JPH05145369A - 表面波装置 - Google Patents
表面波装置Info
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- JPH05145369A JPH05145369A JP3303496A JP30349691A JPH05145369A JP H05145369 A JPH05145369 A JP H05145369A JP 3303496 A JP3303496 A JP 3303496A JP 30349691 A JP30349691 A JP 30349691A JP H05145369 A JPH05145369 A JP H05145369A
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- Japan
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- piezoelectric
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Abstract
抑圧し得る、ＢＧＳ波を利用した表面波装置を得る。 【構成】 圧電基板上に少なくともひとつのインターデ
ジタルトランスデューサを設けてなる、ＢＧＳ波を利用
した表面波装置において、圧電基板として、実効ポアソ
ン比σt が３．０以上の材料からなるものを用いた、表
面波装置。
Description
面波装置に関し、特に、圧電セラミック基板材料を選択
することにより共振特性が改良された表面波装置に関す
る。
反射型表面波共振子を示す斜視図である。表面波共振子
１は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧
電セラミックスからなる矩形の圧電基板２を用いて構成
されている。圧電基板２は、矢印Ｐ方向に分極処理され
ている。圧電基板２の上面には、一対のくし歯電極３，
４が形成されている。くし歯電極３，４は、それぞれ、
複数本の電極指を有し、該複数本の電極指が互いに間挿
しあうように配置されている。表面波共振子１では、く
し歯電極３，４間に交流電界を引加することにより矢印
Ｘ方向またはＸ方向と逆方向にＢＧＳ波が励起され、励
起されたＢＧＳ波が矢印Ｘ方向又はＸ方向と逆方向に伝
播し、端面２ａ，２ｂ間で反射されるように構成されて
いる。
面波共振子１は、端面２ａ，２ｂ間でＢＧＳ波が反射さ
れることにより共振子として動作する。従って、端面２
ａ，２ｂの精度は、可能な限り高める必要がある。そし
て、この端面２ａ，２ｂの精度を可能な限り高めること
により、良好な共振特性が得られるとされている。しか
しながら、端面２ａ，２ｂの精度を高めるのにも限度が
あり、したがって、実際には、端面２ａ，２ｂの精度を
可能な限り高めたとしても、共振点−反共振点間、特に
反共振周波数近傍の周波数領域においてかなりの強さの
スプリアス振動が発生するという問題があった。
少ない、良好な共振特性を有するＢＧＳ波を利用した表
面波装置を提供することにある。
波を利用した表面波装置において、端面精度を高めるの
にも限界があることに鑑み、所望でないスプリアス振動
を抑圧する方法を鋭意検討した結果、圧電基板材料とし
て、下記の実効ポアソン比σt が０．３以上の材料を用
いれば、スプリアス振動を効果的に抑圧し得ることを見
出し、本発明を成すに至った。すなわち、本発明は、圧
電基板と、圧電基板上に設けられた少なくともひとつの
インターデジタルトランスデューサとを備えるＢＧＳ波
を利用した表面波装置において、上記圧電基板が、実効
ポアソン比σt が３．０以上の材料で構成されているこ
とを特徴とする。上記実効ポアソン比σt は、門田によ
り提案された定数であり（昭和５１年、日本音響学会春
季全国大会（昭和５１年５月）４−４−９号参照）、下
記の式で定義される定数である。
実効ポアソン比σtが３．０以上の材料で圧電基板が構
成されているため、後述の実施例から明らかなように、
不要スプリアス振動を効果的に抑圧することができる。
る下記の表１に示す種々の組成のチタン酸ジルコン酸鉛
系圧電セラミックスＰｂＴｉ1-x Ｏ3 −ＰｂＺｒX Ｏ3
を用い、圧電基板を作製し、図２に示した端面反射型の
表面波共振子１を作製した。なお、使用した圧電基板の
寸法は、０．９０×０．９２×０．８ｍｍであり、該圧
電基板の上面に、電極の対数が１５対及び交叉幅７波長
のインターデジタルトランスデューサを形成した。
について、共振特性、すなわちインピーダンス−周波数
特性及び位相−周波数特性を測定した。そして、所望で
ないスプリアス振動がほとんど発生していない場合を○
印を付し、所望でないスプリアス振動が発生している場
合を×印を付して、表１に示した。なお、上記スプリア
ス振動が発生していない場合及び発生している場合の特
性の例を、図３及び図４に示す。図３は、スプリアス振
動が発生していない表面波共振子（組成Ｂの圧電材料を
使用したもの）のインピーダンス−周波数特性（実線）
及び位相−周波数特性（破線）を、図４は、スプリアス
振動が発生している表面波共振子（組成Ｆを使用）のイ
ンピーダンス−周波数特性（実線）及び位相−周波数特
性（破線）を示す。
電基板を用いた場合には、スプリアス振動が抑圧されて
いるのに対し、組成Ｅ〜Ｇの圧電基板を用いた場合には
スプリアス振動がかなりの程度で発生することがわかっ
た。そこで、組成Ａ〜Ｄと、組成Ｅ〜Ｇの圧電基板の材
料定数の違いを検討した結果、組成Ａ〜Ｄでは、上記実
効ポアソン比σt が３．０以上であるのに対し、組成Ｅ
〜Ｇの圧電基板では、上記実効ポアソン比σt が３．０
未満であることから、上記スプリアス振動は、実効ポア
ソン比σt が３．０以上の材料を用いて圧電基板を構成
することにより抑圧されることがわかる。
３．０以上の材料を用いて圧電基板を構成し、該圧電基
板を用いれば、良好な共振特性を有する端面反射型の表
面波共振子が得られる。上記実施例では、図２に示した
端面反射型の表面波共振子１を例にとり説明したが、本
発明は、複数のインターデジタルトランスデューサが形
成された表面波フィルター等の端面反射型の他の表面波
装置にも適用することができることを指摘しておく。
３．０以上の材料からなる圧電基板を用いているため、
スプリアス振動を効果的に抑圧することが可能となる。
したがって、圧電基板の端面の精度を高めるだけでは実
現し得なかった優れた共振特性を有する、ＢＧＳ波を利
用した表面波装置を提供することが可能となる。
するための図。
を示す斜視図。
いた表面波共振子のインピーダンス−周波数特性及び位
相−周波数特性を示す図。
る圧電基板を用いた表面波共振子のインピーダンス−周
波数特性及び位相−周波数特性を示す図。
くし歯電極
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板と、圧電基板上に設けられた少
なくともひとつのインターデジタルトランスデューサと
を備えるＢＧＳ波を利用した表面波装置において、 前記圧電基板が、実効ポアソン比σt が０．３以上の材
料で構成されていることを特徴とする、表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3303496A JPH05145369A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3303496A JPH05145369A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05145369A true JPH05145369A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=17921667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3303496A Pending JPH05145369A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05145369A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07122966A (ja) * | 1993-10-21 | 1995-05-12 | Murata Mfg Co Ltd | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
| JPH07154195A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH07154198A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH07154197A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
| JPH08116233A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電共振部品 |
| JPH08288785A (ja) * | 1995-04-11 | 1996-11-01 | Murata Mfg Co Ltd | 幅モードを利用した共振子及び共振部品 |
| US5767603A (en) * | 1994-03-04 | 1998-06-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonators for trap circuits having a plurality of trap frequencies |
| FR2798925A1 (fr) | 1999-09-29 | 2001-03-30 | Murata Manufacturing Co | Ceramique piezoelectrique et dispositif a ondes de surface l'utilisant |
-
1991
- 1991-11-19 JP JP3303496A patent/JPH05145369A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH07154195A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-06-16 | Murata Mfg Co Ltd | ラダー型フィルタ |
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| FR2798925A1 (fr) | 1999-09-29 | 2001-03-30 | Murata Manufacturing Co | Ceramique piezoelectrique et dispositif a ondes de surface l'utilisant |
| DE10048373C2 (de) * | 1999-09-29 | 2003-02-06 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrische Keramiken und Verwendung derselben als Oberflächenwellenbauelemente |
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