KR100491018B1 - 탄성표면파 필터장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 탄성표면파 장치는 제 1 및 제 2의 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)와, 단일한 인터디지털 변환기를 갖는 1포트 탄성표면파 필터(300)를 구비한 탄성표면파 소자가 외관용기(500)에 형성된 전극에 범프를 통하여 페이스 다운 본딩방식으로 접속되고, 여기에서 외관용기(500)는 1포트 탄성표면파 필터(300)와 대향하는 부분에 접지용 단자 전극의 개구부를 갖는 것을 특징으로 한다.

Description

탄성표면파 필터장치{SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER DEVICE}
본 발명은 특히 페이스 다운 본딩방식(face down bonding technique)에 의해 탄성표면파 소자와 외관용기가 조립되는 탄성표면파 필터장치에 관한 것이다.
주지와 같이 탄성표면파 필터장치는 소형경량이고, 또한 기능면에서는 고성능 및 고신뢰성을 만족시키는 것이기 때문에 여러 분야에 널리 사용되어 왔다.
이동체 통신용 송수신용 필터는 그 주파수 특성에 있어서, 주파수 저지영역에 대해서 높은 감쇠특성이 요구된다. 송수신용 필터로서 복수의 인터디지털 변환기(이하, IDT(Inter Digital Transducer)라고 함)를 탄성표면파 전파방향을 따라서 배치하고, 다중공진모드를 이용하는 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터를 다단접속하여 구성한 것(탄성표면파 필터장치)이 있다.
탄성표면파 필터장치의 주파수 특성을 더욱 양호하게 하기 위해, 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터에 1포트 공진자(resonator)를 직렬 접속하는 방법도 생각할 수 있다.
이 경우, 1포트 공진자는 노치필터로서 이용되고, 1포트 공진자의 감쇠극이 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터의 주파수 통과대역의 고대역측 부근에 설정되면, 전체의 주파수 특성의 고대역측이 샤프한 컷오프 특성이 된다.
여기에서, 발명자는 1포트 공진자가 추가됨으로써 새로운 문제가 발생하는 것에 착안했다. 이 문제는 특히 페이스 다운 본딩방식을 채용하여 부품이 조립되는 탄성표면파 필터장치에 발생하는 것에 착안했다. 페이스 다운 본딩방식을 채용하고 있는 탄성표면파 필터장치에서는 1포트 공진자의 노치특성이 원하는 주파수역에 설계와 같이 얻어지지 않고, 결과로서 탄성표면파 필터장치 전체의 주파수 통과대역특성으로서 우수한 것이 얻어지지 않는다는 것이다.
그래서, 본 발명은 페이스 다운 본딩방식을 채용하여 부품이 조립되어도 1포트 공진자의 노치특성이 확실하게 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터의 주파수 통과대역의 고대역측 부근에 얻어지도록 한 탄성표면파 필터장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 1포트 공진자에 대한 불필요한 부유용량성분(stray capacitance component)을 충분히 감소시킬 수 있고, 평탄성이 뛰어난 주파수 통과대역특성을 실현할 수 있는 탄성표면파 필터장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1A는 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 한 실시형태를 설명하기 위해 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터를 갖는 탄성표면파 소자의 예를 도시한 도면,
도 1B는 탄성표면파 소자가 페이스 다운 본딩방식으로 부착되는 외관용기의 예를 도시한 도면,
도 2A는 도 1A의 탄성표면파 소자와 도 1B의 외관용기를 중합한 상태를 도시한 평면도,
도 2B는 도 1A의 탄성표면파 소자와 도 1B의 외관용기를 중합한 상태를 도시한 단면도,
도 3은 1포트 탄성표면파 공진자 필터의 특성을 설명하기 위해 도시한 설명도,
도 4는 1포트 탄성표면파 공진자 필터에 부유용량이 크게 영향을 주고 있는 경우의 탄성표면파 필터장치의 주파수 특성을 설명하기 위해 도시한 설명도,
도 5는 1포트 탄성표면파 공진자 필터의 부유용량이 감소되어 있는 경우의 탄성표면파 필터장치의 주파수 특성을 설명하기 위해 도시한 설명도,
도 6A는 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 외관용기의 다른 실시예를 도시한 도면,
도 6B는 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 외관용기의 다른 실시예를 도시한 도면,
도 7은 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 탄성표면파 소자의 예를 도시한 도면,
도 8은 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 탄성표면파 소자의 다른 예를 도시한 도면,
도 9는 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 탄성표면파 소자의 또 다른 예를 도시한 도면,
도 10은 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 탄성표면파 소자의 또 다른 예를 도시한 도면 및
도 11은 본 발명에 관한 탄성표면파 필터장치의 탄성표면파 소자의 또 다른예를 도시한 도면이다.
