JPS60256214A - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置Info
- Publication number
- JPS60256214A JPS60256214A JP11339984A JP11339984A JPS60256214A JP S60256214 A JPS60256214 A JP S60256214A JP 11339984 A JP11339984 A JP 11339984A JP 11339984 A JP11339984 A JP 11339984A JP S60256214 A JPS60256214 A JP S60256214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- piezoelectric thin
- reflection
- face
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は弾性波の端面反射を抑圧させた弾性波装置に関
する。
する。
従来例の構成とその問題点
従来、弾性波装置には基板上に入力電極および出力電極
とを配設してその上に圧電薄膜を形成したものと、圧電
薄膜上に入力電極と出力電極とを配設したものとがある
。どちらも電極から発生した弾性波の波面反射を抑圧す
る方法として反射吸収剤を塗布する方法と、電極から発
生した弾性波が反射される端面を弾性波の伝搬方向に対
して傾斜させる方法を用いている。
とを配設してその上に圧電薄膜を形成したものと、圧電
薄膜上に入力電極と出力電極とを配設したものとがある
。どちらも電極から発生した弾性波の波面反射を抑圧す
る方法として反射吸収剤を塗布する方法と、電極から発
生した弾性波が反射される端面を弾性波の伝搬方向に対
して傾斜させる方法を用いている。
第１図と第２図、第３図と第４図はそれぞれ従来例を示
し、 ここでは基板（］）の上面に入力電極（２）と出
力電力（３）とを設け、その」二に圧電薄１［！（４）
を形成し、圧電薄［（４）の両端部には反射吸収剤（５
）が塗布されている。
し、 ここでは基板（］）の上面に入力電極（２）と出
力電力（３）とを設け、その」二に圧電薄１［！（４）
を形成し、圧電薄［（４）の両端部には反射吸収剤（５
）が塗布されている。
しかし、上記のような構成では反射吸収剤（５）塗布面
が広く、基板端面に角度を持たせるため基板面が大きく
コスト面で極めて不利となり、また完全に端面反射を抑
圧することが出来ないのが現状である。
が広く、基板端面に角度を持たせるため基板面が大きく
コスト面で極めて不利となり、また完全に端面反射を抑
圧することが出来ないのが現状である。
発明の目的
本発明は端面反射の影響の小さく、かつチップサイズが
小さくて特性の安定した弾性波装置を提供することを目
的とする。
小さくて特性の安定した弾性波装置を提供することを目
的とする。
発明の構成
本発明の弾性波装置は、基板上に形成された圧電薄膜の
上あるいは下に入力電力および出力電力を配設して弾性
波が伝搬するよう構成すると共に、前記圧電薄膜の前記
弾性波伝搬方向と交差する方向の端面形状をジグザグ状
に形成してチップサイズを大きくすることなく不要反射
を部分に減衰させたことを特徴とする。
上あるいは下に入力電力および出力電力を配設して弾性
波が伝搬するよう構成すると共に、前記圧電薄膜の前記
弾性波伝搬方向と交差する方向の端面形状をジグザグ状
に形成してチップサイズを大きくすることなく不要反射
を部分に減衰させたことを特徴とする。
実施例の説明
以下、本発明の実施例を第５図〜第９図に基づいて説明
する。なお、第１図、第３図の従来例とＩｎ＋様の作用
を成すものには同一符号を付けてその説明を省く。
する。なお、第１図、第３図の従来例とＩｎ＋様の作用
を成すものには同一符号を付けてその説明を省く。
第５図と第７図は基板（１）、１：に入力電極（２）と
出力電極に（）とを配設し、そのにに圧電薄膜（４）を
形成し、更に圧電薄膜（４）の両端面一にに反射吸収剤
（５）が塗布されている。 ここで弾性波伝搬方向と交
差する方向の前記ｌ！［電薄膜（４）の端面（６，）（
６□）はフォ１−エツチング等によってジグザグ状に形
成されている。
出力電極に（）とを配設し、そのにに圧電薄膜（４）を
形成し、更に圧電薄膜（４）の両端面一にに反射吸収剤
（５）が塗布されている。 ここで弾性波伝搬方向と交
差する方向の前記ｌ！［電薄膜（４）の端面（６，）（
６□）はフォ１−エツチング等によってジグザグ状に形
成されている。
このように圧電薄膜（４）の端面（６１）（６２）をジ
グザグ状に形成したため、１゛分に不要反射を減衰させ
ることができる。 また、反射吸収剤（５）が合せて使
用されているため、不要反射の減衰効果はよす十分なも
のとなっている。
グザグ状に形成したため、１゛分に不要反射を減衰させ
ることができる。 また、反射吸収剤（５）が合せて使
用されているため、不要反射の減衰効果はよす十分なも
のとなっている。
第６図と第８図では入力電極（２）と出力電力（３）が
圧電薄膜（４）」−に配設されている点だけが異なり、
作用等は第５図の場合と同様である。
圧電薄膜（４）」−に配設されている点だけが異なり、
作用等は第５図の場合と同様である。
第９図は上記のように圧電薄膜（４）の端面をジグザグ
状に形成した本発明の弾性波装置の周波数特性図Ａと従
来の弾性波装置の特性Ｂとを示し、この図から弾性派の
端面反射が抑圧され、リップル部分の減衰量が著しく減
少し、性能向ｌ―シていることがわかる。
状に形成した本発明の弾性波装置の周波数特性図Ａと従
来の弾性波装置の特性Ｂとを示し、この図から弾性派の
端面反射が抑圧され、リップル部分の減衰量が著しく減
少し、性能向ｌ―シていることがわかる。
発明の効果
以−に説明のように本発明の弾性波装置によると、圧電
薄膜の弾性波伝搬方向と交差する方向の端面をジグザグ
状に形成したため、不要反射を１゛分に抑圧することが
でき性能向にが期待できる。また。
薄膜の弾性波伝搬方向と交差する方向の端面をジグザグ
状に形成したため、不要反射を１゛分に抑圧することが
