JPH0313006A - 振動子の支持構造 - Google Patents
振動子の支持構造Info
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- JPH0313006A JPH0313006A JP1147779A JP14777989A JPH0313006A JP H0313006 A JPH0313006 A JP H0313006A JP 1147779 A JP1147779 A JP 1147779A JP 14777989 A JP14777989 A JP 14777989A JP H0313006 A JPH0313006 A JP H0313006A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 3
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は振動子の支持構造に関し、特にたとえば振動
ジャイロなどに用いられる屈曲振動モードを有する振動
子の支持構造に関する。
ジャイロなどに用いられる屈曲振動モードを有する振動
子の支持構造に関する。
(従来技術)
従来、たとえば振動ジャイロなどに用いられる振動子は
、そのノード点近傍に取り付けられた2つの線状の支持
部材のそれぞれの両端をゴムなどの緩衝材に固着するこ
とによって、浮かした状態で支持されていた。
、そのノード点近傍に取り付けられた2つの線状の支持
部材のそれぞれの両端をゴムなどの緩衝材に固着するこ
とによって、浮かした状態で支持されていた。
(発明が解決しようとする課題)
ところが、従来の支持構造では、2つの支持部材が互い
に逆方向に振動し振動子の屈曲を抑圧するので、安定し
た振動姿勢をとることができない。
に逆方向に振動し振動子の屈曲を抑圧するので、安定し
た振動姿勢をとることができない。
それゆえに、この発明の主たる目的は、振動子の安定し
た振動姿勢を確保することができる、振動子の支持構造
を提供することである。
た振動姿勢を確保することができる、振動子の支持構造
を提供することである。
(課題を解決するための手段)
この発明は、複数の支持部材が取り付けられた振動子を
支持するための振動子の支持構造であって、支持台と、
支持台の上に形成される緩衝材と、緩衝材の上に形成さ
れ、それぞれに複数の支持部材が個別に固着される分割
された基板とを含む、振動子の支持構造である。
支持するための振動子の支持構造であって、支持台と、
支持台の上に形成される緩衝材と、緩衝材の上に形成さ
れ、それぞれに複数の支持部材が個別に固着される分割
された基板とを含む、振動子の支持構造である。
(作用)
振動子が屈曲振動する場合、複数の支持部材も屈曲する
が、この場合、複数の支持部材は、分割された基板とと
もに個別に変位する。
が、この場合、複数の支持部材は、分割された基板とと
もに個別に変位する。
(発明の効果)
この発明によれば、複数の支持部材が個別に変位するの
で、支持部材によって振動子の振動が抑圧されない。そ
のため、振動子の安定した振動姿勢を確保することがで
きる。
で、支持部材によって振動子の振動が抑圧されない。そ
のため、振動子の安定した振動姿勢を確保することがで
きる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例)
第1A図および第1B図は、それぞれ、この発明の一実
施例を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図は
その正面図である。
施例を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図は
その正面図である。
この発明は振動子の支持構造に関するが、この実施例で
は、まず、支持される振動子について説明する。振動子
10は、たとえば正3角柱状の振動体12を含む。この
振動体12は、たとえばエリンバ、鉄−ニッケル合金1
石英、ガラス、水晶セラミックなど、−船釣に機械的な
振動を生じる材料で形成される。
は、まず、支持される振動子について説明する。振動子
10は、たとえば正3角柱状の振動体12を含む。この
振動体12は、たとえばエリンバ、鉄−ニッケル合金1
石英、ガラス、水晶セラミックなど、−船釣に機械的な
振動を生じる材料で形成される。
この振動体12には、その3つの側面の中央に、それぞ
れ、圧電素子14a、14bおよび14cが形成される
。
れ、圧電素子14a、14bおよび14cが形成される
。
さらに、振動体12には、振動体12の長手方向の長さ
をLとすると、圧電素子14aおよび14bが形成され
た側面間の稜線部分において、その両端からたとえば0
.224Lの長さだけ内側の部分に、たとえば線材から
なるコ字形の支持部材16および18の中央部分が、そ
れぞれたとえば溶着、接着などの方法で固着される。
をLとすると、圧電素子14aおよび14bが形成され
た側面間の稜線部分において、その両端からたとえば0
.224Lの長さだけ内側の部分に、たとえば線材から
なるコ字形の支持部材16および18の中央部分が、そ
れぞれたとえば溶着、接着などの方法で固着される。
この振動子lOは、圧電素子14aおよび14bに駆動
信号を印加するかあるいは圧電素子14Cに駆動信号を
印加すれば、振動体12が圧電素子14cの主面に直交
する方向に振動する。この場合、振動子10のノード点
は、振動体12の長手方向の長さをLとすると、振動体
12の中心軸線上においてその両端からそれぞれ0.2
24Lの長さだけ内側の点にある。そのため、2つの支
持部材16および18は、振動体12の軸方向において
互いに逆方向に屈曲する。
信号を印加するかあるいは圧電素子14Cに駆動信号を
印加すれば、振動体12が圧電素子14cの主面に直交
する方向に振動する。この場合、振動子10のノード点
は、振動体12の長手方向の長さをLとすると、振動体
12の中心軸線上においてその両端からそれぞれ0.2
24Lの長さだけ内側の点にある。そのため、2つの支
