JPS6110351Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6110351Y2 JPS6110351Y2 JP1976142780U JP14278076U JPS6110351Y2 JP S6110351 Y2 JPS6110351 Y2 JP S6110351Y2 JP 1976142780 U JP1976142780 U JP 1976142780U JP 14278076 U JP14278076 U JP 14278076U JP S6110351 Y2 JPS6110351 Y2 JP S6110351Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- elastic waves
- elastic
- transmitting
- elastic wave
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 4
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は基板表面を弾性波が伝播する表面弾性
波伝播装置に関する。
波伝播装置に関する。
一般に表面弾性波の伝播速度は電磁波のそれに
比べ10-5倍と極めて遅いため、この弾性波が遅延
回路の送信信号として使用される場合、従来コイ
ル・コンデンサ・抵抗等の時定数に依つて遅延時
間が定まつていた遅延回路に比べて装置の小型化
が図れると共にソリツドステート化が出来る。ま
た弾性波は略基板表面を伝播するのでその制御を
基板表面で行なう事が出来る等の利点がある。
比べ10-5倍と極めて遅いため、この弾性波が遅延
回路の送信信号として使用される場合、従来コイ
ル・コンデンサ・抵抗等の時定数に依つて遅延時
間が定まつていた遅延回路に比べて装置の小型化
が図れると共にソリツドステート化が出来る。ま
た弾性波は略基板表面を伝播するのでその制御を
基板表面で行なう事が出来る等の利点がある。
そこで、第１図に示すような装置が考案されて
いる。１はその表面を弾性波が伝播する基板で、
該基板１は例えば水晶やニオブ酸リチウム等の圧
電物質から成つている。２は該基板１表面に設け
られ電気信号が印加されると機械的な信号である
弾性波を基板１内に励起する送信電極、３は該送
信電極２同様に基板１表面に形成された受信電極
で、該受信電極３に弾性波が伝播されると元の電
気信号に復元する。上記送・受信電極２，３の形
状は図にも示す如く櫛の突出部を互いに対向させ
た様な形をしている所謂インターデイジタル電極
が最も一般的に用いられている。４，４はエポキ
シ樹脂等から成る弾性波吸収層で、上記送信電極
２で励起された弾性波が基板１端面で反射しその
反射弾性波が受信電極３で受信されるのを防止す
るために基板１端面近傍に塗布されている。
いる。１はその表面を弾性波が伝播する基板で、
該基板１は例えば水晶やニオブ酸リチウム等の圧
電物質から成つている。２は該基板１表面に設け
られ電気信号が印加されると機械的な信号である
弾性波を基板１内に励起する送信電極、３は該送
信電極２同様に基板１表面に形成された受信電極
で、該受信電極３に弾性波が伝播されると元の電
気信号に復元する。上記送・受信電極２，３の形
状は図にも示す如く櫛の突出部を互いに対向させ
た様な形をしている所謂インターデイジタル電極
が最も一般的に用いられている。４，４はエポキ
シ樹脂等から成る弾性波吸収層で、上記送信電極
２で励起された弾性波が基板１端面で反射しその
反射弾性波が受信電極３で受信されるのを防止す
るために基板１端面近傍に塗布されている。
然し乍ら、上記従来装置に於いて基板１端面近
傍に形成される弾性波吸収層４，４は装置が小型
なので同一場所に塗布する事は極めて難しくその
為に装置間にバラツキが生じ特性に悪影響を及ぼ
していた。また弾性波は基板１表面だけを伝播す
るのではなくその弾性播の波長分だけ内部をも伝
播するので、その表面の弾性波吸収層を形成する
だけでは内部を伝播する弾性波を完全に吸収する
事は出来なかつた。
傍に形成される弾性波吸収層４，４は装置が小型
なので同一場所に塗布する事は極めて難しくその
為に装置間にバラツキが生じ特性に悪影響を及ぼ
していた。また弾性波は基板１表面だけを伝播す
るのではなくその弾性播の波長分だけ内部をも伝
播するので、その表面の弾性波吸収層を形成する
だけでは内部を伝播する弾性波を完全に吸収する
事は出来なかつた。
本考案は斯る点に鑑みて為されたものであつて
以下に第２図を用いて詳述する。
以下に第２図を用いて詳述する。
第２図に於いて１，２，３，４，４は第１図と
同様に基板、インターデイジタル電極から成る
送・受信電極、弾性波吸収層であつて、第１図と
異なるところは上記送受信電極２，３の外側の基
板１端面近傍に凹溝５，５を設け、該凹溝５，５
に沿つて弾性波吸収層４，４を形成したところで
ある。この凹溝５，５の深さは基板１内部を伝播
する弾性波がその波長分以内の内部に略集中して
いるため少なくともその波長分を有している。
同様に基板、インターデイジタル電極から成る
送・受信電極、弾性波吸収層であつて、第１図と
異なるところは上記送受信電極２，３の外側の基
板１端面近傍に凹溝５，５を設け、該凹溝５，５
に沿つて弾性波吸収層４，４を形成したところで
ある。この凹溝５，５の深さは基板１内部を伝播
する弾性波がその波長分以内の内部に略集中して
いるため少なくともその波長分を有している。
以下に従来装置と本考案装置を比較する為に実
験例を記載する。
験例を記載する。
縦8.0〔mm〕横3.5〔mm〕厚さ3.5〔mm〕のニオブ
酸リチウムの単結晶板から成る基板１に、櫛数20
〔本〕櫛幅15〔μ〕櫛と櫛の間隙15〔μ〕交差幅
１〔mm〕のアルミニウムから成る送・受信電極
２，３を中心間隔３〔mm〕設けて基板１表面に左
右対称に形成し、該基板１端面から１〔mm〕隔て
てエポキシ樹脂から成る弾性波吸収層４，４を形
成せしめた従来装置と、基板１端面から１〔mm〕
隔てたところに幅0.5〔mm〕深さ0.2〔mm〕の凹溝
５，５を設け、該凹溝５，５に弾性波吸収層４，
４を形成せしめた本考案装置に於いて、周波数56
〔ＭHz〕の電気信号を送信電極２に印加して実験
を行なつた。その結果反射弾性波の受信は直接伝
播する弾性波の利得を基準にして従来装置に於い
ては−40〔dB〕、本考案装置では−43〔dB〕とな
り、凹溝５を設けない従来装置に比して本考案装
置の方が３〔dB〕の特性の向上があつた。尚、
参考の為に弾性波吸収層４，４が設けられていな
い装置の実験結果を示すと、−10〜−15〔dB〕も
の反射弾性波の受信がある。また本考案装置に於
いては装置間のバラツキが従来装置に比べ約1/2
に減少する事が確められた。
酸リチウムの単結晶板から成る基板１に、櫛数20
〔本〕櫛幅15〔μ〕櫛と櫛の間隙15〔μ〕交差幅
１〔mm〕のアルミニウムから成る送・受信電極
２，３を中心間隔３〔mm〕設けて基板１表面に左
右対称に形成し、該基板１端面から１〔mm〕隔て
てエポキシ樹脂から成る弾性波吸収層４，４を形
成せしめた従来装置と、基板１端面から１〔mm〕
隔てたところに幅0.5〔mm〕深さ0.2〔mm〕の凹溝
５，５を設け、該凹溝５，５に弾性波吸収層４，
４を形成せしめた本考案装置に於いて、周波数56
〔ＭHz〕の電気信号を送信電極２に印加して実験
を行なつた。その結果反射弾性波の受信は直接伝
播する弾性波の利得を基準にして従来装置に於い
ては−40〔dB〕、本考案装置では−43〔dB〕とな
り、凹溝５を設けない従来装置に比して本考案装
置の方が３〔dB〕の特性の向上があつた。尚、
参考の為に弾性波吸収層４，４が設けられていな
い装置の実験結果を示すと、−10〜−15〔dB〕も
の反射弾性波の受信がある。また本考案装置に於
いては装置間のバラツキが従来装置に比べ約1/2
に減少する事が確められた。
以上の説明から明らかな如く本考案装置に依る
と、弾性波が伝播する基板表面に弾性波を送受信
する送・受信電極を形成し、その送・受信電極と
基板端面との間に連続的に設けられた少くとも上
記弾性波の略１波長分の深さを有する凹溝に弾性
波吸収剤を注入する構造に成つているので、従来
装置に比べ弾性波吸収剤を注入する位置が凹溝に
依つて定まり略均一に注入する事が出来、装置間
の特性のバラツキが低下すると共に基板内部の波
長分以内を略集中して伝播する弾性波をも吸収し
てしまいより効率的な弾性波吸収特性を得る事が
できる。
と、弾性波が伝播する基板表面に弾性波を送受信
する送・受信電極を形成し、その送・受信電極と
基板端面との間に連続的に設けられた少くとも上
記弾性波の略１波長分の深さを有する凹溝に弾性
波吸収剤を注入する構造に成つているので、従来
装置に比べ弾性波吸収剤を注入する位置が凹溝に
依つて定まり略均一に注入する事が出来、装置間
の特性のバラツキが低下すると共に基板内部の波
長分以内を略集中して伝播する弾性波をも吸収し
てしまいより効率的な弾性波吸収特性を得る事が
できる。
第１図は従来の表面弾性波伝播装置を示す斜視
図、第２図は本考案装置を示す斜視図であつて１
は基板、２は送信電極、３は受信電極、４，４は
弾性波吸収層、５，５は凹溝を夫々示す。
図、第２図は本考案装置を示す斜視図であつて１
は基板、２は送信電極、３は受信電極、４，４は
弾性波吸収層、５，５は凹溝を夫々示す。
Claims (1)
- その表面を弾性波が伝播する基板と、該基板表
面に設けられ電気信号が印加されると弾性波を励
起する送信電極と、該送信電極と相対向して設け
られ上記弾性波を受信して電気信号に復元する受
信電極と、上記送・受信電極間の外側の基板表面
に連続的に設けられた少くとも上記弾性波の略１
波長分の深さを有する凹溝と、から成つており、
基板端面で生じる弾性波の反射を防止する為に塗
布する弾性波吸収剤を上記凹溝に塗布して表面を
伝播する弾性波を吸収すると共に基板内部の波長
分以内を略集中して伝播する弾性波をも吸収せし
める事を特徴とした表面弾性波伝播装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1976142780U JPS6110351Y2 (ja) | 1976-10-20 | 1976-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1976142780U JPS6110351Y2 (ja) | 1976-10-20 | 1976-10-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5359342U JPS5359342U (ja) | 1978-05-20 |
| JPS6110351Y2 true JPS6110351Y2 (ja) | 1986-04-03 |
Family
ID=28751517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1976142780U Expired JPS6110351Y2 (ja) | 1976-10-20 | 1976-10-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110351Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51114890A (en) * | 1975-04-01 | 1976-10-08 | Sony Corp | Compound ceramic substance for prevention of ultrasonic wave reflectio n and its process |
| JPS51120153A (en) * | 1975-04-15 | 1976-10-21 | Toko Inc | Elastic surface wave filter |
-
1976
- 1976-10-20 JP JP1976142780U patent/JPS6110351Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51114890A (en) * | 1975-04-01 | 1976-10-08 | Sony Corp | Compound ceramic substance for prevention of ultrasonic wave reflectio n and its process |
| JPS51120153A (en) * | 1975-04-15 | 1976-10-21 | Toko Inc | Elastic surface wave filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5359342U (ja) | 1978-05-20 |
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