JPH04348607A - 表面波装置 - Google Patents
表面波装置Info
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- JPH04348607A JPH04348607A JP12129791A JP12129791A JPH04348607A JP H04348607 A JPH04348607 A JP H04348607A JP 12129791 A JP12129791 A JP 12129791A JP 12129791 A JP12129791 A JP 12129791A JP H04348607 A JPH04348607 A JP H04348607A
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- surface wave
- comb electrode
- groove
- electrode
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 19
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 abstract description 9
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電部材における表面
波を利用した遅延線、フィルタ等の表面波装置に関する
。
波を利用した遅延線、フィルタ等の表面波装置に関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来から、電気信号を遅延するための遅
延線、所望帯域の電気信号を取り出すためのフィルタ等
において、表面波装置が使用されている。良好な遅延特
性、フィルタ特性等を得るためには、表面波装置を伝播
する表面波のうち不要なスプリアス信号を除去する必要
がある。このために、種々のクシ電極を使用した表面波
装置が利用されており、ゴーレイ（Ｇｏｌａｙ）符号化
電極もその一つである。
延線、所望帯域の電気信号を取り出すためのフィルタ等
において、表面波装置が使用されている。良好な遅延特
性、フィルタ特性等を得るためには、表面波装置を伝播
する表面波のうち不要なスプリアス信号を除去する必要
がある。このために、種々のクシ電極を使用した表面波
装置が利用されており、ゴーレイ（Ｇｏｌａｙ）符号化
電極もその一つである。
【０００３】図４に従来のゴーレイ符号化電極を使用し
た表面波装置の平面図を示す。また、図５に、図４の表
面波装置のＢ−Ｂ端断面図を示す。尚、図４と同一部分
には同一符号を付している。図４、図５において、長方
形状の基板４０１の両端部には、基板４０１の端部で表
面波が反射するのを防止するための吸音材４０２、４０
３が塗布されている。また、基板４０１上にはクシ電極
４０４乃至４０７が蒸着されている。クシ電極４０４と
４０５は第１のチャンネルを構成し又、クシ電極４０６
と４０７は第２のチャンネルを構成し、クシ電極４０４
乃至４０７は全体としてゴーレイ符号化電極を構成して
いる。一方、クシ電極４０４、４０６とクシ電極４０５
、４０７との間には、クシ電極４０４からクシ電極４０
７へ、あるいはクシ電極４０６からクシ電極４０５へ表
面波が伝播しないように、即ちチャンネル間のクロスト
ークを防止するために吸音材４０８が塗布されている。
た表面波装置の平面図を示す。また、図５に、図４の表
面波装置のＢ−Ｂ端断面図を示す。尚、図４と同一部分
には同一符号を付している。図４、図５において、長方
形状の基板４０１の両端部には、基板４０１の端部で表
面波が反射するのを防止するための吸音材４０２、４０
３が塗布されている。また、基板４０１上にはクシ電極
４０４乃至４０７が蒸着されている。クシ電極４０４と
４０５は第１のチャンネルを構成し又、クシ電極４０６
と４０７は第２のチャンネルを構成し、クシ電極４０４
乃至４０７は全体としてゴーレイ符号化電極を構成して
いる。一方、クシ電極４０４、４０６とクシ電極４０５
、４０７との間には、クシ電極４０４からクシ電極４０
７へ、あるいはクシ電極４０６からクシ電極４０５へ表
面波が伝播しないように、即ちチャンネル間のクロスト
ークを防止するために吸音材４０８が塗布されている。
【０００４】以上のように構成された表面波装置におい
ては、クシ電極４０４および４０６側に電気信号を供給
することにより基板４０１に表面波を発生させ、電極４
０５および４０７側から、前記表面波に対応する電気信
号を取り出すことにより、遅延動作あるいはフィルタ動
作等が行なわれる。前述した従来の表面波装置を用いて
、電気信号の遅延動作、フィルタ動作等を行なうことが
可能である。
ては、クシ電極４０４および４０６側に電気信号を供給
することにより基板４０１に表面波を発生させ、電極４
０５および４０７側から、前記表面波に対応する電気信
