KR970002319A - 진동 자이로스코프 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진동 자이로스코프(10)은 두께 방향에서 대향하여 분극되는 압전체 기판(14)를 포함한다. 두 분할 전극(16a) 및 (16b)는 압전체 기판(14)의 한 주면에 설치되고, 공통 전극(18)은 압전체 기판(14)의 또 다른 주면에 설치된다. 발진 회로(30)은 단일 압전체 기판(14)가 굴곡 모드로 진동되도록 두 분할 전극(16a) 및 (16b)와 공통 전극(18) 사이에 구동 신호를 가하고, 차동 증폭 회로(36)은 두 분할(16a) 및 (16b) 사이에서 발생된 신호를 검출한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 양태에 따른 진동 자이로스코프를 보여주는 도면이다, 제2도는 제1도에 도시된 진동 자이로스코프에 사용되는 진동자의 사시도이다.
Claims (13)
- 두께 방향으로 대향하여 분극되며, 제1 및 제2주면을 갖는 압전체 기판(14); 압전체 기판(14)의 제1주면에 설치되는 두개의 분할 전극(16a) 및 (16b); 압전체 기판(14)의 제2주면에 설치되는 공통 전극(18); 단일 압전체 기판(14)가 굴곡 모드로 진동되도로 구동 신호를 상기 두개의 분할 전극과 공통 전극 사이에 가하는 구동 수단; 및 상기 두개의 분할 전극 사이에 발생된 신호를 검출하는 검출 수단을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제1항에 있어서, 상기 압전체 기판(14)가 상부 및 하부를 포함하고, 상부 및 하부의 분극 방향이 압전체 기판의 두께 방향에서의 중앙의 근방에서 서로 대향함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제2항에 있어서, 압전체 기판(14)가 분극 반전층을 갖는 단결정판임을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제3항에 있어서, 단결정판이 LiNbO3단결정판 또는 LiTaO3단결정판을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제2항에 있어서, 압전체 기판(14)가 정사각주 모양임을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제2항에 있어서, 압전체 기판(14)가 팔각주 모양임을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제2항에 있어서, 제1주면이 세로 중앙선을 갖고, 분할 전극이 중앙선의 대향하는 측상에 위치함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제7항에 있어서, 각각의 분할 전극이 I자 모양임을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제7항에 있어서, 분할 전극이 길고 짧은 단을 합친 모습이 L자 모양이며, 긴단은 중앙선의 대향하는 측상에 위치함을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제7항에 있어서, 분할 전극이 기판의 진동 노드의 근방에서 세로 중앙선의 횡적으로 위치하는 횡형(transverse) 갭에 의해 더 분할됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제10항에 있어서, 두개의 노드와 두개의 횡형 갭이 있음을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제11항에 있어서, 세로 중앙선의 어느 한쪽 측상에, 세개의 전극, 횡형 갭 사이에 위치한 중앙 전극 및 횡협 갭의 또 다른 측상에 위치한 단전극이 있음을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).
- 제12항에 있어서, 각각의 단전극이 중앙선의 대향하는 측상에 있는 중앙 전극에 전기적으로 접속됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프(10).※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7161096A JP3000891B2 (ja) | 1995-06-27 | 1995-06-27 | 振動ジャイロ |
JP7-161096 | 1995-06-27 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970002319A true KR970002319A (ko) | 1997-01-24 |
KR100224123B1 KR100224123B1 (ko) | 1999-10-15 |
Family
ID=15728536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960023799A KR100224123B1 (ko) | 1995-06-27 | 1996-06-26 | 진동 자이로스코프 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5837895A (ko) |
EP (1) | EP0751374B1 (ko) |
JP (1) | JP3000891B2 (ko) |
KR (1) | KR100224123B1 (ko) |
DE (1) | DE69619307T2 (ko) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3386320B2 (ja) * | 1996-10-01 | 2003-03-17 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロの温度特性調整方法 |
WO1998019134A1 (fr) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Mitsui Chemicals, Inc. | Gyroscope a vibrations |
JPH10232132A (ja) * | 1997-02-20 | 1998-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
US6457358B1 (en) | 1999-03-18 | 2002-10-01 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | Tubular coriolis force driven piezoelectric gyroscope system, and method of use |
US6777857B1 (en) | 1999-03-18 | 2004-08-17 | Board Of Regents Of The University Of Nebraska | Piezoelectric gyroscope system, and method of use |
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JP3767540B2 (ja) | 2002-10-28 | 2006-04-19 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ及び角速度センサー |
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US20140026658A1 (en) * | 2012-07-27 | 2014-01-30 | Biao Zhang | Mems device and a method of using the same |
CN103345155B (zh) * | 2013-06-19 | 2015-12-09 | 河海大学常州校区 | 微陀螺仪的自适应反演控制系统及方法 |
CN103345148A (zh) * | 2013-06-19 | 2013-10-09 | 河海大学常州校区 | 微陀螺仪的鲁棒自适应控制方法 |
CN104281056B (zh) * | 2014-09-18 | 2017-07-21 | 河海大学常州校区 | 基于神经网络上界学习的微陀螺仪鲁棒自适应控制方法 |
CN104614993B (zh) * | 2015-01-15 | 2017-05-10 | 河海大学常州校区 | 微陀螺仪自适应滑模预设性能控制方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL87557C (ko) * | 1948-12-28 | |||
US3258617A (en) * | 1963-02-07 | 1966-06-28 | Avco Corp | Piezoelectric device |
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JPH0781865B2 (ja) * | 1985-04-26 | 1995-09-06 | 東京航空計器株式会社 | 振動ジャイロ |
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-
1995
- 1995-06-27 JP JP7161096A patent/JP3000891B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-06-20 EP EP96110002A patent/EP0751374B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-20 DE DE69619307T patent/DE69619307T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-25 US US08/670,346 patent/US5837895A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-06-26 KR KR1019960023799A patent/KR100224123B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0751374B1 (en) | 2002-02-20 |
DE69619307T2 (de) | 2002-08-14 |
JP3000891B2 (ja) | 2000-01-17 |
EP0751374A3 (en) | 1998-04-15 |
US5837895A (en) | 1998-11-17 |
EP0751374A2 (en) | 1997-01-02 |
DE69619307D1 (de) | 2002-03-28 |
KR100224123B1 (ko) | 1999-10-15 |
JPH0914968A (ja) | 1997-01-17 |
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