KR970066512A - 진동 자이로와 진동 자이로용 진동자 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 진동 자이로는 슬릿이 음차부(tuning fork section)를 형성하도록 평판형의 압전 기판으로 만들어진 진동자(oscillator)를 구비한다. 진동자를 구성하기 위해, 음차부(tuning fork section)를 진동시키는 구동전극은 슬릿의 종단부의 근방에 형성되며, 음차부의 길이 방향에서의 회전 각속도를 검출하는 검출 전극은 음차부의 암부(arm portion)상에 형성된다.

Description

진동 자이로와 진동 자이로용 진동자
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 양태에 따른 진동 자이로의 진동자를 도시하는 사시도이다, 제2a도 및 제2b도는 제1도에 도시된 진동자의 표면과 이면을 도시하는 평면도이다, 제3도는 제1도에 도시된 진동자의 변형을 도시하는 분해 사시도이다, 제4도는 제1도에 도시된 진동자의 다른 변형을 도시하는 평면도이다.

Claims (20)

  1. 한쌍의 진동가능한 암부(arm portions)를 포함한 음차부(trning fork section)를 한정하는 대향하는 제1 및 제2평면을 구비한 압전 기판; 상기한 제1의 평면 상에 형성되며, 상기한 암부를 진동시키는 제1의 구동전극; 및 상기한 암부 각각의 제1의 평면 상에 형성되며, 상기한 암부 각각의 길이방향에서의 회전 각속도를 검출하는 검출 전극들을 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로용 진동자(oscillator).
  2. 제1항에 있어서, 상기한 음차부는 길이 방향으로 연장되며 서로 간격을 두고 배치된 제1, 제2 및 제3의슬릿으로 한정되며, 상기한 제2슬릿은 제1의 슬릿과 제3의 슬릿의 중간에 삽입되며, 상기한 한 쌍의 암부 중의 한쪽 암부는 상기한 제1슬릿과 상기한 제2슬릿과의 사이에서 한정되며, 상기한 한쌍의 암부중의 다른쪽 암부는 상기한 제2슬릿과 제3슬릿과의 사이에서 한정됨을 특징으로 하는 진동자.
  3. 제2항에 있어서, 상기한 제1, 제2 및 제3의 슬릿 각각은 개방 종단부와, 실질적으로 U자 형상인 밀폐 종단부를 구비하고 있음을 특징으로 하는 진동자.
  4. 제3항에 있어서, 상기한 제1 및 제3슬릿 각각의 폭은 그것의 개방 종단부에서 보다 밀폐 종단부에서 더큼을 특징으로 하는 진동자.
  5. 제2항에 있어서, 상기한 제1슬릿과 제3슬릿 각각은, 상기한 제1슬릿과 제2슬릿 사이의 간격과, 상기한 제2슬릿과 제3슬릿 사이의 간격이 그들 각각의 개방 종단부에서 가장 크도록, 상기한 제2슬릿쪽으로 기울어져 있음을 특징으로 하는 진동자.
  6. 제1항에 있어서, 상기한 제2평면 상에 제2구동 전극이 형성되어 있으며, 상기한 암부 각각의 제2평면상에 검출 전극들이 형성되어 있음을 특징으로 하는 진동자.
  7. (A) 음차부를 포함하는 진동자로서, (ⅰ) 슬릿이 형성되어 있으며, 슬릿의 대향하는 양측에 제1 및 제2의 음아 암부를 구비한 평판상의 압전 기판; (ⅱ) 상기한 슬릿의 종단부 근방에 형성되며, 상기한 음차부의 암부를 진동시키는 구동 전극; 및(ⅲ) 상기한 음차부의 암부 각각에 형성되며, 상기한 음차부의 암부의 길이 방향에서의 회전 각속도를 나타내는 검출 신호를 발생시키는 검출 전극을 포함하는 진동자; (B) 상기한 구동 전극에 구동 신호를 인가하는 발진 회로; 및 (C) 상기한 검출 신호를 검출하는 검출 회로를 포함함을 특징으로 하는 진동자이로.
  8. 제7항에 있어서, 상기한 진동자는 상하 평판형의 커버 사이에 삽입되어 있음을 특징으로 하는 진동 자이로.
  9. 제8항에 있어서, 상기한 상하 커버와 진동자와의 사이에 각각 상기한 음차부를 둘러싸는 프레임형(frame-like) 구성을 갖는 스페이서(spacers)가 삽입되어 있음을 특징으로 하는 진동 자이로.
  10. 제7항에 있어서, 상기한 검출 전극들은 역극성(oppositely polarized)미을 특징으로 하는 진동 자이로.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 검출 회로는 상기한 검출 전극으로부터의 상기한 검출 신호들 사이의 차동으로 인해 상기한 회전 각속도에 비례하는 신호를 얻음을 특징으로 하는 진동 자이로.
  12. 제7항에 잇어서, 상기한 음차부의 암부 각각의 결합부는 상기한 결합부로부터 떨어져 있는 부분보다 더 좁은 폭을 갖도록 만들어짐을 특징으로 하는 진동 자이로.
  13. 제11항에 잇어서, 상기한 음차부의 암부 각각의 결합부는 상기한 결합부로부터 떨어져 있는 부분보다 더 좁은 폭을 갖도록 만들어짐을 특징으로 하는 진동 자이로.
  14. (A) 진동자로서, (ⅰ) 한쌍의 진동가능한 암부를 포함한 음차부를 한정하는 대향하는 제1 및 제2평면을 갖는 압전 기판; (ⅱ) 상기한 제1 및 제2평면 각각에 형성되며, 상기한 암부를 진동시키는 제1 및 제2의 구동 전극; 및 (ⅲ) 상기한 대향하는 제1 및 제2평면 상에 형성되어 있으며, 상기한 음차부의 암부의 길이 방향에서의 회전 각속도를 나타내는 검출 신호를 발생시키도록, 상기한 한쌍의 암부 중의 한 암부용 제1 및 제2의 검출 전극과, 상기한 다른 암부용 제3 및 제4의 검출 전극을 포함하는 진동자; (B) 상기한 제1 및 제2구동 전극에 구동 신호를 인가하는 발진 회로; 및 (C) 상기한 검출 신호를 검출하는 검출 회로를 포함함을 특징으로 하는 진동기(vibrator)용 진동 자이로.
  15. 제14항에 있어서, 상기한 발진 회로는 상기한 제1 및 제2의 구동 전극에 접속된 인버터(inverter)를 포함하는 자기-여진(self-excitation) 회로임을 특징으로 하는 진동 자이로.
  16. 제15항에 있어서, 상기한 발진 회로는 상기한 제1구동 전극과 제2구동 전극과의 사이에 접속된 연산 증폭기(operational amplifier)를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  17. 제15항에 있어서, 상기한 발진 회로는 상기한 제1구동 전극과 제2구동 전극과의 사이에 접속된 PLL(phase-locked loop : 위상 동기 루프) 회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  18. 제15항에 있어서, 상기한 한쌍의 암부 중의 한쪽 암부측의 검출 전극은 다른쪽 암부측의 검출 전극과는 역극성임을 특징으로 하는 진동 자이로.
  19. 제15항에 있어서, 상기한 검출 회로는 차동 회로(differential circuit)를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
  20. 제15항에 있어서, 상기한 검출 회로는 전류-전압 변화 회로를 포함함을 특징으로 하는 진동 자이로.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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