JPS58131809A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
- Publication number
- JPS58131809A JPS58131809A JP1369982A JP1369982A JPS58131809A JP S58131809 A JPS58131809 A JP S58131809A JP 1369982 A JP1369982 A JP 1369982A JP 1369982 A JP1369982 A JP 1369982A JP S58131809 A JPS58131809 A JP S58131809A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- excitation
- comb
- sound absorbing
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02866—Means for compensation or elimination of undesirable effects of bulk wave excitation and reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は弾性表面波素子に係り、吸音剤の塗布条件を規
制した振幅時１１および群遅延１）竹の良好な弾性表面
波素子に関づる。
制した振幅時１１および群遅延１）竹の良好な弾性表面
波素子に関づる。
［発明の技術的菌類１
従来から、第１図に示づように圧電基板１十に、重み付
けされた励振電極２とこれによって励振された表面波を
受信づる受信電極３とを備えた弾性表面波素子は、不要
な端面反躬波を吸収するために、各電極２．３と表面波
伝播路上の圧電基板１の両端縁４．５との間に吸音剤６
．７が塗イｔｉされている。
けされた励振電極２とこれによって励振された表面波を
受信づる受信電極３とを備えた弾性表面波素子は、不要
な端面反躬波を吸収するために、各電極２．３と表面波
伝播路上の圧電基板１の両端縁４．５との間に吸音剤６
．７が塗イｔｉされている。
［画用技術の問題点１
ところがこのような構成の表面波素子は、圧電基板１の
端面における表面波の吸収は可能であるが、励振電極２
から表面波と共に発射されるバルク波が圧電基板１を伝
播して受信電極３に到達し、特性を劣化させる欠点を有
していた。
端面における表面波の吸収は可能であるが、励振電極２
から表面波と共に発射されるバルク波が圧電基板１を伝
播して受信電極３に到達し、特性を劣化させる欠点を有
していた。
イこでこのにうなバルク波の影響を小さくするために、
第２図に示ように、励振電極２にお【プる表面波の励振
に有効に寄与していない電極部分から、圧電基板１の１
人播路長手方向に沿う一側縁８の近傍にまで、吸音剤９
の塗布範囲を広げたものがある。
第２図に示ように、励振電極２にお【プる表面波の励振
に有効に寄与していない電極部分から、圧電基板１の１
人播路長手方向に沿う一側縁８の近傍にまで、吸音剤９
の塗布範囲を広げたものがある。
しかしながら、第１図および第２図に示したように、励
振有効長を変えてその包絡線を関数曲線内形状に重み付
しプした励振電極を用いる場合、吸音剤９も励振有効長
が示す包絡線に沿って塗布されていたので、矢印１０の
ように表面波の一部が吸音剤９の中を進行した後受信電
極３に到達することがあり、振幅時ｔ！１にリップルが
生じたりれＹＭ延特性が劣化する欠点があった。また、
特に吸音剤９の塗布後、この硬化が進行するにつれてこ
れら緒特性が経時的に変動する難点もあった１゜［発明
の目的］ 本発明は以りの点に着目してなされたもので、吸音剤の
塗布部分を規制することによって、振幅および！！￥遅
延特性の良好な弾性表面波素子を提供するものである。
振有効長を変えてその包絡線を関数曲線内形状に重み付
しプした励振電極を用いる場合、吸音剤９も励振有効長
が示す包絡線に沿って塗布されていたので、矢印１０の
ように表面波の一部が吸音剤９の中を進行した後受信電
極３に到達することがあり、振幅時ｔ！１にリップルが
生じたりれＹＭ延特性が劣化する欠点があった。また、
特に吸音剤９の塗布後、この硬化が進行するにつれてこ
れら緒特性が経時的に変動する難点もあった１゜［発明
の目的］ 本発明は以りの点に着目してなされたもので、吸音剤の
塗布部分を規制することによって、振幅および！！￥遅
