JP2531266B2 - 振動子の支持構造 - Google Patents
振動子の支持構造Info
- Publication number
- JP2531266B2 JP2531266B2 JP14777989A JP14777989A JP2531266B2 JP 2531266 B2 JP2531266 B2 JP 2531266B2 JP 14777989 A JP14777989 A JP 14777989A JP 14777989 A JP14777989 A JP 14777989A JP 2531266 B2 JP2531266 B2 JP 2531266B2
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- Japan
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- vibrator
- support members
- support
- support structure
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は振動子の支持構造に関し、特にたとえば振
動ジャイロなどに用いられる屈曲振動モードを有する振
動子の支持構造に関する。
動ジャイロなどに用いられる屈曲振動モードを有する振
動子の支持構造に関する。
（従来技術） 従来、たとえば振動ジャイロなどに用いられる振動子
は、そのノード点近傍に取り付けられた２つの線状の支
持部材のそれぞれの両端をゴムなどの緩衝材に固着する
ことによって、浮かした状態で支持されていた。
は、そのノード点近傍に取り付けられた２つの線状の支
持部材のそれぞれの両端をゴムなどの緩衝材に固着する
ことによって、浮かした状態で支持されていた。
（発明が解決しようとする課題） ところが、従来の支持構造では、２つの支持部材が互
いに逆方向に振動し振動子の屈曲を抑圧するので、安定
した振動姿勢をとることができない。
いに逆方向に振動し振動子の屈曲を抑圧するので、安定
した振動姿勢をとることができない。
それゆえに、この発明の主たる目的は、振動子の安定
した振動姿勢を確保することができる、振動子の支持構
造を提供することである。
した振動姿勢を確保することができる、振動子の支持構
造を提供することである。
（課題を解決するための手段） この発明は、複数の支持部材が取り付けられた振動子
を支持するための振動子の支持構造であって、支持台
と、支持台の上に形成される緩衝材と、緩衝材の上に形
成され、それぞれに複数の支持部材が個別に固着される
分割された基板とを含む、振動子の支持構造である。
を支持するための振動子の支持構造であって、支持台
と、支持台の上に形成される緩衝材と、緩衝材の上に形
成され、それぞれに複数の支持部材が個別に固着される
分割された基板とを含む、振動子の支持構造である。
（作用） 振動子が屈曲振動する場合、複数の支持部材も屈曲す
るが、この場合、複数の支持部材は、分割された基板と
ともに個別に変位する。
るが、この場合、複数の支持部材は、分割された基板と
ともに個別に変位する。
（発明の効果） この発明によれば、複数の支持部材が個別に変位する
ので、支持部材によって振動子の振動が抑圧されない。
そのため、振動子の安定した振動姿勢を確保することが
できる。
ので、支持部材によって振動子の振動が抑圧されない。
そのため、振動子の安定した振動姿勢を確保することが
できる。
この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利
点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。
（実施例） 第1A図および第1B図は、それぞれ、この発明の一実施
例を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図はその正
面図である。
例を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図はその正
面図である。
この発明は振動子の支持構造に関するが、この実施例
では、まず、支持される振動子について説明する。振動
子10は、たとえば正３角柱状の振動体12を含む。この振
動体12は、たとえばエリンバ，鉄−ニッケル合金，石
英，ガラス，水晶，セラミックなど、一般的に機械的な
振動を生じる材料で形成される。
では、まず、支持される振動子について説明する。振動
子10は、たとえば正３角柱状の振動体12を含む。この振
動体12は、たとえばエリンバ，鉄−ニッケル合金，石
英，ガラス，水晶，セラミックなど、一般的に機械的な
振動を生じる材料で形成される。
この振動体12には、その３つの側面の中央に、それぞ
れ、圧電素子14a,14bおよび14cが形成される。
れ、圧電素子14a,14bおよび14cが形成される。
さらに、振動体12には、振動体12の長手方向の長さを
Ｌとすると、圧電素子14aおよび14bが形成された側面間
の稜線部分において、その両端からたとえば0.224Lの長
さだけ内側の部分に、たとえば線材からなるコ字形の支
持部材16および18の中央部分が、それぞれたとえば溶
着，接着などの方法で固着される。
Ｌとすると、圧電素子14aおよび14bが形成された側面間
の稜線部分において、その両端からたとえば0.224Lの長
さだけ内側の部分に、たとえば線材からなるコ字形の支
持部材16および18の中央部分が、それぞれたとえば溶
着，接着などの方法で固着される。
この振動子10は、圧電素子14aおよび14bに駆動信号を
印加するかあるいは圧電素子14cに駆動信号を印加すれ
ば、振動体12が圧電素子14cの主面に直交する方向に振
動する。この場合、振動子10のノード点は、振動体12の
長手方向の長さをＬとすると、振動体12の中心軸線上に
