JPH0815248B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH0815248B2 JPH0815248B2 JP58096313A JP9631383A JPH0815248B2 JP H0815248 B2 JPH0815248 B2 JP H0815248B2 JP 58096313 A JP58096313 A JP 58096313A JP 9631383 A JP9631383 A JP 9631383A JP H0815248 B2 JPH0815248 B2 JP H0815248B2
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- Japan
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- electrode
- comb
- input
- output
- shaped electrode
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14547—Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
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- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は弾性表面波フィルタ・弾性表面波発振器等の
弾性表面波装置に関するものである。
弾性表面波装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点 従来、圧電体基板に形成された櫛形電極構造の圧電変
換器において、櫛形電極での表面波の反射を少なくする
ために、入力櫛形電極，出力櫛形電極の電極指を周期的
に間引く方法が用いられていた。その結果たとえば電極
指ｎ対に１対残すような間引きを行えば、第１図に示す
ように、（ｎ−１）/n・λ，（ｎ−２）/n・λ……1/n
・λ，（ｎ＋１）ｎ・λ，（ｎ＋２）/n・λ，……の波
長（ただしλ：表面波の波長）でも表面波が励振され、
不要スプリアスとなり問題であった。そのため、入力櫛
形電極の電極指の間引き周期と出力櫛形電極の電極指の
間引き周期とを異ならせ、入力櫛形電極，出力櫛形電極
で励振される不要スプリアスの周波数をずらし、スプリ
アスのレベルを下げていた。しかし、入力櫛形電極，出
力櫛形電極をそれぞれの電極指の間引きの割合が異なる
と弾性体基板の単位長さ当りの電極幅のトータル長さが
異なる。そのため、入力櫛形電極，出力櫛形電極それぞ
れの電極部の平均音速が異なり、ｆ＝υ／λ（f:周波数
υ：音速 λ：波長）で表わされる周波数が、第２図
に示すようにそれぞれの電極で異なり、周波数特性挿入
損失等で所望の特性が得られなかった。なお、第２図の
破線A,Bはそれぞれ入力電極特性，出力電極特性、実線
Ｃは総合特性を示す。
換器において、櫛形電極での表面波の反射を少なくする
ために、入力櫛形電極，出力櫛形電極の電極指を周期的
に間引く方法が用いられていた。その結果たとえば電極
指ｎ対に１対残すような間引きを行えば、第１図に示す
ように、（ｎ−１）/n・λ，（ｎ−２）/n・λ……1/n
・λ，（ｎ＋１）ｎ・λ，（ｎ＋２）/n・λ，……の波
長（ただしλ：表面波の波長）でも表面波が励振され、
不要スプリアスとなり問題であった。そのため、入力櫛
形電極の電極指の間引き周期と出力櫛形電極の電極指の
間引き周期とを異ならせ、入力櫛形電極，出力櫛形電極
で励振される不要スプリアスの周波数をずらし、スプリ
アスのレベルを下げていた。しかし、入力櫛形電極，出
力櫛形電極をそれぞれの電極指の間引きの割合が異なる
と弾性体基板の単位長さ当りの電極幅のトータル長さが
異なる。そのため、入力櫛形電極，出力櫛形電極それぞ
れの電極部の平均音速が異なり、ｆ＝υ／λ（f:周波数
υ：音速 λ：波長）で表わされる周波数が、第２図
に示すようにそれぞれの電極で異なり、周波数特性挿入
損失等で所望の特性が得られなかった。なお、第２図の
破線A,Bはそれぞれ入力電極特性，出力電極特性、実線
Ｃは総合特性を示す。
発明の目的 本発明はこのような従来の問題点を解消するもので、
入力櫛形電極，出力櫛形電極それぞれの隣接する電極指
の間隔を異ならせ、中心周波数を一致させ、所望の特性
を得ることを目的とするものである。
入力櫛形電極，出力櫛形電極それぞれの隣接する電極指
の間隔を異ならせ、中心周波数を一致させ、所望の特性
を得ることを目的とするものである。
発明の構成 この目的を達成するために本発明は、入力櫛形電極の
間引き周期と出力櫛形電極の間引き周期を異ならせ、さ
らに入力櫛形電極の非間引き部における隣接する電極指
間の間隔と、出力櫛形電極の非間引き部における隣接す
る電極指間の間隔とを異ならせたものである。
間引き周期と出力櫛形電極の間引き周期を異ならせ、さ
らに入力櫛形電極の非間引き部における隣接する電極指
間の間隔と、出力櫛形電極の非間引き部における隣接す
る電極指間の間隔とを異ならせたものである。
この構成により、不要スプリアスのレベルを低下させ
るとともに、周波数特性，挿入損失等所望の特性を得る
ことができる。
るとともに、周波数特性，挿入損失等所望の特性を得る
ことができる。
実施例の説明 水晶基板上にアルミニウムで電極を構成した弾性表面
波装置の一実施例をあげて説明する。
波装置の一実施例をあげて説明する。
間引きの割合を変えたときの電極膜厚と音速の関係を
実験で求めた。その結果を第３図に示す。第３図から弾
性表面波の音速は電極膜厚が厚くなるほど遅くなり、間
引きの割合が大きいほど（αが小さいほど）速くなるこ
とがわかる。
実験で求めた。その結果を第３図に示す。第３図から弾
性表面波の音速は電極膜厚が厚くなるほど遅くなり、間
引きの割合が大きいほど（αが小さいほど）速くなるこ
とがわかる。
実験で得られた第３図の結果から例として中心周波数
600MHzの弾性表面波装置を構成した場合を考える。入，
出力櫛形電極の電極指対数をそれぞれ300対とし、入力
櫛形電極については２対間引いて１対残し、出力電極に
ついては５対間引いて１対残した構成とし、アルミニウ
ム電極厚を1600Åとした場合、電極部での音速は入力櫛
形電極部で約3135m/s、出力櫛形電極部で約3140m/sとな
る。従来構成では入，出力櫛形電極の非間引き部におけ
る隣接する電極指の間隔は等しいので、結果として入力
櫛形電極と出力櫛形電極の中心周波数に約1MHzのずれが
生じ、弾性表面波装置の総合特性が設計値と比べ−3dB
帯域幅で約10％狭帯域となるとともに、挿入損失は約2d
B大きくなる。
600MHzの弾性表面波装置を構成した場合を考える。入，
出力櫛形電極の電極指対数をそれぞれ300対とし、入力
櫛形電極については２対間引いて１対残し、出力電極に
ついては５対間引いて１対残した構成とし、アルミニウ
ム電極厚を1600Åとした場合、電極部での音速は入力櫛
形電極部で約3135m/s、出力櫛形電極部で約3140m/sとな
る。従来構成では入，出力櫛形電極の非間引き部におけ
る隣接する電極指の間隔は等しいので、結果として入力
櫛形電極と出力櫛形電極の中心周波数に約1MHzのずれが
生じ、弾性表面波装置の総合特性が設計値と比べ−3dB
帯域幅で約10％狭帯域となるとともに、挿入損失は約2d
B大きくなる。
前記の従来構成の設計値と実際の特性とのずれは、
入，出力櫛形電極部の音速のずれによるものであるが、
この問題を解決する方法として入，出力櫛形電極の電極
膜厚を変えて入，出力櫛形電極の音速を等しくすること
は弾性表面波装置の製造方法を考えれば非常に困難で非
現実的である。
入，出力櫛形電極部の音速のずれによるものであるが、
この問題を解決する方法として入，出力櫛形電極の電極
膜厚を変えて入，出力櫛形電極の音速を等しくすること
は弾性表面波装置の製造方法を考えれば非常に困難で非
現実的である。
そこで、本発明では第４図に示すように、圧電体基板
１上に設ける入力櫛形電極２と出力櫛形電極３それぞれ
の非間引き部における隣接する電極指の間隔をlin,lout
とするとき、 600×106＝3135×106/4lin＝3140×106/4loutとなる
ようlin＝1.306μm,lout＝1.308μｍとしている。本発
明のようにすれば入力櫛形電極と出力櫛形電極の中心周
波数は一致し、所望の周波数特性が得られる。
１上に設ける入力櫛形電極２と出力櫛形電極３それぞれ
の非間引き部における隣接する電極指の間隔をlin,lout
とするとき、 600×106＝3135×106/4lin＝3140×106/4loutとなる
ようlin＝1.306μm,lout＝1.308μｍとしている。本発
明のようにすれば入力櫛形電極と出力櫛形電極の中心周
波数は一致し、所望の周波数特性が得られる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、不要スプリアスのレベ
ルを下げ、さらに挿入損失の増加させることなく所望の
周波数特性が得られる。特に弾性表面波遅延素子として
帰還増幅回路と組合せて発振器を構成する場合などのよ
うに、狭帯域の周波数特性が必要となる場合、挿入損失
が増加したとき増幅回路の利得を上げる必要があり、ま
た安定な発振を得るために不要スプリアスレベルを低下
させなければならない場合、本発明を用いれば著しい効
果を得ることができる。
ルを下げ、さらに挿入損失の増加させることなく所望の
周波数特性が得られる。特に弾性表面波遅延素子として
帰還増幅回路と組合せて発振器を構成する場合などのよ
うに、狭帯域の周波数特性が必要となる場合、挿入損失
が増加したとき増幅回路の利得を上げる必要があり、ま
た安定な発振を得るために不要スプリアスレベルを低下
させなければならない場合、本発明を用いれば著しい効
果を得ることができる。
第１図および第２図は従来の弾性表面波装置の特性を例
示する図、第３図は弾性表面波装置の電極指の間引きの
割合を変化させたときの電極膜厚と平均音速の関係を示
す図、第４図は本発明の一実施例の弾性表面波装置を示
す模式図である。 １……圧電体基板、２……入力櫛形電極、３……出力櫛
形電極。
示する図、第３図は弾性表面波装置の電極指の間引きの
割合を変化させたときの電極膜厚と平均音速の関係を示
す図、第４図は本発明の一実施例の弾性表面波装置を示
す模式図である。 １……圧電体基板、２……入力櫛形電極、３……出力櫛
形電極。
Claims (1)
- 【請求項１】周期的に電極指が間引かれた入力櫛形電極
と出力櫛形電極を備え、前記入力櫛形電極と前記出力櫛
形電極との間引き周期を異ならせるとともに、前記入力
櫛形電極の非間引き部における隣接する電極指間の間隔
と前記出力櫛形電極の非間引き部における隣接する電極
指間の間隔とを異ならせ、かつ入力櫛形電極部での平均
音速をVin、出力櫛形電極部での平均音速をVoutとした
とき、前記入力櫛形電極の隣接する電極指間隔linと前
記出力櫛形電極の隣接する電極間隔loutとの関係がVin/
lin＝Vout/loutとなるよう櫛形電極を配置したことを特
徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58096313A JPH0815248B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58096313A JPH0815248B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221022A JPS59221022A (ja) | 1984-12-12 |
| JPH0815248B2 true JPH0815248B2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=14161532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58096313A Expired - Lifetime JPH0815248B2 (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815248B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2601543B2 (ja) * | 1989-04-25 | 1997-04-16 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3166863B2 (ja) * | 1991-02-20 | 2001-05-14 | 三菱電機株式会社 | 弾性表面波伝搬装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134755Y2 (ja) * | 1979-10-08 | 1986-10-09 |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP58096313A patent/JPH0815248B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59221022A (ja) | 1984-12-12 |
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