JPH05121996A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
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- JPH05121996A JPH05121996A JP28470791A JP28470791A JPH05121996A JP H05121996 A JPH05121996 A JP H05121996A JP 28470791 A JP28470791 A JP 28470791A JP 28470791 A JP28470791 A JP 28470791A JP H05121996 A JPH05121996 A JP H05121996A
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- acoustic wave
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Abstract
(57)【要約】
【目的】１ＧＨｚ以上の高周波帯において低損失で広帯
域な弾性表面波フィルタを提供する。 【構成】ＬｉＴａＯ3 基板１０と、リーキ波の伝搬方向
に沿ってＬｉＴａＯ3 基板１０上に配置された一対の反
射器２６、２７；３６、３７と、一対反射器２６、２
７；３６、３７間に配置されそれぞれが並列接続された
複数の入力用ＩＤＴ２１、２２、２３；３１、３２と、
入力用ＩＤＴ間に配置され並列接続された出力用ＩＤＴ
２４、２５；３３、３４、３５とを含み、入力用ＩＤＴ
２１、２２、２３；３１、３２及び出力用ＩＤＴ２４、
２５；３３、３４、３５はそれぞれ５〜３０対の電極指
を有し、電極指の規格化膜厚は２％以上であるように構
成する。
域な弾性表面波フィルタを提供する。 【構成】ＬｉＴａＯ3 基板１０と、リーキ波の伝搬方向
に沿ってＬｉＴａＯ3 基板１０上に配置された一対の反
射器２６、２７；３６、３７と、一対反射器２６、２
７；３６、３７間に配置されそれぞれが並列接続された
複数の入力用ＩＤＴ２１、２２、２３；３１、３２と、
入力用ＩＤＴ間に配置され並列接続された出力用ＩＤＴ
２４、２５；３３、３４、３５とを含み、入力用ＩＤＴ
２１、２２、２３；３１、３２及び出力用ＩＤＴ２４、
２５；３３、３４、３５はそれぞれ５〜３０対の電極指
を有し、電極指の規格化膜厚は２％以上であるように構
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波フィルタ、特
に１ＧＨｚ以上の高い周波数において低損失で広帯域な
弾性表面波フィルタに関する。
に１ＧＨｚ以上の高い周波数において低損失で広帯域な
弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】移動体通信分野においては加入者の増加
に対処するために準マイクロ波帯を利用したシステムが
検討されており、広帯域で低損失なフィルタが求められ
ている。弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタは小
型、軽量、高性能という特性を有し、種々の弾性表面波
フィルタが実用化されている。しかしながら、１ＧＨｚ
以上の準マイクロ波帯で広帯域かつ低損失なものは実用
化されておらず、開発が期待されている。
に対処するために準マイクロ波帯を利用したシステムが
検討されており、広帯域で低損失なフィルタが求められ
ている。弾性表面波を利用した弾性表面波フィルタは小
型、軽量、高性能という特性を有し、種々の弾性表面波
フィルタが実用化されている。しかしながら、１ＧＨｚ
以上の準マイクロ波帯で広帯域かつ低損失なものは実用
化されておらず、開発が期待されている。
【０００３】広帯域で低損失な弾性表面波フィルタを実
現するために従来から様々な方法が提案されている。広
帯域が得られるが挿入損失の大きいトランスパーサル型
フィルタの低損失化をはかる構造としてＩＩＤＴが提案
されている。このＩＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｔ
ｅｄ Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅ
ｒｓ）は（Ｎ＋１）個の入力用ＩＤＴとＮ個の出力用Ｉ