延特性の良好な弾性表面波素子を提供するものである。
［発明の概要１
本発明はこの目的を達成するために、圧電基板上に、く
し歯状電極からなり重み付（プされた励振Ｎ極ど、この
励振電極ににつて励振された表面波を受信するくし歯状
電極からなる正規型受信電極とを有するものにおいて、
前記受信電極から最も遠い部分にある前記励振電極のく
し歯状電極の励振有効部両端と、前記受信電極のくし歯
状電極の励振電極に最も近い部分のくし歯状電極の受信
有効部両端とを結ぶ略台形状領域を避【〕て吸名高を塗
布したことを特徴とし、振幅および群遅延特性を改善し
た弾性表面波素子を実現するものである。
し歯状電極からなり重み付（プされた励振Ｎ極ど、この
励振電極ににつて励振された表面波を受信するくし歯状
電極からなる正規型受信電極とを有するものにおいて、
前記受信電極から最も遠い部分にある前記励振電極のく
し歯状電極の励振有効部両端と、前記受信電極のくし歯
状電極の励振電極に最も近い部分のくし歯状電極の受信
有効部両端とを結ぶ略台形状領域を避【〕て吸名高を塗
布したことを特徴とし、振幅および群遅延特性を改善し
た弾性表面波素子を実現するものである。
［発明の実施例］
以下本発明の詳細な説明する。なお従来例と共通ずる部
分には同−旬月を付す。
分には同−旬月を付す。
第３図は本発明の一実施例を示ずものである。
第３図において、圧電基板１上には励振電極２と、これ
によって励振された表面波を受信する受信電極３が間隔
をおいて表面波伝播路、トに設りられている。これら励
振電極２および受信電極３は、くし歯状電極を交互に差
し込み交叉して形成され、この交叉長を励振有効長βお
よび受信有効長１．とし、励振電極２は所望の帯域特性
に応じてこの励振有効長ぶを変化させ、その包絡線を関
数曲線的に設定して重みづけする一方、受信電極３は受
信有効長りを一定とした正規型としでいる。
によって励振された表面波を受信する受信電極３が間隔
をおいて表面波伝播路、トに設りられている。これら励
振電極２および受信電極３は、くし歯状電極を交互に差
し込み交叉して形成され、この交叉長を励振有効長βお
よび受信有効長１．とし、励振電極２は所望の帯域特性
に応じてこの励振有効長ぶを変化させ、その包絡線を関
数曲線的に設定して重みづけする一方、受信電極３は受
信有効長りを一定とした正規型としでいる。
この受信電極３と圧電基板１の一方（図中右）の端縁５
どの間には、従来のものと同様に端縁ての反射波を吸収
する吸音剤７が塗布されている。
どの間には、従来のものと同様に端縁ての反射波を吸収
する吸音剤７が塗布されている。
一方、励振電極２におりる圧電基板１の他方〈図中外）
の端縁４側および伝播路に沿った圧電基板両側縁８．１
１側には、次のように吸音剤１２が塗布されている。
の端縁４側および伝播路に沿った圧電基板両側縁８．１
１側には、次のように吸音剤１２が塗布されている。
まず、受信電極３から最も遠い部分にある励振電極２の
くし歯状電極の励振有効部両端をそれぞれａ点、６点と
する。次に受信電極３の励振電極２に最も近い部分のく
し歯状電極の受信有効部両端を０点、ｄ点とする。
くし歯状電極の励振有効部両端をそれぞれａ点、６点と
する。次に受信電極３の励振電極２に最も近い部分のく
し歯状電極の受信有効部両端を０点、ｄ点とする。
ぞして前記吸音剤１２は、上記各ａ、ｂ、ｃ、ｄ点を結
んで決定された略台形状領域１３を避けて、この台形の
側辺に沿うように、圧電基板１および励振電極２．トに
塗布されている。
んで決定された略台形状領域１３を避けて、この台形の
側辺に沿うように、圧電基板１および励振電極２．トに
塗布されている。
なお、励振電極２の励振有効長ぶは、重み付りのために
表面波進行方向に順次増減しているが、受信電極３から
最も遠いくし歯状電極については、第４図の拡大図に示
づような短い長さの℃とする。
表面波進行方向に順次増減しているが、受信電極３から
最も遠いくし歯状電極については、第４図の拡大図に示
づような短い長さの℃とする。
そしてこの弾性表面波素子は、入ツノ信号によって励振
電極２から圧電基板１上に弾性表面波が励振放射されて
伝播し、受信電極３によって出力信号に変換され、例え
ば励振電極２の重み付けに従った所望の帯域特性の出力
信号が得られる。
電極２から圧電基板１上に弾性表面波が励振放射されて
伝播し、受信電極３によって出力信号に変換され、例え
ば励振電極２の重み付けに従った所望の帯域特性の出力
信号が得られる。
本発明の弾性表面波素子は、上）本のように吸音剤１２
