JPS5885611A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPS5885611A JPS5885611A JP18483181A JP18483181A JPS5885611A JP S5885611 A JPS5885611 A JP S5885611A JP 18483181 A JP18483181 A JP 18483181A JP 18483181 A JP18483181 A JP 18483181A JP S5885611 A JPS5885611 A JP S5885611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- unnecessary
- characteristic
- wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、不要な弾性表面波を抑圧または除去し、小型
で高性能な素子を目的とした弾性表面波素子に関するも
のである。
で高性能な素子を目的とした弾性表面波素子に関するも
のである。
第１図は従来よく知られている、不要な弾性表面波を抑
圧処理を施した弾性表面波素子の例であり、囚は上面図
、（Ｂ）は断面図である。
圧処理を施した弾性表面波素子の例であり、囚は上面図
、（Ｂ）は断面図である。
１は圧電性基板、２は弾性表面波を励振するための入力
電極、３は弾性表面波を電気信号に変換するための出力
電極、４は不要な弾性表面波を抑圧または除去するだめ
の吸収材である、入力電極２により励振された弾性表面
波は出力電極３によって一部電気信号に変換されるが、
吸収材４に達した弾性表面波は吸収材４の端面によって
起る表面反射波に依る特性の劣化、また吸収材４を通過
した弾性表面波は圧電性基板１の端面５での表面反射波
に依る特性の劣化等が有り、特に吸収材として使われる
シリコン系ワックス、エポキ・／系接着材等は、それら
の材質の劣化による特性の安定性への影響が生ずる。ま
たこの吸収材４の塗布中は弾性表面波の波長の２０倍程
度も必要であり、この大きさは素子の小型化にはかなり
の欠点である。
電極、３は弾性表面波を電気信号に変換するための出力
電極、４は不要な弾性表面波を抑圧または除去するだめ
の吸収材である、入力電極２により励振された弾性表面
波は出力電極３によって一部電気信号に変換されるが、
吸収材４に達した弾性表面波は吸収材４の端面によって
起る表面反射波に依る特性の劣化、また吸収材４を通過
した弾性表面波は圧電性基板１の端面５での表面反射波
に依る特性の劣化等が有り、特に吸収材として使われる
シリコン系ワックス、エポキ・／系接着材等は、それら
の材質の劣化による特性の安定性への影響が生ずる。ま
たこの吸収材４の塗布中は弾性表面波の波長の２０倍程
度も必要であり、この大きさは素子の小型化にはかなり
の欠点である。
本発明の目的は、上記従来の欠点を除去し、吸収材端面
及び基板端面での表面反射波による特性劣化の少ない、
小型で安定な弾性表面波素子を提供することである。
及び基板端面での表面反射波による特性劣化の少ない、
小型で安定な弾性表面波素子を提供することである。
本発明は、電気信号−弾性表面波変換器、弾性表面波−
電気信号変換器の外側の領域にテーバ部を設け、そのテ
ーバ部の面粗さを０５μｍ〜３μｍの粗さにすることに
依り、基板端面へ到達する弾性表面波を減し、吸収材を
使用せずに表面反射波による特性劣化を少なくシ、テー
パ部を設けることによって不要な弾性表面波の伝播距離
を十分な長さにとることができ、小型で高性能弾性゛表
面波素子が得られるようにしたものである。
電気信号変換器の外側の領域にテーバ部を設け、そのテ
ーバ部の面粗さを０５μｍ〜３μｍの粗さにすることに
依り、基板端面へ到達する弾性表面波を減し、吸収材を
使用せずに表面反射波による特性劣化を少なくシ、テー
パ部を設けることによって不要な弾性表面波の伝播距離
を十分な長さにとることができ、小型で高性能弾性゛表
面波素子が得られるようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を第２図、第３図を用艷て詳細
に説明する。
に説明する。
第２図に於いて（４）は−Ｅ面図、（Ｂ）は断面図であ
る。
る。
６は′圧電性基板、Ｔは入力電極、８は出力電極、９は
エツチング、研削、研摩等の加工によって０５μｍ〜３
μｍの面粗さにしたテーパ部である。第３図はこのテー
パ部の領域の拡大断面図である。不要な弾性表面波１０
．１１はテーパ部９の面粗さお先端部１２によって不規
則に散乱し、表面反射波の位相が乱れ相殺しあうことに
依り特性への悪影響を少くしている。更に散乱されずに
伝播する弾性表面波もその大部分がテーパ部の角度１５
及び面粗さによって伝播距離が十分な長さになっている
為に基板端面、１３に達する不要な弾性表面波を著しく
低減させその表面反射波も特性にほとんど悪影響を与え
ぬものとなり従来の弾性表面波特性である第４図（４）
に示すような周波数特性の通過帯域内のりツプル４０が
ほとんど発生していない第４図（Ｂ）のような特性が得
られる。
エツチング、研削、研摩等の加工によって０５μｍ〜３
μｍの面粗さにしたテーパ部である。第３図はこのテー
パ部の領域の拡大断面図である。不要な弾性表面波１０
．１１はテーパ部９の面粗さお先端部１２によって不規
則に散乱し、表面反射波の位相が乱れ相殺しあうことに
依り特性への悪影響を少くしている。更に散乱されずに
伝播する弾性表面波もその大部分がテーパ部の角度１５
及び面粗さによって伝播距離が十分な長さになっている
為に基板端面、１３に達する不要な弾性表面波を著しく
低減させその表面反射波も特性にほとんど悪影響を与え
ぬものとなり従来の弾性表面波特性である第４図（４）
に示すような周波数特性の通過帯域内のりツプル４０が
ほとんど発生していない第４図（Ｂ）のような特性が得
られる。
以上述べた通り、本発明によれば、吸収材を使用せずに
１不要な弾性表面波による特性の劣化を防止し、小型で
高性能弾性表面波素子が得られるっ
１不要な弾性表面波による特性の劣化を防止し、小型で
高性能弾性表面波素子が得られるっ
第１図（Ａ） （Ｂ）は従来の弾性表面波素子の上面図
及側面図。第２図（Ａ） （Ｂ）は本発明の弾性表面波
素子の上面図及側面図。第３図はテーパ部の部分拡大図
。 第４図（４）は従来の弾性表面波素子の特性図。第４図
（Ｂ）は本発明の弾性表面波素子の特性図。 ６・・・基板 ７・・・入力電極 ８・・・出力電
極９・・・粗面テーパ部 第１図 （Ａ） （Ｂ） （Ｂ） 第３図 ２ 第４図 （Ａ） ＣＢ）
及側面図。第２図（Ａ） （Ｂ）は本発明の弾性表面波