でき性能向にが期待できる。また。
従来と同等の端面反射によるリップル部分の減衰量を許
容すれば吸収剤の塗布幅が短縮出来、基板端面の角度を
直角に近ずけることが出来るためチップサイズが小さく
なり、コスト低減にも効果があるものである。
容すれば吸収剤の塗布幅が短縮出来、基板端面の角度を
直角に近ずけることが出来るためチップサイズが小さく
なり、コスト低減にも効果があるものである。
３−
第１図と第２図、第３図と第４図はそれぞれ従来の弾性
波装置の平面図と断面図、第５図〜第９図は本発明の実
施例を示し、第５図と第７図は本発明の第１の実施例の
平面図と断面図、第６図と第８図は第２の実施例の平面
図と断面図、第９図は周波数特性図である。 （１）・・・基板、（２）・入力電極、（３）・・・出
力電極、（４）・・圧電薄膜、（５）・・・反射吸収剤
、（６□） （６２）・・・圧電薄膜の弾性波伝搬方向
と交差する方向の端面代理人 森 本 義 弘 ４− 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第５図 第７図 第３図 第９図 何５夕 ５６５７ ｇ Ｐ１彼数（ＭＨｚ）
波装置の平面図と断面図、第５図〜第９図は本発明の実
施例を示し、第５図と第７図は本発明の第１の実施例の
平面図と断面図、第６図と第８図は第２の実施例の平面
図と断面図、第９図は周波数特性図である。 （１）・・・基板、（２）・入力電極、（３）・・・出
力電極、（４）・・圧電薄膜、（５）・・・反射吸収剤
、（６□） （６２）・・・圧電薄膜の弾性波伝搬方向
と交差する方向の端面代理人 森 本 義 弘 ４− 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第５図 第７図 第３図 第９図 何５夕 ５６５７ ｇ Ｐ１彼数（ＭＨｚ）
Claims (1)
- ■、基板上に形成された圧電薄膜の上あるいは下に入力
電極および出力電極を配設して弾性波が伝搬するよう構
成すると共に、前記圧電薄膜の前記弾性波伝搬方向と交
差する方向の端面形状をジグザグ状に形成した弾性波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11339984A JPS60256214A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11339984A JPS60256214A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 弾性波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60256214A true JPS60256214A (ja) | 1985-12-17 |
Family
ID=14611311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11339984A Pending JPS60256214A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60256214A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5414321A (en) * | 1991-03-28 | 1995-05-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Surface-wave arrangement having a structure for preventing interfering acoustic wave components |
| US5837332A (en) * | 1989-11-19 | 1998-11-17 | Nihon Victor Kabushiki-Kaisha | Method and apparatus for preparing crystal thin films by using a surface acoustic wave |
| GB2577361A (en) * | 2018-07-18 | 2020-03-25 | Skyworks Solutions Inc | Fbar filter with integrated cancelation cicuit |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP11339984A patent/JPS60256214A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5837332A (en) * | 1989-11-19 | 1998-11-17 | Nihon Victor Kabushiki-Kaisha | Method and apparatus for preparing crystal thin films by using a surface acoustic wave |
| US5414321A (en) * | 1991-03-28 | 1995-05-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Surface-wave arrangement having a structure for preventing interfering acoustic wave components |
| GB2577361A (en) * | 2018-07-18 | 2020-03-25 | Skyworks Solutions Inc | Fbar filter with integrated cancelation cicuit |
| GB2577361B (en) * | 2018-07-18 | 2023-03-01 | Skyworks Solutions Inc | FBAR filter with integrated cancelation circuit |
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