JPS6134755Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6134755Y2 JPS6134755Y2 JP1979139420U JP13942079U JPS6134755Y2 JP S6134755 Y2 JPS6134755 Y2 JP S6134755Y2 JP 1979139420 U JP1979139420 U JP 1979139420U JP 13942079 U JP13942079 U JP 13942079U JP S6134755 Y2 JPS6134755 Y2 JP S6134755Y2
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- JP
- Japan
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- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- electrodes
- interdigital
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 1
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- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、弾性表面波装置の構造に係るもの
で、特にインターデジタル電極の構造に関するも
のである。
で、特にインターデジタル電極の構造に関するも
のである。
弾性表面波装置は、入出力電極としてインター
デジタル電極を用いて電気−機械変換を行なうも
ので、その周波数特性、遅延時間特性を利用して
フイルタや遅延線として利用される。
デジタル電極を用いて電気−機械変換を行なうも
ので、その周波数特性、遅延時間特性を利用して
フイルタや遅延線として利用される。
この弾性表面波装置に用いられるインターデジ
タル電極は、最も一般的な場合、電極の（弾性表
面波の伝播方向の）幅と間隔がすべて等しい一様
なものが用いられる。この幅と間隔は、通常、弾
性表面波の波長の1/4に設計される。しかし、所
望の周波数帯域特性を得るためには、このような
一様なインターデジタル電極では十分でなく、電
極の設計上種々の工夫がなされている。重み付け
と言われる電極の対向する長さに変化をつける振
幅変調も一つの手法であるが、近時注目されてい
るのは位相変調による設計手法である。これは、
設計値に基づくパルス配列を得るために、電極の
幅に変化をつけてパルス配列における各パルスの
間隔を任意に得るものである。
タル電極は、最も一般的な場合、電極の（弾性表
面波の伝播方向の）幅と間隔がすべて等しい一様
なものが用いられる。この幅と間隔は、通常、弾
性表面波の波長の1/4に設計される。しかし、所
望の周波数帯域特性を得るためには、このような
一様なインターデジタル電極では十分でなく、電
極の設計上種々の工夫がなされている。重み付け
と言われる電極の対向する長さに変化をつける振
幅変調も一つの手法であるが、近時注目されてい
るのは位相変調による設計手法である。これは、
設計値に基づくパルス配列を得るために、電極の
幅に変化をつけてパルス配列における各パルスの
間隔を任意に得るものである。
第１図は、上記の位相変調されたインターデジ
タル電極を用いた弾性表面波装置の一例の平面図
を示している。圧電性を有する基板１０に位相変
調されたインターデジタル電極１１と一様なイン
ターデジタル電極１２を具えており、二つのイン
ターデジタル電極の一方が入力電極として他方が
出力電極として用いられる。
タル電極を用いた弾性表面波装置の一例の平面図
を示している。圧電性を有する基板１０に位相変
調されたインターデジタル電極１１と一様なイン
ターデジタル電極１２を具えており、二つのイン
ターデジタル電極の一方が入力電極として他方が
出力電極として用いられる。
ところで、弾性表面波装置の音速は、圧電性を
有する基体の表面と金属表面とでは異なる。した
がつて、電極部を通過する弾性表面波の音速と電
極のない部分を伝播する弾性表面波の音速とは異
なる。第１図に示したインターデジタル電極の破
線で囲まれた電極領域のうち、金属表面の面積を
ｄとし、基体表面の面積をＳとするとき、第２図
に示すようにｄ／ｄ＋Ｓが大きくなるに従つて音速は 小さくなる。その値はｄ／ｄ＋Ｓが0.1変化するときに 音速は１〜６ｍ／secとなる。すなわち、金属表
面の比率が高くなるに従つて音速が小さくなる。
有する基体の表面と金属表面とでは異なる。した
がつて、電極部を通過する弾性表面波の音速と電
極のない部分を伝播する弾性表面波の音速とは異
なる。第１図に示したインターデジタル電極の破
線で囲まれた電極領域のうち、金属表面の面積を
ｄとし、基体表面の面積をＳとするとき、第２図
に示すようにｄ／ｄ＋Ｓが大きくなるに従つて音速は 小さくなる。その値はｄ／ｄ＋Ｓが0.1変化するときに 音速は１〜６ｍ／secとなる。すなわち、金属表
面の比率が高くなるに従つて音速が小さくなる。
上記のように表面状態によつて弾性表面波の音
速が異なることから、第１図に示したような装置
においては、入出力電極部分における弾性表面波
の音速に差が生じる。入出力電極部分において音
速に差を生じると、周波数特性に影響を生じるこ
とになる。すなわち、中心周波数が設計値からず
れるようになり、それに従つて減衰極も設計値か
らずれることになる。したがつて、フイルタとし
て用いる場合に、所望のフイルタ特性を得にくく
なる欠点がある。
速が異なることから、第１図に示したような装置
においては、入出力電極部分における弾性表面波
の音速に差が生じる。入出力電極部分において音
速に差を生じると、周波数特性に影響を生じるこ
