JPH0374851B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0374851B2 JPH0374851B2 JP8200884A JP8200884A JPH0374851B2 JP H0374851 B2 JPH0374851 B2 JP H0374851B2 JP 8200884 A JP8200884 A JP 8200884A JP 8200884 A JP8200884 A JP 8200884A JP H0374851 B2 JPH0374851 B2 JP H0374851B2
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- Japan
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- long
- vibrating part
- vibrating
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- long side
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、フオトリソグラフイ加工等により同
一圧電板から枠状の支持部と一体形成される長辺
縦振動子に関するものである。
一圧電板から枠状の支持部と一体形成される長辺
縦振動子に関するものである。
従来この種の長辺縦振動子においては、例えば
第１図に示す振動部１の振動は、その長辺方向中
央部から両側に引出した連結部２から支持部３の
振動部長辺方向に沿つた脚部３ａを経て両脚部を
連結する基部３ｂに至るまでに十分に減衰し、し
たがつてその基部３ｂにおいて保持器に固定する
方法は任意に選定できるものと考えられていた。
ところが、今回、発明者により詳細な解析の結
果、上記基部における支持点の位置によつて、ク
リスインピーダンズ（CI）が相当にばらつくこ
とが明らかとなつた。
第１図に示す振動部１の振動は、その長辺方向中
央部から両側に引出した連結部２から支持部３の
振動部長辺方向に沿つた脚部３ａを経て両脚部を
連結する基部３ｂに至るまでに十分に減衰し、し
たがつてその基部３ｂにおいて保持器に固定する
方法は任意に選定できるものと考えられていた。
ところが、今回、発明者により詳細な解析の結
果、上記基部における支持点の位置によつて、ク
リスインピーダンズ（CI）が相当にばらつくこ
とが明らかとなつた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、支持部が振動部の振動特性に与える影響を極
力小さくすることが可能な長辺縦振動子を提供す
ることにある。
で、支持部が振動部の振動特性に与える影響を極
力小さくすることが可能な長辺縦振動子を提供す
ることにある。
このような目的を達成するために、本発明は、
励振電極を有し長辺縦振動を行なう振動部１と、
この長辺方向中央部から両側に引出した各連結部
２と、この先端から振動部の長辺方向に沿つて振
動部より長く形成された各脚部３ａと、この脚部
の先端を連結して脚部とともに枠形を形成する各
基部３ｂとを備え、以上の各部を圧電板て一体に
形成した長辺縦振動子において、基部３ｂの少な
くとも一方について、振動部１の長辺方向と直角
方向の外面の２点から振動部１の長辺方向にのび
て圧電板で一体に形成された支持部４を設け、基
部３ｂの振動部１の長辺方向と直角方向の幅寸法
をＷとしたとき、２点の支持点は間隔はほぼ（5/
８）Ｗとしたものである。以下、実施例を用いて
本発明を詳細に説明するが、はじめに本発明の基
礎となつた上述した解析結果について説明する。
励振電極を有し長辺縦振動を行なう振動部１と、
この長辺方向中央部から両側に引出した各連結部
２と、この先端から振動部の長辺方向に沿つて振
動部より長く形成された各脚部３ａと、この脚部
の先端を連結して脚部とともに枠形を形成する各
基部３ｂとを備え、以上の各部を圧電板て一体に
形成した長辺縦振動子において、基部３ｂの少な
くとも一方について、振動部１の長辺方向と直角
方向の外面の２点から振動部１の長辺方向にのび
て圧電板で一体に形成された支持部４を設け、基
部３ｂの振動部１の長辺方向と直角方向の幅寸法
をＷとしたとき、２点の支持点は間隔はほぼ（5/
８）Ｗとしたものである。以下、実施例を用いて
本発明を詳細に説明するが、はじめに本発明の基
礎となつた上述した解析結果について説明する。
第１図に示したような振動子の振動時における
支持部各部の偏位を解析した結果、基部３ｂは、
第２図に示すような振動を呈し、底面部における
振動部長辺方向の偏位は幅方向中央部で最大で、
幅寸法をＷとしてほぼ5/8Ｗだけ離れた位置に、
偏位の最も小さい点が生じていることが明らかと
なつた。すなわち、これらの２点Ａ，Ｂにおいて
は、幅方向の偏位はやや存在するものの、長辺方
向の偏位はほとんど皆無となる。
支持部各部の偏位を解析した結果、基部３ｂは、
第２図に示すような振動を呈し、底面部における
振動部長辺方向の偏位は幅方向中央部で最大で、
幅寸法をＷとしてほぼ5/8Ｗだけ離れた位置に、
偏位の最も小さい点が生じていることが明らかと
なつた。すなわち、これらの２点Ａ，Ｂにおいて
は、幅方向の偏位はやや存在するものの、長辺方
向の偏位はほとんど皆無となる。
第３図は、以上の解析結果をＺ板を用いた長辺
縦水晶振動子に適用してなる本発明の一実施例を
示す正面図である。図において、この振動子は全
体が同一水晶板からフオトリソグラフイ加工によ
つて一体に形成され、長辺方向の全長Ｌ１が約
