JPS6226619A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS6226619A JPS6226619A JP16628585A JP16628585A JPS6226619A JP S6226619 A JPS6226619 A JP S6226619A JP 16628585 A JP16628585 A JP 16628585A JP 16628585 A JP16628585 A JP 16628585A JP S6226619 A JPS6226619 A JP S6226619A
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- JP
- Japan
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- substrate
- grooves
- acoustic wave
- converted
- width
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/36—Devices for manipulating acoustic surface waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野１
本発明は、不要波特にバルク波を有効に抑圧するように
した弾性表面波装置に関覆る。
した弾性表面波装置に関覆る。
［発明の技術的背猾とその問題点］
弾性表面波装置は、セラミックス圧電磁器其板、ＬｉＮ
ｂＯ２単結晶基板、ＺＮＯ膜か被るされたガラス基板な
どの表面波基板上にインターゲイジタル形状のトランス
ジユーザを設けて構成されるが、このトランスジューサ
で表面波を励受信する際、同時にバルク波も励受信され
る。このバルク波は周波数特性におりるスプリアス妨害
となる。
ｂＯ２単結晶基板、ＺＮＯ膜か被るされたガラス基板な
どの表面波基板上にインターゲイジタル形状のトランス
ジユーザを設けて構成されるが、このトランスジューサ
で表面波を励受信する際、同時にバルク波も励受信され
る。このバルク波は周波数特性におりるスプリアス妨害
となる。
このようなバルク波を除去するために、従来から表面波
基板の裏面に表面波伝播方向と直交する溝を形成する手
段が提案され、更に、バルク波抑圧効果を高めるために
その溝の長さや幅を変えたり、渦を形成する方向を伝播
方向に沿わせたり、あるいは伝播方向に対し成る角度を
持たせるようにする等種々のものが名えられている。
基板の裏面に表面波伝播方向と直交する溝を形成する手
段が提案され、更に、バルク波抑圧効果を高めるために
その溝の長さや幅を変えたり、渦を形成する方向を伝播
方向に沿わせたり、あるいは伝播方向に対し成る角度を
持たせるようにする等種々のものが名えられている。
しかしながら、従来方式によりある程度の効果は得られ
ているものの、例えばテレビジョン受像機の映像中間周
波数段フィルタ等に用いる場合には未だ発生するバルク
波による障害か問題となる等の不十分さが残っていた。
ているものの、例えばテレビジョン受像機の映像中間周
波数段フィルタ等に用いる場合には未だ発生するバルク
波による障害か問題となる等の不十分さが残っていた。
［発明の目的］
本発明は前記事情に鑑みてなされたものであり、バルク
波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提供することを
目的とするものである。
波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提供することを
目的とするものである。
［発明の概要］
前記目的を達成するために本発明は、表面基板の電極が
設けられた面と反対側の面に複数の溝が設けられた弾性
表面波装置において、前記複数の溝は基板の辺に対して
所定の角度をもつと共に、各面の幅を異ならせたもので
あることを特徴とするものである。
設けられた面と反対側の面に複数の溝が設けられた弾性
表面波装置において、前記複数の溝は基板の辺に対して
所定の角度をもつと共に、各面の幅を異ならせたもので
あることを特徴とするものである。
「発明の実施例コ
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明をテレビジョン受像機の映像中間周波段
フィルタに適用した実施例を示すものでおり、同図（ａ
）が平面図、同図（ｂ）が正面図、同図（Ｃ）が底面図
である。尚、同図では説明の便宜上厚み方向を拡大して
示している。同図において１はセラミックス圧電磁器基
板、ＺｎＯ膜が設けられたガラス基板、ＬｉＮｂＯ２単
結晶塁板単結晶成板れた表面波基板であり、この基板１
の表面１ａ上には例えばインターディジタル形状の人出
り電極２，３が形成されている。入力電極２には電気信
号が加えられ、ここで弾性表面波ＳＡＷに変換され、変
換されたＳＡＷは信器方向く矢印へ方向）に沿って伝播
され出力電極３で再び電気信号に変換されて出力として
取り出される。
フィルタに適用した実施例を示すものでおり、同図（ａ
）が平面図、同図（ｂ）が正面図、同図（Ｃ）が底面図
である。尚、同図では説明の便宜上厚み方向を拡大して
示している。同図において１はセラミックス圧電磁器基
板、ＺｎＯ膜が設けられたガラス基板、ＬｉＮｂＯ２単
結晶塁板単結晶成板れた表面波基板であり、この基板１
の表面１ａ上には例えばインターディジタル形状の人出
り電極２，３が形成されている。入力電極２には電気信
号が加えられ、ここで弾性表面波ＳＡＷに変換され、変
換されたＳＡＷは信器方向く矢印へ方向）に沿って伝播
され出力電極３で再び電気信号に変換されて出力として
取り出される。
基板１の裏面１ｂには伝播方向Ａに沿って、伝播方向Ａ
に対し成る角度（例えば４５度）をもつ細長い複数の溝
４ａ〜４ｎがダイヤモンドカッタ、リュータ−等で形成
されている。これらの溝４ａ〜４ｎは交互に広幅Ｗ１と
狭幅Ｗ２として構成されている。
に対し成る角度（例えば４５度）をもつ細長い複数の溝
４ａ〜４ｎがダイヤモンドカッタ、リュータ−等で形成
されている。これらの溝４ａ〜４ｎは交互に広幅Ｗ１と
狭幅Ｗ２として構成されている。
第２図は基板１の裏面（又は底面）１ｂに形成した溝４
８〜４ｂの角度を９０度異ならせた場合を示すものであ
り、他の要素は第１図の場合と全く同一である。
８〜４ｂの角度を９０度異ならせた場合を示すものであ
り、他の要素は第１図の場合と全く同一である。
このように基板１の裏面１ｂに形成した広幅の渦と狭幅
の溝により基板１内を伝わるバルク波によるスプリアス
応答を大幅に抑圧することができる。
の溝により基板１内を伝わるバルク波によるスプリアス
応答を大幅に抑圧することができる。
このような本発明と従来例とを比較した実験結果につい
て説明する。
て説明する。
第３図は第１図の従来例であってＰＺ丁基板の裏面に前
記伝播方向Ａに対して垂直な溝・（＠１方向の溝）を設
け、かつ、各面の幅と深さを一定としたものであり、基
板の長手方向の長さγ〜１ ｏｍｍ、縦方向の長さは１
．５〜４ｍｍ、厚みは０．３〜０．７ｍｍ１各溝はピッ
チか１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍ 、溝幅０．２８ｍｍを
６〜９本形成した場合の実験結果を示ずものである。
記伝播方向Ａに対して垂直な溝・（＠１方向の溝）を設
け、かつ、各面の幅と深さを一定としたものであり、基
板の長手方向の長さγ〜１ ｏｍｍ、縦方向の長さは１
．５〜４ｍｍ、厚みは０．３〜０．７ｍｍ１各溝はピッ
チか１ｍｍ、深さ０．１５ｍｍ 、溝幅０．２８ｍｍを
６〜９本形成した場合の実験結果を示ずものである。
第４図は第２の従来例であって前記第１の従来例と同一
の深さ、幅、ピッチを有する溝を伝播方向Ａに対して４
５度傾斜させて構成したものの実験結果を示すものでお
る。
の深さ、幅、ピッチを有する溝を伝播方向Ａに対して４
５度傾斜させて構成したものの実験結果を示すものでお
る。
第５図は本発明の一実施例であって、各面を伝播方向Ａ
に対して４５度傾斜させて形成すると共に１つ置きに広
い幅（Ｗ１＝約ｏ、ｂｍｍ）と狭い幅（Ｗ２ ＝約０．
１ｍｍ）とし、深さは全て０．１〜０．２ｍｍに統一し
た場合の実験結果を示すものである。
に対して４５度傾斜させて形成すると共に１つ置きに広
い幅（Ｗ１＝約ｏ、ｂｍｍ）と狭い幅（Ｗ２ ＝約０．
１ｍｍ）とし、深さは全て０．１〜０．２ｍｍに統一し
た場合の実験結果を示すものである。
この結果、５０〜６０ＭＨｚに中心周波数を有するフィ
ルターにおいて、第１の従来例は第３図の如＜６０〜７
０Ｍ Ｈｚ領域でのバルク波減衰は平均−３５ｄｂ程度
で、７０〜９０ＭＨ２領域において平均−４５ｄｂとな
る。これに対し第２従来例は第４図の如り６０〜７０Ｍ
Ｈ２領域で平均−４０ｄｂとなり、７０〜９０Ｍ ＋−
１２領域で平均−４０〜−５０ｄｂとなり良好な効果を
示づ。ところが、本発明では第５図の如り６０〜７０Ｍ
、Ｈｚ領領域平均−４５ｄｂとなり、７０〜９０Ｍ ｌ
−Ｉ ｚ領域では実に平均−５０〜−５５ｄｂの値を示
す。
ルターにおいて、第１の従来例は第３図の如＜６０〜７
０Ｍ Ｈｚ領域でのバルク波減衰は平均−３５ｄｂ程度
で、７０〜９０ＭＨ２領域において平均−４５ｄｂとな
る。これに対し第２従来例は第４図の如り６０〜７０Ｍ
Ｈ２領域で平均−４０ｄｂとなり、７０〜９０Ｍ ＋−
１２領域で平均−４０〜−５０ｄｂとなり良好な効果を
示づ。ところが、本発明では第５図の如り６０〜７０Ｍ
、Ｈｚ領領域平均−４５ｄｂとなり、７０〜９０Ｍ ｌ
−Ｉ ｚ領域では実に平均−５０〜−５５ｄｂの値を示
す。
上記実施例は広幅の溝と狭幅の溝を交互に設けているが
、これに限らず２個又は３個以上毎に変化ざ°せるよう
にしてもよいし、ランダムに設けるようにしてもよい。
、これに限らず２個又は３個以上毎に変化ざ°せるよう
にしてもよいし、ランダムに設けるようにしてもよい。
又、溝の幅は２種類に限らず３種類以上設けるようにし
てもよいし、各潜毎に幅と深さを異ならせるような組合
せとしてもよい。
てもよいし、各潜毎に幅と深さを異ならせるような組合
せとしてもよい。
［発明の効果］
以上詳述した本発明によれば、基板の裏面に斜め方向で
あって、かつ６幅を異ならせた溝を複数個設けることに
よってバルク波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提
供できる。
あって、かつ６幅を異ならせた溝を複数個設けることに
よってバルク波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提
供できる。
第１図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）は本発明の一実施例を示
す平面図、正面図、底面図であり、第２図は本発明の他
の実施例を示す底面図、第３図は従来例の特性図、第４
図は同じ〈従来例の特性図、第５図は本発明の特性図で
ある。 １・・・基板、１ａ・・・基板表面（平面）、１ｂ・・
・基板裏面（底面）、２・・・入力電極、３・・・出力
電極。 ４８〜４ｎ・・・溝
す平面図、正面図、底面図であり、第２図は本発明の他
の実施例を示す底面図、第３図は従来例の特性図、第４
図は同じ〈従来例の特性図、第５図は本発明の特性図で
ある。 １・・・基板、１ａ・・・基板表面（平面）、１ｂ・・
・基板裏面（底面）、２・・・入力電極、３・・・出力
電極。 ４８〜４ｎ・・・溝
Claims (2)
- （１）表面基板の電極が設けられた面と反対側の面に複
数の溝が設けられた弾性表面波装置において、前記複数
の溝は基板の辺に対して所定の角度をもつと共に、各溝
の幅を異ならせたものであることを特徴とする弾性表面
波装置。 - （２）前記複数の溝は交互に広幅と狭幅とによって形成
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16628585A JPS6226619A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16628585A JPS6226619A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6226619A true JPS6226619A (ja) | 1987-02-04 |
Family
ID=15828524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16628585A Pending JPS6226619A (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6226619A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7148769B2 (en) * | 2004-03-15 | 2006-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and process for fabricating the same |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP16628585A patent/JPS6226619A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7148769B2 (en) * | 2004-03-15 | 2006-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and process for fabricating the same |
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