JPH02230809A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
弾性表面波デバイスInfo
- Publication number
- JPH02230809A JPH02230809A JP5173989A JP5173989A JPH02230809A JP H02230809 A JPH02230809 A JP H02230809A JP 5173989 A JP5173989 A JP 5173989A JP 5173989 A JP5173989 A JP 5173989A JP H02230809 A JPH02230809 A JP H02230809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave device
- substrate
- wave substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 241000252233 Cyprinus carpio Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は、例えば弾性表面波フィルタ、弾性表面波遅
延線等の弾性表面波デバイスに関する。
延線等の弾性表面波デバイスに関する。
第５図は、従来の弾性表面波デバイスの一例を示すもの
である。
である。
この弾性表面波デバイスは、例えば弾性表面波フィルタ
であり（後述する第６図のものも同様）、例えば圧電単
結晶基板から成る長方形の表面波基板２の表面に、イン
クディジタル型の入力電極３および出力電極４を互いに
離して形成すると共に、それらの外側に吸音材５をそれ
ぞれ設けている．ところが、このような弾性表面波デバ
イスでは、表面波基板２の短辺側の両端面（即ち弾性表
面波伝搬路の延長上にある両端面。以下同じ）２１にお
ける表面波やバルク波等の反射が抑えきれず、周波数特
性における通過帯域外でのリップルやスパイク（鋭いパ
ルス状のもの。スプリアスとも言う）等の特性に悪影響
を及ぼすという問題がある。
であり（後述する第６図のものも同様）、例えば圧電単
結晶基板から成る長方形の表面波基板２の表面に、イン
クディジタル型の入力電極３および出力電極４を互いに
離して形成すると共に、それらの外側に吸音材５をそれ
ぞれ設けている．ところが、このような弾性表面波デバ
イスでは、表面波基板２の短辺側の両端面（即ち弾性表
面波伝搬路の延長上にある両端面。以下同じ）２１にお
ける表面波やバルク波等の反射が抑えきれず、周波数特
性における通過帯域外でのリップルやスパイク（鋭いパ
ルス状のもの。スプリアスとも言う）等の特性に悪影響
を及ぼすという問題がある。
これを解決する一手段として、例えば第６図に示すによ
うに、表面波基仮２の形状を方形でない平行四辺形にす
ることも考えられるが、そのようにすると、一枚の母材
（ウエーハ）から取れる表面波基板２の数が減少して歩
留まりが悪くなるという別の問題が生じる。
うに、表面波基仮２の形状を方形でない平行四辺形にす
ることも考えられるが、そのようにすると、一枚の母材
（ウエーハ）から取れる表面波基板２の数が減少して歩
留まりが悪くなるという別の問題が生じる。
そこでこの発明は、方形の表面波基板を使用しつつ、上
記のようなリップルおよびスパイクを抑制することがで
きる弾性表面波デバイスを提供することを主たる目的と
する。
記のようなリップルおよびスパイクを抑制することがで
きる弾性表面波デバイスを提供することを主たる目的と
する。
上記目的を達成するため、この発明の弾性表面波デバイ
スは、前述したような表面波基板の弾性表面波伝播路の
延長上にある両端面の内の少なくとも一方に、１段以上
の段を付けたことを特徴とする。
スは、前述したような表面波基板の弾性表面波伝播路の
延長上にある両端面の内の少なくとも一方に、１段以上
の段を付けたことを特徴とする。
上記のように段を付けると、段を付けていない従来のも
のに比べて、通過帯域外でのリップルおよびスパイクが
抑制されることが確かめられた。
のに比べて、通過帯域外でのリップルおよびスパイクが
抑制されることが確かめられた。
第１図はこの発明の一実施例に係る弾性表面波デバイス
を示すものであり（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は側面図
である。第５図の例と同一または相当する部分には同一
符号付し、以下においては従来例との相違点を主に説明
する。
を示すものであり（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は側面図
である。第５図の例と同一または相当する部分には同一
符号付し、以下においては従来例との相違点を主に説明
する。
この実施例の弾性表面波デバイスも例えば弾性表面波フ
ィルタであるが、この例ではその第５図に示したような
長方形の表面波基板２の両方の端面２１に、電極３、４
等を設けている表面側から下がるように、１段の段２１
ａを付けている。
ィルタであるが、この例ではその第５図に示したような
長方形の表面波基板２の両方の端面２１に、電極３、４
等を設けている表面側から下がるように、１段の段２１
ａを付けている。
このような段２１ａを付ける方法としては、第２図を参
照して、■母材（ウエーハ）２ａを切断して複数の表面
波基板２を取る際に、より具体的にはその短辺側の端面
２１を切断する際に、同じブレードを用いて、矢印イお
よび口のようにカットラインを所要距＃（例えば５０μ
ｍ程度）ずらして所要深さ（例えば表面波基板２の厚み
の半分で例えば２５０ａｍ程度）までカットした後、矢
印ハのよーうに本来の切断を行う方法や、■幅の広いブ
レードを用いて所要深さまでカットした後、幅の狭いブ
レードに交換して本来の切断を行う方法、等が採り得る
が、後者■の方法だとブレードの交換に時間がかかるの
で、前者■の方法の方がより好ましいと言える。
照して、■母材（ウエーハ）２ａを切断して複数の表面
波基板２を取る際に、より具体的にはその短辺側の端面
２１を切断する際に、同じブレードを用いて、矢印イお
よび口のようにカットラインを所要距＃（例えば５０μ
ｍ程度）ずらして所要深さ（例えば表面波基板２の厚み
の半分で例えば２５０ａｍ程度）までカットした後、矢
印ハのよーうに本来の切断を行う方法や、■幅の広いブ
レードを用いて所要深さまでカットした後、幅の狭いブ
レードに交換して本来の切断を行う方法、等が採り得る
が、後者■の方法だとブレードの交換に時間がかかるの
で、前者■の方法の方がより好ましいと言える。
表面波基板２に上記のように段２１ａを付けると、段を