본 발명에 관한 실시예는 상기의 목적을 달성하기 위해 이하와 같은 구성으로 된다. 탄성표면파 소자의 전극이 외관용기의 전극에 범프를 통하여 페이스 다운 본딩방식으로 접속되는 탄성표면파 필터장치에 있어서, 상기 탄성표면파 소자는 압전기판상에 각각 형성된 제 1의 2포트 탄성표면파 필터, 상기 제 1 탄성표면파 필터의 출력이 공급되는 1포트 탄성표면파 공진자 필터, 상기 1포트 탄성표면파 공진자 필터의 출력이 공급되는 제 2의 2포트 탄성표면파 필터, 탄성표면파 소자측 신호입력·출력용 전극, 탄성표면파 소자측 접지용 전극이 한쪽면에 형성된다. 그리고, 상기 외관용기는 상기 탄성표면파 소자측 신호입력·출력용 전극에 대응하는 신호입력·출력용 전극 및 상기 탄성표면파 소자측 접지용 전극을 구비하고, 상기 접지용 전극은 상기 1포트 탄성표면파 공진자 필터에 대향하는 개구부를 갖는다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1A에서 '10'은 압전성 기판이다. 도 1A는 압전성 기판(10)을 인터디지털 변환기의 형성면측에서 보고 도시한 평면도이다. 압전기판(10)상의 좌우에는 간격을 두고 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(100,200)가 형성되어 있다. 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(100,200)는 알루미늄(Al) 등의 금속박막으로 형성되는 것으로, 에칭처리 또는 증착처리 등의 제조기술이 이용된다.
모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(100)는 병설된 5개의 IDT(Inter Digital Transducer)(11,12,13,14,15)와, 이들 IDT(11-15)의 양측에 설치된 반사기(16,17)로 형성되어 있다. IDT는 주지와 같이 서로 교차하는 한쌍의 빗살형상 전극으로 구성된다.
또한, IDT(11, 13, 15)의 한 쪽의 빗살형상 전극은 접지용 단자(T11, T13, T15)에 각각 접속되어 있다. 또한, IDT(11, 13, 15)의 다른쪽의 빗살형상 전극은 서로 연결되어있고, 후술하는 탄성표면파 공진자 필터(300)의 한 쪽 전극에 접속되어 있다. 또한, IDT(12, 14)의 한쪽의 빗살형상전극은 입력단자(TIN)에 모두 접속되고, 다른 쪽의 각 빗살형상 전극은 접지용 단자(T12, T14)에 각각 접속되어 있다.
다음에, 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)를 설명한다. 상기 필터는 병설된 5개의 IDT(21, 22, 23, 24, 25)와, 이들 IDT(21-25)의 양측에 설치된 반사기(26, 27)로 형성되어 있다. 또한, IDT(21, 23, 25)의 다른쪽의 빗살형상 전극은 접지용 단자(T21, T23, T25)에 각각 접속되어 있다. 또한, IDT(21, 23, 25)의 다른 쪽 빗살형상전극은 공통접속되고, 후술하는 탄성표면파 공진자 필터(300)의 다른쪽의 빗살형상 전극에 접속되어 있다. 또한, IDT(22, 24)의 한쪽의 빗살형상 전극은 출력단자(TOU)에 공통접속되고, 다른쪽 각 빗살형상 전극은 접지용 단자(T22, T24)에 접속되어 있다.
