JP3233290B2 - 表面波装置 - Google Patents
表面波装置Info
- Publication number
- JP3233290B2 JP3233290B2 JP28999591A JP28999591A JP3233290B2 JP 3233290 B2 JP3233290 B2 JP 3233290B2 JP 28999591 A JP28999591 A JP 28999591A JP 28999591 A JP28999591 A JP 28999591A JP 3233290 B2 JP3233290 B2 JP 3233290B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrodes
- wave device
- wavelengths
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＢＧＳ波のような変位
が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨ
タイプの表面波を利用した端面反射型の表面波装置に関
する。
が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨ
タイプの表面波を利用した端面反射型の表面波装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】圧電基板を伝播する表面波のうち、変位
が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨ
タイプの表面波として、例えばＢＧＳ波やラブ波等が知
られている。ＢＧＳ波を利用した表面波装置として、端
面反射型の表面波共振子が公知である。端面反射型の表
面波共振子は、主面と平行な方向に分極処理された矩形
の圧電基板を用いて構成されている。該圧電基板の上面
には、分極方向と平行に延びる複数本の電極指を有する
一対のくし歯電極が形成されており、該一対のくし歯電
極の電極指が互いに間挿し合うように配置されて１のイ
ンターデジタルトランスデューサが構成されている。こ
の表面波共振子では、一対のくし歯電極間に交流電界を
印加することによりＢＧＳ波が電極指と直交する方向に
伝播され、圧電基板の一対の端面間で反射されるように
構成されている。
が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨ
タイプの表面波として、例えばＢＧＳ波やラブ波等が知
られている。ＢＧＳ波を利用した表面波装置として、端
面反射型の表面波共振子が公知である。端面反射型の表
面波共振子は、主面と平行な方向に分極処理された矩形
の圧電基板を用いて構成されている。該圧電基板の上面
には、分極方向と平行に延びる複数本の電極指を有する
一対のくし歯電極が形成されており、該一対のくし歯電
極の電極指が互いに間挿し合うように配置されて１のイ
ンターデジタルトランスデューサが構成されている。こ
の表面波共振子では、一対のくし歯電極間に交流電界を
印加することによりＢＧＳ波が電極指と直交する方向に
伝播され、圧電基板の一対の端面間で反射されるように
構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＢＧＳ波を利用した端
面反射型共振子においても、リフレクター型のＳＨ波表
面波共振子の場合と同様に、共振点−反共振点間の周波
数領域において高次モードに基づくスプリアス振動が発
生がちであった。後者の共振子においてはスプリアス振
動を抑制するためにインターデジタルトランスデューサ
の電極にＣＯＳ-1型や菱形等の電極重み付けを施す工夫
が行われている。しかしながら、ＢＧＳ波を用いた端面
反射型共振子においては、電極の重み付けでは、共振点
−反共振点間の周波数領域が広いためその領域における
上記スプリアス振動を幾分低減し得るものの、全ての高
次モードに起因するスプリアス振動を確実に抑制するこ
とはできなかった。
面反射型共振子においても、リフレクター型のＳＨ波表
面波共振子の場合と同様に、共振点−反共振点間の周波
数領域において高次モードに基づくスプリアス振動が発
生がちであった。後者の共振子においてはスプリアス振
動を抑制するためにインターデジタルトランスデューサ
の電極にＣＯＳ-1型や菱形等の電極重み付けを施す工夫
が行われている。しかしながら、ＢＧＳ波を用いた端面
反射型共振子においては、電極の重み付けでは、共振点
−反共振点間の周波数領域が広いためその領域における
上記スプリアス振動を幾分低減し得るものの、全ての高
次モードに起因するスプリアス振動を確実に抑制するこ
とはできなかった。
