが550I11nの場−合の各特性で、第
7図は対向幅Wが1.0m++t−、距離(1が600
μm(表面e波長の約2.8倍)の場合、第8図は対向
幅Wが0.7mrth、距離dが750μtn (表面
波波長の約3.5倍)の場合の各特性で、こり、ら特性
より明らかなように対向幅Wが1 mm以下では、距離
(lが550μI11のものでは第5図及び第6図中破
線で囲んで示したように回折・反射の影響がでてきて、
理論通りの特性が得られず、第7図及び第8図に示す如
く対向幅Wを1市以下としてもその距離dを表面波の1
fJ&艮の2.8倍以上とするとき、更1c確宸性を
考えて3倍以上に選定したものにあっては、不要波によ
る影ケ1シが取り除かれるものであることがわかる。
eaの圧電セラミックによる基体(1)を用いた]、0
.7MHz(波長215μm)の表面波フィルタの特性
(各周波数−減衰利得)を示すもので、第2図は対向1
いWが2.5mm 、’距離dが550μI71の場合
、第3図は、対向幅Wが1,7朋、距ll!IIdが5
50unの場合、第4図は対向幅Wが1,5朋、距離d
が550μmの場合、第5図は対向幅Wが1.0朋、距
離dが550μm夏1の場合、第6図は対向幅Wが0.
7朋、距離dが550I11nの場−合の各特性で、第
7図は対向幅Wが1.0m++t−、距離(1が600
μm(表面e波長の約2.8倍)の場合、第8図は対向
幅Wが0.7mrth、距離dが750μtn (表面
波波長の約3.5倍)の場合の各特性で、こり、ら特性
より明らかなように対向幅Wが1 mm以下では、距離
(lが550μI11のものでは第5図及び第6図中破
線で囲んで示したように回折・反射の影響がでてきて、
理論通りの特性が得られず、第7図及び第8図に示す如
く対向幅Wを1市以下としてもその距離dを表面波の1
fJ&艮の2.8倍以上とするとき、更1c確宸性を
考えて3倍以上に選定したものにあっては、不要波によ
る影ケ1シが取り除かれるものであることがわかる。
尚、ここに各電接(2)及び(3)の各櫛歯電極の内側
の縁部(2CX2d)及び(3C) (3d)は、これ
が櫛門によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之による影
響は殆んとない。
の縁部(2CX2d)及び(3C) (3d)は、これ
が櫛門によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之による影
響は殆んとない。
上述したように、本発明忙おいては、表面波素子におい
てその電極の実効部分即ち櫛歯電極の対向部分から外側
縁までの距IvI dを、伝播させるべき表面波の波長
の3倍以上とするもので、このとき、不要波の影響を回
避することができるが、必要に応じて更に不要波の影響
を確実に除去することができるように表面波伝播媒質、
即ち圧電基体上に一彼着された電極のほぼ表面波伝播方
向に沿って延在する外縁部に表面波の吸収若しくは散乱
手段を股←することもできる。
てその電極の実効部分即ち櫛歯電極の対向部分から外側
縁までの距IvI dを、伝播させるべき表面波の波長
の3倍以上とするもので、このとき、不要波の影響を回
避することができるが、必要に応じて更に不要波の影響
を確実に除去することができるように表面波伝播媒質、
即ち圧電基体上に一彼着された電極のほぼ表面波伝播方
向に沿って延在する外縁部に表面波の吸収若しくは散乱
手段を股←することもできる。
第】図は本発明の説明に供する表面波素子の路線的上面
図、第2図ないし第8図は夫々その説明に供する周波数
−減衰利得曲線である。 (1)は表面波伝播媒質としての圧電基体、(2)は入
力’aqt、(2a)及び(2b)はその外側縁、(2
c)及び(2d)はその内側縁、(3)は出方電極、(
3a)及び(3b)はその外側縁、(3c)及び(3d
)はその内側縁、(4)は接地電棒、(4a)及び(4
13)はその外側縁である。 第1図 第5図 第6図
図、第2図ないし第8図は夫々その説明に供する周波数
−減衰利得曲線である。 (1)は表面波伝播媒質としての圧電基体、(2)は入
力’aqt、(2a)及び(2b)はその外側縁、(2
c)及び(2d)はその内側縁、(3)は出方電極、(
3a)及び(3b)はその外側縁、(3c)及び(3d
)はその内側縁、(4)は接地電棒、(4a)及び(4
13)はその外側縁である。 第1図 第5図 第6図
Claims (1)
- 表面波伝播媒質上に、表面波の伝播方向に所定の間隔を
おいて配され、上記表面波の伝播方向に対して直角方向
に沿って延び所定の長さに渡って互いに対向するよ5に
交互忙配された対の櫛ra ’711極を有して成る表
面波素子において、各電極の各櫛歯部の先端と、互いに
他の電極の各外側縁との距離dを、」二記表面波の波長
の3倍以上に選定した表面波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12575983A JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12575983A JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14887575A Division JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5925411A true JPS5925411A (ja) | 1984-02-09 |
JPS6126246B2 JPS6126246B2 (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=14918111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12575983A Granted JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5925411A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62127648U (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-13 | ||
WO2019044775A1 (ja) | 2017-08-28 | 2019-03-07 | 株式会社豊田自動織機 | ターボチャージャ |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50159228A (ja) * | 1974-06-12 | 1975-12-23 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12575983A patent/JPS5925411A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50159228A (ja) * | 1974-06-12 | 1975-12-23 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6126246B2 (ja) | 1986-06-19 |
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