JPS6240811A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS6240811A JPS6240811A JP18073985A JP18073985A JPS6240811A JP S6240811 A JPS6240811 A JP S6240811A JP 18073985 A JP18073985 A JP 18073985A JP 18073985 A JP18073985 A JP 18073985A JP S6240811 A JPS6240811 A JP S6240811A
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- Japan
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- substrate
- groove
- electrode
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、不要波特にバルク波を有効に抑圧するように
した弾性表面波装置に関する。
した弾性表面波装置に関する。
弾性表面波装置は、セラミックス圧電磁器基板、ＬｉＮ
ｂ０□単結晶基板、ＺｎＯ膜が被着されたガラス基板な
どの表面波基板上にインターディジタル形状のトランス
ジューサを設けて構成されるが、このトランスジューサ
で表面波を励受信する際、同時にバルク波も励受信され
る。このバルク波は周波数特性におけるスプリアス鯵害
となる。
ｂ０□単結晶基板、ＺｎＯ膜が被着されたガラス基板な
どの表面波基板上にインターディジタル形状のトランス
ジューサを設けて構成されるが、このトランスジューサ
で表面波を励受信する際、同時にバルク波も励受信され
る。このバルク波は周波数特性におけるスプリアス鯵害
となる。
このようなバルク波を除去するために、従来から表面波
基板の裏面に表面伝播方向と直交する溝を形成する手段
が提案され、更に、バルク波抑圧効果を高めるために溝
の長さや幅を変えたり、溝を形成する方向を伝播方向に
沿わせたり、あるいは、伝播方向に対し成る角度を持た
せるようにする等種々のものが考えられている。
基板の裏面に表面伝播方向と直交する溝を形成する手段
が提案され、更に、バルク波抑圧効果を高めるために溝
の長さや幅を変えたり、溝を形成する方向を伝播方向に
沿わせたり、あるいは、伝播方向に対し成る角度を持た
せるようにする等種々のものが考えられている。
しかしながら、従来方式によりある程度の効果は得られ
ているものの、例えばテレビジョン受像機の映像中間周
波数段フィルタ等に用いる場合には未だ発生ずるバルク
波による障害が問題となる等の不十分さが残っていた。
ているものの、例えばテレビジョン受像機の映像中間周
波数段フィルタ等に用いる場合には未だ発生ずるバルク
波による障害が問題となる等の不十分さが残っていた。
本発明は前記事情に鑑みてなされたものであり、バルク
波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提供することを
目的とするものである。
波を有効に抑圧できる弾性表面波装置を提供することを
目的とするものである。
前記目的を達成するために本発明は、人、出力電極直下
及び表面波伝搬路直下に位置する溝の間隅金特定の条件
の下に設定することを特徴とするものである。
及び表面波伝搬路直下に位置する溝の間隅金特定の条件
の下に設定することを特徴とするものである。
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明をテレビジョン受像機の映像中間周波段
フィルタに適用した実施例を示すものであり、同図（ａ
）が平面図、同図（ｂ）が正面図、同図（Ｃ）が底面図
である。尚、同図では説明の便宜−１−厚み方向を拡大
して示している。同図において１はセラミックス圧電磁
器基板、ＺｎＯ膜が設けられたガラス基板、１．１Ｎｂ
ｏ□１Ｆ結晶基板等で形成された表面波基板であり、こ
の基板１の表面ｌａ上には例えばインターディジタル形
状の入出力電極２．３が形成されている。入力電極２に
は電気信号が加えられ、弾性表面波ＳＡＷに変換され、
変換されたＳＡＷは伝播方向（矢印入方向）に沿って伝
播され出力電極３で再び電気信号に変換されて出力とし
て取り出される。
フィルタに適用した実施例を示すものであり、同図（ａ
）が平面図、同図（ｂ）が正面図、同図（Ｃ）が底面図
である。尚、同図では説明の便宜−１−厚み方向を拡大
