JP3341407B2 - 端面反射型表面波装置 - Google Patents
端面反射型表面波装置Info
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- JP3341407B2 JP3341407B2 JP27447293A JP27447293A JP3341407B2 JP 3341407 B2 JP3341407 B2 JP 3341407B2 JP 27447293 A JP27447293 A JP 27447293A JP 27447293 A JP27447293 A JP 27447293A JP 3341407 B2 JP3341407 B2 JP 3341407B2
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- reflection type
- acoustic wave
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、端面反射型表面波装置
に関し、特に、ＢＧＳ波やラブ波等の変位が表面波伝播
方向と垂直な変位を主体とするＳＨタイプの表面波を利
用した端面反射型表面波装置に関する。
に関し、特に、ＢＧＳ波やラブ波等の変位が表面波伝播
方向と垂直な変位を主体とするＳＨタイプの表面波を利
用した端面反射型表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の端面反射型表面波装置として、Ｂ
ＧＳ波を利用した端面反射型表面波共振子が知られてい
る（例えば昭和５１年春季日本音響学会講演論文集、第
３５１頁〜３５２頁、昭和５１年５月発行）。
ＧＳ波を利用した端面反射型表面波共振子が知られてい
る（例えば昭和５１年春季日本音響学会講演論文集、第
３５１頁〜３５２頁、昭和５１年５月発行）。
【０００３】ＢＧＳ波を利用した端面反射型表面波共振
子は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
やＬｉＮｂＯ3 のような圧電単結晶からなる平面形状が
矩形の圧電基板を用いて構成されている。ここでは、圧
電基板上に、互いの複数本の電極指が間挿し合うように
配置された一対のくし歯電極が形成されている。励振さ
れるＢＧＳ波の波長をλとしたときに、上記電極指は、
最も外側の電極指を除いてその幅がλ／４とされてお
り、隣接する電極指間の間の領域の幅もλ／４とされて
いる。また、最も外側に位置する両側の電極指について
は、圧電基板の端縁に沿うように形成されており、かつ
その幅はλ／８とされている。すなわち、他の電極指に
比べ、最も外側に位置する一対の電極指は、その幅が１
／２の大きさとされている。
子は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
やＬｉＮｂＯ3 のような圧電単結晶からなる平面形状が
矩形の圧電基板を用いて構成されている。ここでは、圧
電基板上に、互いの複数本の電極指が間挿し合うように
配置された一対のくし歯電極が形成されている。励振さ
れるＢＧＳ波の波長をλとしたときに、上記電極指は、
最も外側の電極指を除いてその幅がλ／４とされてお
り、隣接する電極指間の間の領域の幅もλ／４とされて
いる。また、最も外側に位置する両側の電極指について
は、圧電基板の端縁に沿うように形成されており、かつ
その幅はλ／８とされている。すなわち、他の電極指に
比べ、最も外側に位置する一対の電極指は、その幅が１
／２の大きさとされている。
【０００４】端面反射型表面波共振子では、ＢＧＳ波が
圧電基板の対向し合っている端面で完全反射され、ＢＧ
Ｓ波が両端面間に閉じ込められて共振する。ところで、
上述した昭和５１年春季日本音響学会講演論文集、第３
５１頁〜３５２頁では、最も外側の電極指の幅を正確に
λ／８にしなければ、共振特性において所望でないスプ
リアスが発生するため、最外側の電極指については、λ
／８の幅を有するように正確に形成する必要がある旨が
指摘されている。
圧電基板の対向し合っている端面で完全反射され、ＢＧ
Ｓ波が両端面間に閉じ込められて共振する。ところで、
上述した昭和５１年春季日本音響学会講演論文集、第３
５１頁〜３５２頁では、最も外側の電極指の幅を正確に
λ／８にしなければ、共振特性において所望でないスプ
リアスが発生するため、最外側の電極指については、λ
／８の幅を有するように正確に形成する必要がある旨が