다음에, 1포트 탄성표면파 공진자 필터(300)에 대해서 설명한다. 상기 필터는 하나의 IDT(31)와, 상기 IDT(31)의 양쪽에 설치된 반사기(32,33)로 구성되어 있다.
또한, 본 발명에서 「포트」라는 것은 입력단자의 쌍을 가리킨다. 여기에서 입출력단자는 등가회로적으로 감안되는 것이고 실제의 구조상의 단자의 수와는 반드시 일치하지 않는다. 예를 들어, 필터(100)의 단자(TIN)와 3개의 스트립 라인이 결합되어 필터(300)에 접속되는 배선은 하나의 쌍을 이루고, 단자(T11, T13, T15)와 단자(T12, T14)는 하나의 쌍을 이루어 2포트 필터를 구성하고 있다.
또한, 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100,200)는 도시한 바와 같이 압전기판의 탄성표면파 전반로를 따라서 5개의 IDT가 배치되어 있고, 주지와 같이 1차, 3차, 5차의 세로 공진모드를 결합시켜 통과대역을 얻고 있다.
상기와 같이 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터가 형성된 탄성표면파 소자(11)에서는 탄성표면파 공진자 필터(300)는 이하의 기능을 갖는다.
모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)는 각각 대역통과필터로서 기능하지만 그 주파수 특성은 통과대역의 고대역측의 감쇠특성이 불충분하다. 이 때문에 양 필터(100,200) 사이에 노치필터로서 기능하는 1포트 탄성표면파 공진자 필터(300)를 형성하고, 이것을 조합하여 사용하고 있다. 공진자 필터(300)의 감쇠극은 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터의 주파수 통과대역의 고대역측 부근에 설정된다. 이에 의해, 전체의 주파수 특성의 고대역측이 샤프한 컷오프 특성이 되어, 본 발명은 이와 같은 성능을 충분히 발휘할 수 있다.
이 이유는 이하의 도 1B-도 2A, 도 2B의 설명에서 분명히 한다.
도 1B에서 "500"은 예를 들어 알루미나세라믹 기판에 의해 성형되는 외관용기이고, 그 주위에는 틀(501)이 부착되어 있다. 즉, 외관용기(500)는 절연성 재료로 거의 편평한 판형상으로 형성되어 있다. 도 1B는 외관용기(500)를 윗면에서 보아 도시한 평면도이다.
외관용기(500)의 탄성표면파 소자와의 대향면에는 접지용 단자전극(503,504)과, 상기 입력단자(TIN)와 출력단자(TOU)에 대응하는 입력단자전극(506), 출력단자전극(507)이 형성되어 있다. 접지용 단자전극(503,504) 사이에는 갭(또는 개구)(505)가 형성되고, 상기 갭(505)은 탄성표면파 공진자 필터(300)에 대향하는 위치이다. 이것은 접지용 단자전극이 탄성표면파 공진자 필터(300)에 면 대향하는 부분을 삭제하고 있다고 볼 수도 있다. 또한, 접지용 단자전극이 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100)측과 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)측으로 분할되어 있는 것으로 볼 수도 있다.
본 실시예에서는 갭(505)의 폭(W1)은 탄성표면파 공진자 필터(300)의 폭(W2)(또는 IDT의 개구(L1))보다 크다(W1＞W2).
상기 입력단자(TIN)와 출력단자(TOU)에 대응하는 입력단자전극(506), 출력단자전극(507)이 형성되어 있다.
도 2A는 도 1B의 탄성표면파 소자를 페이스 다운 본딩방식에 의해 외관용기(500)에 탑재한 모습을 윗면에서 보아 도시하고 있다. 또한, 도 2B는 도 2A의 단면을 도시하고 있다.
접지용 단자(T11, T13, T15)는 접지용 단자전극(503)에 범프를 통하여 접속되고, 접지용 단자(T21, T23, T25)는 접지용 단자전극(504)에 범프를 통하여 접지된다. 또한, 입력단자(TIN)는 입력단자전극(506)에 범프를 통하여 접속되고, 출력단자(TOU)는 출력단자전극(507)에 범프를 통하여 접속된다. 도 2B에서는 입력단자(TIN)와 입력단자전극(506) 사이의 범프(601)와, 출력단자(TOU)와 출력단자전극(507) 사이의 범프(602)가 도시되어 있다. 또한, 단자(T13 및 T12)와, 전극(503) 사이의 범프(613, 612)가 도시되어 있다. 또한, 단자(T23 및 T22)와, 전극(504) 사이의 범프(623, 622)가 도시되어 있다.
또한, 도시하고 있지 않지만 외관용기(500)의 윗면에는 캡이 부착되어 필터부가 밀봉된다.
상기의 탄성표면파 필터장치는 입력단자전극(506)에 입력신호가 공급되면, 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(100)에서 공진이 일어나고, 그 출력신호가 탄성표면파 공진자 필터(300)에 입력된다. 상기 공진자 필터(300)의 출력신호는 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)에 입력된다. 상기 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)의 출력은 출력단자전극(507)으로부터 추출된다.
여기에서, 접지용 단자전극(503,504) 사이에는 갭(또는 개구)(505)이 형성되고, 상기 갭(505)은 1포트 탄성표면파 공진자 필터(300)에 대향하는 위치이다. 이 때문에, 탄성표면파 공진자 필터(300)에 부가되는 부유용량을 충분히 감소시킬 수 있다. 이 결과, 탄성표면파 공진자 필터(300)의 주파수 특성(노치필터로서의 특성)이 설계된 바와 같이 충분히 발휘된다. 탄성표면파 공진자 필터(300)의 감쇠극이 모드결합형 2포트 탄성표면파 필터의 주파수 통과대역의 고대역측 부근에 확실하게 설정되어, 장치 전체의 주파수 특성이 평탄하고, 또한 고대역측이 샤프한 컷오프 특성이 된다.
또한, 상기 설명에서는 구성을 알기 쉽게 하기 위해, 탄성 표면파 소자를 간략화하여 도시했다. 실제로는 IDT로서는 100개 설치되는 경우도 있다. 또한, IDT의 개구(L1)(도 1A 참조)로서는 80에서 100미크론의 것이 채용된다. 또한, 갭(505)의 폭(W1)으로서는 10 내지 200미크론의 범위로부터 선정된다.
다음에, 본 발명의 탄성표면파 필터장치에 관한 주파수 특성 등의 측정결과를 도시하여 설명한다.
도 3은 상기한 탄성 표면파 공진자 필터(300)의 주파수 특성을 나타낸다. 세로축이 감쇠량, 가로축이 주파수이다. 특성 곡선 3A는 접지전극에 개구부를 설치한 경우의 특성이고, 특성 곡선 3B는 개구부를 설치하지 않을 때의 특성을 나타낸다. 특성 곡선 3A로 도시한 특성쪽이 962.5MH부근에서 급격하게 변화되는 특성을 나타내는 것을 볼 수 있다.
도 4는 탄성표면파 필터장치 전체의 주파수 특성을 나타내고 있다. 상기 주파수 특성은 공진자 필터(노치필터)(300)의 특성이고, 접지전극에 개구부를 설치하고 있지 않을 때의 특성이다.
좌측의 세로축이 감쇠량이고, 1눈금이 10dB 단위인 경우와 1dB 단위인 경우를 나타내고 있다. 가로축은 주파수이다. 도 4에서 특성선 4A는 장치 전체의 주파수 특성을 1눈금 10dB 단위로 나타낸 것이다. 또한, 특성선 4B는 장치 전체의 주파수 특성을 1눈금 1dB단위로 나타낸 것이다.
도 5는 탄성표면파 필터장치 전체의 주파수 특성을 나타내고 있다. 상기 주파수 특성은 접지전극에 개구부를 설치한 경우의 특성(본 발명의 장치의 특성)이다.
좌측의 세로축은 감쇠량이고, 1눈금이 10dB 단위인 경우와 1dB 단위인 경우를 나타내고 있다. 가로축은 주파수이다. 도 5에서 특성선 5A는 장치 전체의 주파수 특성을 1눈금 10dB 단위로 나타낸 것이다. 또한, 특성선 5B는 장치 전체의 주파수 특성을 1눈금 1dB 단위로 나타낸 것이다.
상기 주파수 특성을 도 4와 비교하면 알 수 있는 바와 같이 통과대역이 평탄한 특성이 되고 있는 것을 알 수 있다.
본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다.
도 6A는 본 발명의 탄성표면파 필터장치에 사용되는 외관용기(500)의 다른 예이다. 앞의 실시형태에서는 갭(505)의 폭(W1)은 탄성표면파 공진자 필터(300)의 폭(W2)(또는 IDT의 개구(L1)) 보다 크게(W1＜W2) 했다. 그러나, 도 6A의 실시예에서는 갭(505)의 폭(W1)은 탄성표면파 공진자 필터(300)의 폭(W2)(또는 IDT의 개구(L1))보다도 작게(W1＜W2) 설계되어 있다. 이와 같이 구성해도 본 발명이 목표로 하고 있는 효과는 달성되는 것이다.
도 6B는 본 발명의 탄성표면파 필터장치에 사용되는 외관용기(500)의 또 다른 예이다. 앞의 실시형태에서는 갭(개구부)(505)은 외관용기(500)의 상하 단까지 형성되었다. 그러나, 도 6B의 실시예에서는 저면(502)의 일부에 직사각형 형상으로 개구한 개구부(505a)를 형성한 예이다. 상기 개구부(505a)도 탄성표면파 공진자 필터(300)의 영역에 대향하여 형성됨으로써, 당해 필터(300)의 부유용량을 감소시킬 수 있다. 개구부(505a)의 폭과 필터(300)의 폭의 관계는 도 1B에 도시한 바와 같은 관계이어도 좋고, 또한 도 6A에 도시한 바와 같은 관계이어도 좋다. 즉, 탄성표면파 공진자 필터(300)의 탄성표면파의 전반방향과 직교하는 방향인 필터 폭(W2)보다 작은 폭(W1(＜W2))이어도 좋고, 또한 반대로 큰 폭(W1(＞W2))이어도 좋다.
또한, 본 발명에서는 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터는 반드시 앞의 실시예에서 도시한 타입일 필요는 없다. 앞의 실시예는 모드 결합형 2포트 탄성 표면파 필터(100, 200)에 대해서 탄성표면파 공진자 필터(300)가 직렬로 접속되었다. 그러나, 도 7, 도 8에 도시한 바와 같이 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)에 대하여 탄성표면파 공진자 필터(300)가 병렬로 접속되어도 좋다. 또한, 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)는 동일한 주파수 특성이어도, 서로 다른 주파수 특성이어도 좋다.
우선, 도 7에 도시한 것은 압전성 기판(10)상에 알루미늄(Al) 등의 금속박막으로, 2개의 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)와, 이들 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)에 직렬로 접속된 탄성표면파 공진자 필터(300)를 형성하고 있다.
모드 결합형 2포트 탄성 표면파 필터(100)는 병설된 3개의 IDT(1a, 1b, 1c)와, 이들 IDT(1a, 1b, 1c)의 양쪽에 설치된 반사기(1e, 1f)와, IDT(1b)를 구성하는 빗살형상 전극에 접속된 단자전극(1g)으로 구성되어 있다. 또한, 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)는 병설된 3개의 IDT(2a, 2b, 2c)와, 이들 IDT(2a, 2b, 2c)의 양쪽에 설치된 반사기(2d, 2e)와, IDT(2b)를 구성하는 빗살형상 전극에 접속된 단자전극(2f)으로 구성되어 있다.
탄성표면파 공진자 필터(300)는 하나의 IDT(3a)와, 상기 IDT(3a)의 양쪽에 설치된 반사기(3b, 3c)로 구성되어 있다.
도 8에 도시한 것은 압전성 기판(10) 상에 알루미늄(Al) 등의 금속박막으로, 2개의 모드 결합형 2포트 탄성 표면파 필터(100, 200)와, 이들 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)에 병렬로 접속된 탄성표면파 공진자 필터(300)를 형성하고 있다.
모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100와 200)는 각각 도 7에 도시한 것과 동일한 구성이다. 또한, 탄성 표면파 공진자 필터(300)도 도 7에 도시한 것과 동일한 구성이다. 그러나, 도 8에 도시한 예는 탄성표면파 필터(300)의 배치 위치가 도 7의 예와 다르다.
도 9, 도 10, 도 11은 탄성표면파 소자의 또 다른 실시예를 도시하고 있다.
도 9에 도시한 것은 압전성 기판(10)상에 알루미늄(Al) 등의 금속박막으로, 2개의 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)와, 이들 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)에 직렬로 접속된 탄성표면파 공진자 필터(300)를 형성하고 있다.
모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100)는 병설된 5개의 IDT와, 이들 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 신호입력부가 되는 단자전극(1f)으로 구성되어 있다. 또한, 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)는 병설된 5개의 IDT와, 이들 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 단자전극으로 구성되어 있다. 또한, 탄성표면파 공진자 필터(300)는 하나의 IDT와, 상기 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 신호출력부가 되는 단자전극(2f)으로 구성되어 있다.
도 10에 도시한 것은 압전성 기판(10)상에 알루미늄(Al) 등의 금속박막으로, 2개의 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)와, 이들 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)에 직렬로 접속된 탄성표면파 공진자 필터(300)를 형성하고 있다.
모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100)는 병설된 7개의 IDT와, 이들 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 신호입력부가 되는 단자전극(1f)로 구성되어 있다. 또한, 모드 결합형 2포트 탄성 표면파 필터(200)는 병설된 7개의 IDT와, 이들 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 신호출력부가 되는 단자전극(2f)로 구성되어 있다. 또한, 탄성표면파 공진자 필터(300)는 하나의 IDT와, 상기 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기로 구성되어 있다.
도 11에 도시한 것은 압전성 기판(10)상에 알루미늄(Al) 등의 금속박막으로, 2개의 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)와, 이들 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100, 200)에 직렬로 접속된 탄성표면파 공진자 필터(300)를 형성하고 있다.
모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(100)는 병설된 3개의 IDT와, 이들 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 신호입력부가 되는 단자전극(1f)으로 구성되어 있다. 또한, 모드 결합형 2포트 탄성표면파 필터(200)는 병설된 7개의 IDT와, 이들 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기와, 신호출력부가 되는 단자전극(2f)으로 구성되어 있다.
또한, 탄성표면파 공진자 필터(300)는 하나의 IDT와, 이 IDT의 양쪽에 각각 설치된 반사기로 구성되어 있다.
도 7∼도 11에 도시한 바와 같은 탄성표면파 소자를 상술한 외관용기(500)에 조립하는 경우에도 탄성표면파 공진자 필터에 대응하는 부분의 접지단자전극을 삭제하면 좋다.
또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 그 밖의 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 페이스 다운 본딩방식을 사용한 구성이면서 불필요한 부유용량성분을 충분히 감소시킬 수 있고, 평탄성이 뛰어난 실용적인 통과대역특성을 실현할 수 있는 매우 양호한 탄성표면파 필터장치를 제공할 수 있다.
본 발명에 의한 탄성표면파 필터장치는 이동통신기, 텔레비전 장치 등의 전자장치 분야에서 이용 가능하다.

Claims (9)

  1. 탄성표면파 소자의 전극이 외관용기의 전극에 범프를 통하여 페이스 다운 본딩방식(face down bonding technique)으로 접속되는 탄성표면파 필터장치에 있어서,
    1) 상기 탄성표면파 소자는
    a) 제 1의 2포트 탄성표면파 필터,
    b) 상기 제 1 탄성표면파 필터의 출력이 공급되는 1포트 탄성표면파 공진자 필터,
    c) 상기 1포트 탄성표면파 공진자 필터의 출력이 공급되는 제 2의 2포트 탄성표면파 필터,
    d) 탄성표면파 소자측 신호 입력·출력용 전극, 및
    e) 탄성표면파 소자측 접지용 전극이
    압전기판 상의 한 쪽면에 각각 형성되어 있고,
    2) 상기 외관용기는
    f) 상기 탄성표면파 소자측 신호 입력·출력용 전극에 대응하는 신호 입력·출력용 전극 및
    g) 상기 탄성표면파 소자측 접지용 전극을 구비하고,
    3) 상기 접지용 전극은 상기 1포트 탄성표면파 공진자 필터에 대향하는 개구부를 갖는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 제 1의 2포트 탄성표면파 필터에 대향하는 부분과, 상기 제 2의 2포트 탄성표면파 필터에 대향하는 부분이 전기적으로 분리되도록 구성된 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 개구부는 직사각형 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 1포트 탄성표면파 필터는 상기 제 1 및 제 2의 2포트 탄성표면파 필터에 대하여 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 1포트 탄성표면파 필터는 상기 제 1 및 제 2의 2포트 탄성표면파 필터에 대해서 병렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2의 2포트 탄성표면파 필터는 모두 동일한 주파수 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2의 2포트 탄성표면파 필터는 서로 다른 주파수 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2의 2포트 탄성표면파 필터는 모두 인터디지털 변환기(Inter-Digital Transducer)의 수가 동일한 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 포트 탄성표면파 필터는 서로 인터디지털 변환기의 수가 다른 것을 특징으로 하는 탄성표면파 필터장치.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3928534B2 (ja) * 2002-02-28 2007-06-13 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ
KR20040000056A (ko) * 2002-06-21 2004-01-03 주식회사 팬택앤큐리텔 이동 단말기를 이용한 전자 경비 시스템 및 그 방법
JP3952907B2 (ja) * 2002-08-28 2007-08-01 株式会社村田製作所 弾性表面波装置、通信装置
JP2005244669A (ja) 2004-02-26 2005-09-08 Fujitsu Media Device Kk 弾性表面波装置
JP3998658B2 (ja) * 2004-04-28 2007-10-31 富士通メディアデバイス株式会社 弾性波デバイスおよびパッケージ基板
EP2063530B1 (en) * 2006-10-31 2013-08-21 Murata Manufacturing Co. Ltd. Surface acoustic wave filter device and duplexer
JP6134550B2 (ja) * 2013-03-22 2017-05-24 スカイワークスフィルターソリューションズジャパン株式会社 弾性波装置およびそれを用いたアンテナ共用器
DE102016106185A1 (de) * 2016-04-05 2017-10-05 Snaptrack, Inc. Breitbandiges SAW-Filter

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2888493B2 (ja) * 1990-06-21 1999-05-10 株式会社村田製作所 縦型２重モード弾性表面波フィルタ
JPH10224175A (ja) 1996-12-04 1998-08-21 Tdk Corp 弾性表面波装置
JPH11298283A (ja) * 1998-04-07 1999-10-29 Japan Radio Co Ltd 弾性表面波フィルタ
EP0961404B1 (en) * 1998-05-29 2008-07-02 Fujitsu Limited Surface-acoustic-wave filter having an improved suppression outside a pass-band
JP2000059176A (ja) * 1998-08-06 2000-02-25 Toshiba Corp 弾性表面波素子
JP2000091871A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Toshiba Corp 外囲器および弾性表面波装置
JP3860364B2 (ja) * 1999-08-11 2006-12-20 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置

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