JP2614483B2 - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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JP2614483B2
JP2614483B2 JP7915888A JP7915888A JP2614483B2 JP 2614483 B2 JP2614483 B2 JP 2614483B2 JP 7915888 A JP7915888 A JP 7915888A JP 7915888 A JP7915888 A JP 7915888A JP 2614483 B2 JP2614483 B2 JP 2614483B2
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electrode plate
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誠一 藤村
博章 山田
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NEC Corp
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NEC Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は振動ジャイロに関するものである。
[従来の技術] 振動ジャイロは、振動子を圧電素子等で駆動して振動
させ、この振動子に角速度が加わった時に生じるコリオ
リの力を振動子の変位(検出側の振動)として検出し
て、加わった角角度を検出するものであるが、精度良い
角速度検出のためには、駆動側の振動モードにも検出側
の振動モードにも影響を与えないように振動子を支持す
ることが要求される。そのためには、振動子を不動点、
つまり、振動の際に動かない部分で支持することが望ま
しい。しかし、本出願人が先に出願した振動ジャイロ、
すなわち、互いに逆向きに対向して配された2個のコ字
形振動片の間に、2枚のねじり検出用圧電板、および、
この2枚のねじり検出用圧電板の間の検出用電極板を配
し、これらの隣接する面どうしを相互に接合してH型の
振動子を構成した振動ジャイロ(特願昭62−243490号参
照)の場合には、振動子の中心部に2枚のねじり検出用
圧電板で挟まれた検出用電極板を持つという構造のため
に不動点を支持することが困難であった。
[発明が解決しようとする課題] 振動子の駆動側の振動モードおよび検出側の振動モー
ドのいずれについても不動点を支持しないと、振動が不
安定となり、出力信号の安定性が低下する。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、振動子
の中心部に2枚のねじり検出用圧電板で挟まれた検出用
電極板を持つ構造のH型の振動ジャイロにおいて、振動
子の振動の不動点を支持することを可能にすることを目
的とする。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決する本発明は、互いに逆向きに対向し
て配された2個のコ字形振動片の間に、2枚のねじり検
出用圧電板、および、この2枚のねじり検出用圧電板の
間の検出用電極板を配し、これらの隣接する面どうしを
相互に接合してH型の振動子を構成した振動ジャイロに
おいて、前記検出用電極板に振動子支持用の複数の突起
を一体に設けたものである。
[作用] 上記構成において、検出用電極板はH型の振動子の中
心部にあり、この検出用電極板から延出させた突起は、
振動子の振動の不動点に位置させることができる。した
がって、振動子の不動点を支持することが可能となる。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図〜第5図を参照して
説明する。
第1図は本発明の一実施例の振動ジャイロの斜視図
で、この振動ジャイロの振動子は、互いに逆向きに対向
して配された2個のコ字形振動片1,2の間に、2枚のね
じり検出用圧電板3、4、および、この2枚のねじり検
出用圧電板3,4の間の検出用電極板5を配し、これらの
隣接する面どうしを相互に接着剤で接合してH型の振動
子6を構成し、このH型の振動子6の側面の4カ所に駆
動用圧電素子7を図示のように上下の極性を逆にして張
り付けた構造である。
本発明では前記検出用電極板5に振動子支持用の突起
8が形成されている。実施例の突起8は、1枚の金属板
から前記検出用電極板5の部分とともに一体に切り出さ
れたもので、細いくび部8aと取り付け穴8bをあけた取り
付け部8cとを持ち、H字形の正面から見た中心を貫通す
る中心線(1点鎖線l)の方向の両側に延出するように
形成されている。
各部への配線は図示の通りであり、4枚の駆動用圧電
素子7に図示せぬ発振回路からの共通の交流駆動電圧が
供給され(端子A)、上下のコ字形振動片1,2は接地さ
れ、各検出用圧電板3,4の出力は中間の検出用電極板5
と一体の前記突起8から引き出している(端子B)。
なお、前記ねじり検出用圧電板3,4は、すべり歪みに
より電圧が発生する圧電物質を利用したもので、分極方
向が逆の2つの部分からなり、上下両面に電極を張り付
けた構造であり、1枚の圧電板の対向面の間に働くねじ
り力に対して当該圧電板の対向面に電圧が発生する。
上記構成の振動ジャイロの動作を説明する。
4枚の駆動用圧電素子7に交流駆動電圧を印加する
と、振動子6は、第5図に示すように、X方向で、上側
と下側とが互いに反対方向、かつ、右側と左側とが反対
方向の振動モードで振動する。
この振動子6にZ軸回りの角速度が加わると、駆動側
の振動方向と直交するY方向のコリオリの力が発生し、
第6図に示すように、振動子6をねじるごとき振動モー
ドで振動する。コリオリの力によるこのねじり力は中間
部の各ねじり検出用圧電板3,4に作用するので、ねじり
検出用圧電板3,4のそれぞれの対向両間にコリオリの力
に比例した電圧が発生する。各ねじり検出用圧電板3,4
に発生した電圧は中間の検出用電極板5と一体の突起8
を介し端子Bから検出され、コリオリの力に比例したこ
の出力電圧(出力信号)から振動ジャイロに加わった角
速度が検出される。