【０００４】他方、インターデジタルトランスデューサ
における電極の交叉幅を小さくすれば、横モードに起因
するスプリアス振動を抑圧し得ることが知られている
が、単に交叉幅を小さくした場合には、Ｑ値が小さくな
りメインの振動の応答レベルが小さくなるという問題が
あった。
における電極の交叉幅を小さくすれば、横モードに起因
するスプリアス振動を抑圧し得ることが知られている
が、単に交叉幅を小さくした場合には、Ｑ値が小さくな
りメインの振動の応答レベルが小さくなるという問題が
あった。
【０００５】本発明の目的は、変位が表面波伝播方向と
垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を用
いた端面反射型の表面波装置において、共振点−反共振
点間の周波数領域におけるスプリアス振動を効果的に抑
圧することができ、かつＱ値の低下を招かない構造を備
えた表面波装置を提供することにある。
垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を用
いた端面反射型の表面波装置において、共振点−反共振
点間の周波数領域におけるスプリアス振動を効果的に抑
圧することができ、かつＱ値の低下を招かない構造を備
えた表面波装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板を伝
播する表面波のうち、変位が表面波伝播方向と垂直な方
向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を用いた端面
反射型の表面波装置であって、チタン酸ジルコン酸鉛系
セラミックスからなる圧電基板と、該圧電基板上に形成
された少なくとも１のインターデジタルトランスデュー
サとを備え、前記インターデジタルトランスデューサの
電極の対数と交叉幅とが、電極の対数と交叉幅との関係
を示す図１の、点Ａ（対数＝１２．５、交叉幅＝５波
長）、点Ｂ（対数＝１２．５、交叉幅＝２波長）、点Ｃ
（対数＝２３．５、交叉幅＝１波長）及び点Ｄ（対数＝
２３．５、交叉幅＝２．５波長）で囲まれた範囲にある
ことを特徴とする表面波装置である。
播する表面波のうち、変位が表面波伝播方向と垂直な方
向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を用いた端面
反射型の表面波装置であって、チタン酸ジルコン酸鉛系
セラミックスからなる圧電基板と、該圧電基板上に形成
された少なくとも１のインターデジタルトランスデュー
サとを備え、前記インターデジタルトランスデューサの
電極の対数と交叉幅とが、電極の対数と交叉幅との関係
を示す図１の、点Ａ（対数＝１２．５、交叉幅＝５波
長）、点Ｂ（対数＝１２．５、交叉幅＝２波長）、点Ｃ
（対数＝２３．５、交叉幅＝１波長）及び点Ｄ（対数＝
２３．５、交叉幅＝２．５波長）で囲まれた範囲にある
ことを特徴とする表面波装置である。
【０００７】
【作用】本願発明者らは、上記端面反射型の表面波装置
において、インターデジタルトランスデューサの電極の
重み付けでは全ての高次モードに起因する不要スプリア
ス振動を効果的に抑制することができないこと、並びに
交叉幅を小さくするだけではＱ値の低下を招くことに鑑
み、Ｑ値の低下を招かず、かつ全ての高次モードに起因
するスプリアス振動の低減に有効な方法を検討した結
果、交叉幅だけでなく、インターデジタルトランスデュ
ーサの対数にも着目し、電極の対数と交叉幅とを上記特
定の範囲とすれはＱ値の低下を招くことなく不要スプリ
アス振動を抑圧し得ることを見出し、本発明をなすに至
った。すなわち、本発明では、図１の点Ａ〜Ｄで囲まれ
た範囲内となるように、インターデジタルトランスデュ
ーサの電極の対数及び交叉幅が選択されているため、Ｑ
値の低下を招くことなく、横モードに基づく共振点−反
共振点間の周波数領域における不要スプリアス振動を確
実に抑圧することが可能とされている。
において、インターデジタルトランスデューサの電極の
重み付けでは全ての高次モードに起因する不要スプリア
ス振動を効果的に抑制することができないこと、並びに
交叉幅を小さくするだけではＱ値の低下を招くことに鑑
み、Ｑ値の低下を招かず、かつ全ての高次モードに起因
するスプリアス振動の低減に有効な方法を検討した結
果、交叉幅だけでなく、インターデジタルトランスデュ
ーサの対数にも着目し、電極の対数と交叉幅とを上記特
定の範囲とすれはＱ値の低下を招くことなく不要スプリ
アス振動を抑圧し得ることを見出し、本発明をなすに至
った。すなわち、本発明では、図１の点Ａ〜Ｄで囲まれ
た範囲内となるように、インターデジタルトランスデュ
ーサの電極の対数及び交叉幅が選択されているため、Ｑ
値の低下を招くことなく、横モードに基づく共振点−反