7.0mm、幅寸法Ｗが約1.3mm、第１の支持部として
の支持部３の基部３ｂ間の距離Ｌ２が約5.0mmで、
図上省略したが、振動部１の、連結部２に連結し
た対向面に設けた励振電極間に励振電圧を印加す
ることにより約1MHzの周波数の振動を行なう。
縦水晶振動子に適用してなる本発明の一実施例を
示す正面図である。図において、この振動子は全
体が同一水晶板からフオトリソグラフイ加工によ
つて一体に形成され、長辺方向の全長Ｌ１が約
7.0mm、幅寸法Ｗが約1.3mm、第１の支持部として
の支持部３の基部３ｂ間の距離Ｌ２が約5.0mmで、
図上省略したが、振動部１の、連結部２に連結し
た対向面に設けた励振電極間に励振電圧を印加す
ることにより約1MHzの周波数の振動を行なう。
ここで、上記振動部１は、連結部２および第１
の支持部３の構成は第１図に同一記号で示したも
のとほぼ同様であるが、本実施例では、上記第１
の支持部３の基部３ｂの２点を振動部１の長辺方
向に支持する第２の支持部４が設けてあり、上記
長辺方向に引出された脚部４ａは、いつたんかぎ
状に屈曲さられた後中央部で一体となつて固定部
４ｂを形成している。この固定部４ｂを保持器に
固定するが、上記腕部４ａにより支持される２点
は、基部３ｂの幅寸法Ｗに対してＤ＝５／８Ｗの間 隔に設定してあるため、固定部４ｂには振動部１
の振動はほとんど伝わらない。この結果固定方法
は任意となり、例えば固定部４ｂの底面を直接保
持器の上面に固着する方法をとつても、振動部１
にクリスタルインピーダンスの上昇などの悪影響
を与えることがなくなる。特に、本実施例では屈
曲部４ｃを設けて横方向の偏位を吸収したかたこ
とにより、前述したわずかに残る横方向の偏位の
影響も排除できるため、さらに理想的な支持構造
となつている。
の支持部３の構成は第１図に同一記号で示したも
のとほぼ同様であるが、本実施例では、上記第１
の支持部３の基部３ｂの２点を振動部１の長辺方
向に支持する第２の支持部４が設けてあり、上記
長辺方向に引出された脚部４ａは、いつたんかぎ
状に屈曲さられた後中央部で一体となつて固定部
４ｂを形成している。この固定部４ｂを保持器に
固定するが、上記腕部４ａにより支持される２点
は、基部３ｂの幅寸法Ｗに対してＤ＝５／８Ｗの間 隔に設定してあるため、固定部４ｂには振動部１
の振動はほとんど伝わらない。この結果固定方法
は任意となり、例えば固定部４ｂの底面を直接保
持器の上面に固着する方法をとつても、振動部１
にクリスタルインピーダンスの上昇などの悪影響
を与えることがなくなる。特に、本実施例では屈
曲部４ｃを設けて横方向の偏位を吸収したかたこ
とにより、前述したわずかに残る横方向の偏位の
影響も排除できるため、さらに理想的な支持構造
となつている。
また、前述した解析結果からすれば、例えば第
１図に示すような振動子の基部３ｂを、保持器に
植設したピンに5/8Ｗの位置で直接固定すること
によつても理論的にはほぼ同様の効果が得られる
はずであるが、実際にはそのような正確に位置決
めした状態で導電性接着剤等により固着する作業
は困難である。これに対し、上述したようにフオ
トリソグラフイ加工により一体形成する構成を用
いれば容易に高精度の位置決めが行なえ、保持器
への固定は固定部４ｂにおいて自由に行うことが
で可能となる利点がある。
１図に示すような振動子の基部３ｂを、保持器に
植設したピンに5/8Ｗの位置で直接固定すること
によつても理論的にはほぼ同様の効果が得られる
はずであるが、実際にはそのような正確に位置決
めした状態で導電性接着剤等により固着する作業
は困難である。これに対し、上述したようにフオ
トリソグラフイ加工により一体形成する構成を用
いれば容易に高精度の位置決めが行なえ、保持器
への固定は固定部４ｂにおいて自由に行うことが
で可能となる利点がある。
なお、振動部１の対向面に設けた励振電極から
は、連結部２、脚部３ａ、基部３ｂおよび脚部４
ａを経て固定部４ｂまで引出し部が設けてあり、
この固定部４ｂにおいて機械的に固着するととも
に保持器のリード端子に電気的に接続することが
できる。
は、連結部２、脚部３ａ、基部３ｂおよび脚部４
ａを経て固定部４ｂまで引出し部が設けてあり、
この固定部４ｂにおいて機械的に固着するととも
に保持器のリード端子に電気的に接続することが
できる。
本実施例では第２の支持部４を第１の支持部３
の両端に設けたが、一端にのみ設けて片持ち状と
してもよいことは言うまでもない。
の両端に設けたが、一端にのみ設けて片持ち状と
してもよいことは言うまでもない。
ただし、対称性の点では本実施例のように両側
に設けた方が有利である。
に設けた方が有利である。
なお、5/8Ｗの支持位置についは、10％程度で
あれば多少のばらつきがあつてもほぼ良好な特性
のものが得られる。
あれば多少のばらつきがあつてもほぼ良好な特性
のものが得られる。
以上、Ｚ板の水晶板を用いた例について説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではのく、
同様の振動モードを有し、枠状の第１の支持体と
一体形成される圧電振動子について一般に適用し
て同様の効果を得ることができる。
たが、本発明はこれに限定されるものではのく、
同様の振動モードを有し、枠状の第１の支持体と
一体形成される圧電振動子について一般に適用し
て同様の効果を得ることができる。
以上説明ように、本発明によれば、振動部を囲
む枠状の第１の支持部の基部の２点を振動部の長
辺方向に支持する第２の支持部を設け、上記２点
間の間隔を基部の幅寸法のほぼ5/8としたことに
より保持器への固定が振動部の振動に与える影響
をほとんど皆無とすることができる。特に、振動