指摘されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従
来、ＢＧＳ波を利用した端面反射型表面波共振子では、
両端の電極指の幅を正確にλ／８にしなければならない
と考えられていた。
来、ＢＧＳ波を利用した端面反射型表面波共振子では、
両端の電極指の幅を正確にλ／８にしなければならない
と考えられていた。
【０００６】ところで、上記端面反射型表面波共振子
は、以下の工程を経て制作されていた。すなわち、先ず
圧電基板上に、λ／４の幅の複数本の電極指を有する一
対のくし歯電極を、互いの電極指が間挿し合うように形
成する。しかる後、最外側の電極指の幅がλ／８となる
ように上記圧電基板を厚み方向に切断し、最外側の電極
指の幅をλ／８とすると共に、表面波が反射される端面
を切り出す。
は、以下の工程を経て制作されていた。すなわち、先ず
圧電基板上に、λ／４の幅の複数本の電極指を有する一
対のくし歯電極を、互いの電極指が間挿し合うように形
成する。しかる後、最外側の電極指の幅がλ／８となる
ように上記圧電基板を厚み方向に切断し、最外側の電極
指の幅をλ／８とすると共に、表面波が反射される端面
を切り出す。
【０００７】従って、上記切断に際しては、両側に位置
している電極指を、正確に中央で切断し、それによって
幅がλ／８である電極指を形成していた。上記のように
最外側の電極指を正確に中央で切断して得た端面反射型
表面波共振子の共振特性を測定したところ、図４に示す
結果が得られた。
している電極指を、正確に中央で切断し、それによって
幅がλ／８である電極指を形成していた。上記のように
最外側の電極指を正確に中央で切断して得た端面反射型
表面波共振子の共振特性を測定したところ、図４に示す
結果が得られた。
【０００８】図４に示す共振特性は、圧電基板として、
８５０×８００×５００ｍｍの寸法を有し、かつＰＺＴ
系圧電セラミックスからなる圧電基板を用い、その上面
に電極指の対数Ｎが１５となるように一対のくし歯電極
を形成することにより構成された表面波共振子の特性で
ある。なお、電極指の幅は、最も外側電極指を除いてλ
／４＝１４．２μｍであり、最外側の一対の電極指の幅
はλ／８＝７．２μｍとした。
８５０×８００×５００ｍｍの寸法を有し、かつＰＺＴ
系圧電セラミックスからなる圧電基板を用い、その上面
に電極指の対数Ｎが１５となるように一対のくし歯電極
を形成することにより構成された表面波共振子の特性で
ある。なお、電極指の幅は、最も外側電極指を除いてλ
／４＝１４．２μｍであり、最外側の一対の電極指の幅
はλ／８＝７．２μｍとした。
【０００９】図４において、実線Ａは上記のようにして
得た端面反射型表面波共振子のインピーダンス−周波数
特性を、破線Ｂは位相−周波数特性を示す。図４から明
らかなように、この端面反射型共振子では、共振点より
も低域側において矢印Ａで示す部分にかなり大きなリッ
プルの生じていることがわかる。
得た端面反射型表面波共振子のインピーダンス−周波数
特性を、破線Ｂは位相−周波数特性を示す。図４から明
らかなように、この端面反射型共振子では、共振点より
も低域側において矢印Ａで示す部分にかなり大きなリッ
プルの生じていることがわかる。
【００１０】本発明の目的は、共振周波数よりも低域側
において生じるリップルを効果的に低減し得る構造を備
えた、共振特性に優れた端面反射型表面波装置を提供す
ることにある。
において生じるリップルを効果的に低減し得る構造を備
えた、共振特性に優れた端面反射型表面波装置を提供す
ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板を伝
播するＳＨタイプの表面波を利用しており、圧電基板
と、前記圧電基板上に設けられており、互いに間挿し合
う複数本の電極指を有する一対のくし歯電極とを備え、
最外側の電極指が前記圧電基板の端面に沿うように配置
された端面反射型表面波装置において、前記複数本の電
極指を形成した後に、最外側の電極指の幅が他の電極指
の幅と同じであった場合の最外側の電極指の中心線より
も表面波の波長をλとしたときに、λ／６４〜７λ／６
４だけ内側に端面が位置するように切断することにより
前記最外側の電極指の幅が定められていることを特徴と
する端面反射型表面波装置である。
播するＳＨタイプの表面波を利用しており、圧電基板
と、前記圧電基板上に設けられており、互いに間挿し合
う複数本の電極指を有する一対のくし歯電極とを備え、
最外側の電極指が前記圧電基板の端面に沿うように配置