共振点間の周波数領域における不要スプリアス振動を確
実に抑圧することが可能とされている。
【０００８】
【実施例の説明】図２は、本発明が適用されるＢＧＳ波
を利用した端面反射型の表面波装置を示す斜視図であ
る。表面波装置１は、圧電基板２の上面に一対のくし歯
電極３，４を形成し、それによって１のインターデジタ
ルトランスデューサを構成した構造を有する。圧電基板
２は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧
電性材料よりなり、矢印Ｐ方向に分極処理されている。
他方、くし歯電極３，４は、複数本の電極指３ａ，４ａ
を有し、該複数本の電極指３ａは、複数本の電極指４ａ
と互いに間挿し合うように配置されている。この表面波
装置では、くし歯電極３，４間に交流電界を印加するこ
とにより、ＢＧＳ波が矢印Ｘ方向に伝播するように励起
される。そして、該ＢＧＳ波が端面２ａ，２ｂ間で反射
されるように構成されている。
を利用した端面反射型の表面波装置を示す斜視図であ
る。表面波装置１は、圧電基板２の上面に一対のくし歯
電極３，４を形成し、それによって１のインターデジタ
ルトランスデューサを構成した構造を有する。圧電基板
２は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧
電性材料よりなり、矢印Ｐ方向に分極処理されている。
他方、くし歯電極３，４は、複数本の電極指３ａ，４ａ
を有し、該複数本の電極指３ａは、複数本の電極指４ａ
と互いに間挿し合うように配置されている。この表面波
装置では、くし歯電極３，４間に交流電界を印加するこ
とにより、ＢＧＳ波が矢印Ｘ方向に伝播するように励起
される。そして、該ＢＧＳ波が端面２ａ，２ｂ間で反射
されるように構成されている。
【０００９】また、図３は、本発明が適用される表面波
装置の他の例を示す模式的平面図である。図３では、圧
電基板の上面に形成されているインターデジタルトラン
スデューサ５のみが模式的に図示されている。すなわ
ち、図３の表面波装置では、インターデジタルトランス
デューサ５は、くし歯電極６〜８からなり、くし歯電極
８の複数の電極指が、くし歯電極６，７の複数本の電極
指と間挿し合うように配置されている。すなわち、イン
ターデジタルトランスデューサ５の一方のくし歯電極が
くし歯電極６，７に二分割されている。そして、くし歯
電極６，７間に交流電界を印加することより、図２に示
した表面波装置１と同様にＢＧＳ波が励起され、該ＢＧ
Ｓ波が圧電基板の対向し合う一対の端面間で反射され
る。
装置の他の例を示す模式的平面図である。図３では、圧
電基板の上面に形成されているインターデジタルトラン
スデューサ５のみが模式的に図示されている。すなわ
ち、図３の表面波装置では、インターデジタルトランス
デューサ５は、くし歯電極６〜８からなり、くし歯電極
８の複数の電極指が、くし歯電極６，７の複数本の電極
指と間挿し合うように配置されている。すなわち、イン
ターデジタルトランスデューサ５の一方のくし歯電極が
くし歯電極６，７に二分割されている。そして、くし歯
電極６，７間に交流電界を印加することより、図２に示
した表面波装置１と同様にＢＧＳ波が励起され、該ＢＧ
Ｓ波が圧電基板の対向し合う一対の端面間で反射され
る。
【００１０】本発明は、図２及び図３を参照して説明し
たようなＢＧＳ波を利用した表面波装置に適用されるも
のである。そして、本発明の特徴は、上述したように、
インターデジタルトランスデューサの電極の対数及び交
叉幅が、上記特定の関係にあることにある。これを、図
１、図４〜図９を参照して説明する。図３に示した分割
タイプのインターデジタルトランスデューサを有する表
面波装置として、圧電基板として、チタン酸ジルコン酸
鉛系セラミックスからなる矩形の基板を用意し、その上
面に、下記の表１に示す電極対数及び交叉幅の各インタ
ーデジタルトランスデューサを形成してなる６種類の表
面波装置を作製し、インピーダンス−周波数特性及び位
相−周波数特性を測定した。結果を、図４〜図９に示
す。また、上記６種類の表面波装置についてのＱ値は、
下記の表１に示す通りである。
たようなＢＧＳ波を利用した表面波装置に適用されるも
のである。そして、本発明の特徴は、上述したように、
インターデジタルトランスデューサの電極の対数及び交
叉幅が、上記特定の関係にあることにある。これを、図
１、図４〜図９を参照して説明する。図３に示した分割
タイプのインターデジタルトランスデューサを有する表
面波装置として、圧電基板として、チタン酸ジルコン酸
鉛系セラミックスからなる矩形の基板を用意し、その上
面に、下記の表１に示す電極対数及び交叉幅の各インタ
ーデジタルトランスデューサを形成してなる６種類の表
