JPH0831769B2 - 厚電振動子 - Google Patents
厚電振動子Info
- Publication number
- JPH0831769B2 JPH0831769B2 JP1006678A JP667889A JPH0831769B2 JP H0831769 B2 JPH0831769 B2 JP H0831769B2 JP 1006678 A JP1006678 A JP 1006678A JP 667889 A JP667889 A JP 667889A JP H0831769 B2 JPH0831769 B2 JP H0831769B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- vibrating
- thickness
- vibration
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、振動部と支持部をエッチング法によって形
成された厚み振動子の形状に関する。
成された厚み振動子の形状に関する。
本発明は、振動モレが非常に少なく、損失抵抗R1の小
さい厚み振動子を提供することにある。水晶は物理的、
化学的に大変に安定した物質であり、従って、これから
形成される、いわゆる水晶振動子は損失抵抗の小さい、
高いＱ値を持った振動子を得ることができる。しかしな
がら、このように優れた特性が得られるのは、振動モレ
の小さい振動子形状の設計がなされて初めて得られるの
である。本発明では振動部と支持部がエッチング法によ
って一体に形成された厚み振動子の支持部の配置場所を
工夫、改善することにより、振動部の振動が抑圧されな
いので、損失抵抗R1の小さい厚み振動子を得ることがで
きる。
さい厚み振動子を提供することにある。水晶は物理的、
化学的に大変に安定した物質であり、従って、これから
形成される、いわゆる水晶振動子は損失抵抗の小さい、
高いＱ値を持った振動子を得ることができる。しかしな
がら、このように優れた特性が得られるのは、振動モレ
の小さい振動子形状の設計がなされて初めて得られるの
である。本発明では振動部と支持部がエッチング法によ
って一体に形成された厚み振動子の支持部の配置場所を
工夫、改善することにより、振動部の振動が抑圧されな
いので、損失抵抗R1の小さい厚み振動子を得ることがで
きる。
従来の厚み振動子は機械加工によって成形され、更
に、振動子の支持は板の端部で支持されていた。そのた
めに、小型化が難しく、衝撃に弱く、更に、支持点でも
変位が零にならず、支持点での振動モレが多く、損失抵
抗R1の小さい厚み振動子が得られない等、多くの問題点
があった。
に、振動子の支持は板の端部で支持されていた。そのた
めに、小型化が難しく、衝撃に弱く、更に、支持点でも
変位が零にならず、支持点での振動モレが多く、損失抵
抗R1の小さい厚み振動子が得られない等、多くの問題点
があった。
このために、本発明では厚み振動子の小型化が難し
く、衝撃に弱く、更に、支持点での振動モレが多いとい
う諸問題を新形状の厚み振動子を提供することにより解
決することを目的とするものである。
く、衝撃に弱く、更に、支持点での振動モレが多いとい
う諸問題を新形状の厚み振動子を提供することにより解
決することを目的とするものである。
第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の厚み振動子形状の一
実施例の平面図（Ａ）とＡ−Ａ′の断面図（Ｂ）を示
す。振動子１は振動部２、フレーム３と支持部４から構
成されている。今、励振電極７、８に交番電圧を印加す
ると厚み振動は電界方向とその垂直方向に発生するとと
もにフレームの方向にも振動する。この振動の方向に対
し、フレーム３には屈曲モードで振動するように十分に
弾力を持たせている。これにより振動部２の振動を十分
に自由に振動させることができる。更に、フレーム３は
支持部４に接続され、支持部４のマウント５で支持固定
される構造となっている。それ故、振動部２の振動はマ
ウント部５まで伝わらず、振動モレの小さい厚み振動子
が得られる。又、励振電極７、８はマウント部５まで延
びて設けられていることは第１図で示す通りである。こ
のように、本発明は厚み振動の振動部２から伝わる振動
をフレーム３の屈曲モードに変換する形状にし、且つ、
フレーム３の両端部に支持部４を設けることにより、本
発明の目的を達成するものである。
実施例の平面図（Ａ）とＡ−Ａ′の断面図（Ｂ）を示
す。振動子１は振動部２、フレーム３と支持部４から構
成されている。今、励振電極７、８に交番電圧を印加す
ると厚み振動は電界方向とその垂直方向に発生するとと
もにフレームの方向にも振動する。この振動の方向に対
し、フレーム３には屈曲モードで振動するように十分に
弾力を持たせている。これにより振動部２の振動を十分
に自由に振動させることができる。更に、フレーム３は
支持部４に接続され、支持部４のマウント５で支持固定
される構造となっている。それ故、振動部２の振動はマ
ウント部５まで伝わらず、振動モレの小さい厚み振動子
が得られる。又、励振電極７、８はマウント部５まで延
びて設けられていることは第１図で示す通りである。こ
のように、本発明は厚み振動の振動部２から伝わる振動
をフレーム３の屈曲モードに変換する形状にし、且つ、
フレーム３の両端部に支持部４を設けることにより、本
発明の目的を達成するものである。
このように本発明は、振動部、フレームと支持部から
成るエッチング法によって形成される厚み振動子を提案
することにより、小型で、耐衝撃性に優れ、且つ、損失
抵抗R1の小さい、高いＱ値を有する厚み振動子を得るこ
とができる。
成るエッチング法によって形成される厚み振動子を提案
することにより、小型で、耐衝撃性に優れ、且つ、損失
抵抗R1の小さい、高いＱ値を有する厚み振動子を得るこ
とができる。
次に、本発明を実施して得られた結果を具体的に述べ
る。第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の厚み振動子形状の
一実施例の平面図（Ａ）と振動部２のほぼ中央の断面Ａ
−Ａ′部を示す断面図（Ｂ）である。振動子１は振動部
２、フレーム３と支持部４から構成されていて、エッチ
ング法によって一体に形成されている。又、振動部２に
は励振電極７、８が設けられていて、両電極間に交番電
圧を印加することによって、紙面に垂直な方向の厚み振
動を引き起こすことができる。振動部２とフレーム３の
間には穴６が設けられ、厚み振動に伴ない、それと垂直
方向のフレーム方向にも変位する。そこで、この変位を
屈曲モードに変換し、更に、フレームは支持部４に接続
され、マウント部５で支持固定される。さらに詳述する
と、振動部２の対向面に励振電極７、８を設け、この振
動部を囲むようにフレーム第１部分30とフレーム第２部
分31とから成るフレーム３が設けられ、フレーム第１部
分30は振動部２の長手方向の両端部と接続されている。
る。第１図（Ａ）、（Ｂ）は本発明の厚み振動子形状の
一実施例の平面図（Ａ）と振動部２のほぼ中央の断面Ａ
−Ａ′部を示す断面図（Ｂ）である。振動子１は振動部
２、フレーム３と支持部４から構成されていて、エッチ
ング法によって一体に形成されている。又、振動部２に
は励振電極７、８が設けられていて、両電極間に交番電
圧を印加することによって、紙面に垂直な方向の厚み振
動を引き起こすことができる。振動部２とフレーム３の
間には穴６が設けられ、厚み振動に伴ない、それと垂直
方向のフレーム方向にも変位する。そこで、この変位を
屈曲モードに変換し、更に、フレームは支持部４に接続
され、マウント部５で支持固定される。さらに詳述する
と、振動部２の対向面に励振電極７、８を設け、この振
動部を囲むようにフレーム第１部分30とフレーム第２部
分31とから成るフレーム３が設けられ、フレーム第１部
分30は振動部２の長手方向の両端部と接続されている。
そして、振動部２に配置された励振電極７、８と平行
に設けられたフレーム第２部分31の大略中心部は支持部
４の一端部に接続され、各支持部４の他端部は同一のマ
ウント部５まで延在している。そのため振動モレがな
く、損失抵抗R1の小さい、Ｑ値の高い厚み振動子が得ら
れる。又、振動部、フレームと支持部をエッチング法に
よって一体に成形しているので、小型化ができ、耐衝撃
性に優れた厚み振動子が得られる。
に設けられたフレーム第２部分31の大略中心部は支持部
４の一端部に接続され、各支持部４の他端部は同一のマ
ウント部５まで延在している。そのため振動モレがな
く、損失抵抗R1の小さい、Ｑ値の高い厚み振動子が得ら
れる。又、振動部、フレームと支持部をエッチング法に
よって一体に成形しているので、小型化ができ、耐衝撃
性に優れた厚み振動子が得られる。
以上述べたように、本発明は振動部、フレームと支持
部をエッチング法によって一体に形成する新形状の厚み
振動子を提案することにより、次の著しい効果を有す
る。
部をエッチング法によって一体に形成する新形状の厚み
振動子を提案することにより、次の著しい効果を有す
る。
フレームと支持部の形状を工夫、改善することによ
り、振動を自由にさせることができるので、損失抵抗が
小さくなる。
り、振動を自由にさせることができるので、損失抵抗が
小さくなる。
エッチング法によって振動部、フレームと支持部を
一体に成形するので、小型化ができる。
一体に成形するので、小型化ができる。
同時に、耐衝撃性に優れる。
支持部はフレームの両端の中央部で接続されている
ので振動モレが小さく、損失抵抗R1が小さくなる。
ので振動モレが小さく、損失抵抗R1が小さくなる。
振動に影響しないマウント部で台座等に固定される
