JPS5883420A - 弾性境界波装置 - Google Patents
弾性境界波装置Info
- Publication number
- JPS5883420A JPS5883420A JP18110981A JP18110981A JPS5883420A JP S5883420 A JPS5883420 A JP S5883420A JP 18110981 A JP18110981 A JP 18110981A JP 18110981 A JP18110981 A JP 18110981A JP S5883420 A JPS5883420 A JP S5883420A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boundary
- elastic
- acoustic wave
- elastic boundary
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、端面反射波を防止し周波数特性を向上させた
弾性境界波装置に関するものである。
弾性境界波装置に関するものである。
弾性波境界波装置は、第１図及び第２図に示す様に圧電
性基板１上にすだれ状電極２．３を設け、夏にその上に
圧電性基板１と弾性係数もしくは密度の異なる薄膜４を
形成し、圧電性基板１と薄膜４との境界にほとんどのエ
ネルギーを集中させ、圧電性を有するストンリー波と類
似の波を発生させ、これをフィルタや遅延線等の各種電
子デバイスに利用した装置である。
性基板１上にすだれ状電極２．３を設け、夏にその上に
圧電性基板１と弾性係数もしくは密度の異なる薄膜４を
形成し、圧電性基板１と薄膜４との境界にほとんどのエ
ネルギーを集中させ、圧電性を有するストンリー波と類
似の波を発生させ、これをフィルタや遅延線等の各種電
子デバイスに利用した装置である。
しかし、従来の弾性境界波装着では、鋪１図の矢印▲，
Ｂで示す様に入力用すだれ状電極２で励起された弾性境
界波は境界面に沿って両方向に伝搬する．そのため、出
力用すだれ状電極５は矢印Ｂで示す弾性境界波を主信号
として受信するｔζその他にも圧電性基板１の端面，即
ち境界面端部５、６で反射され”た弾性境界波（′矢印
ａ／ 、 ａ／ ）も受信してしまう。従って、この反
射波による信号が主信号に対して遅相し比信号となる九
め、周波数特性上リップルとなって現われるという不具
合を生じてｂた。
Ｂで示す様に入力用すだれ状電極２で励起された弾性境
界波は境界面に沿って両方向に伝搬する．そのため、出
力用すだれ状電極５は矢印Ｂで示す弾性境界波を主信号
として受信するｔζその他にも圧電性基板１の端面，即
ち境界面端部５、６で反射され”た弾性境界波（′矢印
ａ／ 、 ａ／ ）も受信してしまう。従って、この反
射波による信号が主信号に対して遅相し比信号となる九
め、周波数特性上リップルとなって現われるという不具
合を生じてｂた。
本発明線かかる従来の弾性境界波装置の欠点に鑑みなさ
れたもので、良好な周波数特性を有する弾性境界波装置
を提供することを目的としている。
れたもので、良好な周波数特性を有する弾性境界波装置
を提供することを目的としている。
本発明の弾性境界波装置は、電気信号を弾性境界波に変
換する第１のすだれ状電極と該弾性境界波を再び電気信
号に変換する第２のすだれ状電極とを，弾性定数もしく
は密度が互いに異なる２つの物質の境界に配電した構成
において、上記弾性境界波の伝搬方向に面する２つの物
質の境界面端部を１弾性境界波の伝搬方向に対して斜め
に形成したことを特徴としている。
換する第１のすだれ状電極と該弾性境界波を再び電気信
号に変換する第２のすだれ状電極とを，弾性定数もしく
は密度が互いに異なる２つの物質の境界に配電した構成
において、上記弾性境界波の伝搬方向に面する２つの物
質の境界面端部を１弾性境界波の伝搬方向に対して斜め
に形成したことを特徴としている。
以下添付の図面に示す実施例によ）、更に詳細に本発明
について説明する。
について説明する。
第３図は、テレビジ璽ン受像機の中間周波数段に用いる
フィルタに本発明を応用したものであり、図示する様に
弾性境界波の伝書方向に面する画境界面端部５，６を弾
性境界波の伝搬方向に垂直な面よル４５度の角度で傾け
て切断し、反射波を弾性境界波の伝搬方向に対して９０
ｇの方向に反射させ、出力用すだれ状電極５に反射波が
入力されない様にしたものである。このフィルタは、圧
電性基板１として１２８°回転Ｙ軸カットのニオブ酸リ
チウムを用い５弾性境界波の進行方向をＸ軸とした。ま
た、すだれ状電極２．３としては、中心周波数５６．５
ＭＨ２・電極対数１５対・電極＠８．１１クロンの二重
電極と、電極 差幅と電極間隔を変化させた重みつき電
極とを用いた。いずれのすだれ状電極２．５も５０００
オングストロームのアルミニウム蒸着膜をフォトリング
ラフィ技術で形成し、薄膜４としては二酸化シリコンを
ｃｖｎ法によ）３０ζクロン形成した。
フィルタに本発明を応用したものであり、図示する様に
弾性境界波の伝書方向に面する画境界面端部５，６を弾
性境界波の伝搬方向に垂直な面よル４５度の角度で傾け
て切断し、反射波を弾性境界波の伝搬方向に対して９０
ｇの方向に反射させ、出力用すだれ状電極５に反射波が
入力されない様にしたものである。このフィルタは、圧
電性基板１として１２８°回転Ｙ軸カットのニオブ酸リ
チウムを用い５弾性境界波の進行方向をＸ軸とした。ま
た、すだれ状電極２．３としては、中心周波数５６．５
ＭＨ２・電極対数１５対・電極＠８．１１クロンの二重
電極と、電極 差幅と電極間隔を変化させた重みつき電
極とを用いた。いずれのすだれ状電極２．５も５０００
オングストロームのアルミニウム蒸着膜をフォトリング
ラフィ技術で形成し、薄膜４としては二酸化シリコンを
ｃｖｎ法によ）３０ζクロン形成した。
第４図は第５図に示すフィルタの周波数特性を示す図で
あり、点線９で示す従来技術で生じていたリップルが実
１ｉ１１０で示す様にほとんどなくなることがわかる。
あり、点線９で示す従来技術で生じていたリップルが実
１ｉ１１０で示す様にほとんどなくなることがわかる。
尚、この時反射信号のレベルは主信号に対して〜ｌｄＢ
以下であった。
以下であった。
第５図は１本発明の第２の実施例を示す図であプ、薄ｊ
１［４の境界面端部７，８のみを弾性境界波Ｏ伝書方向
に対して斜めに形成したものである。
１［４の境界面端部７，８のみを弾性境界波Ｏ伝書方向
に対して斜めに形成したものである。
この場合にも、上記［１の実施例と同様に反射信号抑圧
効果が得られることは容易に理解できる。
効果が得られることは容易に理解できる。
第５図に示す実施例においては、薄ｊｉ［４を圧電性基
板」上に形成した後、フォトエツチング技術を用いて端
面７，８の形成を行った。
板」上に形成した後、フォトエツチング技術を用いて端
面７，８の形成を行った。
上記実施例におりては、圧電性基板１の上に非圧電性材
料の薄ｊｌＩ４を形成したが、非圧電性＆板の上ｉ：圧
電性材料の薄膜を形成した場合にも、基板と薄膜の両方
が圧電性材料の場合にも、本発明を適用できることは明
白である。
料の薄ｊｌＩ４を形成したが、非圧電性＆板の上ｉ：圧
電性材料の薄膜を形成した場合にも、基板と薄膜の両方
が圧電性材料の場合にも、本発明を適用できることは明
白である。
また、上記実施例では、境界面端部の角ｆが４５度の場
合について述べたが、他の角度でも同様の効果が得られ
ることはもちろんで°ある。
合について述べたが、他の角度でも同様の効果が得られ
ることはもちろんで°ある。
以上の説明から明らかな様に、本発明によれば、弾性境
界波装置の端面における反射波による不費な信号が効果
的に抑制され、弾性境界波装置の周波数特性が大幅に改
善される効果を有する。
界波装置の端面における反射波による不費な信号が効果
的に抑制され、弾性境界波装置の周波数特性が大幅に改
善される効果を有する。
第１図は従来の弾性境界波装置の平面図、第２図は従来
の弾性境界波装置の断面図、＠５図は本発明の弾性境界
波装置の第１の実施例を示す平面図、第４図は第５図に
示す弾性境界波装置の周波数特性を示す図、第５図は本
発明の弾性境界波装置の第２の実施例を示す平面図であ
る。 １・・・圧電性基板％ ２．５・・・すだれ状電極、４
°・・薄膜、 ５，６，７．８・・・境界面端部。 才 ／ｒ５！Ｉ 才 ３ 図 ５２ ５４ Ｓ＆ ５８
ｄａ ４２周 −／ｆ！Ｉ、歌 （阿ＨＸ
） オ ５ 図
の弾性境界波装置の断面図、＠５図は本発明の弾性境界
波装置の第１の実施例を示す平面図、第４図は第５図に
示す弾性境界波装置の周波数特性を示す図、第５図は本
発明の弾性境界波装置の第２の実施例を示す平面図であ
る。 １・・・圧電性基板％ ２．５・・・すだれ状電極、４
°・・薄膜、 ５，６，７．８・・・境界面端部。 才 ／ｒ５！Ｉ 才 ３ 図 ５２ ５４ Ｓ＆ ５８
ｄａ ４２周 −／ｆ！Ｉ、歌 （阿ＨＸ
） オ ５ 図
Claims (1)
- 電気信号を弾性境界波に変換する第１のすだれ状電極と
該弾性境界波を再び電気信号に変換する第２のすだれ状
電極とを、弾性定数もしくは密度が互いに異なる２つの
物質の境界に配置した構成において、上記弾性表面波の
伝書方向に面する２つの物質の境界面端部を、弾性境界
波の伝搬方向に対して斜めに形成したことを特徴とする
弾性境界波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18110981A JPS5883420A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 弾性境界波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18110981A JPS5883420A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 弾性境界波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883420A true JPS5883420A (ja) | 1983-05-19 |