おいてその両端からそれぞれ0.224Lの長さだけ内側の点
にある。そのため、２つの支持部材16および18は、振動
体12の軸方向において互いに逆方向に屈曲する。
印加するかあるいは圧電素子14cに駆動信号を印加すれ
ば、振動体12が圧電素子14cの主面に直交する方向に振
動する。この場合、振動子10のノード点は、振動体12の
長手方向の長さをＬとすると、振動体12の中心軸線上に
おいてその両端からそれぞれ0.224Lの長さだけ内側の点
にある。そのため、２つの支持部材16および18は、振動
体12の軸方向において互いに逆方向に屈曲する。
この実施例の支持構造は、たとえば金属，セラミック
などの材料からなる矩形板状の支持台20を含む。この支
持台20の一方主面上には、たとえばゴム，スポンジなど
の弾圧材料からなる緩衝材22が接着される。
などの材料からなる矩形板状の支持台20を含む。この支
持台20の一方主面上には、たとえばゴム，スポンジなど
の弾圧材料からなる緩衝材22が接着される。
この緩衝材22の一方主面上には、その長手方向に分割
された２つの基板24および26が接着される。一方の基板
24の一方主面上には、その軸方向に間隔を隔てて５つの
電極28a,28b,28c,28dおよび28eが形成される。また、他
方の基板26の一方主面上には、その幅方向の両端部に、
電極30aおよび30bがそれぞれ形成される。
された２つの基板24および26が接着される。一方の基板
24の一方主面上には、その軸方向に間隔を隔てて５つの
電極28a,28b,28c,28dおよび28eが形成される。また、他
方の基板26の一方主面上には、その幅方向の両端部に、
電極30aおよび30bがそれぞれ形成される。
そして、一方の基板24の電極28aおよび28eには、振動
子10の支持部材16の両端が、それぞれたとえば溶接など
の方法で固着される。同様に、他方の支持部材18の両端
は、他方の基板26の電極30aおよび30bにそれぞれ固着さ
れる。
子10の支持部材16の両端が、それぞれたとえば溶接など
の方法で固着される。同様に、他方の支持部材18の両端
は、他方の基板26の電極30aおよび30bにそれぞれ固着さ
れる。
さらに、基板24の電極28b,28cおよび28dには、たとえ
ばリード線によって、圧電素子14a,14cおよび14bがそれ
ぞれ電気的に接続される。
ばリード線によって、圧電素子14a,14cおよび14bがそれ
ぞれ電気的に接続される。
この実施例では、基板24の電極28bおよび28dすなわち
圧電素子14aおよび14bに、あるいは、電極28cすなわち
圧電素子14cに駆動信号を印加すると、振動子10が駆動
する。この場合、支持部材16および18は、振動体12の長
手方向において互いに逆方向に屈曲するが、それらとと
もに、分割された基板24および26も個別に変位する。そ
のため、支持部材16および18が互いに干渉せず、支持部
材16および18によって振動子10の振動が抑圧されない。
したがって、振動子10の安定した振動姿勢を確保するこ
とができる。
圧電素子14aおよび14bに、あるいは、電極28cすなわち
圧電素子14cに駆動信号を印加すると、振動子10が駆動
する。この場合、支持部材16および18は、振動体12の長
手方向において互いに逆方向に屈曲するが、それらとと
もに、分割された基板24および26も個別に変位する。そ
のため、支持部材16および18が互いに干渉せず、支持部
材16および18によって振動子10の振動が抑圧されない。
したがって、振動子10の安定した振動姿勢を確保するこ
とができる。
また、この実施例では、支持台20と基板24および26と
の間に緩衝材22が形成されているため、外部からの振動
ノイズによる悪影響を受けることが少ない。
の間に緩衝材22が形成されているため、外部からの振動
ノイズによる悪影響を受けることが少ない。
第2A図および第2B図は、それぞれ、第1A図および第1B
図に示す実施例の変形例を示し、第2A図のその側面図で
あり、第2B図はその正面図である。
図に示す実施例の変形例を示し、第2A図のその側面図で
あり、第2B図はその正面図である。
この実施例では、第1A図および第1B図に示す実施例と
比べて、特に、支持される振動子10の振動体12が４角柱
状に形成されている。そして、この振動体12の対向する
上下の２つの側面の中央に、圧電素子14aおよび14bが形
成されている。また、２つの支持部材16および18は、振
動体12において圧電素子が形成されていない側面の幅方
向の中央部を貫通するように固着されている。
比べて、特に、支持される振動子10の振動体12が４角柱
状に形成されている。そして、この振動体12の対向する
上下の２つの側面の中央に、圧電素子14aおよび14bが形
成されている。また、２つの支持部材16および18は、振
動体12において圧電素子が形成されていない側面の幅方
向の中央部を貫通するように固着されている。
さらに、一方の基板24の一方主面には、その幅方向に
間隔を隔てて４つの電極28a,28b,28cおよび28dが形成さ
れる。そして、両側の電極28aおよび28dに、支持部材16
の両端がそれぞれ固着される。また、中央の電極28bお
よび28cに、圧電素子14aおよび14bが、それぞれリード
線で電気的に接続される。
間隔を隔てて４つの電極28a,28b,28cおよび28dが形成さ
れる。そして、両側の電極28aおよび28dに、支持部材16
の両端がそれぞれ固着される。また、中央の電極28bお
よび28cに、圧電素子14aおよび14bが、それぞれリード
線で電気的に接続される。
この実施例では、基板24の中央の電極28bあるいは28c
に駆動信号を印加すると、振動子10が駆動する。この場
合、この実施例でも、２つの支持部材16および18は、振
動体12の長手方向において互いに逆方向に屈曲するが、
それらの支持部材16および18が固着される基板24および
28が別々に変位するため、振動子10の安定した振動姿勢
を確保することができる。
に駆動信号を印加すると、振動子10が駆動する。この場
合、この実施例でも、２つの支持部材16および18は、振
動体12の長手方向において互いに逆方向に屈曲するが、
それらの支持部材16および18が固着される基板24および
28が別々に変位するため、振動子10の安定した振動姿勢
を確保することができる。
また、この実施例でも、支持台20と基板24および26と
の間に緩衝材22が形成されているため、外部からの振動
ノイズを吸収することができる。
の間に緩衝材22が形成されているため、外部からの振動
ノイズを吸収することができる。
なお、上述の各実施例では、基板が２つに分割されて
いるが、この発明では、基板は、振動子の支持部材の数
以上に分割されてもよい。
いるが、この発明では、基板は、振動子の支持部材の数
以上に分割されてもよい。
【図面の簡単な説明】 第1A図および第1B図は、それぞれ、この発明の一実施例
を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図はその正面
図である。 第2A図および第2B図は、それぞれ、第1A図および第1B図
に示す実施例の変形例を示し、第2A図はその側面図であ
り、第2B図はその正面図である。 図において、10は振動子、16および18は支持部材、20は
支持台、22は緩衝材、24および26は分割された基板を示
す。
を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図はその正面
図である。 第2A図および第2B図は、それぞれ、第1A図および第1B図
に示す実施例の変形例を示し、第2A図はその側面図であ
り、第2B図はその正面図である。 図において、10は振動子、16および18は支持部材、20は
支持台、22は緩衝材、24および26は分割された基板を示
す。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の支持部材が取り付けられた振動子を
支持するための振動子の支持構造であって、 支持台、 前記支持台の上に形成される緩衝材、 前記緩衝材の上に形成され、それぞれに前記複数の支持
部材が個別に固着される分割された基板を含む、振動子
の支持構造。
Priority Applications (16)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14777989A JP2531266B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 振動子の支持構造 |
| GB8918103A GB2223309B (en) | 1988-08-12 | 1989-08-08 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
| DE3943788A DE3943788C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Lageraufbau für einen Schwinger eines Schwingkreisels |
| DE19893926504 DE3926504C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Schwingkreisel |
| DE3943787A DE3943787C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Differentialverstärker |
| DE3943805A DE3943805C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Schwingkreisel |
| GB9301203A GB2262342A (en) | 1988-08-12 | 1993-01-22 | A vibrator for use in a vibratory gyroscope |
| GB9301204A GB2262343A (en) | 1988-08-12 | 1993-01-22 | A vibrator for use in a vibratory gyroscope |
| US08/044,630 US5349857A (en) | 1988-08-12 | 1993-04-12 | Vibratory gyroscope |
| US08/263,894 US5505085A (en) | 1988-08-12 | 1994-06-22 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
| US08/276,759 US5493166A (en) | 1988-08-12 | 1994-07-18 | Vibrator and vibrating gyroscope using the same |
| US08/474,118 US5569969A (en) | 1988-08-12 | 1995-06-07 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
| US08/584,472 US5874674A (en) | 1988-08-12 | 1996-01-11 | Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
| US09/163,828 US6016698A (en) | 1988-08-12 | 1998-09-01 | Vibratory gyroscope including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction |
| US09/163,829 US6016699A (en) | 1988-08-12 | 1998-09-01 | Vibrator including piezoelectric electrodes of detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to Coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
| US09/163,830 US6161432A (en) | 1988-08-12 | 1998-09-01 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14777989A JP2531266B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 振動子の支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0313006A JPH0313006A (ja) | 1991-01-22 |
| JP2531266B2 true JP2531266B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15437999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14777989A Expired - Lifetime JP2531266B2 (ja) | 1988-08-12 | 1989-06-09 | 振動子の支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531266B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5493166A (en) * | 1988-08-12 | 1996-02-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator and vibrating gyroscope using the same |
| US5874674A (en) * | 1988-08-12 | 1999-02-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
| JPH0518761A (ja) * | 1991-07-09 | 1993-01-26 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
| JPH0510763A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-19 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
| JP2666617B2 (ja) * | 1991-07-08 | 1997-10-22 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JPH0552572A (ja) * | 1991-08-28 | 1993-03-02 | Akai Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
| JPH0560563A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-09 | Akai Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
| JP2532779B2 (ja) * | 1991-10-08 | 1996-09-11 | 赤井電機株式会社 | 振動子の支持構造 |
| JP2647288B2 (ja) * | 1991-10-25 | 1997-08-27 | 赤井電機株式会社 | 振動子の支持構造 |
| JP2575304Y2 (ja) * | 1992-08-05 | 1998-06-25 | 株式会社トーキン | 振動子用支持具及び振動体 |
| JPH07318351A (ja) * | 1994-05-23 | 1995-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子の支持構造 |
| US6272925B1 (en) | 1999-09-16 | 2001-08-14 | William S. Watson | High Q angular rate sensing gyroscope |
| US6845667B1 (en) | 1999-09-16 | 2005-01-25 | Watson Industries, Inc. | High Q angular rate sensing gyroscope |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5122587U (ja) * | 1974-08-08 | 1976-02-19 |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP14777989A patent/JP2531266B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0313006A (ja) | 1991-01-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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