ので、振動モレが小さくなる。
ので、振動モレが小さくなる。
第１図（Ａ）は本発明の厚み振動子形状の一実施例の平
面図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）のＡ−Ａ′部の断面
図。 １……振動子 ２……振動部 ３……フレーム ４……支持部 ５……マウント部 ６……穴 ７、８……励振電極 30……フレーム第１部分 31……フレーム第２部分
面図、第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）のＡ−Ａ′部の断面
図。 １……振動子 ２……振動部 ３……フレーム ４……支持部 ５……マウント部 ６……穴 ７、８……励振電極 30……フレーム第１部分 31……フレーム第２部分
Claims (1)
- 【請求項１】振動部の対向面に励振電極を設け、前記振
動部を囲むように形成され、かつ、振動部の長手方向の
両端部で振動部に接続されるフレームを有する圧電振動
子に於いて、前記フレームは、振動部の長手方向に平行
な一対のフレーム第２部分と、前記フレーム第２部分の
各端部を接続している一対のフレーム第１部分とで構成
され、振動部に配置された励振電極７、８と平行となる
フレーム第２部分の大略中心部は一対の各支持部の一端
に接続され、且つ、前記各支持部の他端部は同一のマウ
ント部まで延在していることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006678A JPH0831769B2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | 厚電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1006678A JPH0831769B2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | 厚電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02186816A JPH02186816A (ja) | 1990-07-23 |
| JPH0831769B2 true JPH0831769B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=11645022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1006678A Expired - Lifetime JPH0831769B2 (ja) | 1989-01-13 | 1989-01-13 | 厚電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831769B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5253690A (en) * | 1975-10-28 | 1977-04-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness sliding crystal vibrator |
| JPS5488788A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thickness-width slide crystal oscillator |
| JPS54129994A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-08 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
| JPS5917627U (ja) * | 1982-07-23 | 1984-02-02 | キンセキ株式会社 | 圧電振動子 |
| FR2577362B1 (fr) * | 1985-02-13 | 1987-04-17 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Procede de fabrication de resonateurs a quartz a haute frequence |
| JPS6210518U (ja) * | 1985-07-04 | 1987-01-22 |
-
1989
- 1989-01-13 JP JP1006678A patent/JPH0831769B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02186816A (ja) | 1990-07-23 |
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