素子の上面図及側面図。第３図はテーパ部の部分拡大図
。 第４図（４）は従来の弾性表面波素子の特性図。第４図
（Ｂ）は本発明の弾性表面波素子の特性図。 ６・・・基板 ７・・・入力電極 ８・・・出力電
極９・・・粗面テーパ部 第１図 （Ａ） （Ｂ） （Ｂ） 第３図 ２ 第４図 （Ａ） ＣＢ）
Claims (1)
- 圧電性基板上に互いに間隔をおいて、電気信号を弾性表
面波に変換する変換器と、弾性表面波を一電気信号に変
換する変換器を設けた弾性表面波素子において、前記圧
電性基板上の不要な弾性表面波が伝播する領域に粗面の
テーバ部を設けたことを特徴とする弾性表向波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18483181A JPS5885611A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18483181A JPS5885611A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5885611A true JPS5885611A (ja) | 1983-05-23 |
Family
ID=16160061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18483181A Pending JPS5885611A (ja) | 1981-11-18 | 1981-11-18 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5885611A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4603275A (en) * | 1983-11-18 | 1986-07-29 | Pioneer Electronic Corporation | Surface acoustic wave device using beveled substrate |
| JPH02230809A (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| EP0620048A2 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-19 | Acuson Corporation | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof |
| US6976803B2 (en) | 2003-03-28 | 2005-12-20 | Kyowa Electric And Chemical Co., Ltd. | Stationary board for blocking lights of oncoming vehicles in medial strip and facilitating nighttime identification of medial strip |
| DE102015120341A1 (de) * | 2015-11-24 | 2017-05-24 | Snaptrack, Inc. | Bauelement mit Wärmeableitung |
| GB2577361A (en) * | 2018-07-18 | 2020-03-25 | Skyworks Solutions Inc | Fbar filter with integrated cancelation cicuit |
-
1981
- 1981-11-18 JP JP18483181A patent/JPS5885611A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4603275A (en) * | 1983-11-18 | 1986-07-29 | Pioneer Electronic Corporation | Surface acoustic wave device using beveled substrate |
| JPH02230809A (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-13 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| EP0620048A2 (en) * | 1993-04-12 | 1994-10-19 | Acuson Corporation | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof |
| EP0620048A3 (en) * | 1993-04-12 | 1995-11-29 | Acuson | Ultrasound transducers with reduced sidelobes and method for manufacture thereof. |
| US6976803B2 (en) | 2003-03-28 | 2005-12-20 | Kyowa Electric And Chemical Co., Ltd. | Stationary board for blocking lights of oncoming vehicles in medial strip and facilitating nighttime identification of medial strip |
| DE102015120341A1 (de) * | 2015-11-24 | 2017-05-24 | Snaptrack, Inc. | Bauelement mit Wärmeableitung |
| US11101784B2 (en) | 2015-11-24 | 2021-08-24 | Snaptrack, Inc. | Electrical component with heat dissipation |
| GB2577361A (en) * | 2018-07-18 | 2020-03-25 | Skyworks Solutions Inc | Fbar filter with integrated cancelation cicuit |
| GB2577361B (en) * | 2018-07-18 | 2023-03-01 | Skyworks Solutions Inc | FBAR filter with integrated cancelation circuit |
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