面波装置を作製し、インピーダンス−周波数特性及び位
相−周波数特性を測定した。結果を、図４〜図９に示
す。また、上記６種類の表面波装置についてのＱ値は、
下記の表１に示す通りである。
【００１１】
【表１】
【００１２】図４及び表１から明らかなように、電極対
数が１２．０対及び交叉幅が２．０波長の場合、共振点
−反共振点間の周波数領域におけるスプリアス振動が抑
圧されているが、Ｑ値は８０と低く、あまり良好でない
ことがわかる。一方、図５〜図７から明らかなように、
電極対数が１３．５対の場合、交叉幅が３．８波長以下
の場合には、共振点−反共振点間の周波数域においてス
プリアス振動が抑制されていることがわかる。これに対
して、電極対数が１３．５対で、交叉幅が６．０波長の
場合（図５参照）には、Ｑ値こそ１６９と高いが、共振
点−反共振点間の周波数域においてかなり大きなスプリ
アス振動が発生している。
数が１２．０対及び交叉幅が２．０波長の場合、共振点
−反共振点間の周波数領域におけるスプリアス振動が抑
圧されているが、Ｑ値は８０と低く、あまり良好でない
ことがわかる。一方、図５〜図７から明らかなように、
電極対数が１３．５対の場合、交叉幅が３．８波長以下
の場合には、共振点−反共振点間の周波数域においてス
プリアス振動が抑制されていることがわかる。これに対
して、電極対数が１３．５対で、交叉幅が６．０波長の
場合（図５参照）には、Ｑ値こそ１６９と高いが、共振
点−反共振点間の周波数域においてかなり大きなスプリ
アス振動が発生している。
【００１３】また、図８及び図９から明らかなように、
電極対数が１７．５対の場合、交叉幅が４．５波長の場
合（図８参照）には、リップルが抑圧されなかった。さ
らに、図９に示されているように、電極対数が１７．５
対で、交叉幅が３．０波長の場合には、リップルは抑制
されていたが、Ｑ値が１１８とそこそこの値が得られ、
メインの振動の応答も良好である。上記のように、６種
類の表面波装置を作製し、スプリアス振動抑圧効果及び
Ｑ値を比較したところ、交叉幅を小さくすればスプリア
ス振動を抑制し得るが、Ｑ値が低下すること、並びに電
極対数によってもＱ値の変化やスプリアス振動抑圧効果
が変わることがわかった。そこで、上記実験に用いた圧
電基板上に、より多くの種類の電極対数及び交叉幅のイ
ンターデジタルトランスデューサを形成し、共振点−反
共振点間の周波数域におけるリップルの抑圧効果及びＱ
値を調べた。結果を、図１に示す。図１において、横軸
は電極対数を、縦軸は交叉幅を示す。また、図１におけ
る評価記号は、以下の意味を示す。
電極対数が１７．５対の場合、交叉幅が４．５波長の場
合（図８参照）には、リップルが抑圧されなかった。さ
らに、図９に示されているように、電極対数が１７．５
対で、交叉幅が３．０波長の場合には、リップルは抑制
されていたが、Ｑ値が１１８とそこそこの値が得られ、
メインの振動の応答も良好である。上記のように、６種
類の表面波装置を作製し、スプリアス振動抑圧効果及び
Ｑ値を比較したところ、交叉幅を小さくすればスプリア
ス振動を抑制し得るが、Ｑ値が低下すること、並びに電
極対数によってもＱ値の変化やスプリアス振動抑圧効果
が変わることがわかった。そこで、上記実験に用いた圧
電基板上に、より多くの種類の電極対数及び交叉幅のイ
ンターデジタルトランスデューサを形成し、共振点−反
共振点間の周波数域におけるリップルの抑圧効果及びＱ
値を調べた。結果を、図１に示す。図１において、横軸
は電極対数を、縦軸は交叉幅を示す。また、図１におけ
る評価記号は、以下の意味を示す。
【００１４】〇 …共振点−反共振点間におけるリップ
ルが発生しておらず、Ｑ値が１００以上であることを示
す。 △ …リップルが幾分か発生しており、Ｑ値が１００以
上であることを示す。 × …共振点−反共振点間における周波数域においてリ
ップルがかなり発生していること及び／またはＱ値が８
０以下でありメインの振動の応答レベルが劣化している
ことを表す。 図１から明らかなように、図１中のＡ〜Ｄで囲まれる領
域に、電極対数及び電極の交叉幅が選択された場合に、
共振点−反共振点間の周波数域におけるリップルの発生
を効果的に抑制することができ、しかもＱ値が１００以
上とされることがわかる。
ルが発生しておらず、Ｑ値が１００以上であることを示
す。 △ …リップルが幾分か発生しており、Ｑ値が１００以
上であることを示す。 × …共振点−反共振点間における周波数域においてリ
ップルがかなり発生していること及び／またはＱ値が８
０以下でありメインの振動の応答レベルが劣化している
ことを表す。 図１から明らかなように、図１中のＡ〜Ｄで囲まれる領
域に、電極対数及び電極の交叉幅が選択された場合に、
共振点−反共振点間の周波数域におけるリップルの発生
を効果的に抑制することができ、しかもＱ値が１００以
上とされることがわかる。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、圧電基
板を伝播する表面波のうち、変位が表面波伝播方向と垂
直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を用い
た端面反射型の表面波装置おいて、インターデジタルト
ランスデューサの電極の対数及び交叉幅が、上記特定の
範囲に選択されているため、共振点−反共振点間の周波
数域におけるリップルを効果的に抑圧することができ、
しかもＱ値の低下を招かないため、メインの振動の応答
レベルの劣化も生じ難い。従って、本発明によれば、共
振特性に優れた表面波装置を得ることができ、例えば広
帯域の電圧制御型発振器用共振子等に好適な表面波装置
を提供することが可能となる。
板を伝播する表面波のうち、変位が表面波伝播方向と垂
直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を用い
た端面反射型の表面波装置おいて、インターデジタルト
ランスデューサの電極の対数及び交叉幅が、上記特定の
範囲に選択されているため、共振点−反共振点間の周波
数域におけるリップルを効果的に抑圧することができ、
しかもＱ値の低下を招かないため、メインの振動の応答
レベルの劣化も生じ難い。従って、本発明によれば、共
振特性に優れた表面波装置を得ることができ、例えば広
帯域の電圧制御型発振器用共振子等に好適な表面波装置
を提供することが可能となる。
【図１】本発明の効果を得ることができるインターデジ
タルトランスデューサの電極の対数及び交叉幅の範囲を
示す図。
タルトランスデューサの電極の対数及び交叉幅の範囲を
示す図。
【図２】本発明が適用される表面波装置の一例を示す斜
視図。
視図。
【図３】本発明が適用される表面波装置の他の例を説明
するための模式的平面図。
するための模式的平面図。
【図４】電極の対数が１２．０対及び交叉幅が２．０波
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
【図５】電極の対数が１３．５対及び交叉幅が６．０波
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
【図６】電極の対数が１３．５対及び交叉幅が３．８波
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
【図７】電極の対数が１３．５対及び交叉幅が３．０波
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
【図８】電極の対数が１７．５対及び交叉幅が４．５波
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
【図９】電極の対数が１７．５対及び交叉幅が３．０波
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
長の場合の表面波装置のインピーダンス−周波数特性及
び位相−周波数特性を示す図。
１…表面波装置 ２…圧電基板 ２ａ，２ｂ…端面 ３，４…インターデジタルトランスデューサを構成する
くし歯電極 ５…インターデジタルトランスデューサ ６〜８…くし歯電極
くし歯電極 ５…インターデジタルトランスデューサ ６〜８…くし歯電極
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板を伝播する表面波のうち、変位
が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨ
タイプの表面波を用いた端面反射型の表面波装置であっ
て、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなる 圧電基板
と、 前記圧電基板上に形成された少なくとも１のインターデ
ジタルトランスデューサとを備え、 前記インターデジタルトランスデューサの電極の対数と
交叉幅とが、電極の対数と交叉幅との関係を示す図１
の、点Ａ（対数＝１２．５、交叉幅＝５波長）、点Ｂ
（対数＝１２．５、交叉幅＝２波長）、点Ｃ（対数＝２
３．５、交叉幅＝１波長）及び点Ｄ（対数＝２３．５、
交叉幅＝２．５波長）で囲まれた範囲にあることを特徴
とする、表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28999591A JP3233290B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28999591A JP3233290B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05129882A JPH05129882A (ja) | 1993-05-25 |
