JPH034613A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、インターデジタル形弾性表面波装置に関し、
入力トランスジューサを構成するインターデジタル電極
の後端部側を吸音材で覆うことにより、インターデジタ
ル電極の後端部側における不要振動波の発生を抑制し、
本来必要な弾性表面波に対する不要振動波の影響をなく
し、リップル及び群遅延歪の少ない優れたフィルタ特性
を有する小型の弾性表面波装置が得られるようにしたも
のである。

〈従来の技術〉 第３図は従来よりよく知られている弾性表面波装置の平
面図で、圧電基板１の表面に、入力トランスジューサ２
及び出力トランスジューサ３を間隔をおいて配置すると
共に、入力トランスジューサ２及び出力トランスジュー
サ３の間に、シールド電極４を設け、更に、入力トラン
スジューサ２．３の外側の圧電基板１の端部に、吸音材
５．６を付与し、弾性表面波の多重反射を防止するよう
になっている。圧電基板！は圧電ｊ＄Ｌ結晶、圧電薄膜
またはチタン酸鉛系強誘電性磁器もしくはチタン酸ジル
コン酸鉛系強誘電性磁器で構成されている。

入力トランスジューサ２は、インターデジタル電極２１
．２２を備えて構成されている。２３．２４はバスパー
である。インターデジタル電極２１．２２のそれぞれは
、所定の周波数特性が得られるように、アポダイズ法に
よる重み付けが行なわれている。アボダイズ法による重
み付けは公知であり、所定のサイドローブ（イ）及び（
ロ）が生じるように、弾性表面波ｖ３の進行方向Ｘに沿
って、電極交差幅Ｗを変化させる。出力トランスジユー
サ３も、インターデジタル電極３１．３２及びバスパー
３３．３４を備えている。ｉ音材５．６はシリコーン樹
脂等で構成される。

完成品としては、弾性表面波の伝ばん部を構成する空洞
部を有して、メタルカンに圧電基板を納めたり、絶縁樹
脂で被覆したり、或いは電気絶縁材料でなる支持基板上
に搭載したうえでケースで覆う等の構造をとるのが普通
である。

上述の弾性表面波装置をフィルタとして使用する場合に
必要な振動波は、圧電基板１を媒体として、入力トラン
スジューサ２から出力トランスジューサ３へ向って、Ｘ
方向に伝ばんされる弾性表面波ｖｓである。ところが、
この種の弾性表面波装置では、進行方向Ｘの弾性表面波
Ｖｌの他に、不要振動モードに起因する多種多様の音速
を持った振動波が発生する 各種不要振動波のうち、バスパー２３．２４の端部で生
じる反射波を減少させることを狙った従来技術としては
、特開昭５３−３３５５７号公報に開示されたものが知
られている。第４図はその平面図、第５図は同じく要部
の拡大図で、入力トランスジューサ２に対し、インター
デジタル電極２１．２２の電極交差部にかからないよう
に、バスパー２３．２４に限ってこれを覆うように、吸
音材５を付着させていた。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来の弾性表面波装置には、次
のような問題点がある。

（イ）アボダイズ法による重み付けを行なった表面弾性
波装置では、入力トランスジューサ２を構成するインタ
ーデジタル電極２１．２２が、表面弾性波ｖ８の進行方
向Ｘで見て後端部側の電極交差幅Ｗが非常に狭くなる電
極パターンを有している。場合によっては、電極交差幅
Ｗがないような、あるいは負になるような設計をしなけ
ればならないこともある。このため、インタ−デジタル
電極２１．２２の後端部側においで、進行方向Ｘに進行
する弾性表面波Ｖ、を生じる電界Ｅ、の他に、電界Ｅ、
と交差する方向の電界ｔｃが放射状に生じる。この放射
状電界ＥＣによって、弾性表面波ｖ８の進行方向Ｘとは
異なる方向の不要振動波が生じる。圧電基板１がチタン
酸鉛系強誘電性磁器またはチタン酸ジルコン酸鉛某強誘
電性磁器等でなり、各ディメンションにおいて等方性の
ある媒体である場合は、この傾向が特に強い′、このよ
うな不要振動波は、特開昭５３−３３５５７号公報に開
示の技術によっては低減させることができない。

（ロ）従来の弾性表面波装置は、吸音材５をインターデ
ジタル電極２１．２２を避けて塗布する構造であるから
、吸音材５とインターデジタル電極２１．２２との間に
間隔αが生じる。この間隔αでは、不要振動波に対する
吸音作用が働かないため、不要振動波に対する減衰が不
充分になる。また、間隔αが必要であるために、小型化
に限界を生じる。

そこで、本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決
し、インターデジタル電極の端部側で生じる不要振動波
を抑制し、リップル及び群遅延歪の少ない優れたフィル
タ特性を有する小型の弾性表面波装置を提供することで
ある。

〈課題を解決するための手段〉 上述する課題解決のため、本発明に係る弾性表面波装置
は、圧電基板上に間隔を隔ててインターデジタル電極を
有する入力トランスジューサ及、び出力トランスジュー
サを設けた弾性表面波装置であって、 前記入力トランスジユーサを構成する前記インターデジ
タル電極は、前記人力トランスジューサから前記出力ト
ランスジューサに向う弾性表面波の進行方向で見て後端
部側が吸音材で覆われていること を特徴とする。

く作用〉 入力トランスジューサを構成する前記インターデジタル
電極は、前記入力トランスジューサから前記出力トラン
スジューサに向う弾性表面波の進行方向で見て後端部側
が吸音材で覆われているので、本来必要な弾性表面波を
生じる電界と交差する方向の電界を生じ、この電界によ
って弾性表面波とは異なる方向の不要振動波が生じても
、吸音材によって吸収できる。

しかも、吸音材はインターデジタル電極に付与されてい
るから、インターデジタル電極と吸音材が連続し、両者
間に吸音材のない間隔が発生する余地がない。このため
、不要振動波の減衰が一層良好になると共に、小型にな
る。

本発明は、チタン酸鉛系強訊電性磁器またはチタン酸ジ
ルコン酸鉛系強誘電性磁器等の多結晶の圧電基板に限ら
ず、単結晶の圧電基板にも適用できる。

〈実施例〉 第１図は本発明に係る弾性表面波装置の平面図、第２図
は同じく要部における拡大平面図である。図において、
第３図〜第５図と同一の参照符号は同一性ある構成部分
を示している。入力トランスジューサ２を構成するイン
ターデジタル電極２１．２２は、入力トランスジューサ
２から出力トランスジューサ３に向う弾性表面波ＶＳの
進行方向Ｘで見て、後端部側が吸音材５で覆われている
。

吸音材５はインターデジタル電極２１−２２間に生じる
間隔を覆うように付与する。インターデジタル電極２１
−２２間に生じる間隔は、通常は電極交差部分となるが
、電極交差を生じない場合も存在し得ることは前述した
通りである。吸音材５の長さは、電極交差ｉＷの変化に
よって生じるサイドローブ（イ）、（ロ）の１波または
２波程度が望ましい。勿論、インターデジタル電極２！
、２２を連結するバスパー２３．２４まで覆うように形
成してもよい。吸音材５としては、シリコーンゴム、エ
ポキシ樹脂、フ÷ノール樹脂またはフォトレジスト等が
使用できる。

上記構成であれば、インターデジタル電極２１−２２間
に、弾性表面波Ｖｓとは異なる方向の不要な振動波が生
じても、この不要振動波は吸音材５によって吸収できる
。吸音材５を付与したことによって若干の減衰を生じる
が、電極交差幅Ｗを増加させることによって補うことが
できる。

しかも、吸音材５はインターデジタル電極２１．２２に
付与されているから、不要振動波の減衰が一層良好にな
る。

図示は省略したが、出力トランスジューサ２の吸音材６
側の端部に同様の被覆を施すことができる。

第６図は第３図に示した弾性表面波装置の入力側電極か
ら発生する表面波信号を出力側電極で受信した時間軸上
での振幅特性図、第７図は本発明に係る弾性表面波装置
の入力端電極から発生する表面波信号を出力側電極で受
信した時間軸上での振幅特性図である。従来の弾性表面
波装置では第６図に示すように反射波によるリップル（
ハ）が生じているが、本発明に係る弾性表面波装置では
、反射波によるリップルが殆ど認められない。

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明に係る弾性表面波装置おいて
は、入力トランスジューサを構成するインターデジタル
電極は、入力トランスジューサから出力トランスジュー
サに向う弾性表面波の進行方向で見て後端部側が吸音材
で覆われているので、本来必要な弾性表面波を生じる電
界と交差する方向の電界によって弾性表面波とは異なる
方向の不要な振動波が生じても、この不要振動波を吸音
材によって吸収し、リップル及び群遅延歪の少ない優れ
たフィルタ特性を有する小型の弾性表面波装置を提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る弾性表面波装置の平面図、第２図
は同じく要部における拡大平面図、第３図は一従来の弾
性表面波装置の平面図、第４図ば同じく別の従来例にお
ける平面図、第５−図は第４図に示して弾性表面波装置
の要部における拡大平面図、′ｓ６図は第３図に示した
弾性表面波装置の入力側電極から発生する表面波信号を
出力制電−で受信した時間軸上での振幅特性図、第７図
は本発明に係る弾性表面波装置の入力側電極から発生す
る表面波信号を出力側電極で受信した時間軸上での振幅
特性図である。 １・・・圧電基板 ２・・・入力トランスジューサ ３・・・出力トランスジューサ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　圧電基板上に間隔を隔ててインターデジタル電
   極を有する入力トランスジューサ及び出力トランスジュ
   ーサを設けた弾性表面波装置であって、 少なくとも前記入力トランスジューサを構成する前記イ
   ンターデジタル電極は、前記入力トランスジューサから
   前記出力トランスジューサに向う弾性表面波の進行方向
   で見て後端部側が吸音材で覆われていること を特徴とする弾性表面波装置。
2. （２）　前記インターデジタル電極は、前記弾性表面波
   の進行方向に沿って電極交差幅が異なることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項に記載の弾性表面波装置。