部および第１の支持部と同一の圧電板から一体に
形成したことにより、5/8の点に位置決めが容易
にかつ高精度に行なえ、実際に保持器に固定する
側については固定領域が広くとれ、固定方法も任
意に選択できる利点がある。
む枠状の第１の支持部の基部の２点を振動部の長
辺方向に支持する第２の支持部を設け、上記２点
間の間隔を基部の幅寸法のほぼ5/8としたことに
より保持器への固定が振動部の振動に与える影響
をほとんど皆無とすることができる。特に、振動
部および第１の支持部と同一の圧電板から一体に
形成したことにより、5/8の点に位置決めが容易
にかつ高精度に行なえ、実際に保持器に固定する
側については固定領域が広くとれ、固定方法も任
意に選択できる利点がある。
第１図は従来の長辺縦振動子の構成例を示す正
面図、第２図は本発明の基礎となつた、解析結果
を説明するための図、第３図は本発明の一実施例
を示す正面図である。 １……振動部、２……連結部、３……第１の支
持部、３ａ……脚部、３ｂ……基部、４……第２
の支持部、４ａ……腕部、４ｂ……固定部、４ｃ
……屈曲部。
面図、第２図は本発明の基礎となつた、解析結果
を説明するための図、第３図は本発明の一実施例
を示す正面図である。 １……振動部、２……連結部、３……第１の支
持部、３ａ……脚部、３ｂ……基部、４……第２
の支持部、４ａ……腕部、４ｂ……固定部、４ｃ
……屈曲部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 励振電極を有し長辺縦振動を行なう振動部
と、この振動部の長辺方向中央部から両側に引出
した各連結部と、この各連結部の先端から振動部
の長辺方向に沿つて振動部より長く形成された各
脚部と、各脚部の先端を連結して脚部とともに枠
形を形成する各基部とを備え、以上の各部を圧電
板にて一体に形成した長辺縦振動子において、 上記基部の少なくとも一方について、上記振動
部の長辺方向と直角方向の外面の２点から振動部
の長辺方向にのびて、上記圧電板で一体に形成さ
れた支持部を設け、 上記基部の振動部の長辺方向と直角方向の幅寸
法をＷとしたとき、上記２点の支持点の間隔はほ
ぼ（5/8）Ｗとしたことを特徴とする長辺縦振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200884A JPS60226205A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 長辺縦振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8200884A JPS60226205A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 長辺縦振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60226205A JPS60226205A (ja) | 1985-11-11 |
| JPH0374851B2 true JPH0374851B2 (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=13762491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8200884A Granted JPS60226205A (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 長辺縦振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60226205A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63311810A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH01293707A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 長辺縦振動子 |
| JPH02108316A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 長辺縦振動子 |
| JPH02153610A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-13 | Seiko Electronic Components Ltd | 長辺縦振動子 |
| JPH03191607A (ja) * | 1989-12-21 | 1991-08-21 | Seiko Electronic Components Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
| JPH03291010A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-20 | Seiko Electronic Components Ltd | 厚みすべり水晶振動子 |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP8200884A patent/JPS60226205A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60226205A (ja) | 1985-11-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |