JPS6226619A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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Publication number
JPS6226619A
JPS6226619A JP16628585A JP16628585A JPS6226619A JP S6226619 A JPS6226619 A JP S6226619A JP 16628585 A JP16628585 A JP 16628585A JP 16628585 A JP16628585 A JP 16628585A JP S6226619 A JPS6226619 A JP S6226619A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
grooves
acoustic wave
converted
width
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16628585A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Bando
坂東 明
Koichi Yasuda
安田 剛一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP16628585A priority Critical patent/JPS6226619A/ja
Publication of JPS6226619A publication Critical patent/JPS6226619A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/36Devices for manipulating acoustic surface waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野1 本発明は、不要波特にバルク波を有効に抑圧するように
した弾性表面波装置に関覆る。
[発明の技術的背猾とその問題点] 弾性表面波装置は、セラミックス圧電磁器其板、LiN
bO2単結晶基板、ZNO膜か被るされたガラス基板な
どの表面波基板上にインターゲイジタル形状のトランス
ジユーザを設けて構成されるが、このトランスジューサ
で表面波を励受信する際、同時にバルク波も励受信され
る。このバルク波は周波数特性におりるスプリアス妨害
となる。
このようなバルク波を除去するために、従来から表面波
基板の裏面に表面波伝播方向と直交する溝を形成する手
段が提案され、更に、バルク波抑圧効果を高めるために
その溝の長さや幅を変えたり、渦を形成する方向を伝播
方向に沿わせたり、あるいは伝播方向に対し成る角度を
持たせるようにする等種々のものが名えられている。
しかしながら、従来方式によりある程度の効果は得られ
ているものの、例えばテレビジョン受像機の映像中間周
波数段フィルタ等に用いる場合には未だ発生するバルク
波による障害か問題となる等の不十分さが残っていた。
[発明の目的] 本発明は前記事情に鑑みてなされたものであり、バルク
波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提供することを
目的とするものである。
[発明の概要] 前記目的を達成するために本発明は、表面基板の電極が
設けられた面と反対側の面に複数の溝が設けられた弾性
表面波装置において、前記複数の溝は基板の辺に対して
所定の角度をもつと共に、各面の幅を異ならせたもので
あることを特徴とするものである。
「発明の実施例コ 以下実施例により本発明を具体的に説明する。
第1図は本発明をテレビジョン受像機の映像中間周波段
フィルタに適用した実施例を示すものでおり、同図(a
)が平面図、同図(b)が正面図、同図(C)が底面図
である。尚、同図では説明の便宜上厚み方向を拡大して
示している。同図において1はセラミックス圧電磁器基
板、ZnO膜が設けられたガラス基板、LiNbO2単
結晶塁板単結晶成板れた表面波基板であり、この基板1
の表面1a上には例えばインターディジタル形状の人出
り電極2,3が形成されている。入力電極2には電気信
号が加えられ、ここで弾性表面波SAWに変換され、変
換されたSAWは信器方向く矢印へ方向)に沿って伝播
され出力電極3で再び電気信号に変換されて出力として
取り出される。
基板1の裏面1bには伝播方向Aに沿って、伝播方向A
に対し成る角度(例えば45度)をもつ細長い複数の溝
4a〜4nがダイヤモンドカッタ、リュータ−等で形成
されている。これらの溝4a〜4nは交互に広幅W1と
狭幅W2として構成されている。
第2図は基板1の裏面(又は底面)1bに形成した溝4
8〜4bの角度を90度異ならせた場合を示すものであ
り、他の要素は第1図の場合と全く同一である。
このように基板1の裏面1bに形成した広幅の渦と狭幅
の溝により基板1内を伝わるバルク波によるスプリアス
応答を大幅に抑圧することができる。
このような本発明と従来例とを比較した実験結果につい
て説明する。
第3図は第1図の従来例であってPZ丁基板の裏面に前
記伝播方向Aに対して垂直な溝・(@1方向の溝)を設
け、かつ、各面の幅と深さを一定としたものであり、基
板の長手方向の長さγ〜1 omm、縦方向の長さは1
.5〜4mm、厚みは0.3〜0.7mm1各溝はピッ
チか1mm、深さ0.15mm 、溝幅0.28mmを
6〜9本形成した場合の実験結果を示ずものである。
第4図は第2の従来例であって前記第1の従来例と同一
の深さ、幅、ピッチを有する溝を伝播方向Aに対して4
5度傾斜させて構成したものの実験結果を示すものでお
る。
第5図は本発明の一実施例であって、各面を伝播方向A
に対して45度傾斜させて形成すると共に1つ置きに広
い幅(W1=約o、bmm)と狭い幅(W2 =約0.
1mm)とし、深さは全て0.1〜0.2mmに統一し
た場合の実験結果を示すものである。
この結果、50〜60MHzに中心周波数を有するフィ
ルターにおいて、第1の従来例は第3図の如<60〜7
0M Hz領域でのバルク波減衰は平均−35db程度
で、70〜90MH2領域において平均−45dbとな
る。これに対し第2従来例は第4図の如り60〜70M
H2領域で平均−40dbとなり、70〜90M +−
12領域で平均−40〜−50dbとなり良好な効果を
示づ。ところが、本発明では第5図の如り60〜70M
、Hz領領域平均−45dbとなり、70〜90M l
−I z領域では実に平均−50〜−55dbの値を示
す。
上記実施例は広幅の溝と狭幅の溝を交互に設けているが
、これに限らず2個又は3個以上毎に変化ざ°せるよう
にしてもよいし、ランダムに設けるようにしてもよい。
又、溝の幅は2種類に限らず3種類以上設けるようにし
てもよいし、各潜毎に幅と深さを異ならせるような組合
せとしてもよい。
[発明の効果] 以上詳述した本発明によれば、基板の裏面に斜め方向で
あって、かつ6幅を異ならせた溝を複数個設けることに
よってバルク波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、(b)、(C)は本発明の一実施例を示
す平面図、正面図、底面図であり、第2図は本発明の他
の実施例を示す底面図、第3図は従来例の特性図、第4
図は同じ〈従来例の特性図、第5図は本発明の特性図で
ある。 1・・・基板、1a・・・基板表面(平面)、1b・・
・基板裏面(底面)、2・・・入力電極、3・・・出力
電極。 48〜4n・・・溝

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面基板の電極が設けられた面と反対側の面に複
    数の溝が設けられた弾性表面波装置において、前記複数
    の溝は基板の辺に対して所定の角度をもつと共に、各溝
    の幅を異ならせたものであることを特徴とする弾性表面
    波装置。
  2. (2)前記複数の溝は交互に広幅と狭幅とによって形成
    されていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の弾性表面波装置。
JP16628585A 1985-07-26 1985-07-26 弾性表面波装置 Pending JPS6226619A (ja)

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JP16628585A JPS6226619A (ja) 1985-07-26 1985-07-26 弾性表面波装置

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JP16628585A JPS6226619A (ja) 1985-07-26 1985-07-26 弾性表面波装置

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Publication Number Publication Date
JPS6226619A true JPS6226619A (ja) 1987-02-04

Family

ID=15828524

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16628585A Pending JPS6226619A (ja) 1985-07-26 1985-07-26 弾性表面波装置

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JP (1) JPS6226619A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7148769B2 (en) * 2004-03-15 2006-12-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave device and process for fabricating the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7148769B2 (en) * 2004-03-15 2006-12-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave device and process for fabricating the same

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