号を取り出すことにより、遅延動作あるいはフィルタ動
作等が行なわれる。前述した従来の表面波装置を用いて
、電気信号の遅延動作、フィルタ動作等を行なうことが
可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表面波
は基板４０１の表面にのみ存在するわけではなく、表面
から一定深さにわたってレイリー波等の殆どの表面波が
存在している。したがって、前述のように基板４０１の
表面に塗布形成した吸音材では表面から一定深さに存在
する表面波を抑圧できないため、クシ電極４０４からク
シ電極４０７へ、あるいはクシ電極４０６からクシ電極
４０５へ表面波が伝播してしまい、電極４０５、４０７
側から得られる電気信号内にスプリアスが発生するとい
う問題があった。また、前記の抑圧できなかった表面波
が基板４０１の側端部で反射しクシ電極４０５、４０７
側へ戻り、これによりスプリアスが発生するという問題
もあった。
は基板４０１の表面にのみ存在するわけではなく、表面
から一定深さにわたってレイリー波等の殆どの表面波が
存在している。したがって、前述のように基板４０１の
表面に塗布形成した吸音材では表面から一定深さに存在
する表面波を抑圧できないため、クシ電極４０４からク
シ電極４０７へ、あるいはクシ電極４０６からクシ電極
４０５へ表面波が伝播してしまい、電極４０５、４０７
側から得られる電気信号内にスプリアスが発生するとい
う問題があった。また、前記の抑圧できなかった表面波
が基板４０１の側端部で反射しクシ電極４０５、４０７
側へ戻り、これによりスプリアスが発生するという問題
もあった。
【０００６】本発明は、前記問題点に鑑みなされたもの
で、伝播する表面波の波長をλとすると、基板４０１の
表面から１λの深さ内にレイリー波等の表面波の９０％
が存在し、２λの深さ内に殆どの表面波が存在している
ことに着目し、これらの不要な表面波を吸収することに
より、チャンネル間のクロストーク、不要な反射を抑圧
し、スプリアスを有効に抑圧することを目的としている
。
で、伝播する表面波の波長をλとすると、基板４０１の
表面から１λの深さ内にレイリー波等の表面波の９０％
が存在し、２λの深さ内に殆どの表面波が存在している
ことに着目し、これらの不要な表面波を吸収することに
より、チャンネル間のクロストーク、不要な反射を抑圧
し、スプリアスを有効に抑圧することを目的としている
。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、第１、第２の
チャンネルのクシ電極を有する第１、第２のトランスジ
ューサから成るゴーレイ符号化電極を備え、前記第１の
トランスジューサに供給した電気信号により表面波を発
生させ、前記第２のトランスジューサから前記表面波に
応じた電気信号を出力する表面波装置において、前記チ
ャンネル間に延在して形成された溝と、前記溝内に配設
された吸音材とを備えて成ることを特徴としている。
チャンネルのクシ電極を有する第１、第２のトランスジ
ューサから成るゴーレイ符号化電極を備え、前記第１の
トランスジューサに供給した電気信号により表面波を発
生させ、前記第２のトランスジューサから前記表面波に
応じた電気信号を出力する表面波装置において、前記チ
ャンネル間に延在して形成された溝と、前記溝内に配設
された吸音材とを備えて成ることを特徴としている。
【０００８】
【作用】第１のトランスジューサにより発生した表面波
は第２のトランスジューサへ伝播する。このとき、第１
のチャンネルから第２のチャンネルへ又第２のチャンネ
ルから第１のチャンネルへ伝播しようとする表面波は、
チャンネル間に延在する溝内に配設された吸音材により
吸収される。
は第２のトランスジューサへ伝播する。このとき、第１
のチャンネルから第２のチャンネルへ又第２のチャンネ
ルから第１のチャンネルへ伝播しようとする表面波は、
チャンネル間に延在する溝内に配設された吸音材により
吸収される。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の表面波装置の実施例を示す
平面図である。また。図２は、そのＡ−Ａ端断面図であ
り、図１と同一部分には同一符号を付している。図１、
図２において、長方形の基板１０１は水晶、ＬｉＮＢＯ
３等の圧電部材により形成されており、その長手方向の
上端部には、端部での表面波の反射を防止するための吸
音材１０２、１０３が塗布されている。また、基板１０
１上にはクシ電極１０４乃至１０７、１１０、１１１が
蒸着されている。クシ電極１０４、１０６および１１０
は第１のトランスジューサを構成し又、クシ電極１０５
、１０７および１１１は第２のトランスジューサを構成
している。クシ電極１０４、１１０とクシ電極１０５、
１１１は第１のチャンネルを構成し又、クシ電極１０６
、１１０とクシ電極１０７、１１１は第２のチャンネル
を構成している。クシ電極１０４乃至１０７、１１０、