持部材16および18は、振動体12の軸方向において
互いに逆方向に屈曲する。
この実施例の支持構造は、たとえば金属、セラミックな
どの材料からなる矩形板状の支持台20を含む。この支
持台20の一方主面上には、たとえばゴム、スポンジな
どの弾性材料からなる緩衝材22が接着される。
どの材料からなる矩形板状の支持台20を含む。この支
持台20の一方主面上には、たとえばゴム、スポンジな
どの弾性材料からなる緩衝材22が接着される。
この緩衝材22の一方主面上には、その長手方向に分割
された2つの基板24および26が接着される。一方の
基板24の一方主面上には、その幅方向に間隔を隔てて
5つの電極28a、28b、28C,28dおよび28
eが形成される。また、他方の基板26の一方主面上に
は、その幅方向の両端部に、電極30aおよび30bが
それぞれ形成される。
された2つの基板24および26が接着される。一方の
基板24の一方主面上には、その幅方向に間隔を隔てて
5つの電極28a、28b、28C,28dおよび28
eが形成される。また、他方の基板26の一方主面上に
は、その幅方向の両端部に、電極30aおよび30bが
それぞれ形成される。
そして、一方の基板24の電極28aおよび28eには
、振動子10の支持部材16の両端が、それぞれたとえ
ば溶接などの方法で固着される。
、振動子10の支持部材16の両端が、それぞれたとえ
ば溶接などの方法で固着される。
同様に、他方の支持部材18の両端は、他方の基板26
の電極30aおよび30bにそれぞれ固着される。
の電極30aおよび30bにそれぞれ固着される。
さらに、基板24の電極28b、28dおよび28cに
は、たとえばリード線によって、圧電素子14a、14
cおよび14bがそれぞれ電気的に接続される。
は、たとえばリード線によって、圧電素子14a、14
cおよび14bがそれぞれ電気的に接続される。
この実施例では、基板24の電極28bおよび28dす
なわち圧電素子14aおよび14bに、あるいは、電極
28cすなわち圧電素子14Cに駆動信号を印加すると
、振動子10が駆動する。
なわち圧電素子14aおよび14bに、あるいは、電極
28cすなわち圧電素子14Cに駆動信号を印加すると
、振動子10が駆動する。
この場合、支持部材16および18は、振動体12の長
手方向において互いに逆方向に屈曲するが、それらとと
もに、分割された基板24および26も個別に変位する
。そのため、支持部材16および18が互いに緩衝せず
、衷持部材16および18によって振動子10の振動が
抑圧されない。したがって、振動子10の安定した振動
姿勢を確保することができる。
手方向において互いに逆方向に屈曲するが、それらとと
もに、分割された基板24および26も個別に変位する
。そのため、支持部材16および18が互いに緩衝せず
、衷持部材16および18によって振動子10の振動が
抑圧されない。したがって、振動子10の安定した振動
姿勢を確保することができる。
また、この実施例では、支持台20と基板24および2
6との間に緩衝材22が形成されているため、外部から
の振動ノイズによる悪影響を受けることが少ない。
6との間に緩衝材22が形成されているため、外部から
の振動ノイズによる悪影響を受けることが少ない。
第2A図および第2B図は、それぞれ、第1A図および
第1B図に示す実施例の変形例を示し、第2A図はその
側面図であり、第2B図はその正面図である。
第1B図に示す実施例の変形例を示し、第2A図はその
側面図であり、第2B図はその正面図である。
この実施例では、第1A図および第1B図に示す実施例
と比べて、特に、支持される振動子lOの振動体12が
4角柱状に形成されている。そして、この振動体12の
対向する上下の2つの側面の中央に、圧電素子14aお
よび14bが形成されている。また、2つの支持部材1
6および18は、振動体12において圧電素子が形成さ
れていない側面の幅方向の中央部を貫通するように固着
されている。
と比べて、特に、支持される振動子lOの振動体12が
4角柱状に形成されている。そして、この振動体12の
対向する上下の2つの側面の中央に、圧電素子14aお
よび14bが形成されている。また、2つの支持部材1
6および18は、振動体12において圧電素子が形成さ
れていない側面の幅方向の中央部を貫通するように固着
されている。
さらに、一方の基板24の一方主面には、その幅方向に
間隔を隔てて4つの電極28a、28b、28cおよび
28dが形成される。そして、両側の電極28aおよび
28dに、支持部材16の両端がそれぞれ固着される。
間隔を隔てて4つの電極28a、28b、28cおよび
28dが形成される。そして、両側の電極28aおよび
28dに、支持部材16の両端がそれぞれ固着される。
また、中央の電極28bおよび28Cに、圧電素子14
aおよび14bが、それぞれリード線で電気的に接続さ
れる。
aおよび14bが、それぞれリード線で電気的に接続さ
れる。
この実施例では、基板24の中央の電極28bあるいは
28cに駆動信号を印加すると、振動子10が駆動する
。この場合、この実施例でも、2つの支持部材16およ
び18は、振動体12の長平方向において互いに逆方向
に屈曲するが、それらの支持部材16および18が固着
される基板24および28が別々に変位するため、振動
子10の安定した振動姿勢を確保することができる。
28cに駆動信号を印加すると、振動子10が駆動する
。この場合、この実施例でも、2つの支持部材16およ
び18は、振動体12の長平方向において互いに逆方向
に屈曲するが、それらの支持部材16および18が固着
される基板24および28が別々に変位するため、振動
子10の安定した振動姿勢を確保することができる。
また、この実施例でも、支持台20と基板24および2
6との間に緩衝材22が形成されているため、外部から
の振動ノイズを吸収することができる。
6との間に緩衝材22が形成されているため、外部から
の振動ノイズを吸収することができる。
なお、上述の各実施例では、基板が2つに分割されてい