Family
ID=16095002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18110981A Pending JPS5883420A (ja) | 1981-11-13 | 1981-11-13 | 弾性境界波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883420A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63301609A (ja) * | 1987-06-01 | 1988-12-08 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US4795934A (en) * | 1984-02-20 | 1989-01-03 | British Telecommunication, Plc | Mounting of saw devices |
| US4916348A (en) * | 1989-04-13 | 1990-04-10 | Northern Telecom Limited | Surface acoustic wave scattering grating |
| US5163435A (en) * | 1988-09-14 | 1992-11-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoceramic lamina acoustic delay line suitable for use in an ultrasonic diagnostic system |
| WO2005036743A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| WO2005036744A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| JP2009177829A (ja) * | 2003-04-18 | 2009-08-06 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
-
1981
- 1981-11-13 JP JP18110981A patent/JPS5883420A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4795934A (en) * | 1984-02-20 | 1989-01-03 | British Telecommunication, Plc | Mounting of saw devices |
| US5035035A (en) * | 1984-02-20 | 1991-07-30 | British Telecommunications Plc | Method of mounting saw devices |
| JPS63301609A (ja) * | 1987-06-01 | 1988-12-08 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US5163435A (en) * | 1988-09-14 | 1992-11-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoceramic lamina acoustic delay line suitable for use in an ultrasonic diagnostic system |
| US4916348A (en) * | 1989-04-13 | 1990-04-10 | Northern Telecom Limited | Surface acoustic wave scattering grating |
| JP2009177829A (ja) * | 2003-04-18 | 2009-08-06 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
| WO2005036743A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| WO2005036744A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
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