第5図で示した駆動側の駆動モードおよび第6図で示
した検出側の振動モードにおいて、いずれの場合にも動
かない部分は、振動子6のH字形の正面からみた中心を
貫通する正面中心線(一点鎖線l)および側面から見た
中心を貫通する側面中心線(一点鎖線m)の部分であ
る。ところが、前記突起8は振動子6の前記正面中心線
lを通っているので、振動子6は突起8により振動の動
かない部分、つまり、不動点を支持されていることにな
り、駆動側についても検出側についても安定していた振
動が得られ、出力信号の安定性が向上する。
また、振動子支持用の突起8は検出用電極5と一体な
ので、上述のようにこの突起8から出力信号を取り出す
ことができ、検出側のリード線の配線は不要である。
なお、振動子支持用の突起は、前記のものに限らず、
第3図、あるいは、第4図のごとき形態で検出用電極板
5と一体に設けることもできる。すなわち、第3図の場
合は、H字形の側面から見た中心を貫通する側面中心線
(1点鎖線m)の方向に延出するように突起9を形成し
たものである。この突起9は、同様にくび部9aと取り付
け穴9bをあけた取り付け部9cとからなる。この側面中心
線mも前述のように振動の際に動かない部分であるの
で、安定した出力信号が得られる。
第4図の場合には、第2図で示した突起8と第3図で
示した突起9とを共に備えたものである。この場合に
は、H字形の正面中心線lと側面中心線mといずれも振
動の際に動かない部分であるから、同じく安定した信号
出力が得られるとともに、振動子6が4カ所で支持され
るので、一層支持強度が向上し、安定した支持を行うこ
とができる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、検出用電極板に
振動子支持用の複数の突起を設けたので、振動子を振動
の際に動かない部分で支持することが可能となり、これ
により出力信号の安定性を向上させることができた。ま
た、振動子を支持する突起から出力信号を取り出すこと
ができるので検出側のリード線の配線が不要となり、ま
た、別に支持具を取り付ける必要もなく、構造が著しく
簡略化された。さらに、突起は検出用電極板と一体なの
で、十分な支持強度が容易に得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す振動ジャイロの斜視
図、第2図は第1図における検出用電極板および突起の
部分の平面図、第3図は突起部分の他の実施例を示す平
面図、第4図は突起部分のさらに他の実施例を示す平面
図、第5図は駆動側の振動モードの説明図、第6図は検
出側の振動モードの説明図である。 1,2……コ字形振動片、3,4……ねじり検出用圧電板、5
……検出用電極板、6……振動ジャイロ、7……駆動用
圧電素子、8,9……突起。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−84113(JP,A) 実開 昭63−152513(JP,U) 実開 平1−118310(JP,U)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】互いに逆向きに対向して配された2個のコ
    字形振動片の間に、2枚のねじり検出用圧電板、およ
    び、この2枚のねじり検出用圧電板の間の検出用電極板
    を配し、これらの隣接する面どうしを相互に接合してH
    型の振動子を構成した振動ジャイロにおいて、 前記検出用電極板に振動子支持用の複数の突起を一体に
    設けたことを特徴とする振動ジャイロ。
  2. 【請求項2】前記突起は、H字形の正面から見た中心を
    貫通する正面中心線の方向に延出するように形成された
    ことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
  3. 【請求項3】前記突起は、H字形の側面から見た中心を
    貫通する側面中心線の方向に延出するように形成された
    ことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
JP7915888A 1987-08-28 1988-03-31 振動ジャイロ Expired - Lifetime JP2614483B2 (ja)

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JP7915888A JP2614483B2 (ja) 1988-03-31 1988-03-31 振動ジャイロ
CA000575857A CA1313065C (en) 1987-08-28 1988-08-26 Vibration gyro having an h-shaped vibrator
EP88115809A EP0309963B1 (en) 1987-09-28 1988-09-26 Vibration gyro having an h-shaped vibrator
DE88115809T DE3882865T2 (de) 1987-09-28 1988-09-26 Oszillierender Kreisel mit H-förmigem Vibrator.
KR1019880012491A KR970007042B1 (ko) 1987-09-28 1988-09-27 H형상 진동자 보유 진동 자이로
US07/555,376 US5166571A (en) 1987-08-28 1990-07-19 Vibration gyro having an H-shaped vibrator

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US6111338A (en) * 1993-05-28 2000-08-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Acceleration sensor and method for producing the same
JP4587232B2 (ja) * 2001-01-18 2010-11-24 日本碍子株式会社 圧電/電歪デバイスおよびその製造方法

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