付けていない第５図に示したような従来例に比べて、周
波数特性における通過帯域外でのリップルおよびスパイ
クが抑制される。これは、表面波やバルク波等の端面２
１における反射位置が段２１ａを付けることによって２
ケ所に分かれ、それによってリップルやスパイクの発生
が分散されるようになるのが一つの理由であると考えら
れる。
付けていない第５図に示したような従来例に比べて、周
波数特性における通過帯域外でのリップルおよびスパイ
クが抑制される。これは、表面波やバルク波等の端面２
１における反射位置が段２１ａを付けることによって２
ケ所に分かれ、それによってリップルやスパイクの発生
が分散されるようになるのが一つの理由であると考えら
れる。
上記のような効果を実験結果に基づいて更に説明する．
第３図は、弾性表面波デバイスの周波数特性における通
過帯域外部分（この例では通過帯域より周波数が高い方
の部分）の一部を示すものであるが、ここでは中心周波
数３５．５ＭＨｚのフィルタについて５８ＭＨｚ付近の
スパイクの実施例によるものと従来例によるもとの差を
分り易くするため、周波数軸を大きく拡大している（ち
なみに、通常の周波数特性の表現の仕方では５８ＭＨｚ
付近に鋭いスパイクが存在する）。図中のカープＡが第
１図で説明したような構造（実施例）のものであり、カ
ープＢが第５図で説明した従来例のものである。
過帯域外部分（この例では通過帯域より周波数が高い方
の部分）の一部を示すものであるが、ここでは中心周波
数３５．５ＭＨｚのフィルタについて５８ＭＨｚ付近の
スパイクの実施例によるものと従来例によるもとの差を
分り易くするため、周波数軸を大きく拡大している（ち
なみに、通常の周波数特性の表現の仕方では５８ＭＨｚ
付近に鋭いスパイクが存在する）。図中のカープＡが第
１図で説明したような構造（実施例）のものであり、カ
ープＢが第５図で説明した従来例のものである。
この図から分るように、５８ＭＨＺ付近におけるスパイ
クが実施例では約３〜４ｄＢ改善されている． また、第４図（Ａ）および（Ｂ）は、弾性表面波デバイ
スのタイムドメイン波形の一例を示す図である．（Ａ）
が第１図で説明したような構造（実施例）のものであり
、（Ｂ）が第５図で説明した従来例のものである。但し
、いずれも第３図の例とは周波数帯を異にしている。
クが実施例では約３〜４ｄＢ改善されている． また、第４図（Ａ）および（Ｂ）は、弾性表面波デバイ
スのタイムドメイン波形の一例を示す図である．（Ａ）
が第１図で説明したような構造（実施例）のものであり
、（Ｂ）が第５図で説明した従来例のものである。但し
、いずれも第３図の例とは周波数帯を異にしている。
両図（Ａ）（Ｂ）を比較すれば分るように、実施例の方
がリップルが明らかに小さくなっている。
がリップルが明らかに小さくなっている。
特に、図沖のイ部および口部等の反射波の抑圧が著しい
。
。
尚、上記のような表面波基板２の端面２１に付ける段２
１ａの段数は、上記例のような１段に限られるものでは
なく、必要に応じて複数段にしても良く、そのようにす
ればリップルおよびスパイクのより大きな低減効果が期
待できる。
１ａの段数は、上記例のような１段に限られるものでは
なく、必要に応じて複数段にしても良く、そのようにす
ればリップルおよびスパイクのより大きな低減効果が期
待できる。
また、表面波基板２の両端面２ｌに、上記例とは反対に
、電極３、４等を形成していない裏面側から上記のよう
な段を付けても良い場合もある。
、電極３、４等を形成していない裏面側から上記のよう
な段を付けても良い場合もある。
また、上記のような段は、必ず表面波基板２の両方の端
面２ｌに付けなければならないものではなく、片側の端
面２１だけで十分な場合もある。
面２ｌに付けなければならないものではなく、片側の端
面２１だけで十分な場合もある。
また、表面波基板２の形状は長方形に限られるものでは
な《、正方形であっても良い。
な《、正方形であっても良い。
以上のようにこの発明によれば、表面波基板の端面に段
を付けることによって、方形の表面波基板を使用しつつ
、周波数特性における通過帯域外でのリップルおよびス
パイクを抑制することができる。
を付けることによって、方形の表面波基板を使用しつつ
、周波数特性における通過帯域外でのリップルおよびス
パイクを抑制することができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る弾性表面波デバイス
を示すものであり、（Ａ）はその平面図、ＣＢ）は側面
図である。第２図は、表面波基板の端面に段を付ける方
法の一例を説明するための図である。第３図は、弾性表
面波デバイスの周波数特性における通過帯域外部分の一
部を周波数軸を拡大して示す図である。第４図（Ａ）お
よび（Ｂ）は、弾性表面波デバイスのタイムドメイン波
形の一例を示す図であり、（Ａ）が実施例のもの、ＣＢ
）が従来例のものである。第５図は従来の弾性表面波デ
バイスの一例を示すものであり、（Ａ）はその平面図、
（Ｂ）は側面図である。第６図は従来の弾性表面波デバ
イスの他の例を示すものであり、（Ａ）はその平面図、
（Ｂ）は側面図である。 ２・・・表面波基板、２１・・・端面、２１ａ・・・段
、３・・・人力電極、４・・・出力電極、５ ．，・吸
音材。
を示すものであり、（Ａ）はその平面図、ＣＢ）は側面
図である。第２図は、表面波基板の端面に段を付ける方
法の一例を説明するための図である。第３図は、弾性表
面波デバイスの周波数特性における通過帯域外部分の一
部を周波数軸を拡大して示す図である。第４図（Ａ）お
よび（Ｂ）は、弾性表面波デバイスのタイムドメイン波
形の一例を示す図であり、（Ａ）が実施例のもの、ＣＢ
）が従来例のものである。第５図は従来の弾性表面波デ
バイスの一例を示すものであり、（Ａ）はその平面図、
（Ｂ）は側面図である。第６図は従来の弾性表面波デバ
イスの他の例を示すものであり、（Ａ）はその平面図、
（Ｂ）は側面図である。 ２・・・表面波基板、２１・・・端面、２１ａ・・・段
、３・・・人力電極、４・・・出力電極、５ ．，・吸
音材。
Claims (1)
- （１）表面波基板と、その表面に形成された入力電極お
よび出力電極とを備える弾性表面波デバイスにおいて、
前記表面波基板の弾性表面波伝搬路の延長上にある両端
面の内の少なくとも一方に、１段以上の段を付けたこと
を特徴とする弾性表面波デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173989A JPH02230809A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 弾性表面波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173989A JPH02230809A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 弾性表面波デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02230809A true JPH02230809A (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=12895275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5173989A Pending JPH02230809A (ja) | 1989-03-02 | 1989-03-02 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02230809A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02305207A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| US6637087B1 (en) | 1999-03-18 | 2003-10-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing edge reflection type surface acoustic wave device |
| JP2012034081A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Japan Radio Co Ltd | 表面弾性波デバイス |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5885611A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-23 | Citizen Watch Co Ltd | 弾性表面波素子 |
-
1989
- 1989-03-02 JP JP5173989A patent/JPH02230809A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5885611A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-23 | Citizen Watch Co Ltd | 弾性表面波素子 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02305207A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波素子の製造方法 |
| JPH06103820B2 (ja) * | 1989-05-19 | 1994-12-14 | 三洋電機株式会社 | 弾性表面波素子の製造方法 |
| US6637087B1 (en) | 1999-03-18 | 2003-10-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing edge reflection type surface acoustic wave device |
| JP2012034081A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Japan Radio Co Ltd | 表面弾性波デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7315107B2 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JP2000031552A (ja) | テ―パ―付き電極及び電極縁部減衰材料を用いた半導体バルク音響共振器（ｓｂａｒ）装置の横モ―ド抑制 | |
| JP3206285B2 (ja) | 端面反射型表面波共振子 | |
| JPH02230809A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JP2004236285A (ja) | 表面波装置 | |
| JPH0482315A (ja) | 表面波装置 | |
| JPS6231860B2 (ja) | ||
| JPS63260313A (ja) | 弾性表面波コンボルバ | |
| US3906410A (en) | Surface wave device and method of making | |
| JP2628985B2 (ja) | 改良された表面音波フィルタ | |
| US4603275A (en) | Surface acoustic wave device using beveled substrate | |
| JP2615020B2 (ja) | 超音波トランスジューサ及び表面波デバイス | |
| US20180083592A1 (en) | Electroacoustic component with improved acoustics | |
| JPH08316779A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPS63110809A (ja) | 弾性表面波伝播素子 | |
| JPH06224682A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH02199910A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH01233907A (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| JPH04249907A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH07162054A (ja) | 圧電薄膜の形成方法 | |
| JPH04230108A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPS6226619A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP2004072719A (ja) | 表面波装置 | |
| JPH0555871A (ja) | 縦結合多重モードｓａｗフイルタ | |
| JPS62257210A (ja) | 弾性表面波素子 |