ＤＴ（ただし、Ｎ≧２）を交互に配置したものである。
交互に配置することによりＩＩＤＴの挿入損失はｌｏｇ
（Ｎ＋１）／Ｎ［ｄＢ］となり、入力用ＩＤＴ及び出力
用ＩＤＴの数を増やすことにより低損失な弾性表面波フ
ィルタを得ようとするものである。
現するために従来から様々な方法が提案されている。広
帯域が得られるが挿入損失の大きいトランスパーサル型
フィルタの低損失化をはかる構造としてＩＩＤＴが提案
されている。このＩＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｔ
ｅｄ Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅ
ｒｓ）は（Ｎ＋１）個の入力用ＩＤＴとＮ個の出力用Ｉ
ＤＴ（ただし、Ｎ≧２）を交互に配置したものである。
交互に配置することによりＩＩＤＴの挿入損失はｌｏｇ
（Ｎ＋１）／Ｎ［ｄＢ］となり、入力用ＩＤＴ及び出力
用ＩＤＴの数を増やすことにより低損失な弾性表面波フ
ィルタを得ようとするものである。
【０００４】また、２ポート型弾性表面波共振子をフィ
ルタとして利用することが提案されている。このような
共振子型フィルタは、一対の反射器間に入出力用ＩＤＴ
を配置することにより、低損失な弾性表面波フィルタを
実現している。しかし、この構造では一般に広帯域化は
困難である。一方、速い音速の弾性表面波としてリーキ
ー波が注目されている。特に３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬の
ＬｉＴａＯ3 基板では、伝搬損失のほとんどないリーキ
ー波が得られ、しかも温度特性も比較的よいので、高い
周波数での弾性表面波素子への利用が注目されている。
ルタとして利用することが提案されている。このような
共振子型フィルタは、一対の反射器間に入出力用ＩＤＴ
を配置することにより、低損失な弾性表面波フィルタを
実現している。しかし、この構造では一般に広帯域化は
困難である。一方、速い音速の弾性表面波としてリーキ
ー波が注目されている。特に３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬の
ＬｉＴａＯ3 基板では、伝搬損失のほとんどないリーキ
ー波が得られ、しかも温度特性も比較的よいので、高い
周波数での弾性表面波素子への利用が注目されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
構造による弾性表面波フィルタでは、周波数が１ＧＨｚ
以上の高周波になると、広帯域化できずまたは挿入損失
が増大するという問題があった。広帯域化のためには、
弾性表面波の反射率の影響を小さくするために電極指の
膜厚を薄くする必要がある。こうすると各電極指の電極
抵抗が大きくなり、弾性表面波フィルタの挿入損失が大
きくなる。このため、挿入損失を下げるためには電極指
の膜厚を厚くして電極抵抗を下げる必要がある。しか
し、電極指の膜厚を厚くすると電極指における反射率が
大きくなり、広帯域化が困難になる。このように１ＧＨ
ｚ以上の高周波帯において低損失で広帯域な弾性表面波
フィルタの実現は困難であった。
構造による弾性表面波フィルタでは、周波数が１ＧＨｚ
以上の高周波になると、広帯域化できずまたは挿入損失
が増大するという問題があった。広帯域化のためには、
弾性表面波の反射率の影響を小さくするために電極指の
膜厚を薄くする必要がある。こうすると各電極指の電極
抵抗が大きくなり、弾性表面波フィルタの挿入損失が大
きくなる。このため、挿入損失を下げるためには電極指
の膜厚を厚くして電極抵抗を下げる必要がある。しか
し、電極指の膜厚を厚くすると電極指における反射率が
大きくなり、広帯域化が困難になる。このように１ＧＨ
ｚ以上の高周波帯において低損失で広帯域な弾性表面波
フィルタの実現は困難であった。
【０００６】本発明の目的は１ＧＨｚ以上の高周波帯に
おいて低損失で広帯域な弾性表面波フィルタを提供する
ことにある。
おいて低損失で広帯域な弾性表面波フィルタを提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、ＬｉＴａＯ
3 基板と、リーキー波の伝搬方向に沿って前記ＬｉＴａ
Ｏ3 基板上に配置された一対の反射器と、前記一対の反
