JPH0486114A - 表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＢＧＳ波等のように変位が表面波伝播方向と
垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波を利
用した表面波装置に関する。

〔従来の技術〕

圧電基板を伝播する表面波のうち、変位が伝播方向と垂
直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの表面波には、
ＢＧＳ波やラブ波等がある。

ＢＧＳ波は、圧電セラミックス等の材料を用いて、例え
ば第２図に示す表面波装置を構成した場合に励振される
。第２図において、１は圧電基板を示し、例えばＰｂ　
（Ｔｉ、Ｚｒ）０３系圧電セラミツクスにより構成され
ている。圧電基板１の表面には、くし歯電極２，３が形
成されている。

くし歯電極２，３は、互いに間挿し合う複数の電極指２
ａ、３ａを有する。なお、２ｂ、３ｂは、それぞれ、バ
スバーを示す、また、矢印Ｐは圧電基板１の分極軸を示
す。

第２図の表面波装置４において、くし歯電極２３から交
流電界を印加すると、表面波伝播方向Ａと垂直な方向の
変位のみ、すなわち横波成分しか有さないＢＧＳ波が励
振される。

ＢＧＳ波を利用した表面波装置４では、ＢＧＳ波は、圧
電基板１の両端面１ａ、１ｂで完全に反射される。従っ
て、表面波装置４では、くし歯電極２，３の側方に反射
器を構成する必要がないため、チップサイズを従来のレ
イリー波を利用した表面波装置に比べて大幅に小型化す
ることができ、かつ両端面の精度を高めることにより、
より高周波域で使用し得るデバイスを提供することがで
きるという、大きな利点を有する。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、表面波装置４では、実際には、両端面１
ａ、ｌｂの精度を高めても、第３図に示すように、イン
ピーダンス−周波数特性上に不要スプリアスＢが生じる
という問題があった。

この不要スプリアスＢは、交流電界が印加された際にバ
スパー２ｂ、３ｂ間で励振されるバルク波の共振に基づ
くものと考えられる。バルク波の基本周波数ｆは、バル
ク波の音速をＶとした場合に、ｆ＝ｖ／２Ｌ（但し、Ｌ
は側面１ｃ、Ｉｄ間の距離）で表される。すなわち、こ
の基本周波数ｆの奇数倍の周波数域において、バルク波
共振に基づく不要スプリアスが発生していた。

よって、本発明の目的は、上記のようなバルク波に基づ
く不要スプリアスを効果的に抑圧し得る構造を備えた、
ＳＨタイプの表面波を利用した表面波装置を提供するこ
とにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の表面波装置は、圧電基板を伝播する表面波のう
ち、変位が表面波伝播方向と垂直な方向の変位を主体と
するＳＨタイプの表面波、すなわちＢＧＳ波やラブ波等
を利用したものであり、下記の構成を備えることを特徴
とする。

圧電基板と、この圧電基板の両端面間でＳＨタイプの表
面波を反射させるように、該圧電基板の表面に形成され
た少なくとも一対の電極とを備え、さらに上記圧電基板
の両端面を結ぶ側面が粗面とされていることを特徴とす
る。

［作用］ バルク波は、ＳＨタイプの表面波の反射される両端面間
を結ぶ一対の側面間において励振される。

本発明では、この一対の側面が粗面とされているため、
一対の側面間にバルク波が定在波として立ち難くされて
いる。すなわち、各側面において、バルク波が乱反射さ
れるため、該バルク波の共振現象が効果的に抑制されて
いる。よって、バルク波共振に基づく不要スプリアスの
発生を効果的に抑制することが可能とされている。

〔実施例の説明〕

以下、本発明の一実施例につき説明する。

第１図において、圧電基板１１の表面にくし歯電極１２
．１３を形成することにより表面波装置１４が形成され
ている。

圧電基板Ｉｆは、Ｐｂ　（Ｔｆ、Ｚｒ）Ｏｘのような圧
電セラミックスよりなり、両端面１１ａ。

１１ｂ間でＢＧＳ波を反射させるために、上記のような
くし歯電極１２．１３を有する。＜シ歯電極１２．１３
は、互いに間挿し合う複数の電極指１２ａ、１３ａをそ
れぞれ有し、各電極指１２ａ。

