JPS6146609A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS6146609A JPS6146609A JP59168678A JP16867884A JPS6146609A JP S6146609 A JPS6146609 A JP S6146609A JP 59168678 A JP59168678 A JP 59168678A JP 16867884 A JP16867884 A JP 16867884A JP S6146609 A JPS6146609 A JP S6146609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- vibrating element
- vibration
- piezoelectric vibrating
- piezoelectric vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 8
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 235000019687 Lamb Nutrition 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、恒弾性材料で作られた振動基板を有する平面
視四角形状の圧電振動素子を備え、前記圧電撮動素子の
任意一対の辺縁部夫々を結合子を介して保持手段に支持
した圧電振動子に関する。
視四角形状の圧電振動素子を備え、前記圧電撮動素子の
任意一対の辺縁部夫々を結合子を介して保持手段に支持
した圧電振動子に関する。
この種の圧電振動子では、従来一般に、圧電振動素子の
振動が結合子に拘束されないようにとの観点から、圧電
振動素子の任意一対の辺、たとえば長方形圧電振動素子
の短辺方向における結合子の幅を圧電振動素子の短辺■
］１縁部の長さに比べ、極めて狭いものに構成しており
、また狭い程良いと観念されていた。
振動が結合子に拘束されないようにとの観点から、圧電
振動素子の任意一対の辺、たとえば長方形圧電振動素子
の短辺方向における結合子の幅を圧電振動素子の短辺■
］１縁部の長さに比べ、極めて狭いものに構成しており
、また狭い程良いと観念されていた。
ところが、第５図のグラフで示すように（但、この例で
は、上述結合子の幅を圧電振動素子の短辺側縁部の長さ
の４○す、下のものである。）、本来的に必要な圧電振
動素子の短辺方向の拡がり振動Ａのみならず、短辺方向
での屈曲振動Ｂや長辺方向の拡がり振動Ｃ１および、ラ
ム波りといった不用な振動が発生し、振動特性が低下す
る欠点があった。
は、上述結合子の幅を圧電振動素子の短辺側縁部の長さ
の４○す、下のものである。）、本来的に必要な圧電振
動素子の短辺方向の拡がり振動Ａのみならず、短辺方向
での屈曲振動Ｂや長辺方向の拡がり振動Ｃ１および、ラ
ム波りといった不用な振動が発生し、振動特性が低下す
る欠点があった。
そこで、第６図に示すように、振動基板０１の表裏両面
夫々に圧電薄膜０２と振動電極膜０３とを設け、それら
を駆動電源０４に逆並列接続してバイモルフ構造に構成
し、振動基板０１の表面側と裏面側との屈曲方向が互い
に逆になるようにして屈曲振動を相殺し、不用な振動発
生を防止している。
夫々に圧電薄膜０２と振動電極膜０３とを設け、それら
を駆動電源０４に逆並列接続してバイモルフ構造に構成
し、振動基板０１の表面側と裏面側との屈曲方向が互い
に逆になるようにして屈曲振動を相殺し、不用な振動発
生を防止している。
しかしながら、バイモルフ構造にするために、材料が多
くなるとともに製造工程が多くなって高価になる欠点が
あり、また、製造工程が増すに伴い、寸法誤差などに起
因して製品に大きなバラツキを生じる欠点があった。
くなるとともに製造工程が多くなって高価になる欠点が
あり、また、製造工程が増すに伴い、寸法誤差などに起
因して製品に大きなバラツキを生じる欠点があった。
本発明は、」二記の点に鑑み、種々の考察に基づいて、
不用な振動を防止できる圧電振動子を、構造簡単で、か
つ、製造工程少なく安価にして提供しようとするもので
ある。
不用な振動を防止できる圧電振動子を、構造簡単で、か
つ、製造工程少なく安価にして提供しようとするもので
ある。
本発明は、上記問題点を解決するために、冒頭に記載し
た圧電振動子において、圧電振動素子の任意一対の辺方
向における結合子の幅を、前記圧電振動素子の任意一対
の辺縁部の長さの渇〜４にするという手段を採用する。
た圧電振動子において、圧電振動素子の任意一対の辺方
向における結合子の幅を、前記圧電振動素子の任意一対
の辺縁部の長さの渇〜４にするという手段を採用する。
つまり、種々考察の結果、圧電振動素子の任意一対の辺
方向での屈曲振動が、保持手段に対する圧電振動素子の
支持構成に影響され、その支持強度が従来では低すぎた
ために大きな屈曲振動が発生していたことを見い出し、
それに基づき、本来的に必要な圧電振動素子の任意一対
の辺方向の拡がり振動を損うことの無いように、結合子
の幅を、圧電振動素子の任意一対の辺方向に広くするの
である。
方向での屈曲振動が、保持手段に対する圧電振動素子の
支持構成に影響され、その支持強度が従来では低すぎた
ために大きな屈曲振動が発生していたことを見い出し、
それに基づき、本来的に必要な圧電振動素子の任意一対
の辺方向の拡がり振動を損うことの無いように、結合子
の幅を、圧電振動素子の任意一対の辺方向に広くするの
である。
次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
第１図は圧電振動子の平面図であり、第２図は圧電振動
子の斜視図であり、平面視粕形状の圧電一体的に連接さ
れている。
子の斜視図であり、平面視粕形状の圧電一体的に連接さ
れている。
前記圧電振動素子１は、振動基板４と、その一方の外表
面にスパッタリングなどによって固着された酸化亜鉛Ｚ
ｎＯなどから成る圧電薄膜５、および、その圧電薄膜５
の外表面に蒸着マスキングによって成形された、Ａｌ
、 Ａｇ 、 Ａｕ 、 Ｎｉなどから成る振動電極膜
６から構成されている。
面にスパッタリングなどによって固着された酸化亜鉛Ｚ
ｎＯなどから成る圧電薄膜５、および、その圧電薄膜５
の外表面に蒸着マスキングによって成形された、Ａｌ
、 Ａｇ 、 Ａｕ 、 Ｎｉなどから成る振動電極膜
６から構成されている。
前記結合子２，２、保持枠３および振動基板４ハ、エリ
ンバ−、アンバー、インバー、コニリンバーなどの恒弾
性材料によって一体的に成形されている。
ンバ−、アンバー、インバー、コニリンバーなどの恒弾
性材料によって一体的に成形されている。
両結合子２，２の一方と保持枠３の所定の隅部とにわた
り、前記圧電薄膜５が一体的に延出して固着されるとと
もに、その箇所で、圧電薄膜５上に、前記振動電極膜６
から一体的に導出して引出し電極部７が形成されている
。前記引出し電極部７と保持枠３の所定箇所夫々に引き
出し線８が接続されている。
り、前記圧電薄膜５が一体的に延出して固着されるとと
もに、その箇所で、圧電薄膜５上に、前記振動電極膜６
から一体的に導出して引出し電極部７が形成されている
。前記引出し電極部７と保持枠３の所定箇所夫々に引き
出し線８が接続されている。
前記圧電振動素子１の短辺方向の長さＬとしては例えば
８００μｍに設定され、それに対し、両結合子２，２夫
々の圧電振動素子１の短辺方向における幅ＣＷが、第１
図に示すように、前記短辺長さＬの％である１６０μｍ
に設定されている。
８００μｍに設定され、それに対し、両結合子２，２夫
々の圧電振動素子１の短辺方向における幅ＣＷが、第１
図に示すように、前記短辺長さＬの％である１６０μｍ
に設定されている。
上記圧電振動素子１は、第３図に示すように、ケース９
内に収納して用いられる。ケース９は、浅箱状の・・−
フケース９ａ、９ａを開口側が互いに対向する状態で接
着、融着などにより一体接合して構成されている。・・
−フケース９ａ、９ａ夫々の４隅部に近い底面から先鋭
な突起１０が突設され、それら突起１０・・により、前
記保持枠３の４隅部が点接触状態で挟持固定されている
。
内に収納して用いられる。ケース９は、浅箱状の・・−
フケース９ａ、９ａを開口側が互いに対向する状態で接
着、融着などにより一体接合して構成されている。・・
−フケース９ａ、９ａ夫々の４隅部に近い底面から先鋭
な突起１０が突設され、それら突起１０・・により、前
記保持枠３の４隅部が点接触状態で挟持固定されている
。
次に、上記実施例における振動特性の実験結果について
説明する。
説明する。
即ち、縦軸をインピーダンス（単位：ＭΩ）、横軸を振
動周波数（単位： ＫＨｚ ）としてインピーダンス特
性を調べたところ、第４図に示すようなグラフが得られ
、圧電振動素子１の短辺方向における拡がり振動Ａとし
ては、第５図に示す従来のものと同様のものを得られな
がらも、短辺方向での屈曲振動Ｂを大幅に減少できると
ともに、圧電振動素子１の長辺方向における拡がり振動
Ｃおよびラム波りをほとんど無くすことができ、不用な
振動を防止して振動特性を向上できることが明らかであ
った。
動周波数（単位： ＫＨｚ ）としてインピーダンス特
性を調べたところ、第４図に示すようなグラフが得られ
、圧電振動素子１の短辺方向における拡がり振動Ａとし
ては、第５図に示す従来のものと同様のものを得られな
がらも、短辺方向での屈曲振動Ｂを大幅に減少できると
ともに、圧電振動素子１の長辺方向における拡がり振動
Ｃおよびラム波りをほとんど無くすことができ、不用な
振動を防止して振動特性を向上できることが明らかであ
った。
また、前記圧電振動素子１の短辺方向における結合子２
の幅ＣＷを、圧電振動素子１の短辺側縁部の長さＬに対
して種々変更したところ、その比ＣＷ ／ Ｌか乙未溝
では、前記屈曲振動Ｂが大きくなり、逆に４を越えると
圧電振動素子１の短辺方向における拡がり振動Ａが小さ
くなる傾向にあり、本発明を実施する上で、前記比ＣＷ
／Ｌを％〜％にする必要のあることが明らかであった。
の幅ＣＷを、圧電振動素子１の短辺側縁部の長さＬに対
して種々変更したところ、その比ＣＷ ／ Ｌか乙未溝
では、前記屈曲振動Ｂが大きくなり、逆に４を越えると
圧電振動素子１の短辺方向における拡がり振動Ａが小さ
くなる傾向にあり、本発明を実施する上で、前記比ＣＷ
／Ｌを％〜％にする必要のあることが明らかであった。
上述の例は、短辺方向を用いる圧電振動子であるが、正
方形の振動基板を用いてもよい。また、長方形の振動基
板のとき、長辺側縁部に結合子を存在させて、長辺方向
の振動を用いるようにしてもよい。
方形の振動基板を用いてもよい。また、長方形の振動基
板のとき、長辺側縁部に結合子を存在させて、長辺方向
の振動を用いるようにしてもよい。
さらに、本発明は、上述のような典形的な矩形の振動基
板４に限らず、例えば、逆ひし形状とかバタフライ形状
など、要するに、平面視形状が実質上四角形状でありさ
えすれば各種の形状に変更可能である。
板４に限らず、例えば、逆ひし形状とかバタフライ形状
など、要するに、平面視形状が実質上四角形状でありさ
えすれば各種の形状に変更可能である。
以上のように、本発明の圧電振動子によれば、圧電振動
素子の任意一対の辺方向における結合子の幅を、圧電振
動素子の任意一対の辺側縁部の長さの鴛以上にすること
で、結合子による保持手段に対する圧電振動素子の支持
強度を高くし、圧電振動素子がその任意一対の辺方向で
保持手段に対して曲がることを抑制して、圧電振動素子
の任意一対の辺方向における屈曲振動発生を防止でき、
そして、上述結合子の幅を、圧電振動素子の任意一対の
辺縁部の長さの４以下にすることで、本来的に必要な圧
電振動素子の任意一対の辺方向の拡がり振動が結合子に
よって抑えられることを回避でき、全体として、圧電振
動素子の任意一対の辺方向における結合子の幅を合理的
に設定するだけでありながら、不用な振動の発生を防止
でき、本来的に必要々圧電振動素子の任意一対の辺方向
の拡がり振動を良好に得られる圧電振動子を、バイモル
フ構造を採用せずに、簡単な構造で、かつ、材料および
製造工程のいずれも少なく、安価でしかも製品上のバラ
ツキの少ない状態で得られるようになった。
素子の任意一対の辺方向における結合子の幅を、圧電振
動素子の任意一対の辺側縁部の長さの鴛以上にすること
で、結合子による保持手段に対する圧電振動素子の支持
強度を高くし、圧電振動素子がその任意一対の辺方向で
保持手段に対して曲がることを抑制して、圧電振動素子
の任意一対の辺方向における屈曲振動発生を防止でき、
そして、上述結合子の幅を、圧電振動素子の任意一対の
辺縁部の長さの４以下にすることで、本来的に必要な圧
電振動素子の任意一対の辺方向の拡がり振動が結合子に
よって抑えられることを回避でき、全体として、圧電振
動素子の任意一対の辺方向における結合子の幅を合理的
に設定するだけでありながら、不用な振動の発生を防止
でき、本来的に必要々圧電振動素子の任意一対の辺方向
の拡がり振動を良好に得られる圧電振動子を、バイモル
フ構造を採用せずに、簡単な構造で、かつ、材料および
製造工程のいずれも少なく、安価でしかも製品上のバラ
ツキの少ない状態で得られるようになった。
また、結合子の支持強度が高くなるために、耐振性およ
び耐衝撃性にすぐれたものにできた。
び耐衝撃性にすぐれたものにできた。
第１図ないし第４図は本発明の圧電振動子の一実施例を
示し、第１図は平面図、第２図は斜視図、第３図はケー
スに収納した状態の縦断面図、第４図はインピーダンス
と周波数との相関を示すグラフ、第５図は従来例におけ
るインピーダンスと周波数との相関を示すグラフ、第６
図はバイモルフ構造の従来例を示す縦断面図である。 １・・圧電振動素子、２・・結合子、３・・保持手段、
４・・振動基板。 出 願 人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀 第１図 第３図
示し、第１図は平面図、第２図は斜視図、第３図はケー
スに収納した状態の縦断面図、第４図はインピーダンス
と周波数との相関を示すグラフ、第５図は従来例におけ
るインピーダンスと周波数との相関を示すグラフ、第６
図はバイモルフ構造の従来例を示す縦断面図である。 １・・圧電振動素子、２・・結合子、３・・保持手段、
４・・振動基板。 出 願 人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀 第１図 第３図
Claims (1)
- （１）恒弾性材料で作られた振動基板を有する平面視四
角形状の圧電振動素子を備え、前記圧電振動素子の任意
一対の辺縁部夫々を結合子を介して保持手段に支持した
拡がり振動モードの圧電振動子において、前記圧電振動
素子の任意一対の辺方向における前記結合子の幅を、前
記圧電振動素子の任意一対の辺縁部の長さの１／７〜１
／３にしてある圧電振動子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59168678A JPS6146609A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 圧電振動子 |
| US06/761,397 US4609844A (en) | 1984-08-10 | 1985-08-01 | Piezoelectric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59168678A JPS6146609A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6146609A true JPS6146609A (ja) | 1986-03-06 |
Family
ID=15872451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59168678A Pending JPS6146609A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 圧電振動子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4609844A (ja) |
| JP (1) | JPS6146609A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6431138U (ja) * | 1987-08-18 | 1989-02-27 | ||
| JPS6431137U (ja) * | 1987-08-18 | 1989-02-27 | ||
| JP2013042388A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| CN102957392A (zh) * | 2011-08-17 | 2013-03-06 | 日本电波工业株式会社 | 压电振动片及压电元件 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60191511A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
| DE4322144C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-06-05 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
| KR0158469B1 (ko) * | 1992-10-15 | 1999-03-20 | 모리시타 요이찌 | 발진자 |
| GB2278721B (en) * | 1993-05-31 | 1996-12-18 | Murata Manufacturing Co | Chip-type piezoelectric resonance component |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5689220A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| JP3114526B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振部品 |
| JP3189620B2 (ja) * | 1995-04-12 | 2001-07-16 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
| DE69522721T2 (de) * | 1995-09-29 | 2002-07-04 | International Business Machines Corp., Armonk | Mechanischer signalprozessor auf basis von mikromechanischen oszillatoren und intelligenten akustischen detektoren und darauf aufgebaute systeme |
| DE102006023165B4 (de) * | 2006-05-17 | 2008-02-14 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung eines akustischen Spiegels aus alternierend angeordneten Schichten hoher und niedriger akustischer Impedanz |
| US8349611B2 (en) * | 2009-02-17 | 2013-01-08 | Leversense Llc | Resonant sensors and methods of use thereof for the determination of analytes |
| WO2010110918A1 (en) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | Sand9, Inc. | Mechanical resonating structures and methods |
| US9075077B2 (en) * | 2010-09-20 | 2015-07-07 | Analog Devices, Inc. | Resonant sensing using extensional modes of a plate |
| US9299910B1 (en) * | 2012-05-17 | 2016-03-29 | Analog Devices, Inc. | Resonator anchors and related apparatus and methods |
| US9954513B1 (en) | 2012-12-21 | 2018-04-24 | Analog Devices, Inc. | Methods and apparatus for anchoring resonators |
| US9634227B1 (en) | 2013-03-06 | 2017-04-25 | Analog Devices, Inc. | Suppression of spurious modes of vibration for resonators and related apparatus and methods |
| US10778182B2 (en) * | 2015-03-31 | 2020-09-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonator |
| WO2016158048A1 (ja) | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 株式会社村田製作所 | 共振子 |
| US10938375B2 (en) | 2015-03-31 | 2021-03-02 | Murata Manufacturing Co, Ltd. | Resonator |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2441960A1 (fr) * | 1978-11-16 | 1980-06-13 | Suisse Horlogerie | Resonateur piezoelectrique travaillant en cisaillement d'epaisseur |
| DE2939844A1 (de) * | 1978-12-21 | 1980-07-10 | Seiko Instr & Electronics | Quarzschwinger |
| JPS57197906A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-04 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Gt cut quartz oscillator |
| JPS58119218A (ja) * | 1982-01-07 | 1983-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置 |
| JPS595720A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 酸化亜鉛薄膜の電極構造 |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP59168678A patent/JPS6146609A/ja active Pending
-
1985
- 1985-08-01 US US06/761,397 patent/US4609844A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6431138U (ja) * | 1987-08-18 | 1989-02-27 | ||
| JPS6431137U (ja) * | 1987-08-18 | 1989-02-27 | ||
| JP2013042388A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| CN102957392A (zh) * | 2011-08-17 | 2013-03-06 | 日本电波工业株式会社 | 压电振动片及压电元件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4609844A (en) | 1986-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6146609A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0134435Y2 (ja) | ||
| US6414415B1 (en) | Surface acoustic wave device and method for manufacturing the same | |
| JP2531266B2 (ja) | 振動子の支持構造 | |
| JP3147793B2 (ja) | ラダー型フィルタ | |
| JPH01146416A (ja) | 圧電共振子 | |
| JP3017750B2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS60232710A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH05183375A (ja) | 圧電薄膜発振子 | |
| JPS59128813A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2764999B2 (ja) | 水滴除去装置 | |
| JPS6246335Y2 (ja) | ||
| JPH0728733Y2 (ja) | 表面実装型圧電振動子の容器 | |
| JP3171291B2 (ja) | 圧電部品 | |
| JP3677673B2 (ja) | 圧電共振子の保持構造およびそれを有する圧電部品 | |
| JPS60256214A (ja) | 弾性波装置 | |
| JP3341407B2 (ja) | 端面反射型表面波装置 | |
| JPS6324659Y2 (ja) | ||
| JPH0241947Y2 (ja) | ||
| JPS6070808A (ja) | 縦振動型圧電振動子 | |
| JP2504769Y2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH042498Y2 (ja) | ||
| JPH0311943Y2 (ja) | ||
| JP2924625B2 (ja) | 表面波デバイスの製造方法 | |
| JPH09153765A (ja) | 弾性表面波フィルタ |