射器間に配置されそれぞれが並列接続された複数の入力
用ＩＤＴと、前記複数の入力用ＩＤＴ間に配置され並列
接続された出力用ＩＤＴとを含み、前記入力用ＩＤＴ及
び前記出力用ＩＤＴはそれぞれ５〜３０対の電極指を有
し、前記電極指の規格化膜厚は２％以上であることを特
徴とする弾性表面波フィルタによって達成される。
3 基板と、リーキー波の伝搬方向に沿って前記ＬｉＴａ
Ｏ3 基板上に配置された一対の反射器と、前記一対の反
射器間に配置されそれぞれが並列接続された複数の入力
用ＩＤＴと、前記複数の入力用ＩＤＴ間に配置され並列
接続された出力用ＩＤＴとを含み、前記入力用ＩＤＴ及
び前記出力用ＩＤＴはそれぞれ５〜３０対の電極指を有
し、前記電極指の規格化膜厚は２％以上であることを特
徴とする弾性表面波フィルタによって達成される。
【０００８】なお、３６°回転Ｙ板ＬｉＴａＯ3 基板を
用いて、リーキー波をＸ方向に伝搬させることが望まし
く、基板のカット面及び伝搬方向は±５°程度ずれてい
てもよい。また、ＩＤＴ及び反射器の電極指構造を同一
間隔とすることが望ましい。
用いて、リーキー波をＸ方向に伝搬させることが望まし
く、基板のカット面及び伝搬方向は±５°程度ずれてい
てもよい。また、ＩＤＴ及び反射器の電極指構造を同一
間隔とすることが望ましい。
【０００９】
【作用】本発明によれば低損失の弾性表面波フィルタを
実現できる。一般に、弾性表面波フィルタの損失の原因
として、伝搬損失、電極指の抵抗による損失、変換され
ない弾性表面波エネルギによる損失、バルク変換損失、
等が考えられる。
実現できる。一般に、弾性表面波フィルタの損失の原因
として、伝搬損失、電極指の抵抗による損失、変換され
ない弾性表面波エネルギによる損失、バルク変換損失、
等が考えられる。
【００１０】伝搬損失を小さくするためには、弾性表面
波の伝搬距離を短かくすればよい。本発明では、５〜３
０対と比較的少ない対数の入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴ
を交互に配置することにより、入力用ＩＤＴからの弾性
表面波が隣接する出力用ＩＤＴに受信されるので、弾性
表面波の伝搬距離を短くして伝搬損失を小さくしてい
る。
波の伝搬距離を短かくすればよい。本発明では、５〜３
０対と比較的少ない対数の入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴ
を交互に配置することにより、入力用ＩＤＴからの弾性
表面波が隣接する出力用ＩＤＴに受信されるので、弾性
表面波の伝搬距離を短くして伝搬損失を小さくしてい
る。
【００１１】電極指の抵抗を小さくするには、本発明で
は、電極指の規格化膜厚を２％以上に増やして電極指の
抵抗を小さくして挿入損失を低減している。変換されな
い弾性表面波エネルギーを少なくすれば挿入損失を小さ
くすることができる。本発明では、複数の入力用ＩＤＴ
と複数の出力用ＩＤＴを交互に配置し、入力用ＩＤＴと
出力用ＩＤＴの外側に一対の反射器を設けることによ
り、入力用ＩＤＴにより両側に発生した弾性表面波エネ
ルギの全てを出力用ＩＤＴにより電気的エネルギーに変
換することにより挿入損失を小さくしている。
は、電極指の規格化膜厚を２％以上に増やして電極指の
抵抗を小さくして挿入損失を低減している。変換されな
い弾性表面波エネルギーを少なくすれば挿入損失を小さ
くすることができる。本発明では、複数の入力用ＩＤＴ
と複数の出力用ＩＤＴを交互に配置し、入力用ＩＤＴと
出力用ＩＤＴの外側に一対の反射器を設けることによ
り、入力用ＩＤＴにより両側に発生した弾性表面波エネ
ルギの全てを出力用ＩＤＴにより電気的エネルギーに変
換することにより挿入損失を小さくしている。
【００１２】また、入力用ＩＤＴと出力用ＩＤＴの外側
に一対の反射器を設けることにより、弾性表面波エネル
ギーの漏れがほとんどなく基板端面からの反射をほとん
ど無視できるので、吸音剤を塗布する等の工夫をするこ
となく帯域内におけるリップルを低減することができ
る。加えてバルク変換損失の発生原因として、ＩＤＴ及
び反射器の電極形状の不連続性によるものが知られてい
る。本発明の弾性表面波フィルタではＩＤＴ及び反射器
の電極形状を同じ周期とすることにより、電極形状の不
連続性によるバルク変換損失を低減することができる。
に一対の反射器を設けることにより、弾性表面波エネル