とになる。すなわち、中心周波数が設計値からず
れるようになり、それに従つて減衰極も設計値か
らずれることになる。したがつて、フイルタとし
て用いる場合に、所望のフイルタ特性を得にくく
なる欠点がある。
本考案は、上記のような欠点を解決して所望の
周波数特性を得られる弾性表面波装置を得ること
を目的とする。
周波数特性を得られる弾性表面波装置を得ること
を目的とする。
本考案は、上記の目的を達成するために、入出
力電極部分における弾性表面波の音速を等しくす
る弾性表面波装置を提供するものである。
力電極部分における弾性表面波の音速を等しくす
る弾性表面波装置を提供するものである。
本考案による弾性表面波装置においては、入出
力電極における金属表面の面積比率を等しくし
て、入出力電極部分における弾性表面波の音速を
等しくするものである。以下、図面に従つて本考
案の実施例につき説明する。
力電極における金属表面の面積比率を等しくし
て、入出力電極部分における弾性表面波の音速を
等しくするものである。以下、図面に従つて本考
案の実施例につき説明する。
第３図は、本考案による弾性表面波装置の部分
正面図で、Ａは位相変調されたインタデジタル電
極を設けた部分を、Ｂは一様なインタデジタル電
極を設けた部分を示している。それぞれ、基体２
０の一表面に金、アルミニウムなどの金属２１を
蒸着してある。第３図Ａに示した位相変調された
インタデジタル電極は、一本の電極が同じ幅の二
本の電極に分割された構造で示してある。この場
合、トリプル・トランジエント・エコーを除去す
るために電極の間隔はすべて等しくすることが一
般に行なわれている。第３図Ｂに示した一様なイ
ンタデジタル電極は、電極の幅がすべて等しく、
また間隔もすべて等しい。
正面図で、Ａは位相変調されたインタデジタル電
極を設けた部分を、Ｂは一様なインタデジタル電
極を設けた部分を示している。それぞれ、基体２
０の一表面に金、アルミニウムなどの金属２１を
蒸着してある。第３図Ａに示した位相変調された
インタデジタル電極は、一本の電極が同じ幅の二
本の電極に分割された構造で示してある。この場
合、トリプル・トランジエント・エコーを除去す
るために電極の間隔はすべて等しくすることが一
般に行なわれている。第３図Ｂに示した一様なイ
ンタデジタル電極は、電極の幅がすべて等しく、
また間隔もすべて等しい。
上記のように形成された場合、第３図Ａに示し
た位相変調されたインタデジタル電極の電極の幅
をそれぞれd1，d2……ｄo（それぞれの幅の電極
は二本ずつある）とし、間隔をＳとすると、電極
部分における金属表面の占める比率Ｘは、 Ｘ＝２（ｄ１＋ｄ２＋…ｄｏ／２（ｄ１＋ｄ２＋…＋ｄ
ｏ）＋（２ｎ−１）Ｓ（ｎは整数） となる。それに対して、第３図Ｂに示した一様な
インタデジタル電極の幅をd0、間隔をS0とする
と、電極部分における金属表面の占める比率Ｙ
は、 Ｙ＝ｍｄ０／ｍ・ｄ０＋（ｍ−１）Ｓ０（ｎは整数） となる。ここで、双方の電極において金属表面の
面積を等しくするために、 Ｘ＝Ｙ となるように、電極の幅と間隔を調整する。
た位相変調されたインタデジタル電極の電極の幅
をそれぞれd1，d2……ｄo（それぞれの幅の電極
は二本ずつある）とし、間隔をＳとすると、電極
部分における金属表面の占める比率Ｘは、 Ｘ＝２（ｄ１＋ｄ２＋…ｄｏ／２（ｄ１＋ｄ２＋…＋ｄ
ｏ）＋（２ｎ−１）Ｓ（ｎは整数） となる。それに対して、第３図Ｂに示した一様な
インタデジタル電極の幅をd0、間隔をS0とする
と、電極部分における金属表面の占める比率Ｙ
は、 Ｙ＝ｍｄ０／ｍ・ｄ０＋（ｍ−１）Ｓ０（ｎは整数） となる。ここで、双方の電極において金属表面の
面積を等しくするために、 Ｘ＝Ｙ となるように、電極の幅と間隔を調整する。
上記の条件を満足する弾性表面波装置を設計す
るためには、先ず、位相変調されたインタデジタ
ル電極を所望のパルス配列に従つて設計する。そ
の電極配置によつて決定される電極部分の金属表
面の面積の比率に従つて、一様なインタデジタル
電極の電極の幅と間隔の比を決定すれば良い。な
お、一様なインタデジタル電極においては、電極
の対数がある程度多くなれば、上記の式において
Ｙはｄ０／ｄ０＋Ｓ０にほゞ等しいと考えて良い。また
、通 常、幅と間隔の和は中心周波数における波長の1/
2となる。
るためには、先ず、位相変調されたインタデジタ
ル電極を所望のパルス配列に従つて設計する。そ
の電極配置によつて決定される電極部分の金属表
面の面積の比率に従つて、一様なインタデジタル
電極の電極の幅と間隔の比を決定すれば良い。な
お、一様なインタデジタル電極においては、電極
の対数がある程度多くなれば、上記の式において
Ｙはｄ０／ｄ０＋Ｓ０にほゞ等しいと考えて良い。また
、通 常、幅と間隔の和は中心周波数における波長の1/
2となる。
上記の通り、本考案による弾性表面波装置にお
いては、位相変調されたインタデジタル電極を自
由に設計でき、一様なインタデジタル電極の幅と
間隔をそれに従つて決定すれば良いので、弾性表
面波装置の設計の自由度を増すとともに、特性が
設計値通り得られる装置が容易に得られる。ま
た、本考案は上記の例のみに限られず、位相変調
をしたインタデジタル電極を用いるすべての装置
に適用できる。
いては、位相変調されたインタデジタル電極を自
由に設計でき、一様なインタデジタル電極の幅と
間隔をそれに従つて決定すれば良いので、弾性表
面波装置の設計の自由度を増すとともに、特性が
設計値通り得られる装置が容易に得られる。ま
た、本考案は上記の例のみに限られず、位相変調
をしたインタデジタル電極を用いるすべての装置
に適用できる。
第１図は従来の弾性表面波装置の平面図、第２
図は表面状態と弾性表面波の音速の関係を示す説
明図、第３図は本考案の実施例の部分正面図を示
す。 １０，２０……基体、１１，１２……インタデ
ジタル電極、２１……金属（電極）。
図は表面状態と弾性表面波の音速の関係を示す説
明図、第３図は本考案の実施例の部分正面図を示
す。 １０，２０……基体、１１，１２……インタデ
ジタル電極、２１……金属（電極）。
Claims (1)
- 入出力電極の一方を位相変調されたインターデ
ジタル電極とし他方を一様なインターデジタル電
極とした弾性表面波装置において、該位相変調さ
れたインターデジタル電極における金属表面の占
める比率と該一様なインターデジタル電極におけ
る金属表面の占める比率とが等しいことを特徴と
する弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1979139420U JPS6134755Y2 (ja) | 1979-10-08 | 1979-10-08 | |
| US06/190,715 US4330767A (en) | 1979-10-08 | 1980-09-25 | Surface acoustic wave device |
| GB8032322A GB2063000B (en) | 1979-10-08 | 1980-10-07 | Surface wave acoustic devices |
| DE19803038056 DE3038056A1 (de) | 1979-10-08 | 1980-10-08 | Akustische oberflaechenwellen-vorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1979139420U JPS6134755Y2 (ja) | 1979-10-08 | 1979-10-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5657527U JPS5657527U (ja) | 1981-05-18 |
| JPS6134755Y2 true JPS6134755Y2 (ja) | 1986-10-09 |
Family
ID=15244788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1979139420U Expired JPS6134755Y2 (ja) | 1979-10-08 | 1979-10-08 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4330767A (ja) |
| JP (1) | JPS6134755Y2 (ja) |
| DE (1) | DE3038056A1 (ja) |
| GB (1) | GB2063000B (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0815248B2 (ja) * | 1983-05-30 | 1996-02-14 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波装置 |
| EP0534354A1 (en) * | 1991-09-25 | 1993-03-31 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Surface acoustic wave device and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3699364A (en) * | 1971-06-04 | 1972-10-17 | Hughes Aircraft Co | Acoustic surface wave device having improved transducer structure |
| US3845419A (en) * | 1973-04-02 | 1974-10-29 | G Nudd | Acoustic surface wave device |
| US3931597A (en) * | 1974-02-04 | 1976-01-06 | The Magnavox Company | Apparatus and method for phase-encoded surface wave devices |
| US3979702A (en) * | 1974-04-08 | 1976-09-07 | The Magnavox Company | Apparatus and method for oversampled transducers in acoustic surface wave devices |
-
1979
- 1979-10-08 JP JP1979139420U patent/JPS6134755Y2/ja not_active Expired
-
1980
- 1980-09-25 US US06/190,715 patent/US4330767A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-10-07 GB GB8032322A patent/GB2063000B/en not_active Expired
- 1980-10-08 DE DE19803038056 patent/DE3038056A1/de not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5657527U (ja) | 1981-05-18 |
| US4330767A (en) | 1982-05-18 |
| GB2063000A (en) | 1981-05-28 |
| DE3038056A1 (de) | 1981-04-16 |
| GB2063000B (en) | 1983-09-07 |
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