JPH0644231U - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH0644231U JPH0644231U JP8723992U JP8723992U JPH0644231U JP H0644231 U JPH0644231 U JP H0644231U JP 8723992 U JP8723992 U JP 8723992U JP 8723992 U JP8723992 U JP 8723992U JP H0644231 U JPH0644231 U JP H0644231U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave filter
- electrode
- electromagnetic shield
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 入出力電極間を伝播する直達波あるいは他の
弾性波の悪影響を極力排除し、電気的特性の良好な弾性
表面波フィルタを得る。 【構成】 圧電基板2の表面には、弾性表面波共振器を
2つ並列に設けた2つの弾性表面波フィルタ素子31,
32が形成され、共振子型弾性表面波フィルタ3を構成
している。弾性表面波フィルタ素子間には電磁シールド
電極4が形成されており、反射器電極31bから反射器
電極32cに延びている。そして、圧電基板2をパッケ
ージ1に収納し、各電極パッドと各電極、および交差指
電極31aの他端と交差指電極32aの一端をそれぞれ
ボンディングワイヤー5で電気的に接合する。金属性の
フタ8は前記パッケージ1の金属枠にシーム溶接等によ
り接合され気密封止される。電磁シールド電極を吸音材
で被覆してもよい。
弾性波の悪影響を極力排除し、電気的特性の良好な弾性
表面波フィルタを得る。 【構成】 圧電基板2の表面には、弾性表面波共振器を
2つ並列に設けた2つの弾性表面波フィルタ素子31,
32が形成され、共振子型弾性表面波フィルタ3を構成
している。弾性表面波フィルタ素子間には電磁シールド
電極4が形成されており、反射器電極31bから反射器
電極32cに延びている。そして、圧電基板2をパッケ
ージ1に収納し、各電極パッドと各電極、および交差指
電極31aの他端と交差指電極32aの一端をそれぞれ
ボンディングワイヤー5で電気的に接合する。金属性の
フタ8は前記パッケージ1の金属枠にシーム溶接等によ
り接合され気密封止される。電磁シールド電極を吸音材
で被覆してもよい。
Description
【0001】
本考案は圧電基板上を伝搬する弾性表面波を応用した弾性表面波フィルタに関 するものである。
【0002】
従来技術を図4とともに説明する。図4は、従来の多段接続共振子型弾性表面 波フィルタの平面図である。 圧電基板7は薄板状のLiNbO3からなり、矩形形状に加工されている。こ の圧電基板7の表面には、交差指電極71a,72a並びに反射器電極71b, 71c,72b,72cが形成されており、弾性表面波共振器を2つ並列に設け てなる2対の共振器型弾性表面波フィルタ素子71,72を構成している。上記 交差指電極71a,72aは連結電極73で電気的に接続されており、全体とし て多段接続共振子型弾性表面波フィルタが構成されている。2つの弾性表面波フ ィルタ71,72間には電磁シールド電極74,75が前記連結電極73の近傍 まで形成されており、両フィルタ間を直接伝播する電磁波(一般に直達波と称さ れる)あるいはバルク波等の他の弾性波の影響を互いに防ぐ目的で設けられてい る。なお、図示していないがこの弾性表面波フィルタはセラミック等のパッケー ジに収納され、最後に金属性のフタとパッケージの金属層とをシーム溶接等で気 密封止する。
【0003】
前述したようにこのような共振子型弾性表面波フィルタは、弾性表面波フィル タ素子間を直接伝播する電磁波(一般に直達波と称される)あるいはバルク波等 の他の弾性波を防止しようとするものであるが、両者を電気的に接続する連結電 極が存在するために、充分な直達波等の防止ができない問題点があった。
【0004】 本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、例えば多段接続した共 振子型のような弾性表面波フィルタ等において、入出力電極間を伝播する直達波 あるいは他の弾性波の悪影響を極力排除し、電気的特性の良好な弾性表面波フィ ルタを得ることを目的とする。
【0005】
上記問題点を解決するために、本考案による弾性表面波フィルタは、圧電基板 の表面に、少なくとも弾性表面波を励起する交差指電極を有する弾性表面波フィ ルタ素子を2つ以上並列に配置してなり、前記弾性表面波フィルタ素子の少なく とも交差指電極間を含む部分に電磁シールド電極を形成しこの電磁シールド電極 を接地するとともに、前記弾性表面波フィルタ素子間にこの電磁シールド電極を またぐワイヤーを架設したことを特徴とするものである。この電磁シールド電極 上に絶縁性の吸音材を設けてもよい。
【0006】
弾性表面波フィルタ素子間、特に弾性表面波を励起する交差指電極間を含む部 分に電磁シールド電極を形成しているので、弾性表面波フィルタ素子間を直接伝 播する電磁波(一般に直達波と称される)あるいはバルク波等の他の弾性波の伝 播がほとんど起こらない。
【0007】
本考案による実施例を図面とともに説明する。図1は本考案による弾性表面波 フィルタの平面図、図2は図1のX−X断面図(金属性の蓋を追加記載している )である。 パッケージ1はアルミナ等のセラミックからなり、パッケージ内周の幅方向端 部には段部1aが設けられており、この段部1aの一部には電極パッド11,1 2,13,14,15,16が設けられている。パッケージ1の開口部分にはコ バールからなる金属枠1b(金属層)がロウ付け接合されている。圧電基板2は 薄板状のLiNbO3からなり、矩形形状に加工されている。これら圧電基板2 の表面には、弾性表面波共振器を2つ並列に設けてなる2つの弾性表面波フィル タ素子31,32が形成されている。これら2つの弾性表面波フィルタ素子は、 それぞれ交差指電極31a,32a並びに反射器電極31b,31c,32b, 32cを有しており、全体として共振子型弾性表面波フィルタ3を構成している 。弾性表面波フィルタ素子間には電磁シールド電極4が形成されており、弾性表 面波フィルタ素子31の反射器電極31bから交差指電極31a,32a間を通 って弾性表面波フィルタ素子32の反射器電極32cに延びている。この電磁シ ールド電極はなるべく両フィルタ素子間全体を通るように設けるとよい。そして 、圧電基板2を前記パッケージ1に収納し、接合材Bでパッケージに接合し、電 極パッド16と交差指電極31aの一端、交差指電極32aの他端と電極パッド 13、反射器電極31bと電極パッド11、反射器電極31cと電極パッド15 、反射器電極32bと電極パッド12、反射器電極32cと電極パッド14をそ れぞれボンディングワイヤー5で電気的に接合するとともに、交差指電極31a の他端と交差指電極32aの一端をボンディングワイヤー5で電気的に接合する 。この交差指電極間のワイヤーボンディングはもちろん他のワイヤーボンディン グ作業と同一工程で行えばよい。電極パッド16,13は入出力電極として外部 に導出され、電極パッド11,12,14,15はそれぞれ接地電極として外部 に導出される。そして金属性のフタ8が前記パッケージ1の金属枠1bにシーム 溶接等により接合され気密封止される。
【0008】 他の実施例を図4の平面図に示す。なお、最初の実施例と同じ構造部分につい ては同番号を援用するとともに、パッケージの説明は割愛している。この実施例 では、電磁シールド電極41は反射器電極31bの長手方向端部から交差指電極 31a,32a間を通って反射器電極32cの長手方向他端部へと、弾性表面波 フィルタの長手方向に長く延びている。この電磁シールド電極41上にはシリコ ンゴムからなる絶縁性の吸音材6を設けており、この吸音材6上部を跨いで弾性 表面波フィルタ素子をつなぐワイヤーが設けられている。この吸音材6の存在に よりバルク波等の不要な弾性波を互いに伝播することを防止し、より効果の高い シールドを行うことができる。なお、この吸音材にシリコンゴム等の柔軟性のあ る材料を用いる場合、前記ワイヤー5をこの吸音材内に埋設してもよい。これに より金属性の蓋等の他の導電性材料との短絡事故を防止することができる。
【0009】
弾性表面波フィルタ素子間、特に弾性表面波を励起する交差指電極間を含む部 分に電磁シールド電極を形成しているので、弾性表面波フィルタ素子間を直接伝 播する電磁波(一般に直達波と称される)あるいはバルク波等の他の弾性波の伝 播がほとんど起こらない。よって、所望の電気的特性が確実に得られる弾性表面 波フィルタを提供できる。
【図1】実施例を示す平面図。
【図2】図1のX−X断面図。
【図3】他の実施例を示す平面図。
【図4】従来例を示す平面図。
1 パッケージ 2 圧電基板 31,32,弾性表面波フィルタ素子 4,41 電磁シールド電極 5 ワイヤー 6 吸音材
Claims (1)
- 【請求項1】 圧電基板の表面に、少なくとも弾性表面
波を励起する交差指電極を有する弾性表面波フィルタ素
子を2つ以上並列に配置してなる弾性表面波フィルタに
おいて、前記弾性表面波フィルタ素子の少なくとも交差
指電極間を含む部分に電磁シールド電極を形成しこの電
磁シールド電極を接地するとともに、前記弾性表面波フ
ィルタ素子間にこの電磁シールド電極をまたぐワイヤー
を架設したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8723992U JPH0644231U (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8723992U JPH0644231U (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0644231U true JPH0644231U (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=13909271
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8723992U Pending JPH0644231U (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0644231U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006326223A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 成分濃度測定装置 |
US7486159B2 (en) | 2004-07-23 | 2009-02-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
-
1992
- 1992-11-25 JP JP8723992U patent/JPH0644231U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7486159B2 (en) | 2004-07-23 | 2009-02-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
JP2006326223A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 成分濃度測定装置 |
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