ギーの漏れがほとんどなく基板端面からの反射をほとん
ど無視できるので、吸音剤を塗布する等の工夫をするこ
となく帯域内におけるリップルを低減することができ
る。加えてバルク変換損失の発生原因として、ＩＤＴ及
び反射器の電極形状の不連続性によるものが知られてい
る。本発明の弾性表面波フィルタではＩＤＴ及び反射器
の電極形状を同じ周期とすることにより、電極形状の不
連続性によるバルク変換損失を低減することができる。
【００１３】また、本発明によれば広い帯域幅の弾性表
面波フィルタを実現できる。図１に、同じ対数の３つの
入力用ＩＤＴと２つの出力用ＩＤＴを交互に配置し、電
極が１００本の一対の反射器により挟んで構成した弾性
表面波フィルタのシミュレーション結果を示す。圧電基
板として３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ 3 基板を用
い、電極材料としてアルミニウムを用い、電極指の規格
化膜厚（ｈ／λ）を０．５％から１０％に変化させた場
合の比帯域幅（３ｄＢダウンの幅）をシミュレーション
により求めた。横軸は入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴの
対数であり、縦軸は比帯域幅である。
面波フィルタを実現できる。図１に、同じ対数の３つの
入力用ＩＤＴと２つの出力用ＩＤＴを交互に配置し、電
極が１００本の一対の反射器により挟んで構成した弾性
表面波フィルタのシミュレーション結果を示す。圧電基
板として３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ 3 基板を用
い、電極材料としてアルミニウムを用い、電極指の規格
化膜厚（ｈ／λ）を０．５％から１０％に変化させた場
合の比帯域幅（３ｄＢダウンの幅）をシミュレーション
により求めた。横軸は入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴの
対数であり、縦軸は比帯域幅である。
【００１４】図１のシミュレーション結果から、電極指
の規格化膜厚（ｈ／λ）が厚くなると、比帯域幅のピー
クが大きくなると共に全体として対数が低い方にシフト
する傾向にあることがわかる。比帯域幅を約１％以上と
するためには、図１から明らかなように、入力用ＩＤＴ
及び出力用ＩＤＴをそれぞれ５〜３０対の電極指とし、
電極指の規格化膜厚（ｈ／λ）を２％以上とすることが
必要となる。
の規格化膜厚（ｈ／λ）が厚くなると、比帯域幅のピー
クが大きくなると共に全体として対数が低い方にシフト
する傾向にあることがわかる。比帯域幅を約１％以上と
するためには、図１から明らかなように、入力用ＩＤＴ
及び出力用ＩＤＴをそれぞれ５〜３０対の電極指とし、
電極指の規格化膜厚（ｈ／λ）を２％以上とすることが
必要となる。
【００１５】
【実施例】本発明の第１の実施例による弾性表面波フィ
ルタを図２を用いて説明する。３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬
のＬｉＴａＯ3 基板１０上に、５つのＩＤＴと一対の反
射器により構成された２つの電極構造列２０、３０がＸ
方向に弾性表面波が伝搬するように形成されている。
ルタを図２を用いて説明する。３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬
のＬｉＴａＯ3 基板１０上に、５つのＩＤＴと一対の反
射器により構成された２つの電極構造列２０、３０がＸ
方向に弾性表面波が伝搬するように形成されている。
【００１６】電極構造列２０では、３つの入力用ＩＤＴ
２１、２２、２３と２つの出力用ＩＤＴ２４、２５が交
互に配置され、これら入力用ＩＤＴ２１、２２、２３と
出力用ＩＤＴ２４、２５が一対の反射器２６、２７によ
り挟まれている。３つの入力用ＩＤＴ２１、２２、２３
は並列接続され、２つの出力用ＩＤＴ２４、２５も並列
接続されている。
２１、２２、２３と２つの出力用ＩＤＴ２４、２５が交
互に配置され、これら入力用ＩＤＴ２１、２２、２３と
出力用ＩＤＴ２４、２５が一対の反射器２６、２７によ
り挟まれている。３つの入力用ＩＤＴ２１、２２、２３
は並列接続され、２つの出力用ＩＤＴ２４、２５も並列
接続されている。
【００１７】各ＩＤＴ２１〜２５は１５．５対の電極指
（１５本と１６本の電極指が組合されている）により構
成され、反射器２６、２７は１００本の電極により構成
されている。ＩＤＴ２１〜２５の電極指及び反射器２
６、２７の電極はアルミニウムにより作られ、規格化膜
厚が５％で、開口長は入出力インピーダンスにより決め
られる所定長である。ＩＤＴ２１〜２５及び反射器２
６、２７は同一の周期構造であり、ＩＤＴとＩＤＴ間及
び反射器とＩＤＴ間も同じ周期で形成され、電極構造列
２０全体として同一の周期構造をしている。
（１５本と１６本の電極指が組合されている）により構
成され、反射器２６、２７は１００本の電極により構成
されている。ＩＤＴ２１〜２５の電極指及び反射器２
６、２７の電極はアルミニウムにより作られ、規格化膜
厚が５％で、開口長は入出力インピーダンスにより決め
られる所定長である。ＩＤＴ２１〜２５及び反射器２
６、２７は同一の周期構造であり、ＩＤＴとＩＤＴ間及
び反射器とＩＤＴ間も同じ周期で形成され、電極構造列
２０全体として同一の周期構造をしている。
【００１８】電極構造列３０では、２つの入力用ＩＤＴ
３１、３２と３つの出力用ＩＤＴ３３、３４、３５が交
互に配置され、これら入力用ＩＤＴ３１、３２と出力用
ＩＤＴ３３、３４、３５が一対の反射器３６、３７によ
り挟まれている。２つの入力用ＩＤＴ３１、３２は並列
接続され、３つの出力用ＩＤＴ３３、３４、３５も並列
接続されている。
３１、３２と３つの出力用ＩＤＴ３３、３４、３５が交
互に配置され、これら入力用ＩＤＴ３１、３２と出力用
ＩＤＴ３３、３４、３５が一対の反射器３６、３７によ
り挟まれている。２つの入力用ＩＤＴ３１、３２は並列
接続され、３つの出力用ＩＤＴ３３、３４、３５も並列
接続されている。
【００１９】各ＩＤＴ３１〜３５は１５．５対の電極指
により構成され、反射器３６、３７は１００本の電極に
より構成されている。ＩＤＴ３１〜３５の電極指及び反
射器３６、３７の電極はアルミニウムにより作られ、規
格化膜厚が５％で、開口長は２５λである。終端インピ
ーダンスは５０Ωである。ＩＤＴ３１〜３５及び反射器
３６、３７は同一の周期構造であり、ＩＤＴとＩＤＴ間
及び反射器とＩＤＴ間も同じ周期で形成され、電極構造
列３０全体として同一の周期構造である。
により構成され、反射器３６、３７は１００本の電極に
より構成されている。ＩＤＴ３１〜３５の電極指及び反
射器３６、３７の電極はアルミニウムにより作られ、規
格化膜厚が５％で、開口長は２５λである。終端インピ
ーダンスは５０Ωである。ＩＤＴ３１〜３５及び反射器
３６、３７は同一の周期構造であり、ＩＤＴとＩＤＴ間
及び反射器とＩＤＴ間も同じ周期で形成され、電極構造
列３０全体として同一の周期構造である。
【００２０】各電極構造列２０、３０単独でも弾性表面
波フィルタを構成することが可能であるが、本実施例で
は２つの電極構造列２０と３０を縦続接続して全体とし
て帯域外減衰量の大きい弾性表面波フィルタを実現して
いる。すなわち、電極構造列２０の出力用ＩＤＴ２４、
２５と電極構造列３０の入力用ＩＤＴ３１、３２を接続
用ＩＤＴとして互いに接続することにより、電極構造列
２０と電極構造列３０を縦続接続している。入力用ＩＤ
Ｔ２１、２２、２３が全体の弾性表面波フィルタの入力
用ＩＤＴとして機能し、出力用ＩＤＴ３３、３４、３５
が全体の弾性表面波フィルタの出力用ＩＤＴとして機能
する。
波フィルタを構成することが可能であるが、本実施例で
は２つの電極構造列２０と３０を縦続接続して全体とし
て帯域外減衰量の大きい弾性表面波フィルタを実現して
いる。すなわち、電極構造列２０の出力用ＩＤＴ２４、
２５と電極構造列３０の入力用ＩＤＴ３１、３２を接続
用ＩＤＴとして互いに接続することにより、電極構造列
２０と電極構造列３０を縦続接続している。入力用ＩＤ
Ｔ２１、２２、２３が全体の弾性表面波フィルタの入力
用ＩＤＴとして機能し、出力用ＩＤＴ３３、３４、３５
が全体の弾性表面波フィルタの出力用ＩＤＴとして機能
する。
【００２１】本実施例によれば、図１のシミュレーショ
ン結果から明らかなように、２％以上の比帯域幅を有す
る広帯域で低損失な弾性表面波フィルタを実現できる。
本発明の第２の実施例による弾性表面波フィルタを図３
を用いて説明する。図２に示す弾性表面波フィルタと同
一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
ン結果から明らかなように、２％以上の比帯域幅を有す
る広帯域で低損失な弾性表面波フィルタを実現できる。
本発明の第２の実施例による弾性表面波フィルタを図３
を用いて説明する。図２に示す弾性表面波フィルタと同
一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００２２】本実施例の弾性表面波フィルタは各電極構
造列２０、３０のＩＤＴを７つに増やした点に特徴があ
る。すなわち、電極構造列２０では、３つの入力用ＩＤ
Ｔ２１、２２、２３と４つの出力用ＩＤＴ２８、２４、
２５、２９が交互に配置され、これら入力用ＩＤＴ２
１、２２、２３と出力用ＩＤＴ２８、２４、２５、２９
が一対の反射器２６、２７により挟まれている。３つの
入力用ＩＤＴ２１、２２、２３は並列接続され、４つの
出力用ＩＤＴ２８、２４、２５、２９も並列接続されて
いる。
造列２０、３０のＩＤＴを７つに増やした点に特徴があ
る。すなわち、電極構造列２０では、３つの入力用ＩＤ
Ｔ２１、２２、２３と４つの出力用ＩＤＴ２８、２４、
２５、２９が交互に配置され、これら入力用ＩＤＴ２
１、２２、２３と出力用ＩＤＴ２８、２４、２５、２９
が一対の反射器２６、２７により挟まれている。３つの
入力用ＩＤＴ２１、２２、２３は並列接続され、４つの
出力用ＩＤＴ２８、２４、２５、２９も並列接続されて
いる。
【００２３】電極構造列３０では、４つの入力用ＩＤＴ
３８、３４、３５、３９と３つの出力用ＩＤＴ３１、３
２、３３が交互に配置され、これら入力用ＩＤＴ３８、
３４、３５、３９と出力用ＩＤＴ３１、３２、３３が一
対の反射器３６、３７により挟まれている。４つの入力
用ＩＤＴ３８、３４、３５、３９は並列接続され、３つ
の出力用ＩＤＴ３１、３２、３３も並列接続されてい
る。
３８、３４、３５、３９と３つの出力用ＩＤＴ３１、３
２、３３が交互に配置され、これら入力用ＩＤＴ３８、
３４、３５、３９と出力用ＩＤＴ３１、３２、３３が一
対の反射器３６、３７により挟まれている。４つの入力
用ＩＤＴ３８、３４、３５、３９は並列接続され、３つ
の出力用ＩＤＴ３１、３２、３３も並列接続されてい
る。
【００２４】また、電極構造列２０の出力用ＩＤＴ２
８、２４、２５，２９と電極構造列３０の入力用ＩＤＴ
３８、３４、３５，３９を接続用ＩＤＴとして互いに接
続することにより、電極構造列２０と電極構造列３０を
縦続接続している。本実施例によっても、第１の実施例
と同様に、２％以上の比帯域幅を有する広帯域で低損失
な弾性表面波フィルタを実現できる。
８、２４、２５，２９と電極構造列３０の入力用ＩＤＴ
３８、３４、３５，３９を接続用ＩＤＴとして互いに接
続することにより、電極構造列２０と電極構造列３０を
縦続接続している。本実施例によっても、第１の実施例
と同様に、２％以上の比帯域幅を有する広帯域で低損失
な弾性表面波フィルタを実現できる。
【００２５】本発明の第３の実施例による弾性表面波フ
ィルタを図４を用いて説明する。図２及び図３に示す弾
性表面波フィルタと同一の構成要素には同一の符号を付
して説明を省略する。本実施例の弾性表面波フィルタ
は、ＩＤＴ数の異なる図２の電極構造列２０と図３の電
極構造列３０を組み合わせた点に特徴がある。
ィルタを図４を用いて説明する。図２及び図３に示す弾
性表面波フィルタと同一の構成要素には同一の符号を付
して説明を省略する。本実施例の弾性表面波フィルタ
は、ＩＤＴ数の異なる図２の電極構造列２０と図３の電
極構造列３０を組み合わせた点に特徴がある。
【００２６】すなわち、電極構造列２０では、３つの入
力用ＩＤＴ２１、２２、２３と２つの出力用ＩＤＴ２
４、２５が交互に配置され、これら入力用ＩＤＴ２１、
２２、２３と出力用ＩＤＴ２４、２５が一対の反射器２
６、２７により挟まれている。一方、電極構造列３０で
は、４つの入力用ＩＤＴ３８、３４、３５、３９と３つ
の出力用ＩＤＴ３１、３２、３３が交互に配置され、こ
れら入力用ＩＤＴ３８、３４、３５、３９と出力用ＩＤ
Ｔ３１、３２、３３が一対の反射器３６、３７により挟
まれている。
力用ＩＤＴ２１、２２、２３と２つの出力用ＩＤＴ２
４、２５が交互に配置され、これら入力用ＩＤＴ２１、
２２、２３と出力用ＩＤＴ２４、２５が一対の反射器２
６、２７により挟まれている。一方、電極構造列３０で
は、４つの入力用ＩＤＴ３８、３４、３５、３９と３つ
の出力用ＩＤＴ３１、３２、３３が交互に配置され、こ
れら入力用ＩＤＴ３８、３４、３５、３９と出力用ＩＤ
Ｔ３１、３２、３３が一対の反射器３６、３７により挟
まれている。
【００２７】電極構造列２０の出力用ＩＤＴ２４、２５
と電極構造列３０の入力用ＩＤＴ３８、３４、３５、３
９とを接続用ＩＤＴとして互いに接続することにより、
電極構造列２０と電極構造列３０を縦続接続している。
本実施例によっても、第１の実施例と同様に、２％以上
の比帯域幅を有する広帯域で低損失な弾性表面波フィル
タを実現できる。
と電極構造列３０の入力用ＩＤＴ３８、３４、３５、３
９とを接続用ＩＤＴとして互いに接続することにより、
電極構造列２０と電極構造列３０を縦続接続している。
本実施例によっても、第１の実施例と同様に、２％以上
の比帯域幅を有する広帯域で低損失な弾性表面波フィル
タを実現できる。
【００２８】本発明は上記実施例に限らず種々の変形が
可能である。例えば、入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴの
数は２つ以上であれば上記実施例より多くても少なくて
もよい。また、縦続接続する電極構造列の段数は３段以
上でもよい。
可能である。例えば、入力用ＩＤＴ及び出力用ＩＤＴの
数は２つ以上であれば上記実施例より多くても少なくて
もよい。また、縦続接続する電極構造列の段数は３段以
上でもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、ＬｉＴａ
Ｏ3 基板上に、リーキ波の伝搬方向に沿ってＬｉＴａＯ
3 基板上に配置された一対の反射器と、一対の反射器間
に配置されそれぞれが並列接続された複数の入力用ＩＤ
Ｔと、複数の入力用ＩＤＴ間に配置され並列接続された
複数の出力用ＩＤＴとを含み、入力用ＩＤＴ及び出力用
ＩＤＴはそれぞれ５〜３０対の電極指を有し、電極指の
規格化膜厚は２％以上であるので、１ＧＨｚ以上の高周
波帯において低損失で広帯域な弾性表面波フィルタを実
現できる。
Ｏ3 基板上に、リーキ波の伝搬方向に沿ってＬｉＴａＯ
3 基板上に配置された一対の反射器と、一対の反射器間
に配置されそれぞれが並列接続された複数の入力用ＩＤ
Ｔと、複数の入力用ＩＤＴ間に配置され並列接続された
複数の出力用ＩＤＴとを含み、入力用ＩＤＴ及び出力用
ＩＤＴはそれぞれ５〜３０対の電極指を有し、電極指の
規格化膜厚は２％以上であるので、１ＧＨｚ以上の高周
波帯において低損失で広帯域な弾性表面波フィルタを実
現できる。
【図１】本発明による弾性表面波フィルタにおける電極
の規格化膜厚を変化させた場合のＩＤＴ対数と比帯域幅
の関係のシミュレーション結果を示すグラフである。
の規格化膜厚を変化させた場合のＩＤＴ対数と比帯域幅
の関係のシミュレーション結果を示すグラフである。
【図２】本発明の第１の実施例による弾性表面波フィル
タを示す図である。
タを示す図である。
【図３】本発明の第２の実施例による弾性表面波フィル
タを示す図である。
タを示す図である。
【図４】本発明の第３の実施例による弾性表面波フィル
タを示す図である。
タを示す図である。
１０…３６°回転Ｙ板−Ｘ伝搬ＬｉＴａＯ3 基板 ２０…電極構造列 ２１、２２、２３…入力用ＩＤＴ ２８、２４、２５、２９…出力用ＩＤＴ（接続用ＩＤ
Ｔ） ２６、２７…反射器 ３０…電極構造列 ３８、３４、３５、３９…入力用ＩＤＴ（接続用ＩＤ
Ｔ） ３１、３２、３３…出力用ＩＤＴ ３６、３７…反射器
Ｔ） ２６、２７…反射器 ３０…電極構造列 ３８、３４、３５、３９…入力用ＩＤＴ（接続用ＩＤ
Ｔ） ３１、３２、３３…出力用ＩＤＴ ３６、３７…反射器
Claims (1)
- 【請求項１】 ＬｉＴａＯ3 基板と、リーキー波の伝搬
方向に沿って前記ＬｉＴａＯ3 基板上に配置された一対
の反射器と、前記一対の反射器間に配置されそれぞれが
並列接続された複数の入力用ＩＤＴと、前記複数の入力
用ＩＤＴ間に配置され並列接続された出力用ＩＤＴとを
含み、前記入力用ＩＤＴ及び前記出力用ＩＤＴはそれぞ
れ５〜３０対の電極指を有し、前記電極指の規格化膜厚
は約２％以上であることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28470791A JPH05121996A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28470791A JPH05121996A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121996A true JPH05121996A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=17681939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28470791A Pending JPH05121996A (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05121996A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6037847A (en) * | 1995-10-13 | 2000-03-14 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave device using a leaky surface acoustic wave with an optimized cut angle of a piezoelectric substrate |
| US6049260A (en) * | 1998-01-16 | 2000-04-11 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter having parameters optimized to suppress spurious signals |
| USRE37102E1 (en) | 1994-04-13 | 2001-03-20 | Murata Manufacturing Co, Ltd | Saw filter with specified electrode dimensions |
| JP2012142735A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 縦結合共振器型フィルタ |
-
1991
- 1991-10-30 JP JP28470791A patent/JPH05121996A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE37102E1 (en) | 1994-04-13 | 2001-03-20 | Murata Manufacturing Co, Ltd | Saw filter with specified electrode dimensions |
| US6037847A (en) * | 1995-10-13 | 2000-03-14 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave device using a leaky surface acoustic wave with an optimized cut angle of a piezoelectric substrate |
| US6317015B1 (en) | 1995-10-13 | 2001-11-13 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave device using a leaky surface acoustic wave with an optimized cut angle of a piezoelectric substrate |
| US6049260A (en) * | 1998-01-16 | 2000-04-11 | Nec Corporation | Surface acoustic wave filter having parameters optimized to suppress spurious signals |
| JP2012142735A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 縦結合共振器型フィルタ |
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