| JP3233290B2 true JP3233290B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=17750421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28999591A Expired - Lifetime JP3233290B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3233290B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5861121B2 (ja) * | 2010-07-22 | 2016-02-16 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 弾性表面波霧化装置 |
-
1991
- 1991-11-06 JP JP28999591A patent/JP3233290B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05129882A (ja) | 1993-05-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH025327B2 (ja) | ||
| JPH0426211A (ja) | 表面波装置 | |
| JP3233290B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JP3951379B2 (ja) | 表面波装置 | |
| CN1075908C (zh) | 表面波谐振器 | |
| JPH08204498A (ja) | 端面反射型表面波装置 | |
| JPH05145369A (ja) | 表面波装置 | |
| JP3250252B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JPH10335966A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3198563B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JP2002368576A (ja) | 弾性波素子 | |
| CN1094678C (zh) | 表面波谐振器 | |
| JP3172523B2 (ja) | 入力と出力との間に対称形の伝送特性を有する表面波インターディジタル変換器および表面波フィルタ | |
| JP3341407B2 (ja) | 端面反射型表面波装置 | |
| JP3239399B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JPH02260908A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS59127413A (ja) | タンタル酸リチウム振動子 | |
| JPH0452005B2 (ja) | ||
| JP3191551B2 (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH05145368A (ja) | 表面波装置 | |
| JP3425261B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0486114A (ja) | 表面波装置 | |
| JPH0452006B2 (ja) | ||
| JP3456810B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPS6382114A (ja) | 弾性表面波素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080921 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080921 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090921 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090921 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 11 |