された端面反射型表面波装置において、前記複数本の電
極指を形成した後に、最外側の電極指の幅が他の電極指
の幅と同じであった場合の最外側の電極指の中心線より
も表面波の波長をλとしたときに、λ／６４〜７λ／６
４だけ内側に端面が位置するように切断することにより
前記最外側の電極指の幅が定められていることを特徴と
する端面反射型表面波装置である。
【００１２】
【作用】本願発明者は、ＳＨタイプの表面波を利用した
端面反射型表面波装置において、共振点よりも低域側に
おいて生じるリップルを抑圧すべく、端面反射型の表面
波装置について様々な角度から検討した結果、最外側す
なわち両側の電極指の幅を、上記のように幾分細くすれ
ばよいことを見いだし、本発明をなすに至った。
端面反射型表面波装置において、共振点よりも低域側に
おいて生じるリップルを抑圧すべく、端面反射型の表面
波装置について様々な角度から検討した結果、最外側す
なわち両側の電極指の幅を、上記のように幾分細くすれ
ばよいことを見いだし、本発明をなすに至った。
【００１３】すなわち、従来、ＳＨタイプの表面波を利
用した端面反射型表面波装置では、例えば、残りの電極
指の幅をλ／４としたときには、反射面となる端面に沿
う両側の電極指の幅は正確にλ／８とされねばならない
と考えられていたが、実際には、λ／８よりもλ／６４
〜７λ／６４程度細くしたほうがよく、それによって共
振点よりも低域側におけるリップルの発生を効果的に低
減することができることを見出した。そこで、上記のよ
うに、最外側の電極指の幅を決定するにあたり、くし歯
電極形成後に、最外側の電極指の中心線よりもλ／６４
〜７λ／６４だけ内側で切断することにより、上記端面
切り出し、及び最外側の電極指の幅の決定がなされてい
る。
用した端面反射型表面波装置では、例えば、残りの電極
指の幅をλ／４としたときには、反射面となる端面に沿
う両側の電極指の幅は正確にλ／８とされねばならない
と考えられていたが、実際には、λ／８よりもλ／６４
〜７λ／６４程度細くしたほうがよく、それによって共
振点よりも低域側におけるリップルの発生を効果的に低
減することができることを見出した。そこで、上記のよ
うに、最外側の電極指の幅を決定するにあたり、くし歯
電極形成後に、最外側の電極指の中心線よりもλ／６４
〜７λ／６４だけ内側で切断することにより、上記端面
切り出し、及び最外側の電極指の幅の決定がなされてい
る。
【００１４】上記のように、両側の電極指の幅を他の電
極指の幅の１／２よりも狭くすればよいこと、さらに上
記のように端面の位置及び決定をすればよいことは、本
願発明者によって実験的に確かめられたものであるが、
その理由は、以下のように考えられる。
極指の幅の１／２よりも狭くすればよいこと、さらに上
記のように端面の位置及び決定をすればよいことは、本
願発明者によって実験的に確かめられたものであるが、
その理由は、以下のように考えられる。
【００１５】まず、電極の波長で計算される周波数は、
基板の表面が、電気的に開放時の音速をＶｆ、電気的に
短絡した時の音速Ｖｍとしたとき、近似的に
基板の表面が、電気的に開放時の音速をＶｆ、電気的に
短絡した時の音速Ｖｍとしたとき、近似的に
【００１６】
【数１】
【００１７】で与えられる。一方、端面間の長さＬで決
定される周波数は、基板全体の音速をＶとしたとき、ｆ
L ＝Ｖ／Ｌで与えられる。
定される周波数は、基板全体の音速をＶとしたとき、ｆ
L ＝Ｖ／Ｌで与えられる。
【００１８】
【数２】
【００１９】であるが、電界の効果によりＶはＶｍ分の
寄与が多いため、
寄与が多いため、
【００２０】
【数３】
【００２１】であり、ｆE ＝ｆL を一致させるためには
【００２２】
【数４】
【００２３】にする必要があるからである。
【００２４】
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。
することにより、本発明を明らかにする。
【００２５】図１は、本発明が適用されるＢＧＳ波を利
用した端面反射型表面波装置を示す斜視図であり、図２
はその要部を拡大して示す略図的断面図である。端面反
射型表面波装置１は、端面反射型表面波共振子としての
実施例であり、平面形状が四角形の圧電基板２を用いて
構成されている。圧電基板２は、例えば、チタン酸ジル
コン酸鉛系圧電セラミックスやＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、図示のＰ方向に
分極処理されている。圧電基板２の上面２ａには、一対
のくし歯電極３，４が形成されている。くし歯電極３，
４は、それぞれ、複数本の電極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜
４ｃを有する。複数本の電極指３ａ〜３ｃと、複数本の
電極指４ａ〜４ｃは、図示のように互いに間挿し合うよ
うに配置されている。
用した端面反射型表面波装置を示す斜視図であり、図２
はその要部を拡大して示す略図的断面図である。端面反
射型表面波装置１は、端面反射型表面波共振子としての
実施例であり、平面形状が四角形の圧電基板２を用いて
構成されている。圧電基板２は、例えば、チタン酸ジル
コン酸鉛系圧電セラミックスやＬｉＮｂＯ3 圧電単結晶
などの圧電材料により構成されており、図示のＰ方向に
分極処理されている。圧電基板２の上面２ａには、一対
のくし歯電極３，４が形成されている。くし歯電極３，
４は、それぞれ、複数本の電極指３ａ〜３ｃ及び４ａ〜
４ｃを有する。複数本の電極指３ａ〜３ｃと、複数本の
電極指４ａ〜４ｃは、図示のように互いに間挿し合うよ
うに配置されている。
【００２６】複数本の電極指３ａ〜３ｃ，４ａ〜４ｃの
うち、最外側に位置する電極指４ａ，３ｃは、その幅が
他の電極指３ａ，３ｂ，４ｂ，４ｃに比べて細くされて
いる。
うち、最外側に位置する電極指４ａ，３ｃは、その幅が
他の電極指３ａ，３ｂ，４ｂ，４ｃに比べて細くされて
いる。
【００２７】従来、複数本の電極指のうち、電極指３
ａ，３ｂ，４ｂ，４ｃの幅をλ／４とし、かつ複数本の
電極指間の領域の幅は同じくλ／４とし、両側の電極指
３ｃ，４ａについては、その幅をλ／８とすることが必
要であると考えられていた。
ａ，３ｂ，４ｂ，４ｃの幅をλ／４とし、かつ複数本の
電極指間の領域の幅は同じくλ／４とし、両側の電極指
３ｃ，４ａについては、その幅をλ／８とすることが必
要であると考えられていた。
【００２８】しかしながら、前述したように、λ／８の
幅の電極指３ｃ，４ａを有する端面反射型表面波共振子
を形成したところ、共振点よりも低域側において比較的
大きな多数のリップルが発生していた。
幅の電極指３ｃ，４ａを有する端面反射型表面波共振子
を形成したところ、共振点よりも低域側において比較的
大きな多数のリップルが発生していた。
【００２９】本発明者らは、端面反射型表面波共振子１
において、上記両側の電極指３ｃ，４ａの幅を種々異な
らせ、共振点よりも低域側におけるリップルの大きさを
測定した。結果を図３に示す。
において、上記両側の電極指３ｃ，４ａの幅を種々異な
らせ、共振点よりも低域側におけるリップルの大きさを
測定した。結果を図３に示す。
【００３０】なお、上記種々の幅の電極指３ｃ，４ａを
有する端面反射型表面波共振子１は、ＰＺＴからなる平
面形状が四角形の圧電基板上に、すべての電極指の幅が
等しい一対のくし歯電極を形成し、しかる後両側の電極
指の幅が他の電極指に比べて細くなるように該圧電基板
を厚み方向に切断し、図１の両端面２ｂ，２ｃを切りだ
すことにより得た。なお、電極指の幅は、最も外側電極
指を除いてはλ／４＝１４．２μｍ、電極指間の領域の
幅についてもλ／４＝１４．２μｍとした。
有する端面反射型表面波共振子１は、ＰＺＴからなる平
面形状が四角形の圧電基板上に、すべての電極指の幅が
等しい一対のくし歯電極を形成し、しかる後両側の電極
指の幅が他の電極指に比べて細くなるように該圧電基板
を厚み方向に切断し、図１の両端面２ｂ，２ｃを切りだ
すことにより得た。なお、電極指の幅は、最も外側電極
指を除いてはλ／４＝１４．２μｍ、電極指間の領域の
幅についてもλ／４＝１４．２μｍとした。
【００３１】図３における横軸は、両側の電極指４ａ，
３ｃにおける上記切断位置を示し、最初に形成されてい
たλ／４の電極指の中心で切断した場合をゼロとし、該
中心位置から切断位置までの距離を電極中心からの距離
として表した。なお、この電極中心からの距離の正負に
ついては、電極の中心よりも内側の場合を負、外側の場
合を正とした。すなわち、図３における電極中心からの
距離が例えば−λ／１６の場合には、切断位置がλ／４
の電極指の中心よりも中央側に−λ／１６ずらされた位
置となり、従って切断されて形成された最外側の電極指
の幅は、（λ／８−λ／１６）＝４λ／６４となる。
３ｃにおける上記切断位置を示し、最初に形成されてい
たλ／４の電極指の中心で切断した場合をゼロとし、該
中心位置から切断位置までの距離を電極中心からの距離
として表した。なお、この電極中心からの距離の正負に