るが、この発明では、基板は、振動子の支持部材の散板
上に分割されてもよい。
るが、この発明では、基板は、振動子の支持部材の散板
上に分割されてもよい。
第1A図および第1B図は、それぞれ、この発明の一実
施例を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図は
その正面図である。 第2A図および第2B図は、それぞれ、第1A図および
第1B図に示す実施例の変形例を示し、第2A図はその
側面図であり、第2B図はその正面図である。 図において、10は振動子、16および18は支持部材
、20は支持台、22は緩衝材、24および26は分割
された基板を示す。
施例を示し、第1A図はその斜視図であり、第1B図は
その正面図である。 第2A図および第2B図は、それぞれ、第1A図および
第1B図に示す実施例の変形例を示し、第2A図はその
側面図であり、第2B図はその正面図である。 図において、10は振動子、16および18は支持部材
、20は支持台、22は緩衝材、24および26は分割
された基板を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数の支持部材が取り付けられた振動子を支持するた
めの振動子の支持構造であって、 支持台、 前記支持台の上に形成される緩衝材、 前記緩衝材の上に形成され、それぞれに前記複数の支持
部材が個別に固着される分割された基板を含む、振動子
の支持構造。
Priority Applications (16)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14777989A JP2531266B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 振動子の支持構造 |
GB8918103A GB2223309B (en) | 1988-08-12 | 1989-08-08 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
DE3943788A DE3943788C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Lageraufbau für einen Schwinger eines Schwingkreisels |
DE19893926504 DE3926504C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Schwingkreisel |
DE3943787A DE3943787C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Differentialverstärker |
DE3943805A DE3943805C2 (de) | 1988-08-12 | 1989-08-10 | Schwingkreisel |
GB9301204A GB2262343A (en) | 1988-08-12 | 1993-01-22 | A vibrator for use in a vibratory gyroscope |
GB9301203A GB2262342A (en) | 1988-08-12 | 1993-01-22 | A vibrator for use in a vibratory gyroscope |
US08/044,630 US5349857A (en) | 1988-08-12 | 1993-04-12 | Vibratory gyroscope |
US08/263,894 US5505085A (en) | 1988-08-12 | 1994-06-22 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
US08/276,759 US5493166A (en) | 1988-08-12 | 1994-07-18 | Vibrator and vibrating gyroscope using the same |
US08/474,118 US5569969A (en) | 1988-08-12 | 1995-06-07 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
US08/584,472 US5874674A (en) | 1988-08-12 | 1996-01-11 | Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
US09/163,830 US6161432A (en) | 1988-08-12 | 1998-09-01 | Vibrator and vibratory gyroscope using the same |
US09/163,828 US6016698A (en) | 1988-08-12 | 1998-09-01 | Vibratory gyroscope including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction |
US09/163,829 US6016699A (en) | 1988-08-12 | 1998-09-01 | Vibrator including piezoelectric electrodes of detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to Coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14777989A JP2531266B2 (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | 振動子の支持構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0313006A true JPH0313006A (ja) | 1991-01-22 |
JP2531266B2 JP2531266B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15437999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14777989A Expired - Lifetime JP2531266B2 (ja) | 1988-08-12 | 1989-06-09 | 振動子の支持構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2531266B2 (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH0518757A (ja) * | 1991-07-08 | 1993-01-26 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
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JPH0560563A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-09 | Akai Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
JPH05118855A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-05-14 | Akai Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
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US5256929A (en) * | 1991-10-08 | 1993-10-26 | Akai Electric Co., Ltd. | Vibrator support structure |
JPH0616819U (ja) * | 1992-08-05 | 1994-03-04 | 株式会社トーキン | 振動子用支持具及び振動体 |
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US5883461A (en) * | 1994-05-23 | 1999-03-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Supporting structure of vibrator |
US6016699A (en) * | 1988-08-12 | 2000-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator including piezoelectric electrodes of detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to Coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
US6272925B1 (en) | 1999-09-16 | 2001-08-14 | William S. Watson | High Q angular rate sensing gyroscope |
US6845667B1 (en) | 1999-09-16 | 2005-01-25 | Watson Industries, Inc. | High Q angular rate sensing gyroscope |
Citations (1)
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JPS5122587U (ja) * | 1974-08-08 | 1976-02-19 |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP14777989A patent/JP2531266B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JPS5122587U (ja) * | 1974-08-08 | 1976-02-19 |
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US6016699A (en) * | 1988-08-12 | 2000-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator including piezoelectric electrodes of detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to Coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
JPH0510763A (ja) * | 1991-06-28 | 1993-01-19 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジヤイロ |
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JPH0560563A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-09 | Akai Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
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---|---|
JP2531266B2 (ja) | 1996-09-04 |
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