１１１は全体としてゴーレイ符号化電極を構成している
。一方、クシ電極１１０とクシ電極１１１との間には、
基板１０１の長手方向に延在し断面が三角形の溝１０９
が形成されている。溝１０９の深さｄは、伝播する表面
波の波長λの２倍以上の深さでかつ、基板１０１の厚み
Ｄよりも浅く形成されている。また、前記三角形の斜辺
と法線との角度θは４５度未満に形成されている。溝１
０９内にはエポキシ樹脂等により形成された吸音材１０
８が塗布されている。
平面図である。また。図２は、そのＡ−Ａ端断面図であ
り、図１と同一部分には同一符号を付している。図１、
図２において、長方形の基板１０１は水晶、ＬｉＮＢＯ
３等の圧電部材により形成されており、その長手方向の
上端部には、端部での表面波の反射を防止するための吸
音材１０２、１０３が塗布されている。また、基板１０
１上にはクシ電極１０４乃至１０７、１１０、１１１が
蒸着されている。クシ電極１０４、１０６および１１０
は第１のトランスジューサを構成し又、クシ電極１０５
、１０７および１１１は第２のトランスジューサを構成
している。クシ電極１０４、１１０とクシ電極１０５、
１１１は第１のチャンネルを構成し又、クシ電極１０６
、１１０とクシ電極１０７、１１１は第２のチャンネル
を構成している。クシ電極１０４乃至１０７、１１０、
１１１は全体としてゴーレイ符号化電極を構成している
。一方、クシ電極１１０とクシ電極１１１との間には、
基板１０１の長手方向に延在し断面が三角形の溝１０９
が形成されている。溝１０９の深さｄは、伝播する表面
波の波長λの２倍以上の深さでかつ、基板１０１の厚み
Ｄよりも浅く形成されている。また、前記三角形の斜辺
と法線との角度θは４５度未満に形成されている。溝１
０９内にはエポキシ樹脂等により形成された吸音材１０
８が塗布されている。
【００１０】以上のように構成された表面波装置におい
ては、クシ電極１０４、１０６とクシ電極１１０間に電
気信号を供給することにより基板１０１に表面波を発生
させる。クシ電極１０４側から発生した表面波はクシ電
極１０５側へ伝播し又、クシ電極１０６側から発生した
表面波はクシ電極１０７側へ伝播する。前記表面波をク
シ電極１０５、１０７とクシ電極１１１間から、電気信
号として取り出すことにより、遅延動作あるいはフィル
タ動作等が行なわれる。尚、クシ電極１０５、１０７と
クシ電極１１１間に電気信号を供給し、クシ電極１０４
、１０６とクシ電極１１０間から電気信号を取り出すこ
とも可能である。
ては、クシ電極１０４、１０６とクシ電極１１０間に電
気信号を供給することにより基板１０１に表面波を発生
させる。クシ電極１０４側から発生した表面波はクシ電
極１０５側へ伝播し又、クシ電極１０６側から発生した
表面波はクシ電極１０７側へ伝播する。前記表面波をク
シ電極１０５、１０７とクシ電極１１１間から、電気信
号として取り出すことにより、遅延動作あるいはフィル
タ動作等が行なわれる。尚、クシ電極１０５、１０７と
クシ電極１１１間に電気信号を供給し、クシ電極１０４
、１０６とクシ電極１１０間から電気信号を取り出すこ
とも可能である。
【００１１】このとき、表面波は拡散して伝播するため
、表面波がクシ電極１０４側からクシ電極１０７側へ、
あるいはクシ電極１０６側からクシ電極１０５側へ伝播
しようとする。しかしながら、溝１０９は、２λ以上の
深さに形成されているため、殆どの表面波は溝１０９内
に収納された吸音材１０８により吸収される。また、前
記三角形の斜辺と法線との角度θは４５度以下に形成さ
れているため、溝１０９による表面波の反射を有効に抑
制し、吸収することができる。したがって、チャンネル
間のクロストークは抑圧され又、基板１０１の短手方向
の端部で反射する表面波も抑圧されるため、スプリアス
を抑圧することが可能となる。
、表面波がクシ電極１０４側からクシ電極１０７側へ、
あるいはクシ電極１０６側からクシ電極１０５側へ伝播
しようとする。しかしながら、溝１０９は、２λ以上の
深さに形成されているため、殆どの表面波は溝１０９内
に収納された吸音材１０８により吸収される。また、前
記三角形の斜辺と法線との角度θは４５度以下に形成さ
れているため、溝１０９による表面波の反射を有効に抑
制し、吸収することができる。したがって、チャンネル
間のクロストークは抑圧され又、基板１０１の短手方向
の端部で反射する表面波も抑圧されるため、スプリアス
を抑圧することが可能となる。
【００１２】図３は、本発明の他の実施例を示す図で、
図２に対応する端断面図である。図３においては、基板
１０１に設けた溝１０９の断面形状を長方形とし、その
中に吸音材１０８を塗布している。この場合にも、溝の
深さは表面波の波長の２倍以上即ち、２λ以上でかつ基
板１０１の厚みＤ以下に形成され、その側面は法線と一
致している。また、溝１０９内には、エポキシ樹脂等に
より形成された吸音材１０８が塗布されている。本実施
例においても、前記実施例と同様に有効にクロストーク
、不要な反射を抑圧することができ、スプリアスを効果
的に抑圧することが可能である。
図２に対応する端断面図である。図３においては、基板
１０１に設けた溝１０９の断面形状を長方形とし、その
中に吸音材１０８を塗布している。この場合にも、溝の
深さは表面波の波長の２倍以上即ち、２λ以上でかつ基
板１０１の厚みＤ以下に形成され、その側面は法線と一
致している。また、溝１０９内には、エポキシ樹脂等に
より形成された吸音材１０８が塗布されている。本実施
例においても、前記実施例と同様に有効にクロストーク
、不要な反射を抑圧することができ、スプリアスを効果
的に抑圧することが可能である。
【００１３】以上述べたように本実施例の表面波装置に
おいては、溝１０９の深さを２λ以上とし、その斜面を
法線に対して４５度未満に形成すると共に、その中に吸
音材１０８を塗布することにより基板１０１と吸音材１
０８との音響インピーダンスを整合させ、溝１０９の壁
面による表面波の反射を防止すると共に表面波の吸収を
向上させることが可能となり、したがって、スプリアス
を効果的に抑圧することが可能となる。
おいては、溝１０９の深さを２λ以上とし、その斜面を
法線に対して４５度未満に形成すると共に、その中に吸
音材１０８を塗布することにより基板１０１と吸音材１
０８との音響インピーダンスを整合させ、溝１０９の壁
面による表面波の反射を防止すると共に表面波の吸収を
向上させることが可能となり、したがって、スプリアス
を効果的に抑圧することが可能となる。
【００１４】尚、溝１０９の深さあるいは斜面の傾斜角
度は、要求される吸収の度合いに応じて種々に設定する
ことが可能である。例えば、表面波の吸収の度合いが９
０％程度で充分な場合には、溝１０９の深さは１λ程度
にすればよい。また、前述した実施例では、溝１０９の
断面形状を三角形および長方形の例を挙げたが、他の形
状にすることも可能である。
度は、要求される吸収の度合いに応じて種々に設定する
ことが可能である。例えば、表面波の吸収の度合いが９
０％程度で充分な場合には、溝１０９の深さは１λ程度
にすればよい。また、前述した実施例では、溝１０９の
断面形状を三角形および長方形の例を挙げたが、他の形
状にすることも可能である。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、不要な表面波を吸収で
きるため、チャンネル間のクロストーク、不要な反射を
抑圧でき、スプリアスを効果的に抑圧できる。
きるため、チャンネル間のクロストーク、不要な反射を
抑圧でき、スプリアスを効果的に抑圧できる。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図
【図２】図１の
Ａ−Ａ端断面図
Ａ−Ａ端断面図
【図３】本発明の他の実施例を示す端断面図
【図４】従
来の表面波装置の平面図
来の表面波装置の平面図
【図５】図４のＢ−Ｂ端断面図
１０１・・・基板
１０２、１０３、１０８・・・吸音材
１０４、１０５、１０６、１０７・・・クシ電極１０９
・・・溝
・・・溝
Claims (1)
- 【請求項１】第１、第２のチャンネルのクシ電極を有す
る第１、第２のトランスジューサから成るゴーレイ符号
化電極を備え、前記第１のトランスジューサに供給した
電気信号により表面波を発生させ、前記第２のトランス
ジューサから前記表面波に応じた電気信号を出力する表
面波装置において、前記チャンネル間に延在して形成さ
れた溝と、前記溝内に配設された吸音材とを備えて成る
ことを特徴とする表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12129791A JPH04348607A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12129791A JPH04348607A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04348607A true JPH04348607A (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=14807777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12129791A Withdrawn JPH04348607A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04348607A (ja) |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP12129791A patent/JPH04348607A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |