JPS5834974B2 - 音響表面波装置 - Google Patents
音響表面波装置Info
- Publication number
- JPS5834974B2 JPS5834974B2 JP5777176A JP5777176A JPS5834974B2 JP S5834974 B2 JPS5834974 B2 JP S5834974B2 JP 5777176 A JP5777176 A JP 5777176A JP 5777176 A JP5777176 A JP 5777176A JP S5834974 B2 JPS5834974 B2 JP S5834974B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic surface
- surface wave
- transducer
- acoustic
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、不要信号を削減させた音響表面波装置に関す
るものである。
るものである。
固体の表面を伝わる音響表面波を用いる事によりフィル
タ、遅延線の如き装置を小型化して製造することが可能
になり、さらに半導体集積回路製造技術を用いる事によ
り大量生産も容易に可能となる。
タ、遅延線の如き装置を小型化して製造することが可能
になり、さらに半導体集積回路製造技術を用いる事によ
り大量生産も容易に可能となる。
音響表面波装置の構造は、通常、圧電材料からなる薄い
基板上に、この基板表面上を伝播する音響表面波の発信
および受信を担当する入カドランスデューサおよび出カ
ドランスデューサさらに伝播行路からなる。
基板上に、この基板表面上を伝播する音響表面波の発信
および受信を担当する入カドランスデューサおよび出カ
ドランスデューサさらに伝播行路からなる。
これらのトランスデユーサは通常１対の互いに入りくん
だ櫛歯形電極からなるスダレ変換器（Ｉｎｔｅｒｄｉｇ
ｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ）が用いられる。
だ櫛歯形電極からなるスダレ変換器（Ｉｎｔｅｒｄｉｇ
ｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ ）が用いられる。
入力電気信号は、入カドランスデューサで音響表面波に
変換され、伝播行路を伝播して出カドランスデューサに
到達する。
変換され、伝播行路を伝播して出カドランスデューサに
到達する。
出カドランスデューサでは上記音響表面波の一部が電気
信号に変換され、残部の大部分の音響表面波は、電気信
号に変換されずに出カドランスデューサを通過し、基板
端部に達し、そこから反射される。
信号に変換され、残部の大部分の音響表面波は、電気信
号に変換されずに出カドランスデューサを通過し、基板
端部に達し、そこから反射される。
この反射された音響表面波は再び出カドランスデューサ
に達し、電気信号に変換される。
に達し、電気信号に変換される。
この反射信号は希望信号に対して遅延信号となりフィル
タ特性、遅延線特性に悪い影響を及ぼす。
タ特性、遅延線特性に悪い影響を及ぼす。
従来この不要反射波を除去するために、基板上端部に音
波を吸収する有機材料からなる接着材等を耐着したり、
あるいは基板端部近傍の表面を加工し音響表面波を乱反
射させる方法がとられていたが、前者は経時安定性が悪
く、かつバラツキが大きい、後者はこのような欠点はな
いが、工程が複雑で半導体集積回路製造技術利用の効用
を半減するなどの欠点を有していた。
波を吸収する有機材料からなる接着材等を耐着したり、
あるいは基板端部近傍の表面を加工し音響表面波を乱反
射させる方法がとられていたが、前者は経時安定性が悪
く、かつバラツキが大きい、後者はこのような欠点はな
いが、工程が複雑で半導体集積回路製造技術利用の効用
を半減するなどの欠点を有していた。
本発明は、上記した従来技術の欠点をなくし、良好な経
時安定性を有し、生産性良く、かつ不要端面反射信号を
減衰させた音響表面波装置を提供するものである。
時安定性を有し、生産性良く、かつ不要端面反射信号を
減衰させた音響表面波装置を提供するものである。
本発明の要点とするところは、圧電材料媒体表面の電界
をショートさせると、伝播する音響表面波の速度が変化
することを利用して音響表面波の屈折、干渉をおこさせ
不要な音響表面波を除去するものである。
をショートさせると、伝播する音響表面波の速度が変化
することを利用して音響表面波の屈折、干渉をおこさせ
不要な音響表面波を除去するものである。
すなわち本発明では音響表面波の波長程度の幅を有し、
波長より十分長い金属片を波長程度の間隔で、音響表面
波の進行方向にその長さ方向を平行に設置して、上記金
属片部分の電界をショートし、音響表面波を屈折、干渉
させ、消滅させんとするものである。
波長より十分長い金属片を波長程度の間隔で、音響表面
波の進行方向にその長さ方向を平行に設置して、上記金
属片部分の電界をショートし、音響表面波を屈折、干渉
させ、消滅させんとするものである。
以下に本発明による実施例を図を用いて詳細に説明する
。
。
図は、本発明による消滅金属片を備えた一実施例のフィ
ルタの基板表面−Ｌ面図である。
ルタの基板表面−Ｌ面図である。
基板１は良くしられている１２７．８°回転ＹカットＬ
＋ＮｂＯ３基板で伝播方向はＸ方向を用いるものである
。
＋ＮｂＯ３基板で伝播方向はＸ方向を用いるものである
。
入カドランステ゛ユーサ２及び出力１ヘランスデユーサ
３は、衆知の約３００（Ｌ４のアルミニウム蒸着膜から
集積回路作成技術を用いて形成し表面波の進行方向に垂
直な長さ方向を有するスダレ状電極である。
３は、衆知の約３００（Ｌ４のアルミニウム蒸着膜から
集積回路作成技術を用いて形成し表面波の進行方向に垂
直な長さ方向を有するスダレ状電極である。
この図において音響表面波は入ブ月・ランスデューサよ
り伝播方向５の両方向に発射され、一方は消滅金属片４
に、他方は出カドランスデューサ３に入る。
り伝播方向５の両方向に発射され、一方は消滅金属片４
に、他方は出カドランスデューサ３に入る。
出カドランステ′ユーサに入った音波は、−部が電気信
号に変換され、残りは消滅電極４に入る。
号に変換され、残りは消滅電極４に入る。
ここで簡単に消滅金属片４の・十法、製作方法に触れる
。
。
消滅金属片は、音響表面波波長λの幅をもち波長の間隔
で、上記音波の進行方向５に平行に配列されたアルミニ
ウム等の金属片であり、人、出カドランスデューサ２，
３の製作工程と同一工程で形成されるので、この金属片
を形成するための新しい工程は不要である。
で、上記音波の進行方向５に平行に配列されたアルミニ
ウム等の金属片であり、人、出カドランスデューサ２，
３の製作工程と同一工程で形成されるので、この金属片
を形成するための新しい工程は不要である。
さて、この金属片の長さは基板の電気音響変換係数に２
〜５．５％に応じて２０波長としたので、この消滅金属
片に平面波として伝播して来た音響表面波は金属片下の
部分で、■、１％の速度減少が生じ、２０波長伝播する
と、隣接する金属片のない部分に比較して、２０λ×２
に２、すなわち約２波長の遅れを生ずることになる。
〜５．５％に応じて２０波長としたので、この消滅金属
片に平面波として伝播して来た音響表面波は金属片下の
部分で、■、１％の速度減少が生じ、２０波長伝播する
と、隣接する金属片のない部分に比較して、２０λ×２
に２、すなわち約２波長の遅れを生ずることになる。
この位相遅れを生ずる過程で音波は屈折、干渉し、強度
を減することになる。
を減することになる。
本実施例について入出力５０Ω系で測定した端部反射の
減衰量は希望信号に刻して約−２５ｄＢであり、消滅金
属片を設けない通常の音響表面波フィルタに比較し、約
−２０ｄＢ改善された。
減衰量は希望信号に刻して約−２５ｄＢであり、消滅金
属片を設けない通常の音響表面波フィルタに比較し、約
−２０ｄＢ改善された。
なお、本発明の意味するところは上記実施例に限らず、
例えば消滅金属片の長さ方向を弾性表面波の進行方向に
平行ではなく、ある角度を持たした方向に設置しても有
効であり、また電極をいくつかに分割し、たがいに入り
くんだ配置に設置することも有効であることはのべるま
でもない。
例えば消滅金属片の長さ方向を弾性表面波の進行方向に
平行ではなく、ある角度を持たした方向に設置しても有
効であり、また電極をいくつかに分割し、たがいに入り
くんだ配置に設置することも有効であることはのべるま
でもない。
以上述べたように本発明によって不要信号の少いフィル
タが得られ、音響表面波装置の実用化を一層進めること
が出来る。
タが得られ、音響表面波装置の実用化を一層進めること
が出来る。
図は本発明による音響表面波装置の一実施例を示す−Ｌ
面図である。 ｉ：Ｉ２７．８度回転Ｙカット板よりなる基板、２二人
力変換器、３：出力変換器、４：消滅金属片、５：音波
伝搬方向。
面図である。 ｉ：Ｉ２７．８度回転Ｙカット板よりなる基板、２二人
力変換器、３：出力変換器、４：消滅金属片、５：音波
伝搬方向。
Claims (1)
- １ 音響表面波の伝搬媒体である基板上に電気信号を音
響表面波に変換する変換器と音響表面波を電気信号に逆
変換する変換器とを有する音響表面波装置において、変
換器と基板端との中間部に音響表面波の波長と同程度の
幅で、波長に比較し十分大きな長さを有し、その長さ方
向を音波の進行方向にほぼ平行ならしめて設置された金
属片を有することを特徴とする音響表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5777176A JPS5834974B2 (ja) | 1976-05-21 | 1976-05-21 | 音響表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5777176A JPS5834974B2 (ja) | 1976-05-21 | 1976-05-21 | 音響表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52141542A JPS52141542A (en) | 1977-11-25 |
| JPS5834974B2 true JPS5834974B2 (ja) | 1983-07-30 |
Family
ID=13065127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5777176A Expired JPS5834974B2 (ja) | 1976-05-21 | 1976-05-21 | 音響表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834974B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS584256Y2 (ja) * | 1978-12-25 | 1983-01-25 | 富士通株式会社 | 弾性表面波素子 |
-
1976
- 1976-05-21 JP JP5777176A patent/JPS5834974B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52141542A (en) | 1977-11-25 |
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