JPH0214811B2 - - Google Patents
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- JPH0214811B2 JPH0214811B2 JP6238480A JP6238480A JPH0214811B2 JP H0214811 B2 JPH0214811 B2 JP H0214811B2 JP 6238480 A JP6238480 A JP 6238480A JP 6238480 A JP6238480 A JP 6238480A JP H0214811 B2 JPH0214811 B2 JP H0214811B2
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14573—Arrow type transducers
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性表面波を信号伝達手段に用いた弾
性表面波装置に関する。
性表面波装置に関する。
近年において、固体媒質における弾性表面波の
伝搬速度が電気振動の伝搬速度に比して非常に小
さいという性質を利用した遅延線或はフイルタ等
の弾性表面波装置が実用に供されており、第１図
にはその一例としてバンドパスフイルタの構成が
示されている。即ち、第１図において、１は水晶
或は圧電磁器等にて形成した圧電性を有する基
板、２は電気信号を機械信号に変換するための入
力用変換器、３は機械信号を電気信号に変換する
ための出力用変換器で、これら各変換器２及び３
は、基板１上にフオトエツチング技術等により形
成した薄膜櫛歯状の電極４乃至７から成り、入力
用変換器２側の電極４，５と出力用変換器３側の
電極６，７との間が信号伝搬部１ａをなすように
構成されている。そして、電極４，５において
は、交互に隣接するように組合わされた多数の単
位電極４ａ，５ａの長さ、巾及び各単位電極４
ａ，５ａ間の間隙が夫々等しく設定された所謂正
規形電極と称される形状をなし、以て互に隣接す
る単位電極４ａ，５ａ間の容量値が電極４，５の
全域に渡つて等しくなるように構成されている。
また、電極６，７も同様の正規形電極に構成され
ている。しかして、斯かる構成のバンドパスフイ
ルタの周波数特性は第２図に示すようになる。即
ち、第２図では、横軸が周波数Ｆ（中心周波数で
規格化したものを示す）に対応し、且つ縦軸が周
波数振巾応答の利得Ｇに対応するものであり、利
得Ｇの計算値を実線の曲線C1で示すと共に実験
による測定値を破線の曲線C2で示す。この第２
図から理解されるように、実際に製作された装置
では、伝送帯域における利得Ｇにリツプルを生
じ、また、伝送帯域幅の変動を来たす。斯ような
周波数振巾応答特性の劣化の原因としては以下に
述べる２つの理由が考えられる。
伝搬速度が電気振動の伝搬速度に比して非常に小
さいという性質を利用した遅延線或はフイルタ等
の弾性表面波装置が実用に供されており、第１図
にはその一例としてバンドパスフイルタの構成が
示されている。即ち、第１図において、１は水晶
或は圧電磁器等にて形成した圧電性を有する基
板、２は電気信号を機械信号に変換するための入
力用変換器、３は機械信号を電気信号に変換する
ための出力用変換器で、これら各変換器２及び３
は、基板１上にフオトエツチング技術等により形
成した薄膜櫛歯状の電極４乃至７から成り、入力
用変換器２側の電極４，５と出力用変換器３側の
電極６，７との間が信号伝搬部１ａをなすように
構成されている。そして、電極４，５において
は、交互に隣接するように組合わされた多数の単
位電極４ａ，５ａの長さ、巾及び各単位電極４
ａ，５ａ間の間隙が夫々等しく設定された所謂正
規形電極と称される形状をなし、以て互に隣接す
る単位電極４ａ，５ａ間の容量値が電極４，５の
全域に渡つて等しくなるように構成されている。
また、電極６，７も同様の正規形電極に構成され
ている。しかして、斯かる構成のバンドパスフイ
ルタの周波数特性は第２図に示すようになる。即
ち、第２図では、横軸が周波数Ｆ（中心周波数で
規格化したものを示す）に対応し、且つ縦軸が周
波数振巾応答の利得Ｇに対応するものであり、利
得Ｇの計算値を実線の曲線C1で示すと共に実験
による測定値を破線の曲線C2で示す。この第２
図から理解されるように、実際に製作された装置
では、伝送帯域における利得Ｇにリツプルを生
じ、また、伝送帯域幅の変動を来たす。斯ような
周波数振巾応答特性の劣化の原因としては以下に
述べる２つの理由が考えられる。
(イ) 第１は、変換器２，３間での弾性表面波の多
重反射に起因した反射波の存在であり、その中
でも特に、入力用変換器２より放射された弾性
表面波が出力用変換器３で反射されて入力用変
換器２まで戻りここで再度反射された後に出力
用変換器３へ再入射される所謂３倍行程反射波
による影響が大きい。
重反射に起因した反射波の存在であり、その中
でも特に、入力用変換器２より放射された弾性
表面波が出力用変換器３で反射されて入力用変
換器２まで戻りここで再度反射された後に出力
用変換器３へ再入射される所謂３倍行程反射波
による影響が大きい。
(ロ) 第２図は、各変換器２，３の両最外端の単位
電極４ａ，６ａの外側縁の電位分布が、変換器
２，３内部の連続的な変位とは相違した不連続
な変位となつて零位ポテンシヤル領域となるた
めであり、この場合、最外端単位電極４ａ，６
ａの外側縁において、各変換器２，３の内部で
設定された電界以上に1/2・Ａで表わされる電
界が生じ、この電界により生起される弾性表面
波が不用波となる。但し、Ａは単位電極４ａ，
６ａの長さに応じて生じる電界強度である。
電極４ａ，６ａの外側縁の電位分布が、変換器
２，３内部の連続的な変位とは相違した不連続
な変位となつて零位ポテンシヤル領域となるた
めであり、この場合、最外端単位電極４ａ，６
ａの外側縁において、各変換器２，３の内部で
設定された電界以上に1/2・Ａで表わされる電
界が生じ、この電界により生起される弾性表面
波が不用波となる。但し、Ａは単位電極４ａ，
６ａの長さに応じて生じる電界強度である。
そして、(イ)の現象に起因して、周波数群遅延特
性（周波数位相応答特性）も劣化を来たすもので
あり、第２図中縦軸の群遅延時間Ｄに対応した曲
線C3に示す如く、伝送帯域内の群遅延時間Ｄに
前記３倍行程反射波によるリツプルが等周期で出
現する。また、(ロ)の現象に起因して、第２図に示
した利得Ｇの測定値は常に計算値より多対成分を
有するようになる。即ち、この種装置を第１図に
示すように信号源８及び負荷９に対して最も一般
的な不平衡形に結線した場合、最外端単位電極４
ａ，６ａを有する側の電極４，６を、非接地側に
接続したときには約１対（単位電極２条）分、接
地側に接続したときには約1/2対（単位電極１条）
分の多対特性となる。このような事実は、設計数
値を具体的に決定するときの障害となり、また、
予め多対成分を数値上考慮した設計を行なつたと
きでも、結線次第によつて多対成分が相違すると
いう方向性があるため使用上不便であり、場合に
よつては誤動作により不測の事態を惹起する虞も
ある。
性（周波数位相応答特性）も劣化を来たすもので
あり、第２図中縦軸の群遅延時間Ｄに対応した曲
線C3に示す如く、伝送帯域内の群遅延時間Ｄに
前記３倍行程反射波によるリツプルが等周期で出
現する。また、(ロ)の現象に起因して、第２図に示
した利得Ｇの測定値は常に計算値より多対成分を
有するようになる。即ち、この種装置を第１図に
示すように信号源８及び負荷９に対して最も一般
的な不平衡形に結線した場合、最外端単位電極４
ａ，６ａを有する側の電極４，６を、非接地側に
接続したときには約１対（単位電極２条）分、接
地側に接続したときには約1/2対（単位電極１条）
分の多対特性となる。このような事実は、設計数
値を具体的に決定するときの障害となり、また、
予め多対成分を数値上考慮した設計を行なつたと
きでも、結線次第によつて多対成分が相違すると
いう方向性があるため使用上不便であり、場合に
よつては誤動作により不測の事態を惹起する虞も
ある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであ
り、その目的は、特別な付加条件或は特殊加工等
を施こさずとも不要な弾性表面波による悪影響を
効果的に抑制し得ると共に、設計計算値に近似し
た再現性が良い所望の特性を得ることができて多
量生産に好適する等の効果を奏する弾性表面波装
置を提供するにある。
り、その目的は、特別な付加条件或は特殊加工等
を施こさずとも不要な弾性表面波による悪影響を
効果的に抑制し得ると共に、設計計算値に近似し
た再現性が良い所望の特性を得ることができて多
量生産に好適する等の効果を奏する弾性表面波装
置を提供するにある。
以下、本発明をバンドパスフイルタに適用した
第１実施例について第３図及び第４図を参照しな
がら説明する。第３図において、１０は水晶、圧
電磁器等を矩形板状に形成した圧電性を有する基
板、１１は電気信号を機械信号に変換するための
入力用変換器で、この変換器１１は基板１０上に
フオトエツチング技術等により形成した１組の薄
膜櫛歯状の電極１２，１３から成る。このとき、
各電極１２，１３は、夫々が有する多数の単位電
極１２ａ，１３ａが交互に隣接し且つその隣接縁
部が平行するように組合わされており、各単位電
極１２ａ，１３ａの長さ及び夫々の間の間隙が等
しく設定されていると共に、電極１２の両最外端
の単位電極１２′ａ，１２′ａを除いた他の単位電
極１２ａ，１３ａの巾が等しく設定されて、正規
形電極形状に構成されている。そして、上記単位
電極１２′ａ，１２′ａは図示の如くその外側端縁
部分の全体が信号伝達方向（図中矢印１４で示
す）に直交した方向に対して傾斜し且つ内側端縁
部分がこれと隣接する他の単位電極と平行せる三
角形状に形成してある。尚、電極１３の両最外端
の単位電極１３ａ，１３ａの基部には前記単位電
極１２′ａ，１２′ａの領域と対応しないようにし
て三角形状の補助電極１３ｂ，１３ｂが設けられ
ている。一方、１５は機械信号を電気信号に変換
するための出力用変換器で、これは基板１０上に
フオトエツチング技術等により形成した１組の薄
膜櫛歯状の電極１６，１７から成り、前記入力用
変換器１１との間に信号伝搬部１０ａが存するよ
うに位置されている。上記電極１６，１７は、
夫々が有する単位電極１６ａ，１７ａを図示のよ
うに設定して正規形電極形状に形成してある。
尚、図示はしないが、各変換器１１，１５と基板
１０の左右両辺部との間には、該基板１０の端面
に到達した弾性表面波の反射波を吸収拡散するた
めのシリコンゴム等が添設されている。
第１実施例について第３図及び第４図を参照しな
がら説明する。第３図において、１０は水晶、圧
電磁器等を矩形板状に形成した圧電性を有する基
板、１１は電気信号を機械信号に変換するための
入力用変換器で、この変換器１１は基板１０上に
フオトエツチング技術等により形成した１組の薄
膜櫛歯状の電極１２，１３から成る。このとき、
各電極１２，１３は、夫々が有する多数の単位電
極１２ａ，１３ａが交互に隣接し且つその隣接縁
部が平行するように組合わされており、各単位電
極１２ａ，１３ａの長さ及び夫々の間の間隙が等
しく設定されていると共に、電極１２の両最外端
の単位電極１２′ａ，１２′ａを除いた他の単位電
極１２ａ，１３ａの巾が等しく設定されて、正規
形電極形状に構成されている。そして、上記単位
電極１２′ａ，１２′ａは図示の如くその外側端縁
部分の全体が信号伝達方向（図中矢印１４で示
す）に直交した方向に対して傾斜し且つ内側端縁
部分がこれと隣接する他の単位電極と平行せる三
角形状に形成してある。尚、電極１３の両最外端
の単位電極１３ａ，１３ａの基部には前記単位電
極１２′ａ，１２′ａの領域と対応しないようにし
て三角形状の補助電極１３ｂ，１３ｂが設けられ
ている。一方、１５は機械信号を電気信号に変換
するための出力用変換器で、これは基板１０上に
フオトエツチング技術等により形成した１組の薄
膜櫛歯状の電極１６，１７から成り、前記入力用
変換器１１との間に信号伝搬部１０ａが存するよ
うに位置されている。上記電極１６，１７は、
夫々が有する単位電極１６ａ，１７ａを図示のよ
うに設定して正規形電極形状に形成してある。
尚、図示はしないが、各変換器１１，１５と基板
１０の左右両辺部との間には、該基板１０の端面
に到達した弾性表面波の反射波を吸収拡散するた
めのシリコンゴム等が添設されている。
しかして、上記構成のバンドパスフイルタの周
波数振巾応答特性及び周波数群遅延特性は第４図
に示すようになる。即ち、この第４図中、曲線
C4が周波数振巾応答利得Ｇの計算値を示すと共
に曲線C5が利得Ｇの測定値を示し、また曲線C6
が群遅延時間Ｄの測定値を示すものである。従つ
て本実施例の構成によれば、第２図に示した従来
構成の周波数特性との比較から明らかなように、
伝送帯域における利得Ｇ及び群遅延時間Ｄのリツ
プルが激減すると共に、伝送帯域巾を含めた各特
性の測定値が設計計算値と良く一致するようにな
り、設計時に多対成分を考慮する必要がなくて設
計を容易に行ない得ると共に、結線時の方向性を
なくし得て使用上便利である。上記の如き現象
は、電極１２の両端の単位電極１２′ａ，１２′ａ
における各外側端縁部分が信号伝達方向１４と直
交した方向に対し傾斜しているために、該単位電
極１２′ａの外側端縁部分と出力用変換器１５の
最左端に位置した単位電極１６ａとの間の距離
（信号伝搬距離）が、信号伝達方向１４と直交す
る方向において単位電極１２′ａの全体に渡つて
直線的に変化するようになり、この結果、単位電
極１２′ａの外側端縁部分で生起された不要な弾
性表面波の単位電極１６ａに対する入射位相がそ
の入射位置の全体に渡つてずれるようになつて該
不要弾性表面波が相殺し合うことによるものと考
えられる。
波数振巾応答特性及び周波数群遅延特性は第４図
に示すようになる。即ち、この第４図中、曲線
C4が周波数振巾応答利得Ｇの計算値を示すと共
に曲線C5が利得Ｇの測定値を示し、また曲線C6
が群遅延時間Ｄの測定値を示すものである。従つ
て本実施例の構成によれば、第２図に示した従来
構成の周波数特性との比較から明らかなように、
伝送帯域における利得Ｇ及び群遅延時間Ｄのリツ
プルが激減すると共に、伝送帯域巾を含めた各特
性の測定値が設計計算値と良く一致するようにな
り、設計時に多対成分を考慮する必要がなくて設
計を容易に行ない得ると共に、結線時の方向性を
なくし得て使用上便利である。上記の如き現象
は、電極１２の両端の単位電極１２′ａ，１２′ａ
における各外側端縁部分が信号伝達方向１４と直
交した方向に対し傾斜しているために、該単位電
極１２′ａの外側端縁部分と出力用変換器１５の
最左端に位置した単位電極１６ａとの間の距離
（信号伝搬距離）が、信号伝達方向１４と直交す
る方向において単位電極１２′ａの全体に渡つて
直線的に変化するようになり、この結果、単位電
極１２′ａの外側端縁部分で生起された不要な弾
性表面波の単位電極１６ａに対する入射位相がそ
の入射位置の全体に渡つてずれるようになつて該
不要弾性表面波が相殺し合うことによるものと考
えられる。
尚、上記第１実施例では、入力用変換器１１側
の電極１２における両端の単位電極１２′ａ，１
２′ａを三角形状に形成したが、出力用変換器１
５側の電極１６における単位電極１６ａのうち最
外端のものを同様の三角形状としても良い。
の電極１２における両端の単位電極１２′ａ，１
２′ａを三角形状に形成したが、出力用変換器１
５側の電極１６における単位電極１６ａのうち最
外端のものを同様の三角形状としても良い。
また、上記第１実施例では正規形電極を用いる
構成としたが、これに限らず第３図と同一部分に
は同一符号を付してその説明を省略した第５図に
示す第２実施例のように、所謂重み付け電極と称
される形状の櫛歯状電極１８，１９より成る入力
用変換器２０を設ける構成としても良い。即ち、
任意の周波数応答特性を得るために、電極１８，
１９の各単位電極１８ａ，１９ａの長さを調節し
たものが重み付け電極であり、電極１８の最外端
の単位電極１８′ａ，１８′ａを前記第１実施例と
同様の三角形状に形成すると共に、電極１９の両
最外端の単位電極１９ａ，１９ａの基部に三角形
状の補助電極１９ｂ，１９ｂを形成している。
構成としたが、これに限らず第３図と同一部分に
は同一符号を付してその説明を省略した第５図に
示す第２実施例のように、所謂重み付け電極と称
される形状の櫛歯状電極１８，１９より成る入力
用変換器２０を設ける構成としても良い。即ち、
任意の周波数応答特性を得るために、電極１８，
１９の各単位電極１８ａ，１９ａの長さを調節し
たものが重み付け電極であり、電極１８の最外端
の単位電極１８′ａ，１８′ａを前記第１実施例と
同様の三角形状に形成すると共に、電極１９の両
最外端の単位電極１９ａ，１９ａの基部に三角形
状の補助電極１９ｂ，１９ｂを形成している。
このように構成したバンドパスフイルタの周波
数振巾応答特性及び周波数群遅延特性は第６図に
示すようになる。但し、第６図中において、曲線
C7が周波数振巾応答利得Ｇの計算値を示すと共
に曲線C8が利得Ｇの測定値を示し、また曲線C9
が群遅延時間Ｄの測定値を示す。
数振巾応答特性及び周波数群遅延特性は第６図に
示すようになる。但し、第６図中において、曲線
C7が周波数振巾応答利得Ｇの計算値を示すと共
に曲線C8が利得Ｇの測定値を示し、また曲線C9
が群遅延時間Ｄの測定値を示す。
加えて、第７図及び第８図には、夫々本発明の
第３及び第４実施例の電極形状が示されており、
以下これについて述べる。即ち、第７図の第３実
施例においては、櫛歯状電極２１の最外端の単位
電極２１′ａを前記第１実施例と同様の三角形状
に形成すると共に、弾性表面波の速度が各単位電
極２１ａ，２２ａ部分で変化することに起因した
伝送信号の波頭ひずみを防止すべくダミー電極２
１ｂ，２２ｂを設け、櫛歯状電極２２側の最外端
のダミー電極２２′ｂを三角形状に形成している。
また、第８図の第４実施例においては、櫛歯状電
極２５の最外端の単位電極２５ａを図示の如く二
等辺三角形状に形成した構成であり、この場合
は、入力用及び出力用の各変換器間の寸法が十分
に取れないときに有効であり、また、上記三角形
状の準位電極２５ａを小面積化できて特性インピ
ーダンスを低下させない等の利点がある。そし
て、この第４実施例に関連した変形例としては、
櫛歯状電極の最外端の単位電極を複数個の三角形
を連ねた形状になすことが考えられる。
第３及び第４実施例の電極形状が示されており、
以下これについて述べる。即ち、第７図の第３実
施例においては、櫛歯状電極２１の最外端の単位
電極２１′ａを前記第１実施例と同様の三角形状
に形成すると共に、弾性表面波の速度が各単位電
極２１ａ，２２ａ部分で変化することに起因した
伝送信号の波頭ひずみを防止すべくダミー電極２
１ｂ，２２ｂを設け、櫛歯状電極２２側の最外端
のダミー電極２２′ｂを三角形状に形成している。
また、第８図の第４実施例においては、櫛歯状電
極２５の最外端の単位電極２５ａを図示の如く二
等辺三角形状に形成した構成であり、この場合
は、入力用及び出力用の各変換器間の寸法が十分
に取れないときに有効であり、また、上記三角形
状の準位電極２５ａを小面積化できて特性インピ
ーダンスを低下させない等の利点がある。そし
て、この第４実施例に関連した変形例としては、
櫛歯状電極の最外端の単位電極を複数個の三角形
を連ねた形状になすことが考えられる。
その他、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施し得ることは勿論である。
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施し得ることは勿論である。
本発明によれば以上の説明から理解されるよう
に、入力用及び出力用変換器の少なくとも一方に
おける電極の両最外端縁部分が信号伝達方向に直
交した方向に対し傾斜した形状となるように設定
するだけの極めて簡単な構成によつて不要な弾性
表面波による悪影響を効果的に抑制することがで
き、従つて特別な付加条件或は特殊加工等を施こ
さずとも良くて容易且つ安価に製作し得る。ま
た、設計計算値に近似した再現性が良い所望の特
性を得ることができて多量生産に好適する。
に、入力用及び出力用変換器の少なくとも一方に
おける電極の両最外端縁部分が信号伝達方向に直
交した方向に対し傾斜した形状となるように設定
するだけの極めて簡単な構成によつて不要な弾性
表面波による悪影響を効果的に抑制することがで
き、従つて特別な付加条件或は特殊加工等を施こ
さずとも良くて容易且つ安価に製作し得る。ま
た、設計計算値に近似した再現性が良い所望の特
性を得ることができて多量生産に好適する。
第１図は従来例説明用の概略平面図、第２図は
同従来例における周波数特性図である。また、第
３図及び第４図は夫々本発明の第１実施例におけ
る第１図及び第２図相当図、第５図及び第６図は
夫々本発明の第２実施例における第１図及び第２
図相当図、第７図及び第８図は夫々本発明の第３
及び第４実施例における電極形状を示す図であ
る。 図中、１０は基板、１１，２０は入力用変換
器、１２，１３，１６，１７，２１，２２，２５
は電極、１２ａ，１２′ａ，１３ａ，１６ａ，１
７ａ，１８ａ，１８′ａ，１９ａ，２１ａ，２
１′ａ，２２ａ，２５ａは単位電極、１５は出力
用変換器である。
同従来例における周波数特性図である。また、第
３図及び第４図は夫々本発明の第１実施例におけ
る第１図及び第２図相当図、第５図及び第６図は
夫々本発明の第２実施例における第１図及び第２
図相当図、第７図及び第８図は夫々本発明の第３
及び第４実施例における電極形状を示す図であ
る。 図中、１０は基板、１１，２０は入力用変換
器、１２，１３，１６，１７，２１，２２，２５
は電極、１２ａ，１２′ａ，１３ａ，１６ａ，１
７ａ，１８ａ，１８′ａ，１９ａ，２１ａ，２
１′ａ，２２ａ，２５ａは単位電極、１５は出力
用変換器である。
Claims (1)
- １ 基板上に夫々多数の単位電極を有した櫛歯状
電極から成る入力用変換器及び出力用変換器を配
設し弾性表面波を媒体として各変換器間の信号伝
達を行なうものにおいて、前記入力用及び出力用
変換器の少なくとも一方における櫛歯状電極の最
外端に位置した単位電極を、その外側端縁部分の
全体が信号伝達方向に直交した方向に対して傾斜
し且つ内側端縁部分がこれと隣接する他の単位電
極と平行せる三角形状に形成したことを特徴する
弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6238480A JPS56158519A (en) | 1980-05-10 | 1980-05-10 | Elastic surface wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6238480A JPS56158519A (en) | 1980-05-10 | 1980-05-10 | Elastic surface wave device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56158519A JPS56158519A (en) | 1981-12-07 |
| JPH0214811B2 true JPH0214811B2 (ja) | 1990-04-10 |
Family
ID=13198569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6238480A Granted JPS56158519A (en) | 1980-05-10 | 1980-05-10 | Elastic surface wave device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56158519A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2120890B (en) * | 1982-04-19 | 1985-11-27 | Philips Electronic Associated | Acoustic surface wave device |
| JPH036114A (ja) * | 1989-06-01 | 1991-01-11 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波装置 |
-
1980
- 1980-05-10 JP JP6238480A patent/JPS56158519A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56158519A (en) | 1981-12-07 |
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