して示している。同図において１はセラミックス圧電磁
器基板、ＺｎＯ膜が設けられたガラス基板、１．１Ｎｂ
ｏ□１Ｆ結晶基板等で形成された表面波基板であり、こ
の基板１の表面ｌａ上には例えばインターディジタル形
状の入出力電極２．３が形成されている。入力電極２に
は電気信号が加えられ、弾性表面波ＳＡＷに変換され、
変換されたＳＡＷは伝播方向（矢印入方向）に沿って伝
播され出力電極３で再び電気信号に変換されて出力とし
て取り出される。
基板１の四面１ｂには伝播方向Ａに沿って、伝播方向Ａ
対し成る角度（例えば４５度）をもつ細長い複数の溝４
ａ〜４ｎがダイヤモンドカッタ、リュータ−等で形成さ
れている。ごれらの溝４ａ〜４ｎは同一の幅と深さに形
成されている。
対し成る角度（例えば４５度）をもつ細長い複数の溝４
ａ〜４ｎがダイヤモンドカッタ、リュータ−等で形成さ
れている。ごれらの溝４ａ〜４ｎは同一の幅と深さに形
成されている。
第２図は基板１の裏面（又は底面）ｌｂに形成した溝４
ａ〜４ｂの角度を９０度異ならせた場合を示すものであ
り、他の要素は第１図の場合と全く同一である。
ａ〜４ｂの角度を９０度異ならせた場合を示すものであ
り、他の要素は第１図の場合と全く同一である。
基板１の裏面１ｂに伝播方向Ａに沿って、伝播方向へに
対し成る角度をもつ複数の溝を設ける事は、伝播方向Ａ
に対して垂直にそろったバルク波が伝播方向Ａに沿って
伝わり裏面１ｂに反射するのでバルク波の伝播方向Ａと
垂直な方向の乱れを助長するものである。従って伝播方
向に対して垂直な方向に設けた溝よりもバルク波の底面
反射によるスプリアスを低減する効果が大きい。
対し成る角度をもつ複数の溝を設ける事は、伝播方向Ａ
に対して垂直にそろったバルク波が伝播方向Ａに沿って
伝わり裏面１ｂに反射するのでバルク波の伝播方向Ａと
垂直な方向の乱れを助長するものである。従って伝播方
向に対して垂直な方向に設けた溝よりもバルク波の底面
反射によるスプリアスを低減する効果が大きい。
但し、第１図（ｂ）に見られる様に裏面１ｂに設けられ
た溝がバルク波をさえぎる時、バルク波反射は、その伝
播方向Ａに沿って基板を縦に切っ □た時の断面形状に
依存する。
た溝がバルク波をさえぎる時、バルク波反射は、その伝
播方向Ａに沿って基板を縦に切っ □た時の断面形状に
依存する。
従って以下、溝のピンチ、？ａの幅、溝の深さは、上記
第１図（ｂ）で切断面を言う。
第１図（ｂ）で切断面を言う。
ここで本発明の特徴は前記複数の溝４ａ〜４ｎを特定の
条件を満足する位置となるように設定しているところに
あるのでその詳細説明を第３図及び第４図をも参照して
説明する。尚、第３図及び第４図は共に説明の便宜上基
板１を第１図（ｂ）の背面方向から見た状態であり、か
つ、第１図（ｃ）の中央部分をＴ−１線で切断した断面
図を示している。
条件を満足する位置となるように設定しているところに
あるのでその詳細説明を第３図及び第４図をも参照して
説明する。尚、第３図及び第４図は共に説明の便宜上基
板１を第１図（ｂ）の背面方向から見た状態であり、か
つ、第１図（ｃ）の中央部分をＴ−１線で切断した断面
図を示している。
一ト記特定条件としては２種類存在するので、以下順次
述べる。いずれも入力電極２の中心線を０２とし、出力
電極３の中心線を０３とし、両電極中心間距離をＬとし
、基板１の厚みをｔとし、形成すべきｍ４Ａ、４Ｂの溝
幅をＷとし、溝深さをｄとし、′ａ４Ａと４Ｂのピンチ
をＰとし、各電極の中心０□、０３間の距離りの中心点
をＯとした場合である。
述べる。いずれも入力電極２の中心線を０２とし、出力
電極３の中心線を０３とし、両電極中心間距離をＬとし
、基板１の厚みをｔとし、形成すべきｍ４Ａ、４Ｂの溝
幅をＷとし、溝深さをｄとし、′ａ４Ａと４Ｂのピンチ
をＰとし、各電極の中心０□、０３間の距離りの中心点
をＯとした場合である。
（１）第１の条件は第３図において、両電極２゜３の下
方及び表面波伝搬路の下方に形成される溝４Ａ、４Ｂ間
のピッチＰが下式（１）を満足している場合である。
方及び表面波伝搬路の下方に形成される溝４Ａ、４Ｂ間
のピッチＰが下式（１）を満足している場合である。
を
即ち、複数の溝の間隔Ｐが上記範囲に含まれるように設
定すればよい。
定すればよい。
（２）第２の条件は第４図において、両電極間の中心点
０から谷溝４Ａ、４Ｂの中心迄の距離Ｇが次式（２）を
満足するように設定することである。
０から谷溝４Ａ、４Ｂの中心迄の距離Ｇが次式（２）を
満足するように設定することである。
即ち、上記距＃Ｇ内に少なくとも１個の溝を形成するよ
うにすることである。
うにすることである。
以上の第１．第２の各条件のうち、いずれかを満足する
ものであれば、目的が達成できる。
ものであれば、目的が達成できる。
次に上記条件を設定した場合の効果について、その他の
条件による場合との比較において述べる。
条件による場合との比較において述べる。
第５図は、それぞれ同一の深さと幅を有する複数の溝を
任意の間隔をもって形成したもので４種類のモー１”
（ＭＯＤＥ）を示しており、前記第１図（ｃ）の１−１
線断面を背面から見た状態を示す。
任意の間隔をもって形成したもので４種類のモー１”
（ＭＯＤＥ）を示しており、前記第１図（ｃ）の１−１
線断面を背面から見た状態を示す。
同図（ａ）は、例えば第１の溝４Ａが入力電極２の左端
部直下から左に向って形成され、それに隣接する第２の
溝４Ｂの右端部が出力電極３の右端と一致し、出力電極
に含まれる位置に亙るように形成されている場合であり
、このような隣接間隔を有するように他の溝を形成した
場合（ＭＯＤＥ Ｍ）である。
部直下から左に向って形成され、それに隣接する第２の
溝４Ｂの右端部が出力電極３の右端と一致し、出力電極
に含まれる位置に亙るように形成されている場合であり
、このような隣接間隔を有するように他の溝を形成した
場合（ＭＯＤＥ Ｍ）である。
同図（ｂ）は、第１の溝４Ａが入力電極２の左端から右
方向に延在するようにし、隣接する第２の溝４Ｂが出力
電極３の右端から右方向に延在しているようにし、他の
溝の間隔も同等の間隔を保つように形成した場合（ＭＯ
ＤＥ Ｂ）である。
方向に延在するようにし、隣接する第２の溝４Ｂが出力
電極３の右端から右方向に延在しているようにし、他の
溝の間隔も同等の間隔を保つように形成した場合（ＭＯ
ＤＥ Ｂ）である。
同図（ｃ）は、前記ＭＯＤＥ Ｂの溝位置をゎずかに図
示右方向にずらしたものである（ＭＯＤＥ Ｃ）。
示右方向にずらしたものである（ＭＯＤＥ Ｃ）。
同図（ｄ）は、入出力電極２，３直下に位置する溝４Ａ
、４Ｂが前記第（１）式及び第（２）式の関係を保つよ
うにし、これを中心として他の溝を等間隔に形成した場
合（ＭＯＤＥ Ｄ）である。
、４Ｂが前記第（１）式及び第（２）式の関係を保つよ
うにし、これを中心として他の溝を等間隔に形成した場
合（ＭＯＤＥ Ｄ）である。
次に、上記各モードによるフィルタ特性を第６図乃至第
９閏に示して効果を説明する。
９閏に示して効果を説明する。
第６図はＭＯＤＥ Ｍの場合、第７図はＭＯＤＥ Ｈの
場合、第８図はＭＯＤＥ Ｃの場合、第９図はＭＯＤＥ
Ｄの場合である。いずれも５０〜６０ＭＨｚに中心周
波数を有するフィルタであるが、６０〜６５ＭＨｚ帯に
おいては第７図、第８図、６０〜７５ＭＨｚ帯において
は第６図更に６０〜８０ＭＨｚ帯においては第９図に示
したものが良好な減衰特性を有していることが理解され
る。
場合、第８図はＭＯＤＥ Ｃの場合、第９図はＭＯＤＥ
Ｄの場合である。いずれも５０〜６０ＭＨｚに中心周
波数を有するフィルタであるが、６０〜６５ＭＨｚ帯に
おいては第７図、第８図、６０〜７５ＭＨｚ帯において
は第６図更に６０〜８０ＭＨｚ帯においては第９図に示
したものが良好な減衰特性を有していることが理解され
る。
つまり、第５図に於いて、基板内、特に底面に反射して
伝わるバルク波は、その基板内への入力電極からの入射
角により、多様な伝搬形態を取る事に起因する。第５図
（ａ）のＭＰＤＢ八では、入力、−電極より入射したバ
ルク波が、２回反射を起こし、出力電極に到達してしま
う。同様にＭＯＤＥ Ｃでは、１回反射によりバルク波
が出力電極に達する。これが第６図つまりＭＯＤＥ Ａ
での８０ ＭＨｚ付近のスプリアス、第８図つまりＭＯ
ＤＥ Ｃでの７０ＭＨｚ付近のスプリアスとなって表わ
れているのがわかる。
伝わるバルク波は、その基板内への入力電極からの入射
角により、多様な伝搬形態を取る事に起因する。第５図
（ａ）のＭＰＤＢ八では、入力、−電極より入射したバ
ルク波が、２回反射を起こし、出力電極に到達してしま
う。同様にＭＯＤＥ Ｃでは、１回反射によりバルク波
が出力電極に達する。これが第６図つまりＭＯＤＥ Ａ
での８０ ＭＨｚ付近のスプリアス、第８図つまりＭＯ
ＤＥ Ｃでの７０ＭＨｚ付近のスプリアスとなって表わ
れているのがわかる。
第９図つまりＭＯＤＥ Ｄでは、この溝位置が丁度バル
ク波の底面反射を起こす位置付近としたため、上記スプ
リアスが除去されている。この溝位置及び形状を用いる
事により、有効に２種類のスプリアスを除去したフィル
ターの作成が容易に可能な事がわかる。
ク波の底面反射を起こす位置付近としたため、上記スプ
リアスが除去されている。この溝位置及び形状を用いる
事により、有効に２種類のスプリアスを除去したフィル
ターの作成が容易に可能な事がわかる。
このときの溝形状は（１）式、（２）式を満たしている
。
。
本発明は前記実施例に限定されず、種々の変形が可能で
ある。
ある。
例えば上記実施例では谷溝を斜めに形成したが、基板の
長手方向にある角度をもって直線状としてもよい。
長手方向にある角度をもって直線状としてもよい。
以上詳述した本発明によれば、バルク波を有効に押印で
きる弾性表面波装置を提供することができる。
きる弾性表面波装置を提供することができる。
第１図（ａ）、−（ｂ）、（ｃ）は本発明の一実施例を
示す平面図、正面図、底面図であり、第２図は本発明の
他の実施例を示す底面図、第３図及び第４図は本、発明
の特徴である溝の設定条件を説明するための断面図、第
５図（ａ）〜（ｄ）は本発明の詳細な説明するための各
種溝設定モードを示す断面図、第６図乃至第９図は本発
明の効果を示すためのもので前記各種溝設定モードに対
応したフィルタ特性図を示すものである。 １・・・基板、１ａ・・・基板表面（平面）、１ｂ・・
・基板裏面（底面）、２・・・入力電極、３・・・出力
電極、４ａ〜４ｎ、４Ａ、４Ｂ・・・溝。 一４只− 手続補正書 昭和６０年１０月１４日 昭和６０年特許願第１８０７３９号 ２、発明の名称 弾性表面波装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ５、補正命令の日付 自 発 ６、補正の対椋 明細書の特許請求の範囲の欄、発明の 詳細な説明の欄。 刀１」紙（２） 月１」紙（１） 補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙（２）の如く訂正する。 （２）明細書第４頁第１９行目の１４６」を「４ｎ」に
訂正する。 （３）同第７頁第１行目のｒ４Ａ、４Ｂｊを［４Ｃ１４
ＤＪに訂正する。 （４）同第９頁第６行目のＩＥＰ叶」を「８０叶」に訂
正する。 以 」ニ ー２、 特許請求の範囲 （１）基板表面に入力電極と出力電極か設けられ、その
反対面に複数の溝が設けられた弾性表面波装置において
、前記複数の溝のうち上記入出力電極直下に隣接する２
個の溝の関係が次の２種類の式のいずれか１つを満足す
るものであることを特徴とする弾性表面波装置。 ２個の溝間のピッチＰが次式を満足することし・Ａ Ｗ＜Ｐ＜ ヤ ＋Ｗ ・・・（１）２
個の溝の中心間距離Ｇが次式を満足することＬ
Ｌ−Ａ Ｑ＜−（−＋Ｗ＞ ・・・（２）ｔ （２）前記溝が基板の長手方向に対して所定の角度をも
って斜めに形成されている特許請求の範囲第１項記載の
弾性表面装置。
示す平面図、正面図、底面図であり、第２図は本発明の
他の実施例を示す底面図、第３図及び第４図は本、発明
の特徴である溝の設定条件を説明するための断面図、第
５図（ａ）〜（ｄ）は本発明の詳細な説明するための各
種溝設定モードを示す断面図、第６図乃至第９図は本発
明の効果を示すためのもので前記各種溝設定モードに対
応したフィルタ特性図を示すものである。 １・・・基板、１ａ・・・基板表面（平面）、１ｂ・・
・基板裏面（底面）、２・・・入力電極、３・・・出力
電極、４ａ〜４ｎ、４Ａ、４Ｂ・・・溝。 一４只− 手続補正書 昭和６０年１０月１４日 昭和６０年特許願第１８０７３９号 ２、発明の名称 弾性表面波装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ５、補正命令の日付 自 発 ６、補正の対椋 明細書の特許請求の範囲の欄、発明の 詳細な説明の欄。 刀１」紙（２） 月１」紙（１） 補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙（２）の如く訂正する。 （２）明細書第４頁第１９行目の１４６」を「４ｎ」に
訂正する。 （３）同第７頁第１行目のｒ４Ａ、４Ｂｊを［４Ｃ１４
ＤＪに訂正する。 （４）同第９頁第６行目のＩＥＰ叶」を「８０叶」に訂
正する。 以 」ニ ー２、 特許請求の範囲 （１）基板表面に入力電極と出力電極か設けられ、その
反対面に複数の溝が設けられた弾性表面波装置において
、前記複数の溝のうち上記入出力電極直下に隣接する２
個の溝の関係が次の２種類の式のいずれか１つを満足す
るものであることを特徴とする弾性表面波装置。 ２個の溝間のピッチＰが次式を満足することし・Ａ Ｗ＜Ｐ＜ ヤ ＋Ｗ ・・・（１）２
個の溝の中心間距離Ｇが次式を満足することＬ
Ｌ−Ａ Ｑ＜−（−＋Ｗ＞ ・・・（２）ｔ （２）前記溝が基板の長手方向に対して所定の角度をも
って斜めに形成されている特許請求の範囲第１項記載の
弾性表面装置。
Claims (2)
- （１）表面基板に入力電極と出力電極が設けられ、その
反対面に複数の溝が設けられた弾性表面波装置において
、前記複数の溝のうち上記入出力電極直下に隣接する２
個の溝の関係が次の２種類の式のいずれか１つを満足す
るものであることを特徴とする弾性表面波装置。 ２個の溝間のピッチＰが次式を満足することＷ＜Ｐ＜Ｌ
・ｄ／ｔ＋Ｗ ・・・（１）２個の溝の中心間距
離Ｇが次式を満足することＧ＜１／２（Ｌ・ｄ／ｔ＋Ｗ
） ・・・（２）但し Ｌ・・・入、出力電極間の中心
距離 ｔ・・・基板の厚み ｗ・・・溝の幅 ｄ・・・溝の深さ - （２）前記溝が基板の長手方向に対して所定の角度をも
って斜めに形成されている特許請求の範囲第１項記載の
弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18073985A JPS6240811A (ja) | 1985-08-17 | 1985-08-17 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18073985A JPS6240811A (ja) | 1985-08-17 | 1985-08-17 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6240811A true JPS6240811A (ja) | 1987-02-21 |
Family
ID=16088463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18073985A Pending JPS6240811A (ja) | 1985-08-17 | 1985-08-17 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6240811A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01137624U (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-20 | ||
| WO2004095699A1 (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| US7148769B2 (en) * | 2004-03-15 | 2006-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and process for fabricating the same |
| JP2019510391A (ja) * | 2016-02-01 | 2019-04-11 | ソイテック | 表面音響波デバイスのためのハイブリッド構造 |
-
1985
- 1985-08-17 JP JP18073985A patent/JPS6240811A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01137624U (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-20 | ||
| WO2004095699A1 (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| US7148769B2 (en) * | 2004-03-15 | 2006-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and process for fabricating the same |
| JP2019510391A (ja) * | 2016-02-01 | 2019-04-11 | ソイテック | 表面音響波デバイスのためのハイブリッド構造 |
| US11335847B2 (en) | 2016-02-01 | 2022-05-17 | Soitec | Hybrid structure for a surface acoustic wave device |
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