JP2504769Y2

JP2504769Y2 - 弾性表面波共振子

Info

Publication number: JP2504769Y2
Application number: JP1984196360U
Authority: JP
Inventors: 重之喜多; 隆夫堀田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-12-27
Filing date: 1984-12-27
Publication date: 1996-07-10
Anticipated expiration: 1999-12-27
Also published as: JPS61113421U

Description

【考案の詳細な説明】〔考案の技術分野〕本考案は励振電極と反射電極とから構成される弾性表
面波共振子に係り、特に励振電極を外部と接続するボン
ディングパット部の位置に関するものである。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

従来の弾性表面波共振子の２つの例を第４図及び第５
図により説明する。

先ず第４図に示す弾性表面波共振子（１）は、圧電基
板（２）上に２個の励振電極（3₁），（3₂）と、この励
振電極（3₁），（3₂）にそれぞれ設けられたボンディン
グパット部（5₁），（5₂）及び（5₃），（5₄）を有し、
励振電極（3₁），（3₂）の両側に反射電極（4₁），
（4₂）が設けられている。この場合、図からわかるよう
にボンディングパット部（5₁），（5₂）及び（5₃），
（5₄）は表面波伝播方向に対し垂直方向にはずして形成
されている。

次の第５図に示す弾性表面波共振子（11）は１枚の圧
電基板（12）上に２個の励振電極（13₁），（13₂）と、
この励振電極（13₁），（13₂）のそれぞれに反射電極
（14₁），（14₂）及び（14₃），（14₄）を設け、両方の
励振電極（13₁），（13₂）の一方の電極は共通の接続線
（17₁）を介してボンディングパット部（15₁）に接続さ
れ、励振電極（13₁）の他方の電極は接続線（17₂）を介
してボンディングパット部（15₂）に接続され、励振電
極（13₂）の他方の電極は直接ボンディングパット部（1
5₃）となっている。

この例の場合も図からわかるように、特にボンディン
グパット部（15₁），（15₂）は表面波伝播方向に対し垂
直方向にはずして形成されている。

然るに前述した２例の弾性表面波共振子（１），（1
1）ではボンディングパット部（5₁），（5₂），
（5₃），（5₄），（15₁），（15₂），（15₃）を表面波
伝播方向に対し垂直方向にはずしているため圧電基板
（２），（12）を大きくする必要があり、高価な圧電基
板を余分に使用するばかりでなく、弾性表面波共振子と
して大型にめる問題点がある。

〔考案の目的〕

本考案は上述した問題点に鑑みてなされたものであ
り、同一特性を有しながら小型かつ安価に提供すること
が可能な弾性表面波素子を提供することを目的としてい
る。

〔考案の概要〕

圧電基板と、この圧電基板の一主面上に形成されてな
る励振電極と、この励振電極の両側に設けられた反射電
極と、この反射電極に形成されたボンディングパッド部
と前記励振電極とを接続する接続線とを具備する弾性表
面波共振子において、表面波伝播方向の縁部に近い反射
電極の前記接続線上にこの接続線の幅よりも太く且つ、
前記反射電極の領域内に向かってボンディングパッド部
が形成されていることを特徴とする弾性表面波共振子で
ある。

〔考案の実施例〕

次に本考案の弾性表面波共振子の一実施例を第１図に
より説明する。

即ち、弾性表面波共振子（21）は圧電基板（22）上に
金属薄膜によりそれぞれ形成した２個の励振電極（2
3₁），（23₂）と、この励振電極（23₁），（23₂）の一
方側の電極にそれぞれ設けられたボンディングパット部
（25₁），（25₃）と、励振電極（23₁），（23₂）の両側
に設けられた反射電極（24₁），（24₂）と、励振電極
（23₁），（23₂）の他方側の電極を接続線（27₁），（2
7₂）により反射電極（24₁），（24₂）のほとんど反射し
ない位置（表面波伝播方向の縁部）まで延在しかつ、反
射電極の領域内に向かって設けたボンディングパッド部
（25₂），（25₄）から構成されている。即ちボンディン
グパット部（25₂），（25₄）は表面波伝播方向に設けら
れていることになる。この場合、ボンディングパット部
（25₂），（25₄）の電位が同一ならば接続線（27₁），
（27₂）を接続して、ボンディング部（25₂），（25₄）
のいずれか一方を削除してよい。

上述の構造にすることにより圧電基板（22）は小形に
なり、かつ従来と同一の特性が得られる。

次に，本考案の第２の実施例を第２図により説明す
る。

即ち、弾性表面波共振子（31）は、１枚の圧電基板
（32）に２個の励振電極（33₁），（33₂）と、この励振
電極（33₁），（33₂）のそれぞれに反射電極（34₁），
（34₂）及び（34₃），（34₄）を設け、両方の励振電極
（33₁），（33₂）の一方側の電極は共通の接続線（3
7₁）を介してボンディングパット部（35₁）に接続さ
れ、励振電極（33₁）の他方の電極は接続線（37₂）を介
してボンディングパット部（35₂）に接続され、励振電
極（33₂）の他方側の電極は接続線（37₃）を介してボン
ディングパット部（35₃）に接続されている。本実施例
においても図からわかるようにボンディングパッド部
（35₁），（35₃）のいずれかは反射電極（34₃），（3
4₄）の一部分上に設けられている。従って圧電基板（3
2）も小形化され、かつ従来と同一の特性が得られる。

次に本発明の第３の実施例を第３図により説明する。
但し、この実施例は第２の実施例の変形であるので同一
符号は同一部を示し特に説明しない。

即ち、弾性表面波共振子（41）においては励振電極
（33₁），（33₂）の他の電極をそれぞれ外部を通る接続
線（37₂），（37₃）を介してボンディングパット部（35
₂），（35₃）に接続されている。その他は第２の実施例
と同様である。

〔考案の効果〕

上述のように本考案によれば外部と接続するボンディ
ングパット部を圧電基板の側縁部に近い反射電極の接続
線上に且つ、この接続線の幅よりも太く反射電極内に向
かって形成されていることにより圧電基板を小さくする
ことが可能であり、安価かつ小形の弾性表面波共振子を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例を示す平面図、第２図は
本考案の第２の実施例を示す平面図、第３図は本考案の
第３の実施例を示す平面図、第４図及び第５図はそれぞ
れ異なる従来例を示す平面図である。 1,11,21,31,41…弾性表面波共振子 2,12,22,32…圧電基板 3₁，3₂，13₁，13₂，23₁，23₂，33₁，33₂…励振電極 4₁，4₂，14₁，14₂，14₃，14₄，24₁，24₂，34₁，34₂，34
₃，34₄…反射電極 5₁，5₂，5₃，5₄，15₁，15₂，15₃，25₁，25₂，25₃，2
5₄，35₁，35₂，35₃…ボンディングパット部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭59−117310（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−36412（ＪＰ，Ａ) 実開昭59−164327（ＪＰ，Ｕ) 実開昭59−159025（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】圧電基板と、この圧電基板の一主面上に形成されてなる励振電極と、この励振電極の両側に設けられた反射電極と、この反射電極に形成されたボンディングパッド部と前記
励振電極とを接続する接続線とを具備する弾性表面波共振子において、表面波伝播方向の縁部に近い反射電極の前記接続線上に
この接続線の幅よりも太く且つ、前記反射電極の領域内
に向かってボンディングパッド部が形成されていること
を特徴とする弾性表面波共振子。