１３ａは、バスパー１２ｂ、１３ｂにより連結されてい
る。

すなわち、本実施例の表面波装置１４は、第２図に示し
た表面波装置４と同様の電極構造を有する。従って、く
し歯電極１２．１３間に交流電界を印加すれば、矢印Ａ
方向にＢＧＳ波が伝播され、かつ両端面１１ａ、ｌｌｂ
間で該ＢＧＳ波が反射されて共振する。

本実施例の特徴は、圧電基板１１の側面１１ｃｌｉｄが
粗面とされていることにある。すなわち、第４図に断面
図で示すように、側面１１ｃ、１１ｄは、例えばサンド
ブラストによりその表面が凹凸を有するように加工され
ている。よって、本実施例の表面波装置１４では、一対
の側面１１Ｃ１ｌｉｄ間において伝播するバルク波が、
各側面】ｌｃ、ｌｉｄで乱反射され、それによってバル
ク波の共振が抑制されている。

第１図に示した表面波装置１４のインピーダンス−周波
数特性を第５図に示す、この特性は、第１図の寸法ｘ、
ｙ及び２が、それぞれ、８８０μｍ、５５０μｍ及び７
００μｍのチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスよりな
る圧電基板上に１０対のくし歯型１２．１３を形成した
表面波装置についてのものである。

第５図及び第３図を比較すれば明らかなように、本実施
例の表面波装置１４では、反共振周波数よりも高周波域
側における不要スプリアスが大幅に低減されていること
、並びに共振抵抗と反共振抵抗との比も大幅に高められ
ていることがわかる。

すなわち、バルク波の共振に基づく不要スプリアスがほ
とんど発生していないインピーダンス−周波数特性の実
現されることがわかる。

なお、上記実施例では、側面１１ｃ、ｌｉｄをサンドブ
ラストにより粗面としていたが、この粗面とする処理は
、他の方法によってもよい。例えば、側面１１Ｃ，ｌｉ
ｄに複数本の溝を適宜形成したり、あるいはランダムな
凹凸を付与することにより、側面１１ｃ、１１ｄを粗面
としても、同様にバルク波の共振を抑圧することができ
る。

また、上記実施例はＢＯ３波を利用した表面波装置につ
き説明したが、ラブ波のような他の形式のＳＨタイプの
表面波を利用した表面波装置にも本発明を適用すること
ができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ＳＨタイプの表面波が反射される両端
面を結ぶ一対の側面が粗面とされているため、該一対の
側面間に発生するバルク波の共振を効果的に抑制するこ
とができ、それによってインピーダンス−周波数特性上
に現れるバルク波の共振に基づく不要スプリアスを効果
的に抑制することができる。よって、インピーダンス−
周波数特性の優れた表面波装置を提供することが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかる表面波装置の斜視図
、第２図は従来の表面波装置の斜視図、第３図は従来の
表面波装置のインピーダンス−周波数特性を示す図、第
４図は第一実施例の表面波装置の断面図、第５図は第１
図実施例の表面波装置のインピーダンス−周波数特性を
示す図である。 図において、１１は圧電基板、ｌｌａ、ｌｌｂは端面、
ｌｌｃ、ｌｉｄは側面、１２．１３はくし歯電極、１４
は表面波装置、ＡはＢＯ３波の伝播方向を示す。 第　３　　Ｌン１ １２図 周　′ｊｌ　畝 （Ｍ）−１２） 第４ 図 第５図 周波ｒ匁 （ＭＨｚ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板を伝播する表面波のうち、変位が表面波
   伝播方向と垂直な方向の変位を主体とするＳＨタイプの
   表面波を利用した表面波装置であって、 圧電基板と、 前記圧電基板の両端面間で表面波を反射させるように、
   該圧電基板の表面に形成された少なくとも一対の電極と
   を備え、 前記圧電基板の両端面を結ぶ側面が粗面とされているこ
   とを特徴とする、表面波装置。