を塗布する領域を規制すると、励振電極２の受信電極３
から最も遠い部分で励振された表面波が受信電極に到達
するまでの間に吸音剤１２中を伝播しないので、伝播す
る表面波に位相差等が生ずることがなく、周波数リップ
ルが抑圧され、かつ群遅延特性がきわめて良好に保持さ
れる。
を塗布する領域を規制すると、励振電極２の受信電極３
から最も遠い部分で励振された表面波が受信電極に到達
するまでの間に吸音剤１２中を伝播しないので、伝播す
る表面波に位相差等が生ずることがなく、周波数リップ
ルが抑圧され、かつ群遅延特性がきわめて良好に保持さ
れる。
また、第５図は、第３図に示す励振電極２の励振有効部
端ａと受信有効端ｄを結ぶ領域１３の境界線１４から、
２酊づつ吸音剤１２の塗布範囲を後退させていった場合
を概略的に示したものである。
端ａと受信有効端ｄを結ぶ領域１３の境界線１４から、
２酊づつ吸音剤１２の塗布範囲を後退させていった場合
を概略的に示したものである。
このように吸音剤１２の塗布範囲を変化すると、第６図
のように周波数リップル特性が劣化していくことが実測
された。即ち、吸音剤１２の塗布範囲を後退させれば、
バルク波の減衰量の低下によつて周波数リップル特性が
劣化づることが判る。
のように周波数リップル特性が劣化していくことが実測
された。即ち、吸音剤１２の塗布範囲を後退させれば、
バルク波の減衰量の低下によつて周波数リップル特性が
劣化づることが判る。
従って、上記境界線１４付近まで吸音剤を塗イ５するこ
とが望ましい。
とが望ましい。
第７図は本発明の他の実施例を示しでおり、上記吸音剤
１２の塗布を避けるべぎ領域１３以外の全圧電基板」：
１に、吸音剤１２を塗布したものである。なお図中吸音
剤１２の塗布範囲はクロスハツチングで示しである。こ
の実施例によれば、群遅延特性を損なわない範囲で最大
の不要波吸収効果が得られる。
１２の塗布を避けるべぎ領域１３以外の全圧電基板」：
１に、吸音剤１２を塗布したものである。なお図中吸音
剤１２の塗布範囲はクロスハツチングで示しである。こ
の実施例によれば、群遅延特性を損なわない範囲で最大
の不要波吸収効果が得られる。
なお、台形状領域外に励振に寄与する電極が位置する場
合には、ぞの部分の電極」−には吸音剤を塗布しないこ
とは云うまでもない。
合には、ぞの部分の電極」−には吸音剤を塗布しないこ
とは云うまでもない。
［発明の効果］
以上説明したように本発明の弾性表面波素子は受信電極
から最も遠い部分にある励振電極のくし歯状電極の励振
有効部両端と、受信電極のくし歯状電極の励振電極に最
も近い部分のくし歯状電極の受信有効部両端どを結ぶ略
台形状領域をｉｔ！ｔけで吸音剤を塗布したので、バル
ク波を抑えかつ振幅特性および群遅延特性を良好に保つ
ことができる。
から最も遠い部分にある励振電極のくし歯状電極の励振
有効部両端と、受信電極のくし歯状電極の励振電極に最
も近い部分のくし歯状電極の受信有効部両端どを結ぶ略
台形状領域をｉｔ！ｔけで吸音剤を塗布したので、バル
ク波を抑えかつ振幅特性および群遅延特性を良好に保つ
ことができる。
第１図および第２図は従来の弾性表面波素子の平面図、
第３図は本発明の弾性表面波素子の一実施例を示す平面
図、第４図は第３図に示す励振電極の要部拡大図、第５
図おにび第６図は本発明の弾性表面波素子の周波数リッ
プル特性を測定するための説明図およびその特性図、第
７図は本発明の他の実施例を示す平面図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電基板２・
・・・・・・・・・・・・・・・・・励振電極３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・受信電極６．７．９．
１２・・・吸音剤 １３・・・・・・・・・・・・・・・台形状領域ａ、ｂ
・・・・・・・・・・・・励振電極の励振有効部両端ｃ
、ｄ・・・・・・・・・・・・受信電極の受信有効部両
端代理人弁理士 須 山 佐 − −／− 第１図 第２図 第３図 」二一バー一−ｌ ８− 第４図 第５図 第６−
第３図は本発明の弾性表面波素子の一実施例を示す平面
図、第４図は第３図に示す励振電極の要部拡大図、第５
図おにび第６図は本発明の弾性表面波素子の周波数リッ
プル特性を測定するための説明図およびその特性図、第
７図は本発明の他の実施例を示す平面図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電基板２・