ついては、電極の中心よりも内側の場合を負、外側の場
合を正とした。すなわち、図３における電極中心からの
距離が例えば−λ／１６の場合には、切断位置がλ／４
の電極指の中心よりも中央側に−λ／１６ずらされた位
置となり、従って切断されて形成された最外側の電極指
の幅は、（λ／８−λ／１６）＝４λ／６４となる。
【００３２】なお、図３において、破線Ｃは電極指の対
数Ｎが７．５の場合、実線Ｄは電極指の対数Ｎが１５の
場合、破線Ｅは電極指の対数Ｎが３０の場合の結果を示
す。また、図３における縦軸すなわちリップルの大きさ
は、振動子のＱを一定としたときの値を相対値で示し
た。
数Ｎが７．５の場合、実線Ｄは電極指の対数Ｎが１５の
場合、破線Ｅは電極指の対数Ｎが３０の場合の結果を示
す。また、図３における縦軸すなわちリップルの大きさ
は、振動子のＱを一定としたときの値を相対値で示し
た。
【００３３】図３から明らかなように、電極指の対数の
如何に拘らず、正確に最外側の電極指を中央で切断した
場合、すなわちλ／８の幅の最外側電極指を形成した場
合には、さほどリップルは小さくならないことがわか
る。すなわち、図４に示した結果のように、比較的大き
なリップルが共振点よりも低域側において発生してい
た。
如何に拘らず、正確に最外側の電極指を中央で切断した
場合、すなわちλ／８の幅の最外側電極指を形成した場
合には、さほどリップルは小さくならないことがわか
る。すなわち、図４に示した結果のように、比較的大き
なリップルが共振点よりも低域側において発生してい
た。
【００３４】これに対して、最外側の電極指をλ／８よ
りも細くした場合、すなわち切断位置を中央側に寄せ、
図３における電極中心からの距離を−側のある範囲とし
た場合には、リップルを低減し得ることがわかる。具体
的には、図３から明らかなように、切断位置を当初の電
極指の中心から−側にλ／６４〜７λ／６４の範囲とす
ることにより、言い換えれば、最外側の電極指の幅をλ
／８よりもλ／６４〜７λ／６４だけ細くすれば、リッ
プルを効果的に低減し得ることがわかる。
りも細くした場合、すなわち切断位置を中央側に寄せ、
図３における電極中心からの距離を−側のある範囲とし
た場合には、リップルを低減し得ることがわかる。具体
的には、図３から明らかなように、切断位置を当初の電
極指の中心から−側にλ／６４〜７λ／６４の範囲とす
ることにより、言い換えれば、最外側の電極指の幅をλ
／８よりもλ／６４〜７λ／６４だけ細くすれば、リッ
プルを効果的に低減し得ることがわかる。
【００３５】よって、図３の結果から明らかなように、
両側の電極指の幅を、λ／８よりもλ／６４〜７λ／６
４だけ細くすることにより、共振点より低域側における
リップルを効果的に低減することができる。
両側の電極指の幅を、λ／８よりもλ／６４〜７λ／６
４だけ細くすることにより、共振点より低域側における
リップルを効果的に低減することができる。
【００３６】なお、上記実施例の説明においては、ＢＧ
Ｓ波を利用した端面反射型の表面波共振子につき説明し
たが、ラブ波のようにＳＨタイプの他の表面波を利用し
た端面反射型表面波共振子についても、本発明を適用し
得る。
Ｓ波を利用した端面反射型の表面波共振子につき説明し
たが、ラブ波のようにＳＨタイプの他の表面波を利用し
た端面反射型表面波共振子についても、本発明を適用し
得る。
【００３７】また、上記実施例として端面反射型表面波
共振子につき説明したが、端面反射型表面波フィルタに
も、本発明を適用し得る。また、上記実施例では、圧電
基板上に、一対のくし歯電極を形成していたが、くし歯
電極上にさらにＺｎＯやＣｄＳなどの他の薄膜を形成し
てもよい。
共振子につき説明したが、端面反射型表面波フィルタに
も、本発明を適用し得る。また、上記実施例では、圧電
基板上に、一対のくし歯電極を形成していたが、くし歯
電極上にさらにＺｎＯやＣｄＳなどの他の薄膜を形成し
てもよい。
【００３８】
【発明の効果】本発明では、ＳＨタイプの表面波を利用
した端面反射型表面波装置において、最も外側の電極指
の幅が、その中心線よりもλ／６４〜７λ／６４だけ内
側において切断されてその幅が決定されているので、共
振点よりも低域側における不要リップルを効果的に低減
することが可能となる。従って、共振特性に優れた端面
反射型表面波装置を提供することが可能となる。
した端面反射型表面波装置において、最も外側の電極指
の幅が、その中心線よりもλ／６４〜７λ／６４だけ内
側において切断されてその幅が決定されているので、共
振点よりも低域側における不要リップルを効果的に低減
することが可能となる。従って、共振特性に優れた端面
反射型表面波装置を提供することが可能となる。
【図１】本発明が適用される端面反射型表面波装置を示
す斜視図。
す斜視図。
【図２】図１に示した端面反射型表面波装置の一部を拡
大して示す断面図。
大して示す断面図。
【図３】もっとも外側の電極指の幅を規定するための切
断に際しての電極中心からの距離と、リップルの大きさ
との関係を示す図。
断に際しての電極中心からの距離と、リップルの大きさ
との関係を示す図。
【図４】従来の端面反射型表面波装置におけるインピー
ダンス−周波数特性及び位相−周波数特性を示す図。
ダンス−周波数特性及び位相−周波数特性を示す図。
１…端面反射型表面波装置 ２…圧電基板 ３，４…くし歯電極 ３ａ〜３ｃ，４ａ〜４ｃ…電極指
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高桑 泰隆 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (72)発明者 林 誠剛 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 平４−345206（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−239210（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/145
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板を伝播するＳＨタイプの表面波
を利用しており、圧電基板と、前記圧電基板上に設けら
れており、互いに間挿し合う複数本の電極指を有する一
対のくし歯電極とを備え、最外側の電極指が前記圧電基
板の端面に沿うように配置された端面反射型表面波装置
において、 前記複数本の電極指を形成した後に、最外側の電極指の
幅が他の電極指の幅と同じであった場合の最外側の電極
指の中心線よりも表面波の波長をλとしたときに、λ／
６４〜７λ／６４だけ内側に端面が位置するように切断
することにより前記最外側の電極指の幅が定められてい
ることを特徴とする、端面反射型表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27447293A JP3341407B2 (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 端面反射型表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27447293A JP3341407B2 (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 端面反射型表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07131283A JPH07131283A (ja) | 1995-05-19 |
| JP3341407B2 true JP3341407B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=17542171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27447293A Expired - Lifetime JP3341407B2 (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 端面反射型表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3341407B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3397195B2 (ja) | 2000-02-28 | 2003-04-14 | 株式会社村田製作所 | 端面反射型表面波フィルタ |
-
1993
- 1993-11-02 JP JP27447293A patent/JP3341407B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07131283A (ja) | 1995-05-19 |
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