・・・・・・・・・・・・・・・・・励振電極３・・・
・・・・・・・・・・・・・・・受信電極６．７．９．
１２・・・吸音剤 １３・・・・・・・・・・・・・・・台形状領域ａ、ｂ
・・・・・・・・・・・・励振電極の励振有効部両端ｃ
、ｄ・・・・・・・・・・・・受信電極の受信有効部両
端代理人弁理士 須 山 佐 − −／− 第１図 第２図 第３図 」二一バー一−ｌ ８− 第４図 第５図 第６−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１〉圧電基板上に、くし歯状電極からなり重み付（プ
された励振電極と、この励振電極によって励振された表
面波を受信するくし歯状電極からなる正規型受信電極と
を有するものにおいて、前記受信電極から最も遠い部分
にある前記励振電極のくし歯状電極の励振有効部両端と
、前記受信電極のくし歯状電極の励振電極に最も近い部
分のくし歯状電極の受信有効部両端とを結ぶ略台形状領
域を避【プて吸音剤を塗布したことを特徴とする弾性表
面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1369982A JPS58131809A (ja) | 1982-01-30 | 1982-01-30 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1369982A JPS58131809A (ja) | 1982-01-30 | 1982-01-30 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58131809A true JPS58131809A (ja) | 1983-08-05 |
Family
ID=11840444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1369982A Pending JPS58131809A (ja) | 1982-01-30 | 1982-01-30 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58131809A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61245613A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-10-31 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 電気的表面弾性波フイルタ |
| JPH02174412A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Nec Corp | 表面弾性波素子の製造方法 |
| JP4936205B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2012-05-23 | 学校法人日本医科大学 | 鏡視下手術用の臓器間スペーサー |
-
1982
- 1982-01-30 JP JP1369982A patent/JPS58131809A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61245613A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-10-31 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 電気的表面弾性波フイルタ |
| JPH02174412A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Nec Corp | 表面弾性波素子の製造方法 |
| JP4936205B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2012-05-23 | 学校法人日本医科大学 | 鏡視下手術用の臓器間スペーサー |
| US8944991B2 (en) | 2007-12-28 | 2015-02-03 | Nippon Medical School Foundation | Inter-organ spacer for use in endoscopic surgery |
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